Nanmetrologi merupakan ilmu pengukuran pada tingkat skala nanometer atau setara dengan 10^-9

m. Dimensi khas nano system bervariasi dari 10 nm ke beberapa ratus nm. Fabrkasi sistem
pengukuran sampai dengan 0,1 nm.
Alat untuk menentukan parameter untuk nanostructur dan nanometrial
X ray difraksi
Tranmisi elektron mikroskop
Resolusi tingggi TEM
atomic force microscopy
mikroskop elektron
Tugas Cek ukuran terjadinya difraksi
Apa perbedaan fisis metode mikroskop cahaya tampak TEM dan SEM
Proses terjadi scattering
Bagaimana sistem kerja lensa elektromagnetik
Mikroskop elektron
Cara kerja mikroskop elektron hampir sama dengan pojector slide. Dimana elektron ditembuska ke
dalam objek pengamatan dan pengamat dapat melihat tampilannya di layar
Sifat tem
Mampu menghasilkan resolusi hngga 0,1 nm
Objek pengamatan harus setipis mungkin
Energi dan radiasi elektromagnetik lebih pendek daripada mikroskop cahaya
Aplikasi utama: analisis mikrostruktur,identifikasi defek,analisa interfasa,struktur kristal,tatanan
atom pada kristal seta analisa elemental skala nanometer
Tahapan-tahapan agar dihasilkan preparat yang muda diamati pada TEM:
Melakukan fiksasi: untuk mengamati sel tanpa mengubah struktur sel yang akan diamati
Pembuatan sayatan: untuk memotong sayatan hingga setipis mungkin agar mudah diamatai di
bawah mikroskop
Pelapisan/pewarnaan bertujuan untuk

Propertis tinjauan
Mofologi ukuran dan bentuk partikel
Cristallographic information orientasi kristal,tatanan atom,defect
Compositional information elemen dan komposisi sampel,orientasi sampel
Perbedaan SEM dan TEM, sem pada permukaan molekul dan tem dalam molekul
Kele bihan tem
Resolusi Superior 0.1~0.2 nm, lebih besar dari SEM (1~3 nm)
Mampu mendapatkan informasi komposisi dan kristalografi dari bahan uji dengan resolusi tinggi
Memungkinkan untuk mendapatkan berbagai signal dari satu lokasi yang sama.

Kekurangan tem
Hanya meneliti area yang sangat kecil dari sampel
Perlakuan awala dari sampel cukup rumit sampai bisa mendapatkan gambar yang baik
Elektron dapat merusak atau meninggalkan jejak pada sampel yang diuji