Anda di halaman 1dari 25

SCANNING MICROSCOPE ELECTRON

( SEM )
R E T N O W U L A N G A Y A T R I
1 1 0 6 0 0 8 2 4 6
SCANNING MICROSCOPE ELECTRON ( SEM )
Dasar Teori
Kegunaan Alat
Cara Kerja
Preparasi Sampel
Kekurangan dan Kelebihan
Contoh dan cara Interpretasi Data


DASAR TEORI
- Merupakan mikroskop elektron yang
memotret material berdasarkan
interaksi elektron dengan permukaan
material.
- Sampel berupa material padat
- Perbesaran 20x -500.000x
- Resolusi sampai 0.1-0.2 nm


SEM
KEGUNAAN ALAT
Mengetahui morfologi ( sifat permukaan )
suatu material :
- Ukuran Partikel / pori
- Bentuk partikel
- SEM yang dilengkapi EDX dapat
menentukan komposisi internal dari
partikel

KEGUNAAN ALAT
Ceramic foam , perbesaran 20x
Ceramic Foam Perbesaran
2000x
KOMPONEN UTAMA
Sumber elektron ( electron gun )
Lensa elektron
Tempat sampel
Sistem vakum
Detektor
Alat output data ( Display )

KOMPONEN
- Sumber elektron ( Electron gun ) : memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan
anoda.
Berupa filamen ., terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron.Misal : tungsten . Terdapat
2 jenis :
Termal
Field emission
- Lensa Elektron
Berupa lensa magnetik. Memfokuskan elektron menuju sampel . Tempat sampel :
Meletakkan sampel yang akan dikarakterisasi.
- Sistem Vakum
Menghilangkan molekul udara yang akan mengganggu elektron.
- Detektor
Mendeteksi sinyal elektron yang dihasilkan sampel
-Alat output Data
Memperlihatkan data berupa gambar.


DETEKTOR
Secondary electron detector
Backscattered electron detector
Secondary electrons
Backscattered electrons
X-rays: Energy dispersive spectrometer (EDS)
PRINSIP KERJA

PRINSIP KERJA
1. Electron gun memproduksi berkas elektron pada tegangan dipercepat sebesar
2-30kV
2. Sinar elektron mengalir melalui kolom mikroskop. Lensa magnetik
memfokuskan elektron menuju sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai ( scan ) keseluruhan sampel dengan
diarahkan oleh koil pemindai.
4. Elektron mengenai sampel, kemudian mengeluarkan elektron baru yang
diterima detektor dan diterima oleh monitor ( display )


HOW DO WE GET AN IMAGE?
156 electrons!
Image
Detector
Electron gun
288 electrons!
SINYAL YANG DIHASILKAN SAMPEL
Incoming electrons
Secondary electrons
Backscattered
electrons
Auger electrons
X-rays
Cathodo-
luminescence (light)
Sample
SINYAL SINYAL PENTING
Pantulan elastis sinyal Backscattered Electron
Pantulan inelastis sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X

Elektron Sekunder menghasilkan topografi dari
benda yang dianalisa berdasar tinggi rendahnya
permukaan.
Backscattered electron memberikan perbedaan
berat molekul dari atom-atom yang menyusun
permukaan.

E L E K T R O N S E K U N D E R B A C K S C A T T E R E D E L E C T R O N
PREPARASI SAMPEL
1. Bersihkan sampel . Sampel harus dalam keadaan kering
2. Tempatkan sampel pada sampel holder
3. Jika sampel tidak bersifat konduktif, diperlukan coating dengan sputter coater


KEKURANGAN DAN KELEBIHAN
KELEBI HAN
- Pengoperasian alat
mudah
- Preparasi sampel
yang tidak rumit
- Data dapat
diperoleh dengan
cepat
- Rentang perbesaran
luas

KEKURANGAN
Sampel harus berupa
padatan
Untuk sampel yang
tidak konduktif
diperlukan coating
Resolusi rendah
dibanding TEM
A. SEM/SE
(secondary electrons)
Morfologi Permukaan
Topologi Permukaan


B. SEM/BSE
(backscattered electrons)
Komposisi


C. SEM/STEM
(transmitted electrons)
Struktur Internal


D. SEM/EDX
(characteristic X-rays)
Analisis elemental

SEM/SE micrographs showing
morphology of polymer blend
PP/COC.

a) 90/10, b) 80/20, c) 70/30,
d) 60/40, e) 50/50, f) 25/75.

* PP = polypropylene
* COC = cycloolefin copolymer
(copolymer of ethylene and
Norbornene)










SEM micrograph of comb block copolymer showing spherical morphology and long
range order. Adapted from M. B. Runge and N. B. Bowden, J. Am. Chem. Soc.,
2007, 129, 10551. Copyright: American Chemical Society (2007).
DAFTAR PUSTAKA
http://lib.dr.iastate.edu/cgi/viewcontent.cgi?article=4403&context=etd ( diakses
tanggal 25 Oktober 2014 09:00 WIB )
http://repository.usu.ac.id/bitstream/123456789/34572/3/Chapter%20II.pdf
http://cnx.org/contents/ba27839d-5042-4a40-afcf-c0e6e39fb454@20.16:110
Erica Velacco. 2013. Scanning Elactron Microscope ( SEM ) as a means to
determine dispersibility.Iowa State University .
Power point presentation Scanning Electron Microscope by Santanu Pramanik,hitesh
Kumar Gupta,chandan Singh
Power Point Presentation Scanning Electron Microscope by Adiyanti Firdausi
http://www.ntnu.edu/documents/139994/141053151/SEM+sample+preparation.p
df/867c2d56-6453-4d8f-9d26-19e2c5dc143b
http://file.upi.edu/Direktori/FPMIPA/JUR._PEND._KIMIA/196808031992031-
AGUS_SETIABUDI/Bahan_Kuliah_Karakterisasi_Material/Bab_6_Teknik_Mikrosk
opy_SEM.pdf