penentuan multi unsur, nanogram bermacam-macam sumber dapat digunakan sebagai sumber radiasi atau sumber ion Plasma: gas yang terionisasi sebagian (fisik), wujud hasil pemindahan energi listrik ke dalam suatu gas (spektrometri plasma analitik) Spekra optik eksitasi spektra atom yang mempunyai panjang gelombang 150 800 nm.
Keutamaan: pengukuran radiasi elektromagnit yang dipancarkan selama transisi antara tingkat-tingkat energi elektronik terluar suatu atom.
Sumber atomisasi: ICP (Inductively Coupled Plasma) dalam tiga tabung kuarsa dimana argon dialirkan. Energi frekuensi tinggi digabungkan dengan Ar dengan bantuan kumparan kerja (working coil) yang memiliki 2-3 putaran di bagian luar tabung kuarsa.