JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO.

1, MARET 2011: 7-12

Mikrofabrikasi Elektroda untuk Aplikasi Deteksi Konsentrasi [H+] dengan

Teknologi Lapisan Tebal
Aminuddin Debataraja1*, dan Robeth V. Manurung2
1. Jurusan Teknik Elektro, Politeknik Negeri Jakarta, Depok 16425, Indonesia
2. Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi, LIPI, Bandung 40135, Indonesia
*E-mail: adebataraja@yahoo.com

Abstrak
Fungsi dari sensor pH adalah untuk menentukan derajat keasaman atau kebasaan dari suatu larutan. Pengukuran dan
pengendalian nilai pH adalah sangat penting untuk berbagai studi dalam bidang kimia dan biologi di laboratorium dan
berbagai bidang industri. Metode pengukuran pH dapat dilakukan secara konvensional yaitu dengan menggunakan
kertas lakmus dan elektroda gelas, namun hal ini memiliki tingkat akurasi hasil pengukuran yang rendah, mudah pecah
dan tidak kompatibel dengan alat ukur/sensor lain. Seiring dengan perkembangan teknologi microfabrication, saat ini
dimungkinkan untuk membuat sebuah sistem alat ukur yang dapat mendeteksi berbagai parameter secara simultan,
akurat, dan berukuran kecil. Dalam tulisan ini dibahas proses pembuatan sensor pH menggunakan teknologi thick film
(screen priting). Elektroda referensi yang digunakan adalah perak-perak klorida (Ag|AgCl) sedangkan untuk elektroda
indikator digunakan bahan antimoni (Sb). Hasil percobaan terhadap pH buffer 2, 4, 7, dan 9 menunjukkan elektroda
antimoni sensitif terhadap perubahan pH dengan response -57,2 mV/pH.

Abstract
Mikrofabrikasi Electrode Application for Detection of Concentration [H +] with Thick Film Technology. The pH
electrode is used to measure the acidity or alkalinity of solutions. Measurement and control of the value of pH is
important in numerous chemical and biological studies in the laboratories and industries. Over the past few years,
methods of measurement of pH have been based on conventional means, raging from the use of lacmus paper to glass
electrodes. Such means has been known for lack of accuracy, robustness, and compatibility with other sensing elements.
With the advancement in microfabrication technology, however, it is now possible to construct an analytical system,
which is not only capable of simultaneously detecting multiple parameters, but also small size and accurate. In this
paper, design and fabrication of pH sensor using screen printing techniques is described. Indicator electrode used was a
pressed pellet antimony electrode (Sb2O3) and the reference electrode used was a silver-silver chloride (Ag|AgCl). The
antimony (Sb) electrode showed good sensitivity to pH in the range of pH 2 to pH 9 and exhibited responses -57.2
mV/pH.
Keywords: elektroda referensi, sensor pH, screen printing, thick film

1. Pendahuluan
laboratorium, pengelolaaan lingkungan, konservasi
energi, pabrikasi, industri, kedokteran, pertambangan,
pertanian, dan sebagainya. Aplikasi sistem sensor ini
masih dan akan terus berkembang sesuai dengan
kebutuhan. Namun, sensor yang ada saat ini dipasaran
hampir semuanya adalah produksi luar negeri (import).
Oleh karena itu penguasaan teknologi sensor ini sangat
diperlukan mengingat aplikasinya yang terus
berkembang dan pemenuhan kebutuhan sensor di dalam
negeri masih diimpor.

Penelitian teknologi sensor sampai saat ini masih

merupakan suatu topik yang sangat luas dan bersifat
multi disiplin ilmu, dimana perkembangan teknologi
sensor mengikuti kemajuan teknologi mikroelektronika. Trend penelitian tentang sensor saat ini adalah
berupa miniaturisasi sistem sensor, pembuatan sensor
array, multi-sensor dan pembuatan sistem sensor yang
smart atau inteligent [1-2]. Adapun aplikasi sensor dapat
ditemui dalam banyak peralatan konsumen, otomotif,

JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO. 1, MARET 2011: 7-12

Sensor pH digunakan untuk menentukan derajat

keasaman atau kebasaan dari suatu larutan. Pengukuran
dan pengendalian pH adalah sangat penting untuk
berbagai studi kimia dan biologi di laboratorium dan
berbagai bidang industri [3-4]. Pada umumnya jenis
sensor pH yang banyak digunakan terbuat dari bahan
gelas yang memiliki ukuran yang relatif besar, memiliki
tahanan dalam yang sangat besar dalam orde Mega-Ohm
dan mudah pecah bila terjatuh atau terbentur. Berbagai
usaha telah dilakukan untuk miniaturisasi sensor pH
dengan menggunakan teknologi monolitik dan teknologi
film tanpa mengubah fungsinya agar dapat lebih
menghemat ruang dan biaya. Seiring dengan perkembangan teknologi mikroelektronika saat ini, teknik
microfabrication dapat digunakan secara efektif untuk
pembuatan sensor elektro-kimia seperti sensor pH [5-7].
Pada tulisan ini dibahas proses pembuatan sensor pH
menggunakan teknologi film tebal (screen priting) yang
terdiri dari elektroda referensi dan elektroda indikator
dalam bentuk pellet berdiameter 1,5 mm. Untuk elektroda
referensi digunakan bahan Silver-silver clhoride
(Ag|AgCl) sedangkan untuk elektroda indikator
digunakan bahan antimoni (Sb). Penelitian ini
merupakan bagian dari pembuatan multi-sensor untuk
pemantauan kualitas air di Pusat Penelitian Elektronika
dan Telekomunikasi LIPI [8].

2. Metode Penelitian
Teknologi film tebal (TFT) merupakan salah satu
bagian dari teknologi proses mikroelektronika untuk
fabrikasi komponen komponen elektronika secara
screen-printing. Sejak petengahan tahun 1960,
teknologi proses film tebal telah digunakan untuk
meminiaturisasi suatu rangkaian elektronika ke dalam
sebuah keping substrate, karena kemampuannya
menghasilkan jalur konduktor yang sangat kecil (fine
line) [9-11]. TFT telah banyak digunakan secara luas
dalam industri komponen hibrid mikroelektronika dan
diaplikasikan dalam berbagai bidang, seperti otomotif,
telekomunikasi, medik, dan pengembangan sensor dan
aktuator. Material utama yang digunakan dalam
teknologi film tebal adalah substrat alumina (Al2O3) dan
pasta. Substrat merupakan media tempat komponen film
tebal diimplementasikan, sedangkan pasta adalah bahan
pembentuk komponen film tebal, yang diformulasikan
sedemikian rupa sehingga dapat dibentuk melalui proses
pencetakan. Proses film tebal (thick film process) terdiri
dari beberapa tahap yang meliputi pembuatan screen,
pencetakan
(printing),
pengeringan
(drying),
pembakaran (firing), trimming dan sejumlah proses
tambahan lain seperti proses pemasangan kaki (lead
frame) dan pengemasan (enkapsulasi).
Keasaman atau kebasaan dari suatu larutan ditentukan
oleh konsentrasi ion hidrogen atau persentase ion

hidrogen yang terdapat dalam larutan. Terdapat dua

definisi tentang nilai pH. Definisi pertama adalah
definisi teoritis yang menyatakan bahwa nilai pH
merupakan negatif logaritma basis sepuluh dari aktivitas
ion hidrogen.
pH = - log aH+

(1)

Definisi kedua adalah definisi praktis yang merupakan

hasil dari pengukuran dengan elektroda pH. Dua buah
elektroda yang direndam dalam sebuah larutan
menghasilkan beda tegangan yang terukur. Dengan
syarat bahwa sebuah elektroda (elektroda referensi)
selalu menghasilkan potensial konstan dan potensial
dari elektroda kedua (elektroda indikator) adalah fungsi
dari nilai pH. Pengukuran tegangan dapat dilakukan
menggunakan persamaan Nernst:
E = Eo

2,303RT
1
log
F
(a H + )

(2)

dengan,
R = Konstanta gas umum (8,3145 J/(K*mol))
F = Konstanta Faraday (96485 C/mol)
E0 = Potential elektroda acuan (mV)
T = temperature (K)
Dari Pers. (2) secara jelas menunjukkan bahwa tegangan
yang diukur memiliki hubungan linier pada nilai pH.
Dalam pengukuran praktis, beda potensial E
dikonversikan kedalam nilai pH sebagai data kalibrasi.
Pengukuran nilai pH juga tergantung pada suhu dari
larutan yang diukur. Pada umumnya, konfigurasi pH
meter terdiri dari elektroda gelas, elektroda referensi,
dan sebuah penguat dc yang memiliki tahanan dalam
yang sangat besar (orde Mohm), namun ada juga yang
dilengkapi dengan sensor temperatur sebagai faktor
koreksi.
Sebagai pengganti elektroda gelas bahan tungstens
(W2O3) yang selama ini banyak digunakan, bahan
antimoni (Sb2O3) telah dipakai di laboratorium sebagai
elektroda pH [12-13]. Penggunaan elektroda antimoni
bagi pengukuran pH telah diperkenalkan oleh Nilson
dan Edwall [12]. Proses elektroda ini diformulasikan
sebagai berikut:
Sb2O3 + 6H+ + 6e- 2Sb + 3H2O

(3)

Salah satu keunggulan dari elektroda antimoni adalah

memiliki resistansi dalam yang sangat rendah sehingga
dimungkinkan untuk digunakan dalam instrumen
pengukuran pH yang cepat. Saat ini penggunaannya
terbatas pada aplikasi yang mana elektroda gelas tidak
sesuai. Kemiringan elektroda antimoni adalah antara 52
ke 57 mV/pH pada suhu 25 oC, tergantung pada
konfigurasinya. Akurasinya dipengaruhi oleh sejumlah
parameter dan umumnya 0,15 pH.

JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO. 1, MARET 2011: 7-12

Sel potensiometri terdiri atas salah satu sel setengah

yang disebut potensial acuan dan potensial sel setengah
lainnya menunjukkan konsentrasi larutan. Elektroda
referensi idealnya memiliki potensial yang stabil
sehingga segala perubahan yang terjadi pada Esel
disebabkan oleh elektroda indikator akibat terjadinya
perubahan pada konsentrasi larutan. Menurut Oehme
[14], kebutuhan sistem referensi meliputi: a) kestabilan
potensial (potential stability) (< 0,1 mV), b) kemampuan
mengulang potensial (0,5 mV), c) kestabilan suhu
(temperature stability), d) resiko minimal sistem
referensi dari keracunan larutan uji, e) mudah dalam
perawatan (easy maintenance)
Elektroda referensi yang umum digunakan adalah
elektroda perak-perak klorida, yang didasarkan pada
pasangan redoks antara AgCl dan Ag.
AgCl(s) + e- Ag(s) + Cl-(aq)

(4)

Desain dan Fabrikasi Sensor pH: Tahapan Proses

Pembuatan Sensor pH. Proses pembuatan sensor pH
terdiri dari beberapa tahap yaitu desain tata letak dari
elektroda, penyiapan substrate, persiapan screen,
pembuatan masker, pencetakan jalur konduktor dan
enkapsulasi, pengeringan (drying), pembakaran (firing)
dan membuat pellet untuk elektroda indikator dan
referensi. Tahapan desain meliputi pemilihan bahan,
menentukan bentuk geometris dan ukuran sensor, serta
pembuatan masker. Ada dua masker yang digunakan

yaitu: masker untuk jalur konduktor, lapisan isolasi.

Pencetakan (printing) dilakukan dengan menggunakan
mesin screen printer Accu-coat 3230 (Aremco Products
Inc.), pengeringan dilakukan dengan laboratory oven
National dan pembakaran dilakukan dengan conveyor
furnace (RTC Radiant Technology Corp.). Pengeringan
dilakukan pada suhu 150 oC selama 20 menit dan
pembakaran dilakukan pada suhu 850 oC selama 45
menit. Tahapan proses pembuatan sensor pH secara
detail bisa dilihat pada Gambar 1.
Dalam mendesain pola tata letak perlu juga diketahui
bagian yang terlebih duhulu dicetak menggunakan
teknik screen printing. Konduktor merupakan bagian
awal yang akan dicetak kemudian ditutupi dengan
enkapsulasi. Pada Gambar 2 memperlihatkan urutan
proses pembuatan sensor pH dengan menggunakan
teknologi film tebal. Sedangkan untuk Gambar 3
memperlihatkan penampang melintang (cross-sectional)
dari sensor pH tersebut.
Bahan-bahan yang digunakan pada pembuatan sensor
pH ini antara lain untuk substrat digunakan alumina
(Al2O3), pasta konduktor tipe ESL-9912A dipergunakan

Gambar 2. Urutan Proses Pembuatan Sensor pH

Gambar 1. Tahapan Pembuatan Sensor pH

Gambar 3. Penampang Cross-sectional dari Sensor pH

10

JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO. 1, MARET 2011: 7-12

untuk jalur konduktor dan pasta protective coating tipe

ESL 240-SB digunakan untuk lapisan enkapsulasi
(coating).
Sehubungan dengan tidak tersedianya antimoni dan
perak-perak klorida dalam bentuk pasta, maka tepung
(powder) antimoni dan perak dicetak dan ditekan
dengan bantuan sebuah jig berbentuk bulat berdiameter
1,5 mm kemudian ditekan dengan sebuah mesin press
dengan besar tekanan yang diberikan kepada alat
pencetak tersebut sebesar 75 kg/cm2. Serbuk yang
telah tertekan akan membentuk pellet dengan diameter
1,5 mm dan ketebalan 0,12 mm.
Elektroda referensi yang digunakan dalam penelitian ini
adalah elektroda berbahan perak-perak klorida. Langkah
awal dalam pembuatan elektroda ini yakni membuat
pellet perak yang selanjutnya adalah melekatkan pellet
tersebut pada ujung jalur konduktor lainnya dengan
menggunakan bahan perekat silver conductive.
Sedangkan untuk pelapisan perak dengan perak klorida
dapat dilakukan dengan proses electroplating. Dalam
proses electroplating ini menggunakan larutan elektrolit
KCl 3 M dan larutan NaCl 0,1 M dengan menambahkan
NaOH 0,1 M hingga mencapai nilai pH = 11. Sebuah
batang emas digunakan sebagai katoda. Besar arus yang

(a)

(b)
Gambar 5. (a) Proses Electroplating Referensi Elektroda,
(b) Hasil Pelapisan Ag|AgCl

Gambar 6. Hasil Akhir Sensor pH

dialirkan ke kedua elektroda ini sebesar 100 A selama

1 jam dengan jarak kedua elektroda 1 cm. Pada Gambar
5 terlihat hasil pelapisan Ag|AgCl.
(a)

Selanjutnya elektroda Ag|AgCl yang berbentuk pellet

dilekatkan sepotong selang yang berdiameter sama
dengan pellet menggunakan lem silikon. Setelah
melekatkan selang pada pellet maka ke dalam selang
tersebut diisi gel KCl hingga penuh lalu sensor pH
direndam dalam larutan KCl jenuh sebelum digunakan.
Gambar 6 merupakan hasil akhir dari pembuatan sensor
pH.

3. Hasil dan Pembahasan

(b)
Gambar 4. (a) Serbuk Antimoni dalam Bentuk Pellet,
(b) Jig yang Dipakai untuk Membuat Pellet
Antimoni

Pengujian Elektroda Referensi. Pengujian elektroda

ini menggunakan dua buah elektroda referensi buatan
industri sebagai perbandingan. Elektroda pertama
(elektroda A) adalah buatan Bioanalytical Systems West
Lafayette, In USA model MW2030 dan elektroda kedua
(elektroda B) adalah buatan WTW (WissenschaftlichTechnische Werkstatten Gmbh). Pengujian ini

JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO. 1, MARET 2011: 7-12

dilakukan untuk mengetahui apakah kedua elektroda

referensi tersebut dalam keadaan baik. Pengujian
dilaksanakan dalam larutan KCl 3,5 M dengan elektroda
A dihubungkan pada kutub positif voltmeter dan
elektroda B pada kutub negatif voltmeter. Berikut hasil
pengukuran beda potensial yang ditunjukkan dalam
Gambar 7.
Dalam pengujian tersebut memperlihatkan hasil
pengukuran beda potensial antara elektroda A dan
elektroda B relatif konstan dengan range kesalahan ratarata adalah:

eav =

Vmaks Vmin
= 0,001V
2

(5)

Dengan demikian kedua elektroda ini layak digunakan

dalam berbagai pengukuran selanjutnya.
Pengujian Elektroda Referensi Buatan Vs Elektroda A.
Pengujian dilaksanakan dalam larutan KCl 3 M dengan
elektroda A pada kutub positif voltmeter dan elektroda
referensi buatan pada kutub negatif. Berikut hasil
pengukuran beda potensial yang ditunjukkan dalam
Gambar 8.

11

Dalam pengujian tersebut memperlihatkan hasil

pengukuran beda potensial antara elektroda referensi
buatan dan elektroda A relatif konstan dengan range
kesalahan rata-rata adalah:

eav =

Vmaks Vmin
= 0,0015 V
2

(6)

dengan demikian elektroda referensi buatan tersebut

berfungsi sebagaimana mestinya sehingga dapat
digunakan dalam sensor pH film tebal.
Pengujian Elektroda Antimoni. Pengujian ini
dilakukan untuk mengetahui apakah elektroda antimoni
yang telah dibuat dapat memberikan respon sesuai
dengan yang diharapkan terhadap elektroda referensi
buatan (ERB). Pengujian dilaksanakan dalam larutan
pH buffer 2, 4, 7, dan 9 dengan elektroda referensi
buatan pada kutub negatif voltmeter dan elektroda
antimoni pada kutub positif. Berikut hasil pengukuran
beda potensial terhadap pH yang ditunjukkan pada
gambar 9 dan 10.
Gambar 9 menunjukkan grafik tegangan yang
dihasilkan sebagai fungsi pH. Untuk elektroda antimoni
memiliki waktu transient sebesar 5 menit sebelum
mencapai keadaan steady state. Besarnya slope
kemiringan pada pengujian elektroda antimoni Vs
elektroda referensi buatan adalah -0,0572 volt/pH
dengan fluktuasi 0,0038 volt/pH.

Gambar 7. Grafik Hasil Pengukuran Elektroda A Vs

Elektroda B

Gambar 9. Grafik Pengukuran Elektroda Antimoni Vs

ERB

Gambar 8. Hasil Pengukuran Elektroda

Buatan Vs Elektroda A

Referensi

Gambar 10. Grafik Pengukuran pH Elektrod Antimoni

Vs ERB

12

JURNAL ILMIAH ELITE ELEKTRO, VOL. 2, NO. 1, MARET 2011: 7-12

Elektronika dan Telekomunikasi (PPET) LIPI yang

telah memberikan bimbingan teknis.

Daftar Acuan

Gambar 11. Grafik Kestabilan Tegangan Elektroda pada

pH Buffer 4 Antimoni Vs ERB

Untuk mengetahui tingkat kesetabilan nilai tegangan

yang dihasilkan sensor, maka dilakukan pengukuran
menggunakan pH buffer 4 hingga hari kelima. Data
pengukuran selama lima hari dapat dilihat pada Gambar
11.

4. Simpulan
Proses desain dan pembuatan sensor pH dengan
menggunakan teknologi film tebal (thick film) telah
berhasil dilakukan. Kemudian dari hasil pengujian dapat
ditarik beberapa simpulan sebagai berikut: 1) Hasil
pengujian elektroda referensi buatan terhadap elektroda
komersial memiliki tegangan yang relatif stabil (0.15
mV). Dengan demikian elektroda referensi buatan
tersebut berfungsi sebagaimana mestinya sehingga
dapat digunakan dalam sensor pH; 2) Untuk elektroda
indikator, elektroda antimoni memiliki waktu transient
sebesar 5 menit sebelum mencapai keadaan steady
state. Besarnya slope kemiringan pada pengujian
elektroda antimoni Vs elektroda referensi buatan adalah
-0,0572 volt/pH dengan fluktuasi 0,0038 volt/pH.
Dalam penelitian ini masih banyak ditemui beberapa
kekurangan yang diharapkan pada penelitian
selanjutnya dapat lebih disempurnakan. Beberapa hal
yang perlu diperhatikan antara lain: 1) Jumlah sample
pH buffer perlu diperbanyak agar sensitifitas pH buffer
lebih jelas terlihat dan dapat menentukan besarnya
range pengukuran elektroda tertentu; 2) Seluruh
pengujian sebaiknya dilakukan pada suhu ruangan
tertentu misalnya 25 oC dan usahakan suhu tersebut
konstan hingga akhir pengujian; 3) Untuk mengetahui
seberapa besar pengaruh suhu pada pengukuran pH
maka tentunya diperlukan pengujian pada suhu yang
berbeda-beda dalam larutan pH buffer tertentu.

Ucapan Terima Kasih

Penulis mengucapkan terima kasih kepada rekan
peneliti Bapak Hiskia Ph.D. dari Pusat Penelitian

[1] V.d. Berg, P. Bergveld, Analytical Methods and

Instrumentation, TAS'96 Conference, Basel, 1996.
[2] A. Manz, E. Verpoorte, D.E. Raymond, C.S.
Effenhauser, N. Burggraf, H.M. Widmer, In: A.v.d.
Berg, P. Bergveld (Eds.), Micro Total Analysis
Systems, Mesa-Monograph, Kluwer Academic
Publishers, Dordrecht, 1994, p.274.
[3] D. Harvey, Modern Analytical Chemistry, 1st
edition. Mc Graw-Hill Companies, Inc., United
State of America, 2000, p.134.
[4] K. Slevogt, Principles of Measuring Techniques",
Application Report (CD-ROM), WissenschaftlichTechnische Werksttten (WTW) GmbH, 2002.
p.112.
[5] R.F. Taylor, J. S. Schultz (Ed.) Electrochemical
Sensors: Microfabrication Techniques. Handbook
of Chemical and Biological Sensors, Institute of
Physics Publishing, Bristol, UK, 1996, p.604.
[6] C. Lucat, F. Menil, J.L. Aucouturier, Proc. 3rd Int.
Meeting on Chemical Sensors, Cleveland, Ohio,
1990.
[7] J.K. Atkinson, A.W. Cranny, P.R. Siuda, In: M.
Prudenziati (Ed.), Thick Film Sensors, Handbook
of Sensors and Actuators, vol. 1, Elsevier,
Michigan, 1994, p.471.
[8] Hiskia et al., Proceeding Seminar Nasional
Pengembangan Program R&D Mikroelektronika
dan Aplikasinya, Bandung, 2003.
[9] M. Haskard, K. Pitt, Thick Film Technology and
Applications: Electrochemical Publications, IOM,
2005.
[10] S.J. Pace, J.D. Hamerslag, In: P. G. Edelman, J.
Wang (Ed.), Biosensors & Chemical Sensors,
American Chemical Society, Washington, DC,
1992, p. 261.
[11] C. Lucat, F. Menil, J.L. Aucouturier, Proc. 3rd Int.
Meeting on Chemical Sensors, Cleveland, Ohio,
1990.
[12] F. Nilsson, G. Edwall, Scand. J. Clin. Lab. Invest.
43/6 (1983) A9.
[13] P.W. Alexander, T. Dimitrakopoulos, D.B.
Hibbert, RACI 14th Australian Sysmposium on
Analytical Chemistry, Adelaide, 1997, p.329.
[14] F. Oehme, In: W. Gopel, J. Hesse, J.N. Zemel
(Ed.), Sensors: A Comprehensive Survey,
Chemical and Biochemical Sensor, vol. 2, WileyVCH, Weinheim, 1991, p.734.
[15] J.G. Webster, The Measurement, Instrumentation
and Sensors Handbook, CRC Press & IEEE Press,
Boca Raton FL, USA, 1999, p.2588.