ContohSoal Solusi 2013 SEMI
ContohSoal Solusi 2013 SEMI
1. Hitung probabilitas suatu states dalam ban Konduksi ditempati suatu elektron di semikonduktor Si dan
hitung konsentrasi elektron dalam keadaan kesetimbangan thermal (thermal equilibrium) pada
temperatur T =300K. Diketahui level enerji Fermi, e
P
,0,25cI dibawah ban konduksi. Density of states
ban Konduksi Silikon, N
C
=2.8 x 10
19
[cm
-3
].
Solusi :
Probabilitas suatu states di ban Konduksi tempati elektron :
F(c) =
1
1+ e
(c-c
F
)
kT
Untuk c
C
- c
F
> 4kT = 4 x 0.026eV = 0.1eV e
(c-c
F
)
RT
=e
0.1
0.02S6
=e
3.9
=49.71 1 .
Dus, c
C
- c
F
=0.25eV >4kT=0.1eV, probabilitas Fermi Dirac, dapat diaproksimasi menjadi distribusi
Maxwell Boltzmann (M-B) :
F(c) =
1
1+ c
(c-c
F
)
RT
e
-
(c-c
F
)
RT
e
-
0.2S
0.02S6
e
- 10
5.74 x 10
-5
(probabilitas states di ban enerji konduksi ditempati elektron )
Konsentrasi elektron,
2. Diketahui temperatur di semikonduktor Si T
L
=400K. Diketahui level enerji Fermi, e
P
=0,25cI
diatas ban Valensi . Density of states ban valensi Si pada temperatur T=300K, N
C
=1.04 x 10
19
[cm
-3
].
Tentukan konsentrasi hole pada keadaan setimbang thermal.
Jawab :
Density of states (DOS) efektip ban valensi :
N
2
kI_
3
2
i
0.25eV >4kT
n
n
= N
c
cxp
-(
C
-
F)
kT
= 2.8 x 10
19
cxp
-2.S
0.02S6
=1.6x10
15
[cm
-3
]
(DOS) efektip ban valensi di temperatur T=400K
N
|
400K
= N
|
300K
_
400
300
_
3
2
=1.04 x 10
19
_
4
3
_
3
2
=1.6x 10
19
kI|
400K
=0.0256 x j
400
300
[
3
2
=0.0345cI
Konsentrasi hole :
p
p
|
400K
= N
v
400K
cxp
-(
F
-
v)
k1
400K
= 1.6 x 10
19
cxp
-0.27
0.0345
=6.39x10
15
[cm
-3
]
3. Diketahui semikonduktor Si di dop dengan Boron (akseptor) N
A
=10
16
cm
-3
. Diketahui mobilitas elektron dengan
hole pada konsentrasi tersebut perbandingannya 3 : 1. Resistivitas semikonduktor Si =10O-cm. Temperatur
kamar 27C.
SOLUSI :
(a) Tentukan level enerji Fermi, c
F
(20) :
p =p
I
exp
I
F
kT
;n
I
=p
I
=1.1 x 10
10
[cm
-3
]
p =N
A
=10
16
[cm
-3
] ;
p
p
i
= cxp [
s
i
-s
F
k1
ln
p
p
i
=
s
i
-s
F
k1
kI ln
p
p
i
= e
e
P
e
e
P
=kI ln
p
p
e
P
=0,0256 lnj
10
16
1,1 x 10
10
[ =0,0256 13.72 =0,35cI
(Fermi level 0.35eV dibawah enerji intrinsice
)
(b) Skets diagram ban enerji (25)
(c) Tentukan mobilitas elektron dan hole pada konsentrasi tersebut (30) :
Resisvitas : =10O-cm --------->Konduktivitas =o =
1
p
=0.1=q n p
n
+ q p p
p
q p p
p
;
n p , n =
n
2
p
=
1.21 x 10
20
10
16
=1.21 x10
4
p =10
16
[cm
-3
]
o =
1
p
=0.1=q p p
p
=1.6 x10
-19
x 10
16
x p
p
Hobilitos olc p
p
=
0.1
1.6 x 10
-3
=62.5 [
cm
2
v-s
]
Hobilitos clcktron p
n
=3 x p
p
=187.5 [
cm
2
v-s
]
(d) Bila sekarang Si didoping dengan Phospor dengan konsentrasi N
D
=m cm
-3
, level Fermi c
F
sekarang menjadi 0,3eV
diatas level enerji intrinsik,
I
. Tentukan doping Phosphor, mtersebut dan resistivitas sekarang (25) :
i
-
F
=0,35eV
C
e
P
e
=0.3 eV=kT ln
n
n
0.3
kI =0.0256
=ln
n
n
n =n
exp
0.3
0.0256
=1.1x10
10
x 122.853 =1.35x10
15
[cm
-3
]
oping Pospor yong Jipcrlukon n =N
N
A
N
=n +N
A
=1.35x10
15
+10
16
=1.135x10
16
[cm
-3
]
4. Diketahui wafer Si-tipe n intrinsik : L (panjang) =10m. | (dia) =4 inci. Si di-dop dengan Arsenik dengan konsentrasi
N
D
=5 x10
16
[cm
-3
]. Resistivitas Si : =5O-cm. Diketahui massa efektip elektron, m
n
*
=0.26m
o
. T=300K.
(a) Tentukan mobilitas elektron
n
dan waktu relaksasi elektron, t
n
(20)v
Konduktivitas : o =
1
p
=q [
n
n +
p
p q (
n
n);n =N
= 5x10
16
j
1
cm
3
[
n
=
qn
=
(
1
5
)
1,6 x 10
-19
x 5x10
16
=
(
1
5
)
1,6 x 10
-19
x 5x10
16
=
1000
1,6x5x5
=25_
cm
2
I Jctik
_
woktu rcloksosi
n
=
m
n
n
q
=
0.26 x 9.1 x 10
-28
x 25
1.6 x 10
-19
=37ns[Jctik]
(b) Bila antara permukaan atas dan bawah wafer Si-n dihubungkan batere V =1V, tentukan kecepatan drift. Dan
tentukan rapat arus drift, J
drift
dan besar arus drift, I
drift
(20) :
Kecepatan drift : v
drIIt
=25 x E =25j
10
-4
m
2
V-dctIk
[ x [
V
L
]=25.10
-4
x j
1
10 x 10
-6
[ j
m
dctIk
[ = 250 [
m
dctIk
]
Rapat arus drift : J
drift
=F =q [
n
n +
p
p E q n (
n
E); n p
J
drift
=F = [
1
5
j
F
L
[ =.2 xj
1
1 x 1
-
[ =2.10
6
j
A
m
2
[
Arus drift : I
d]t
=]
drIIt
x A (luas penampang) =2.10
6
x a r
2
=2.10
6
x10
-4
x (2x2.53)
2
=1.6 A
(c) Tentukan mode scattering yang dominan pada temperature kamar. Bila scattering mode phonon optik dan
phonon akustik, scattering rate t
PO
dan t
PA
berbanding 1 : 2, tentukan scattering rate dan mobilitas akibat phonon
akustik dan phonon optik (30):
Mobilitas elektron total merupakan kombinasi semua mode scattering : scattering dengan phonon optik
PO
,
mode phonon akustik (
PA
) dan scattering Coulombik (dengan ketidakmurnian,
KI
) :
n
= _
1
PA
+
1
PO
+
1
KI
_
-1
Pada temperatur kamar , mobilitas akibat ketidakmurnian
KI
jauh lebih tinggi dibandingkan mobilitas akibat
tumbukan dengan phonon :
KI
PA
,
PO
. Sehingga scattering mode phonon akustik dan optik dominan
dimana mobilitas total hanya ditentukan oleh scattering mode phonon :
n
= _
1
PA
+
1
PO
_
-1
;
1
PA
,
1
PO
1
KI
Mobilitas sebagai fungsi linier terhadap scattering rate
n
n
=
q :
n
m
n
;sehingga :
n
= _
1
q
PA
m
n
+
1
q z
PO
m
n
_
-1
=_
1
q z
PA
m
n
+
1
1
2
q z
PA
m
n
_
-1
=_
3
q z
PA
m
n
_
-1
=
q z
PA
3m
n
=
1
3
PA
PA
=3p
n
=3x 25 =75_
cm
2
Vdetik
_
PO
=
q
P0
m
n
=
1
2
q
PA
m
n
=
1
2
PA
=37.5_
cm
2
Vdetik
_
(d) Bila permukaan atas semikonduktor Si disinari cahaya, sehingga terjadi photogenerasi elektron dan hole, dengan
fungsi n =p =N
o
e
-ax
, dengan koefisien a=10 [m
-1
] dan N
O
=10
16
[cm
-3
]. Tentukan rapat arus difusi elektron dan hole
serta rapat arus total (dengan soal b) (30)
Konsentrasi photogenerasi : n =p =N
o
e
-ax
, (a=2 [m
-1
], N
O
=10
16
[cm
-3
])
D
n
=
k1
q
n
; pada temperature kamar (T=300K) tegangan thermal, V
T
=
k1
q
=0,0256I
Dus, koefisien difusi elektron , D
n
=
k1
q
n
=0,0256 x 25 =0,64j
cm
2
s
[
Dan, koefisien difusi hole : D
p
=
k1
q
p
;
p
tiJok Jikctoui tctopi umumnyo
1
3
n
Rapat arus difusi elektron dan hole :
J
dif
elektron==q D
n
Vn =q D
n
n
x
=q
n
N
o
o c
-ux
,
Di permukaan bawah : x =L =10m, Rapat arus difusi elektron : J
dif
elektron= -q
n
N
o
o c
-ux
=,
[
n
di]
=1,6 x 10
-19
x 0.64 x10
16
x 2 x 10
4
x c
-10.2
=2.048x 2.06.10
-9
=4.22 x10
-9
_
A
cm
2
_
J
drift
=2.10
2
j
A
cm
2
[ ;[
n
di]
J
drIIt
=J
n
dIt
Rapat arus difusi hole :
[
p
di]
=q D
p
Vp =qD
p
p
x
=q
p
N
o
o c
-ux
ph
=h
L=10m