1
.
6
125
4
#
"$# (&
'
( * .
, "
(
+ 1 !
(& 6
&
&3
. &
* .
(& .
" &
" '
. A
'
.
')( "
(
' =
&
12! +
. (*
! 8 9 *# &
0 ;
%
(
6 *
@
(
.
&
& 1
# .
(&
"$# + #
;
./
./ *
'
! 8:9 1
& ? / 1
8 < 5 B
@
-
7 7 > A
C
D
\
j g
\
ikj e P j
Y [W e
\ l
e ^[ ]
^ e
h [
[
U fW
F e
l w W ]
O
^ f
b ^
^
Z e ] e
] f
v e
g X w } P
^ v]
Y
^
g
W
F Zf
e Zf
Y \ Ww i
u P ]
U P
[
Y [ Z
^
d }~ e U ^[ ]
R W
O
O R
h [f
O|{
c z P
\ w O ` ^
i
^U ]
yz Z _ ^[ ]
W
X v
Z
j
W y
i
^ W
^
g
^
Z ^ e
m Y
b ^ U ]
g f
S P U
^
v
Oa` ^
Y U g
f
m Yx]w [ fW l
_ w
w Y O
^
c [ ]
[
^ \
^ z
_ X e i
H ]
^[ [ ]
gZ Y f
^ Zf
Wv ^
Z
l g Y
e ^
[] ^ g e ]
f Y
Y ^ ^w
\ [
U
\ Y v]
Y
YK[ \ Z U ^
Y [
Yx Z f
YKZ M
e Z w
^[ Y [f W YKZ
g h [f
h
X l Y
W ^ q
\ r
i Z] ^
Zf
u Zf
e MN l
Y [ ^ P
TVU Y [] ]
S M M Z ]W
Y Z Wv h [
fw
[ n J
GF Y
N
l i
g X g
E ^ ]
R rts Z ^
m
q U Z
OQP
\
g \
e Zf gw
Y MN J J
e r r
[W h []
p q q e Zf
MN Y
YK[
Yx u
L g g
e
Zf [
Mo q q
n
IKJ
}
^
\
j
^U
[ Y
TVU ^
S l
^ P
W
^ W
i
Z
]
i
^¨
]
i W
e Zf
Y
y [ O
g[
c
l
^
[
l f \
h
\ Z
Y
GF Y P
Zf
^[ w
U
h ^
l Z
\ P fW
^ Y
]
g
[f Z] g
e v
^ ^
e \ [f
W
f w
e U ^ v
i
W
^
H l
Z
e
^
w
Y f
w Wv
g
[f
[] U
\
^
[
Ww U
^ w
m ^ v
g l
h f
^
[ Y gZ f
e v ^ [f
£
§
e
]
q h
f
Y v
e
e \
M¢
J f
i Z]
p Z
¨
GF g
r ^ u Z
I ^
E q i
M \
d [
q ¦
[
J
r P
M U
rt«
q
MN
M Y Z]
¥ e
r ª
q f
q
¡ ¤ © J
¬
Zf
\ Z
U
\ P
^
i Z]
g
g
^
^
e
W
W
e w
W
f w
[
g X
m
e
^[
f
l
\
\
GF
[ [f
^
f
Y ] ^[ ]
^¯
Y
f
Z e
Y v]
Z
MN
i Z
^
p
e
¢ W
^ P
J
Y e
rxo e
[
®
Y f
g
]
L M
gw
q
J
M p
©
°
m
l
g g
Y Z
[
^
g
l \ w
º
[f
h [ Y e
\ [] g
e ^
W ^
^ ^[
W h
e uµ
g ^
Y
g ^¸
d
\ w g
^ e
e g¸
Z e ^f Y l
Y ^
\ l
^ e
^ Y
^
]
]
F Y [f
Y [ ^
v
v }
^¯ ]
¹
^ Z v
^[
v
Y ] l Z
\
]v Z
·
S [ [
[ ² ]v
U
g
e fw
· Z d Y
\ Y
f ² e
g e Zf
Y y
Z
O d P
Z ZW W l
b \ w
U
l \
H d Z Yxw
{ u gZ
\ g
[
Z
[f Y X ^ l
P ^¨
U
g YKZ
X
\
³
¨ \ [f h [ [f g
Z g
^ Z ^
e
v \ Y
E Z f
^ \ [
^ u X Y
U
\ ¶
\ f l h [] Y []
u d
h ~O
Z e
Y
g
Z f ^
} P
j
l
i
² e
^
gf h [
Z ^ e
O g l uµ
Y
´ ]
y
[W Yxw gZ
e
i± g \
f
Z P T
^ [
Z l
v
^ Y ]
Yx
e
[ \ [
e [f e
Yx]w U W
¨
f [ O X
^
e ¯ ^ v
^
[
i µ ]
U
]
»
¼
l
\ P
^
Z g
[f
g
Y ¨
^
Output Manifold
Vacuum Vessel
e
h
Input Manifold
∆ P = 5 PSI
Y Z]
i
e
w
Z
w
^
Z fW U
Zf ^
h
e Y
f Zf
^¸
^
Z] m
v l
e
\ w e
e f g
g
g
∆P=0
^
m
W X e
e gf
^ Z
l
Y
\ Z \
g
l i Z
g X
g
e
^
^[
\ ]
[ \ [ fW
\
h
Z ]
[
Y
^
Pump
U W
]
gw
^
Y Zf Y
U g
\ []
Dry Nitrogen
Atmosphere
h [
Refrigerator
^
g
Reservoir
g
¨
[]
h e
h ^
Y
Y U ^
^ Y h ]
m
Y
∆P=0
g h [
Y
g¸
^ ^
[f Y
e
U g
^ ]
Z ^
S
l
½
^
j g j
Y Z h
Y [ ^
Y
g
g
]v
l
h [ l
e
Y
f
l
[f [ [f
Y
g
^ X
^]
l
[f g P
\
£ ^
Y ]w
i Z
¿ f
e f
¨
v [
W
^ Z
^ ] m
[ fW ^
f
Y Wv
g
^
fw
\ [] g Y Y
^
^
^f
^
h ]
Y ¨ e g
e Y
^ Y \
f f
[
Z [
Z ^
P ^
Z
E
]
U
[f ^
e Zf v []
^ Y
e Zf Z l
Y
ZW X \
l ^
U
Zf
^U
l w e
h
\ [
g
\ Z
Z
f Y Y
e Zf Zf
Y
u Zf ] Y
^[
e
Y [ h
f
g ^
[f
Y
\ h
^ i
¨ Y
J m \
r w
q e
h [ \
\
r
\ X
© \ ^[ ] \
\ Zf
e g
S \ [
i Z] u
¨ v
Y
r J W
Z
l
M ]
g P
fw w
^
Z w
ª J
U U
©
e Zf
Y U [ g ]w
[
q
¾
À
Á
^ ^
j
^ P
gZ
l X Z
e Z ]W Z Z ]W
\
e Y
£
g
f [
]
w e g U g
l
l e [
^ P
Y
e ^
Y ] ^
^[ f
Zf
e w
[
f ^
Y [f
g
W
^[ f e []
h P ^ P
º w P ^ P
\ ^ U
^ i
Y ]
F Z g U
U ] e
^ \
^U g ^
R P [
m § i
e f
^ P e f
e ¨ \ [
\ ^
f Z
^
± ¨ ] Y
^ j
e v z g Y
^ v
^
v £ h [f U
^¯
^ h Z]
W i [
Y
W
gf Y
F
l Â
(
^ [
Z ^[ ^
P
( e w Y
^ \ ] Yx \
\
à ] Y Z] *Å \ ·
e
² w
[ '
W u
*Å P
U U
U & ^
^
g i [ ' \ Zf [ e U
h ] Y X
e & *
^ v
e w
\ [ h
h ] \ * h [
v
Y Zf
i U +2Ä Y
H Z
gZ ] e Y l
e
Y
^ g f +2Ä * ^ Y
¨ Z g
e ]
 ] ^ ^[ g
7 ¨
l w
h Y [ " ( ^ P
] ,
\ U YKZ ] [ Z W
g
· U l f
[ ¨
Z e
² gw U ^ W e
u U Z [
Z
\ [ g l
g m ^ ^
U g
U
Y e [
Y ^ f \
l w Y [
^
YKZ
\
[ Y ] r ^ ]
g Y
\ l Z Z
^ P
m ^
^ Z
[W
i w \ i
g ] v]
g Z
M YKZ ^[
g rt« g[
i ·
^ [
w \ [
^
F e Y § M
g g
e ¥
U [ ¥
P l w Z
U ¢ w
O X r q
N
gw [ Z
J q
O f ^
e Zf r rJ
^
Y
p \
q ¨ q ]
o
]
Z
^ j v
[ Zf
´ ] Z qo
q s o
£
¢
\ Zf
¤ J
Æ
[f À
Ç
}
d
£
Ì z
y O Oz
^ P
Y
^ £ OQP OQP
} P ±
h [ g
¿
Z ]W
Y
^ e
Y [f
\
g f
]
h
º w Z Â
¨ Z
U e Zf
Y
U
h Z ¸
Ww e ^ Ê
g¸ l
g
Y \ ¨ T
} \ Z
l w
[ O Í
^ Zf ¨ ±
\ [f O Oz
^] U ZW Y \ Z P
YKZ
Z
z OQP OQP
e
g Z ^[
e ]
^ g
l [ Ê
f U
g
h
YKZ Y
^[ Z ^
[
f \
Y ¨ W
w
²
e
[
l
f
l g[
^ }
\ [
e e Zf e ^
Y W
W
^ f ^
l
[ l ] e h
^
^ Y y U
e e g
g
]
Z]
h
y Z] w
v Y
H Y i Z]
v [
^ Zf
[ U ^ R b
g
^ ^
v iÈ fW Y
Ê · f RËP bQP QP
Z ^ e
^ c Ì
Z f
Y
[]
§ W P U
l
Wv
^[ \ [ e e Zf
^ Y
^ h
]
Y ^v
] w
g u Z
i e [
l
^
§ g ]
Z h
[
^ g P
Y
^Z f \
^
i
l i
F e
Y [ \ y \
f ] Z
Z f Z
Yxw
g Y
T h [f U ^
Z [
[f
U \
Y l c ³ [
Y ±
z U
c
Y \ [f
± YK[ f
^ j
[ z
^
\ f Z ^
\ e f w z
^ º w
u Z Y ]
l Z
e É U
m ¶ S [
U
f
¯ ^
Y [ [f
DÏÎ
j ^ j Y j
[
[
¨ h ]
i
Y Z
U
Z
Ww
\
^
O m
l P
e
[ ^ \
Í \ g
\
h
e
i Z]
Y
Z
g
Y
g
]
h w
^
¨ Y
\ f Zf
P
\ Z U
\ l
¶ ^ ^ P
e Zf Y
Y
e Zf
Y
Y [f YK[
U
^ P ^
( g d
[ \ P
e [ l ^
l i
( g ^
] Ww e
l g *Å
Y w f
[ ^
^ e '
*Å
^ \ Z]
y & h f
'
e S [
*
& f W
U
[ [W g ]w
* g
Z] g
c +2Ä Y
± w ^
v
i e
+2Ä [ w *
[
z f
U Y [
7
Z v]
[ " (
g ^
YKZ ,
Y e
Y
^ ^ Zf
^ gf
f l ] U
^[ ] \ w ^
l w
gZ [
Z] c
² Y
f ±
¶ §
^
r W P
] e z
f
e f M¡ e w
Y ]v
M \
f rt« \
l p
¨ Z
^
i Z ^
[ ¥
]
g U
l o
e l w r
^ ¤ J m
J q
r } ^
p
q U
^ M U
Y ] l w YK[
I N
q o
¿ ¾ J
¤ J
DÐD
u
u Y ^
Y ^ j
m Y
~ [ U
~O g
[ i [
Y P
^[ [ ÓÒ ^ Y w
^
W Y
\ e z w
Z] Y
W Ô
Y f
T l
[
e [f w
¨ S
\
^
Z] w
Z
\ [f ¿
v
l O § X
[ \
Z m P
\ R
Z ^
Z e [
e Zf
w h ¸ Y
U U
^ ^
Z Í
l i [
f Y ]
[ U
^
i ¨
l w
g Z w g [W
e ^ Yxw m
Yx Z
Z
] ^ P
g \
w e ^
Y g
^ e U Zf
^ f e
l w e m
Y l U
[ l f
U ¨ Y
P Y
e ^[
Y ZW U l
^ ] g
Z ]
^[
f l w w
] Z º
h [ h
w ^ e
Z] ]
Y ·
gw [f
^ h Y
i
¨
g g Y Zf l X P
g
W
H W Z ^
e U m P Z
i \
h ]
^
^ Y
Zf [W Yx v
Z e w e U f
Y
} P \
U ^ ^ \ v
g \
^ ^ ^
¨ Z
^ Z
h Y h \ f
d l U ^ £ U
h ] Z
Y Y
^ l w ]
Y YK[ e
U
Y ^ d Y
g Z]
\ P g
^ ¨ ^ P \
YKZ ^
w ^ l [
g
Ê [ ^
] [ ^ l
Z g
Y
\ Y
^ \ ^ Z]
Z] g
\
M g
[ ^[ f e [ Õ U
m r S [ [W ^
h ^
W q g
^
Y ] ^
F ^ l f
e
rxN Y ^
h
f h [W
w h ]
Y YKZ
Y
w ¥ ¢ [
w
l Zf
U Y ^
YKZ ^ U
[ h
© s § §
\ [] X
l
e M¢
^ W h [
g ]w p
h
w ^
e l
Y g
[] g
Z I f ^
^[
\
gU Y \
W
] J
g e r [
Y
h y i Z] h Z Yx]w
e f g q
Y qo ¨
Y e M
^[
Ñ ¦
\
¨
DÏ
Y l j
j j ^
W
^
[W ^ h ]
^
gw
Ù fW Y
Z Â
\
\ ^
U
v \ ]
} X [ g P
^ hØ
\ Z P
¨ ^ Wv
\
\ e v
^ h
e e
v h ^ g e
g g
w g
U Y gf
g ^ ^
Z
^ µ
\ [
U w
g P
ZW e Y
W
]
^ e W X
w g w
^ \ ] f
^ ^ Z
w \
h ]
Z Y
w
Y Z g
Y ] U Z i Z]
^ Z
[ U
g
g U
w Z
^
h
^ YKZ Y ]
e U]
] Y
X W
e ^
^
\
¨ º
w µ f
l
y \ Z Z
Z Z
] h
Y Z
} P
Y ] µ
[] U
[f \
^U g
× ^ i w
\ ²
g l
u
g ^ e
§
^
Yxw l f
² l [ h
^ \
^ v
e ] Z ^
Y P Y U
¨
\ i fw ^
^ Z e U]
Y ]w h ] [W
£
u X Z]
Y
Y
^ U
i [
h ^[
M¢ i ]w YKZ
Y h Ù
w
§ ^ g
r
^ J
^ Y ^
r
g ²
[ fW m
p
Zf
Ö
¥ [ U
Ú e U
Ê
[ e \
^
² Y e
M g
g f
\ ¢
y
r \
§ Y X ^ w
¢
q g P ^
e [ ^
I J
r \ ^U
Y g
© M
U Û
e [ e
^
[
f
]W ^ MN Z Y
Y ] Y Z g] Zf
]v J U
r N
Ú
© J ¤ «
DϬ
^ X
W
l e U
h
l Y
¯ P
Y g
Z Yxw [
e w e
Y g \ W
^v \ c
^ [f ± e
Ü e
[ ^
h ] Y f
^ R X ^ z ^
Y W g P
U ]
v
e
Y Z ± Z \ w
z l
e w [f Y
^ X
i Z] P
\ ^
[ \ v
£ P
Z] W
\ ] Z
W ^[ ]
^
^ [f e
f ^ ^
YKZ
g l Zf
Y ] ^ X ^ W
f Y
] ^
\ Y Y g
g
Y [f g
[ l [ e
[ ^¯ g
Y ^
Y [f e Zf
º w Y g
g Y w
^ l
w \
[f e [ g P ^ e U
º h l
l f
^
Y Z Y w W
\ ^
\ X Zf Y g
e
[ f
Zf ] e w e
^ P Y Y
Z
¨ ^ Z ^
]
U Z
W [] Zf
l [ W
e
[] \ ¨
e Zf
\ U U
^f Y
^ ]
^
U ^
g \ w f Yx U
Y j g
Y ] e e [ d Z
g g
g ^ \ l
U \ e
[ [
g Y ] g ]w
g e
\ [ g [
[ P
^ f ^ g
\ [ \
[
^ \ g e [
Zf
h e \ l ]
g S ^ ^
¨ l g
Y e f
g
h \ Y
v]
^
g h [ Y h
l ]
e e [f l
Zf [ ¨
^ P h [f ^
W v Z
Y Yx
¨
e w
^ Z \
e e
Y [ e e h Z
Y m l l ^ Z
e
f d f
Y ¨ ^f Y
g \ l ] e ^f
e
Wv] Y
Yxw e ^]
^ \
g S Z] g
g w
[ e [
g Ê [ e [
e Y
\ ^ Wv
e l e
Yx f
f Zf h
Z Y
P e S [
\ U Y
U P ^
e Z
f
\ ^ [f f
Y U
Zf YKZ
e g
fW Y Y \ [ ^
e
^
j W w
^ [ [ U
[]
Y ] ZW Zf
Wv w Â
U ^
[
v e f
]
[ Z Y
c w
l f
±
¨ Z
] Y Z
¶ U z U
h
u Zf
[
D °
P
Y P
v
e
[ w
^ g l
Y P
^ e
gw
w
Ê [ Wv i
^
P
] ]
^ P [
l e
g
^ e
f ]
e
W f
Y [ ^[ ]
l
e
g ^
Z f
Û w
Þ Y
g ^ ]v
^
l Z
^
e []
Y Y
g ] Yxw f
^ g
[ g w
m ^
e
^ Y
f X
l
Y ] U
Z
[ ^
\
E ¶ \ Z
[f
^
^ ^
f
i l ]
Y ]
\ ]
\ e
Zf g
Z YKZ
[
l
[]
Zf
e Zf
Y U
e Zf U
Y g
[f Z
[ l ^
^ \ X ] e [
l
l ]
Z h e
Y
e
g U [
^
\ [
g l ]
^
u Zf j f
h [ Y ]
^
Ý
[f \
Y ]
v
^ j [
Yx
[ g
h Z e
g
\
Y ¨ e ^
¨
^ X \
e
Y
e
§ ¨
e
f \ [
\
\ ^f \ Z
e Wv
Y g
[
u Z
D »