APLICAES DO XIDO DE SILCIO NA

TECNOLOGIA DE FABRICAO DE DISPOSITIVOS

APLICAES DO XIDO DE SILCIO NA

TECNOLOGIA DE FABRICAO DE DISPOSITIVOS

ESTRUTURA DO XIDO DO SILCIO

PROCESSOS BSICOS (DIFUSO E REAO) P/

OXIDAO DO SILCIO

CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A

OXIDAO TRMICA P/ FORMAO DO SiO2

XSi (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) 0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO2)

INFLUNCIA DA EXPANSO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE

ISOLAO POR OXIDAO LOCAL (LOCOS)

OXIDAO TRMICA DO SILCIO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

OXIDAO CONTROLADA POR DIFUSO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

OXIDAO CONTROLADA POR DIFUSO

OXIDAO CONTROLADA POR REAO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
PARABLICA

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
LINEAR

B/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
LINEAR

B/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
LINEAR

B/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
PARABLICA FATORES QUE ALTERAM D e C*, ALTERAM B

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA
LINEAR

B/A

FATORES QUE ALTERAM k e C*, ALTERAM B/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

ORIENTAO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

PRESSO E
ORIENTAO

TAXA PARABLICA:
OXIDAO CONTROLADA
PELA DIFUSO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

LMINAS DE Si DOPADAS COM FSFORO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

LMINAS DE Si DOPADAS COM BORO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO