Salle Blanche

SAINTHILLIER Quentin Starter ST A2 19/10/2012 quentin.sainthillier@edu.univ-fcomte.fr

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Rsum
Une salle blanche est une pice ou une srie de pices o la concentration particulaire est matrise afin de minimiser l'introduction, la gnration, la rtention de particules l'intrieur, gnralement dans un but spcifique industriel ou de recherche. Les paramtres tels que la temprature, l'humidit et la pression relative sont galement maintenus un niveau prcis.

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RESUME DESCRIPTION GENERALE DE LINFRASTRUCTURE

Laire Leau Le gaz Lclairage

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DANS UNE SALLE BLANCHE

Equipement et accessoires de protection individuel Entre dans une salle blanche

4
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DOMAINES DAPPLICATIONS

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Description gnrale de linfrastructure

Laire
Lair ambiant y est filtr de faon trs rigoureuse de manire liminer le plus possible les particules (poussires) qui pourraient causer l'apparition de dfauts dans les micro et nano dispositifs. Cette air peut tre filtr selon diffrents niveaux de taille dlments indsirables ; de la poussire, jusqu des tailles de trente fois infrieures une cellule humaine. Pour obtenir le degr de dpoussirage voulu, l'air circule rgulirement travers des filtres hautement performants (filtres HEPA). Techniquement l'air repris en point bas dans la salle (aspiration), est filtr de nouveau dans une centrale de traitement d'air (CTA) puis renvoy dans la salle (taux de brassage horaire), la plupart du temps par le haut. Ce flux d'air recycl du haut vers le bas renouvelle le volume d'air total de la salle jusqu' 60 fois par heure. Typiquement, pour un environnement de classe 100, le volume complet de l'air des salles blanches est filtr toutes les deux minutes environ. L'lment le plus important est donc la quantit de poussire par unit de volume et c'est le seul paramtre contrl pour certaines salles blanches aux critres plus souples.

Leau
Souvent dote d'un systme sophistiqu de filtration d'eau produisant, partir de l'eau de ville, une eau dsionise essentielle la ralisation de nombreux procds. Le degr de puret de l'eau dsionise est tabli partir d'une mesure de sa rsistivit. Une valeur de 18 mgohms-cm pour ce paramtre reprsente des conditions idales ;

Le gaz
Munie d'une gamme de rseaux d'approvisionnement en divers gaz, les hottes ventiles permettent une extraction de l'air. Elle est galement quipe d'un systme d'alarme spcifique qui dtecte les fuites ventuelles de gaz toxiques utiliss dans certains procds.

Lclairage
L'clairage peut tre contrl pour les oprations sensibles aux ultraviolets comme la photolithographie, aux infrarouges ou certaines frquences du spectre lumineux pour l'optique.

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Dans une salle blanche

Equipement et accessoires de protection individuel
Le corps humain produit une quantit importante de produits contaminants comme les poils, les cheveux, les cellules de peau morte... C'est pour cela que les oprateurs qui voluent dans la salle blanche doivent tre vtus d'un quipement plus ou moins important suivant le degr de contamination et d'empoussirement tolr. L'quipement peut comporter une combinaison, un couvre-cheveux (calotte), des gants, des chaussons, un masque, des sous-vtements spcifiques, voire un scaphandre complet.

Le port de certains accessoires de protection individuel est obligatoire suivant les expriences ralises :

Les lunettes de protection pour la manipulation de tout produit chimique et est fortement recommande dans toutes les autres activits effectues en salles blanches. Une visire doit tre porte pour la manipulation dacides, bases et solvants dans les bancs humides. Des gants de protections doivent tre galement utiliss pour la manipulation dacides, de bases et de solvants dans les bancs humides. On utilise aussi parfois des gants pour haute temprature (utilisation de four recuit, four de croissance).

Entre dans une salle blanche

Procdure dentre : L'entre se fait en deux tapes : l'entre dans le sas, et le passage du sas a la salle blanche proprement dite. 1. Enfiler les sur chaussures en passant le banc (on peut sasseoir sur le banc si ncessaire) 2. Revtir la cagoule, et la combinaison en prenant soins de placer la base de la cagoule lintrieur du col de la combinaison 3. Mettre ses gants et ses lunettes 4. Passage sur un tapis collant puis pntration dans la salle Procdure de sortie : Procder dans l'ordre inverse celui utilis pour l'entre, en prenant soins de :
1. Renverser les gants lorsqu'on les enlve pour viter de toucher les surfaces extrieures 2. Ne pas retourner les sur chaussures lorsqu'on les enlve

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Domaines dapplications
Les salles blanches sont utilises dans les domaines sensibles aux contaminations environnementales : la fabrication des dispositifs semi-conducteurs, les biotechnologies et d'autres domaines de la biologie, l'industrie agroalimentaire, gnralement dans les salles de tranchage, la construction d'engins spatiaux ,la prparation des produits pharmaceutiques striles, la construction d'optique ou de micro mcanismes, dans les hpitaux pour les bloc opratoires ou de bactriologie. Ces salles sont galement utilises dans le cadre de la recherche mdicale pour la fabrication de radiolments par exemple.

Domaines dapplications la centrale de technologie MIMENTO

Micro-actionneurs
Contrle actif de l'arodynamique des avions Optique adaptative

Capteurs
A ondes acoustiques De pression optiques D'acceleration ou de vitesse de rotation

Autres
Filtre RF Tlphonie mobile Pile combustuble Traitement du cancer de la peau Proprits mcaniques et optiques des ovocytes

Sources : http://www.femto-st.fr/ http://fr.wikipedia.org/wiki/Salle_blanche Autres : Diffrents PDF, visite

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