Anda di halaman 1dari 2

Fitriana Bahtiar

1206260702
Manufaktur Presisi dan Fabrikasi Mikro
Resume
Photolithography berasal dari kata photo, lithos, dan graphein secara harfiah dapat
diartikan sebagai suatu proses menulis di atas batu dengan bantuan cahaya. Namun, penggunaan
istilah ini pada bidang fabrikasi lebih diartikan sebagai suatu proses memfabrikasi suatu pola
atau pattern di atas sebuah substrat berbahan semikonduktor yang selanjutnya disebut wafer
dengan bantuan cahaya. Proses ini disebut juga dengan istilah semiconductor lithography.
Photolithography terdiri dari beberapa tahapan proses, yaitu penyiapan wafer (substrat
semikonduktor disiapkan dan dibershikan dari pengotor), pelapisan wafer dengan menggunakan
photoresist, prebake (pemanasan awal agar photoresist lebih stabil dan terlapisi sempurna pada
wafer), pemasangan photomask dan pemaparan cahaya (pada photoresist, akan terbentuk pola
yang sesuai dengan photomask), post-exposure bake (pemanasan lanjutan untuk memperhalus
permukaan photoresist), development (menyingkirkan fasa yang berbentuk cairan setelah terjadi
crosslinking), postbake (pemanasan akhir untuk mengeraskan photoresist), transfer pola (pola
dibentuk pada substrat yang tidak tertutupi photoresist, salah satu caranya adalah dengan
menggunakan teknik etsa), dan pengelupasan photoresist.
Hasil dari photolithography ini yang telah dimultiplikasi dan disusun menjadi sebuah
sirkuit yang terintegrasi disebut Integrated Circuit (IC). IC inilah yang berperan penting dalam
teknologi masa kini. Sebagai sebuah gerbang logika, IC yang berfungsi melakukan komputasi.
Semakin kecil ukurannya, maka semakin banyak IC yang dapat diintegrasikan, maka semakin
cepat pula kerja dari komputer.
Sebelum membahas lebih jauh mengenai IC, sebaiknya diawali dulu dengan pembahasan
mengenai material semikonduktor yang digunakan sebagai material dasar pembuatan IC tersebut.
Secara umum, pengertian material semikonduktor sendiri merupakan suatu material yang
bisa menghantarkan listrik lebih baik dari isolator, namun tidak sebaik konduktor. Untuk dapat
menghantarkan listrik dengan baik, ada kondisi-kondisi yang perlu dipenuhi (tergantung dari
material semikonduktor apa yang digunakan). Selain itu, nilai konduktivitasnya juga dapat
diubah-ubah sesuai dengan kebutuhan, sehingga bahan ini dapat digunakan dalam elektronik.

Semikonduktor memiliki dua tipe, yaitu tipe P dan tipe N. Perbedaan tipe ini tergantung
dari material impuritas apa yang diberikan pada semikonduktor. Apabila diberikan impuritas
dengan elektron valensi 5 seperti fosfor, maka aka nada satu elektron yang tidak berpasangan
sehingga bermuatan negatif (tipe N). Sedangkan, apabila material impuritas yang diberikan
memiliki 3 elektron valensi, maka aka nada hole sehingga semikonduktor bermuatan positif
(tipe P).
Dengan dua jenis semikonduktor ini, diciptakanlah komponen dioda. Dioda berfungsi
sebagai penyearah arus. Fungsi sebenarnya dari dioda adalah menghantarkan arus yang arahnya
sesuai, dan menahan arus tersebut apabila arahnya tidak sesuai. Hal ini bisa dilakukan karena
sifat dari dioda itu sendiri. Misalnya dioda p-n, arus akan mengalir dari sisi tipe-p menuju sisi
tipe-n, namun tidak bisa sebaliknya.
Dari komponen dioda ini, dikembangkanlah komponen berkaki tiga yang disebut
transistor. Apabila dioda hanya mampu membiarkan dan menahan arus, transistor bisa
berfungsi sebagai kran arus, switch, dan lain-lain. Selain itu, transistor juga dapat dirangkai
sedemikian rupa hingga berfungsi sebagai gerbang logika. Semakin banyak transistor yang
dirangkai, semakin cepat pula kerja gerbang logika. Oleh sebab itulah, dengan diciptakannya IC
sebagi pengembangan dari transistor yang ukurannya sangat kecil, jumlah rangkaiannya pun
menjadi semakin banyak sehingga semakin cepat pula kerja gerbang logika. Maka dari itu,
semakin kecil ukuran IC yang dapat dibuat, semakin canggih pula mikroprosesor sebuah
komputer bekerja.
Dari penjabaran di atas, kita dapat menarik kesimpulan bahwa teknologi fabrikasi mikro
sangat berperan penting dalam berkembangnya teknologi komputasi dunia.
***

Sumber referensi:
http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html (diakses pada 1 September 2015,
pukul 22.15)
http://www.radio-electronics.com/info/data/semicond/semiconductor/diodes-theorybasics-tutorial.php (diakses pada 5 September 2015, pukul 21.04)
http://teknikelektronika.com/prinsip-dasar-dan-pengertian-semikonduktor-semiconductor/
(diakses pada 5 September 2015, pukul 21.05)

Beri Nilai