BAB II

TINJAUAN PUSTAKA
2.1. Plasma Penghalang Dielektrik
Plasma dapat dibangkitkan dengan teknik lucutan plasma penghalang dielektrik yang
sering disebut dengan plasma senyap (silent plasma) merupakan sistem tertutup. Dengan
menggunakan geometri elektroda berbentuk silinder koaksial atau bidang dengan lapisan
penghalang dielektrik (Korzekwa, et al, 1998). Sistem reaktor plasma senyap dengan
penghalang dielektrik ini dapat ditunjukkan pada gambar 2.1.

Gambar 2.1. Sistem Reaktor Plasma Senyap dengan penghalang dielektrik.

Adanya lapisan penghalang dielektrik akan menghalangi lucutan plasma yang

terbentuk. Hal ini disebabkan karena muatan-muatan yang tertinggal pada permukaan
dielektrik yang dapat mengurangi medan listriknya. Lucutan ini dapat dibentuk dengan
pelipatgandaan elektron yang bergerak dari elektroda aktif yang terakumulasi pada bahan
dielektrik (yang melindungi elektroda pasif) pada waktu yang bersamaan. Aliran muatan
pada 10-100 ns memungkinkan terjadinya perpindahan muatan selama waktu itu. Muatan
elektron (negatif) ini dikumpulkan pada permukaan dielektrik sebagai muatan bebas
(Kuraica, et al, 1996).
Apabila gas yang digunakan merupakan gas yang memiliki keelektronegatifan tinggi
(mis: gas oksigen (O2)), maka molekul ini akan mudah menangkap elektron sehingga
bermuatan negatif dan akan dipercepat menuju anoda. Atom atau partikel elektronegatif dari
gas oksigen tidak akan terdeposisi pada katoda, karena mempunyai muatan yang sama
(Spryout, et al, 1994 ).

Gambar 2.2 Ilustrasi lucutan plasma penghalang dielektrik pada daerah unipolar (Chen, 2002).

2.2. Ozon (O3)

Ozon adalah senyawa kedua yang paling penting, yang juga ditemukan di dalam udara
tercemar. Kosentrasi ozon tinggi terdapat di stratosfer, ozon mempunyai tujuan yang
menguntungkan yaitu untuk menyaring radiasi ultraviolet (UV) yang berbahaya dari
matahari. Konsentrasi ozon di dalam udara yang tidak tercemar biasanya rendah (20-50
ppbv) (Radojevic, 1999).
.Ozon merupakan pengoksidasi terkuat kedua setelah flour. Sifat pengosidasi yang kuat
ini ditunjukkan dengan potensial yang tinggi :
O2(g) + 4H+ + 4e- 2H2O Eo = +1,23V
O3(g) + 2H+ + 2e- H2O + O2(g) Eo = +2,07V
Sifat sifat alotropi ozon dapat dilihat di table 2.1 (Shienko, 1979).
Tabel 2.2 Sifat alotropi dari ozon (Shienko, 1979)
Sifat alotropi
Panjang ikatan, nm
Titik lebur normal, K
Titik didih normal,
Rapat cairan (90 g/ml)

Ozon (O 3)
0.1278
80.5
161.7
1.71

2.3. Oksigen (O2)

Oksigen merupakan alotropi, karena unsurnya dapat dibentuk lebih dari satu bentuk

ikatan atom. Pada saat energi ditambahkan oksigen (O) dapat berubah menjadi diatom
oksigen (O2), serta dapat menghasilkan triatom molekul ozon O 3. Ozon merupakan hasil
reaksi yang terbentuk dari gas oksigen (Sienko, 1979).
Oksigen merupakan pengoksidasi yang baik, hal ini dapat ditunjukkan dengan
potensial reduksinya yang tinggi:
O2 g + 4H 4e 2H2O
E1.23V
2.4. Penghalang Dielektrik (Dielectric Barrier)
Dielektrik merupakan material non konduktor yang semua elektronnya terikat kuat pada
atom-atomnya dan tidak dapat bergerak bebas di dalam material tersebut. Di bawah
pemakaian sebuah medan listrik luar, elektron-elektron yang terikat dari sebuah atom
digeserkan sehingga titik pusat awan elektron terpisah dari titik pusat inti. Maka atom itu
dikatakan terpolarisasi, sehingga menciptakan sebuah dipol listrik (polarisasi elektronik)
(Rao, 2001).

Gambar 2.3 Dipol listrik yang tersebar secara acak dari suatu dielektrik polar tanpa
kehadiran medan listrik luar. (Tipler, 1991)