Sensor magnetik berbeda dari kebanyakan detektor lain dalam bahwa mereka

tidak
langsung mengukur sifat fisik yang menarik. Perangkat yang memonitor
Sifat seperti suhu, tekanan, regangan, atau aliran memberikan output
yang secara langsung melaporkan parameter yang diinginkan (lihat Gambar 1).
Sensor magnetik,
di sisi lain, mendeteksi perubahan, atau gangguan, dalam medan magnet yang
memiliki dibuat atau dimodifikasi, dan dari mereka memperoleh informasi
tentang sifat
seperti arah, keberadaan, rotasi, sudut, atau arus listrik. itu
sinyal output sensor ini membutuhkan beberapa pemrosesan sinyal untuk
terjemahan
ke dalam parameter yang diinginkan. Meskipun detektor magnetik agak lebih
sulit untuk digunakan, mereka memberikan data yang akurat dan dapat
diandalkan - tanpa fisik
kontak.

Sensor magnetik dapat diklasifikasikan menurut rendah, menengah, dan tinggibidang

kisaran penginderaan. Dalam artikel ini, perangkat yang mendeteksi medan
magnet <1
mg (microgauss) dianggap sensor-bidang rendah; orang-orang dengan berbagai
1 mg sampai 10 G adalah sensor medan bumi; dan detektor yang merasakan
bidang
> 10 G disebut sebagai sensor medan magnet Bias. Tabel 1 daftar magnetik
teknologi sensor dan rentang penginderaan mereka [1].
Sebuah medan magnet adalah besaran vektor dengan baik besar dan arah.
Sensor skalar mengukur total besarnya lapangan tapi tidak arahnya.
Sensor omnidirectional mengukur besarnya komponen magnetisasi
yang terletak di sepanjang sumbu sensitif. Sensor dua arah meliputi arah
dalam pengukuran tersebut. Vektor sensor magnetik menggabungkan dua atau
tiga

detektor dua arah. Beberapa sensor magnetik memiliki ambang built-in

dan menghasilkan output hanya jika melampaui.
Low-Field Sensor

Sensor rendah lapangan cenderung besar dan mahal dibandingkan dengan

magnet lain
perangkat. Perawatan harus diambil untuk memperhitungkan efek lapangan
bumi,
yang variasi harian dapat melebihi rentang pengukuran sensor. perangkat
digunakan untuk aplikasi medis dan pengawasan militer.

SQUID. Yang paling sensitif sensor-bidang rendah superkonduktor yang

kuantum gangguan perangkat (SQUID). Dikembangkan sekitar tahun 1962,
didasarkan pada
Karya Brian J. Josephson di persimpangan titik-kontak yang dirancang untuk
mengukur
arus yang sangat rendah [1]. Magnetometer Squid dapat mendeteksi medan dari
beberapa
femtotesla hingga 9 tesla, jangkauan lebih dari 15 kali lipat. ini
sangat penting dalam aplikasi medis sejak bidang neuromagnetic dari
otak manusia hanya beberapa persepuluh femtotesla sebuah [2]; Medan magnet
bumi,
dengan cara perbandingan, adalah ~ 50 microtesla, atau 0,5 Oersted. cumi-cumi
membutuhkan
pendinginan sampai suhu cair helium (4 kelvin) saat ini, namun perangkat
sedang dalam pengembangan yang akan beroperasi pada suhu yang lebih
tinggi.

Cari-Coil. Dasar pencarian coil magnetometer didasarkan pada Faraday

Hukum induksi, yang menyatakan bahwa tegangan induksi di kumparan
sebanding

dengan medan magnet yang berubah dalam kumparan. Tegangan induksi ini
menciptakan
arus yang sebanding dengan laju perubahan lapangan. sensitivitas
dari pencarian coil tergantung pada permeabilitas inti dan
daerah dan jumlah belitan kumparan. Karena pencarian kumparan bekerja hanya
ketika
mereka berada dalam medan magnet yang bervariasi atau bergerak melalui
satu, mereka tidak bisa
mendeteksi medan statis atau pelan-pelan berubah. Murah dan mudah dibuat,
perangkat biasanya ditemukan di jalan di sinyal kontrol lalu lintas.

Lain Sensor Low-Field. Teknologi-bidang rendah lainnya sensor termasuk

presesi nuklir, optik dipompa, dan magnetometer serat optik. ini
instrumen presisi digunakan di laboratorium dan aplikasi medis.
Misalnya, stabilitas jangka panjang dari magnetometer presesi nuklir
bisa serendah 50 pT / tahun. Magnetometer ini tidak akan dibahas dalam
artikel ini.
Lapangan Bumi (Medium-Field) Sensor
Kisaran magnetik sensor media-bidang cocok baik untuk menggunakan
medan magnet bumi untuk menentukan judul kompas untuk navigasi,
mendeteksi anomali di dalamnya untuk kendaraan penginderaan, dan mengukur
turunan dari
perubahan di lapangan untuk menentukan tingkat yaw.

Flux Gate. Fluks-gerbang magnetometer, sensor yang paling banyak digunakan

untuk
sistem navigasi berbasis kompas, dikembangkan sekitar 1928 dan kemudian
disempurnakan
oleh militer untuk deteksi kapal selam. Perangkat juga telah digunakan
untuk prospeksi geofisika dan operasi pemetaan medan magnet udara.

Gambar 2. Jenis yang paling umum dari fluks-gerbang magnetometer terdiri dari
dua kumparan melilit tinggi permeabilitas inti feromagnetik umum yang
induksi magnetik perubahan dengan adanya medan magnet luar.
Jenis yang paling umum, yang disebut perangkat harmonik kedua [3-5],
menggabungkan
dua kumparan, primer dan sekunder, melilit umum tinggi permeabilitas
inti feromagnetik. Magnetik perubahan induksi inti dalam kehadiran
dari medan magnet luar. Sebuah sinyal Drive diterapkan pada gulungan primer
pada frekuensi f (misalnya, 10 kHz) menyebabkan inti untuk berosilasi antara
kejenuhan
poin. Gulungan sekunder mengeluarkan sinyal yang digabungkan melalui
inti dari gulungan primer (lihat Gambar 2). Sinyal ini dipengaruhi oleh
perubahan permeabilitas inti dan muncul sebagai variasi amplitudo
dalam output penginderaan coil. Sinyal dapat didemodulasi dengan fase-sensitif
detektor dan low pass disaring untuk mengambil nilai medan magnet. lain
cara memandang prinsip operasi fluks-gerbang untuk merasakan kemudahan
atau resistensi terhadap kejenuhan inti yang disebabkan oleh perubahan yang
magnetik
fluks. Perbedaannya adalah karena medan magnet eksternal.

Sebuah dirancang dengan baik fluks-gate magnetometer dapat mendeteksi

sinyal di puluhan
dari berbagai microgauss, serta ukuran baik besar dan arah
medan magnet statis. Batas frekuensi atas adalah ~ 1 kHz karena

batas frekuensi drive ~ 10 kHz. Perangkat ini cenderung besar dan

tidak begitu kasar seperti kecil, teknologi sensor yang lebih terintegrasi.

Magnetoinductive. Magnetometer Magnetoinductive relatif baru,

dengan paten pertama yang dikeluarkan pada tahun 1989. Sensor ini hanya satu
berkelok-kelok

angka

Gambar 3. Sebuah sensor magnetoinductive hanyalah sebuah kumparan

berkelok-kelok tunggal
inti feromagnetik yang mengubah permeabilitas dalam bidang bumi.
kumparan pada inti feromagnetik yang mengubah permeabilitas dalam bumi
lapangan. Coil adalah elemen induktansi dalam L / R osilator relaksasi.
Frekuensi osilator sebanding dengan lapangan yang diukur.
Sebuah arus DC statis digunakan untuk bias koil dalam daerah linier operasi
(lihat Gambar 3). Sebagai sensor diputar 90 dari diterapkan magnetik
lapangan, pergeseran frekuensi yang diamati dapat sebanyak 100%. osilator
frekuensi dapat dipantau oleh penangkapan seorang mikroprosesor /
membandingkan port
menentukan nilai bidang. Magnetometer ini sederhana dalam desain, murah,
dan memiliki kebutuhan daya yang rendah. Kisaran suhu mereka -20

ke 70 C, dan mereka berulang dalam waktu 4 mG. perakitan otomatis

dan sumbu keselarasan sulit karena ukurannya yang kecil sensor dan yang
konfigurasi fisik.

Anisotropic Magnetoresistive (AMR). William Thompson, kemudian Tuhan

Kelvin [6], pertama kali diamati efek magnetoresistive di ferromagnetic
logam tahun 1856. Penemuannya harus menunggu lebih dari 100 tahun sebelum
tipis
teknologi film bisa membuatnya menjadi sensor praktis. magnetoresistive
sensor datang dalam berbagai bentuk dan bentuk dan digunakan dalam highdensity
membaca kepala untuk tape dan disk drive, serta untuk kecepatan roda otomotif
dan pengukuran crankshaft, navigasi kompas, deteksi kendaraan, dan saat ini
penginderaan.
Sensor AMR sangat cocok untuk mengukur baik linear dan posisi sudut
dan perpindahan dalam medan magnet bumi. Perangkat ini terbuat dari

angka

Gambar 4. Anisotropic sensor magnetoresistive, digunakan untuk mengukur

linier
dan posisi sudut dan perpindahan dalam medan magnet bumi, yang
terbuat dari film tipis nikel-besi diletakkan di atas wafer silikon dan bermotif
sebagai strip resistif.
nikel-besi (Permalloy) film tipis diletakkan di atas wafer silikon dan bermotif
sebagai strip resistif [6-8]. Sifat film menyebabkannya berubah
resistensi sebesar 2% -3% di hadapan medan magnet. Dalam khas
konfigurasi, empat dari resistor tersebut dihubungkan jembatan Wheatstone
(lihat Gambar 4) untuk memungkinkan pengukuran kedua besarnya lapangan
dan arah

sepanjang sumbu tunggal. Bandwidth biasanya di kisaran 1-5 MHz.

Reaksi efek magnetoresistive sangat cepat dan tidak terbatas
oleh kumparan atau frekuensi osilasi.

Sensor AMR dapat diproduksi massal pada wafer silikon dan dipasang di
paket IC komersial, memungkinkan perakitan otomatis dengan sirkuit lainnya

angka

Gambar 5. Anisotropic sensor magnetoresistive menawarkan sensitivitas tinggi,

kecil
ukuran, dan kekebalan terhadap noise.
dan komponen sistem. Mereka juga menawarkan sensitivitas tinggi, ukuran kecil,
dan
kekebalan kebisingan (lihat Gambar 5).

Penjelasan rinci tentang teknologi AMR akan diterbitkan dalam edisi Maret
1999 edisi Sensor.
Bias Sensor Medan Magnet

Kebanyakan sensor industri menggunakan magnet permanen sebagai sumber

magnetik
lapangan untuk dideteksi. Magnet ini menarik, atau bias benda feromagnetik
dekat dengan sensor, yang kemudian mendeteksi perubahan total lapangan
sekitar
sendiri. Sensor medan Bias harus mendeteksi medan yang biasanya lebih besar
daripada bumi, tetapi tidak harus sementara marah atau terpengaruh secara
permanen
oleh medan yang besar. Sensor dalam kategori ini antara buluh switch, InSb
magnetoresistors,

Perangkat Hall, dan sensor GMR. Meskipun beberapa sensor tersebut, seperti
magnetoresistors,
mampu mengukur bidang hingga beberapa teslas, orang lain, seperti GMR
perangkat, dapat mendeteksi medan ke wilayah milligauss dengan penelitian
memperluas
kemampuan mereka ke wilayah microgauss.

Buluh Switch. Buluh switch dapat dianggap sebagai yang paling sederhana
sensor magnetik untuk menghasilkan output yang dapat digunakan untuk kontrol
industri. Ini terdiri
dari sepasang fleksibel, kontak feromagnetik tertutup rapat dalam
gas inert diisi wadah, sering kaca. Medan magnet di sepanjang panjang
sumbu kontak magnetizes kontak dan menyebabkan mereka untuk menarik
satu sama lain, menutup rangkaian. Karena ada hysteresis biasanya cukup
antara penutupan dan melepaskan bidang, switch cukup kebal
fluktuasi kecil di lapangan.

Reed switch bebas perawatan dan sangat kebal terhadap kotoran dan
kontaminasi.
Kontak rhodium berlapis menjamin kehidupan kontak yang lama. Kemampuan
khas adalah
0.1-0.2 Arus switching dan 100-200 V beralih tegangan. kontak
hidup diukur pada 106-107 operasi di 10 mA. Reed switch yang tersedia
dengan biasanya terbuka, biasanya tertutup, dan kelas C kontak. latching buluh
switch juga tersedia. Merkuri dibasahi buluh switch dapat beralih arus
setinggi 1 A dan tidak memiliki mental kontak.

Biaya rendah, kesederhanaan, kehandalan, dan nol konsumsi daya membuat

buluh
switch populer di banyak aplikasi. Penambahan kecil yang terpisah

magnet permanen menghasilkan saklar jarak sederhana yang sering digunakan

dalam keamanan
sistem untuk memantau pembukaan pintu atau jendela. Magnet, ditempelkan
ke bagian bergerak, mengaktifkan saklar buluh ketika datang cukup dekat.
Keinginan untuk merasakan hampir segala sesuatu di mobil adalah
meningkatkan jumlah
buluh berpindah aplikasi penginderaan dalam industri otomotif.
Lorentz Angkatan Devices. Ada beberapa sensor yang menggunakan
Lorentz kekuatan, atau efek Hall, pada pembawa muatan dalam semikonduktor.
itu
Persamaan gaya Lorentz menjelaskan kekuatan FL dialami oleh partikel
bermuatan
dengan biaya q bergerak dengan kecepatan v dalam medan magnet B:

FL = q (v B)

Sejak FL, v, dan B adalah jumlah vektor, mereka memiliki keduanya besar dan
arah. Lorentz kekuatan sebanding dengan produk silang antara
vektor yang mewakili kecepatan dan medan magnet; karena itu tegak lurus
mereka berdua dan, untuk operator bermuatan positif, memiliki arah
dari muka sekrup tangan kanan diputar dari arah v ke arah
arah B. Percepatan disebabkan oleh gaya Lorentz selalu
tegak lurus dengan kecepatan dari partikel bermuatan; Oleh karena itu, dalam
tidak adanya kekuatan lain, pembawa muatan mengikuti jalan melengkung di
medan magnet.

Gambar 6. efek Hall digambarkan oleh semikonduktor slab menunjukkan

medan magnet, tegangan yang diberikan, gaya pada elektron dan lubang, dan
jalur
elektron dan lubang.
The efek Hall merupakan konsekuensi dari gaya Lorentz dalam semikonduktor
bahan. Ketika tegangan diterapkan dari satu ujung lempengan semikonduktor
bahan yang lain, pembawa muatan mulai mengalir. Jika pada saat yang sama
medan magnet diterapkan tegak lurus lempengan, operator saat ini
dibelokkan ke samping oleh gaya Lorentz. Mengisi membangun sepanjang
Sisi sampai medan listrik yang dihasilkan menghasilkan tenaga pada dibebankan
partikel yang cukup untuk melawan kekuatan Lorentz. Tegangan ini di
lempengan tegak lurus dengan tegangan yang diberikan disebut tegangan Balai
(lihat Gambar 6).

Magnetoresistors. Yang paling sederhana perangkat gaya Lorentz adalah

magnetoresistors
bahwa penggunaan semikonduktor seperti InSb dan InAs dengan suhu ruangan
tinggi
pembawa mobilitas. Jika tegangan diterapkan sepanjang lempengan tipis
bahan semikonduktor, arus akan mengalir dan perlawanan dapat diukur.
Ketika medan magnet diterapkan tegak lurus terhadap slab, Lorentz
kekuatan akan membelokkan pembawa muatan. Jika lebar slab lebih besar
dari panjang, pembawa muatan akan menyeberang slab tanpa signifikan
jumlah mereka mengumpulkan sepanjang sisi. Pengaruh medan magnet
adalah untuk meningkatkan panjang jalan mereka dan, dengan demikian,
perlawanan. peningkatan
resistensi dari beberapa ratus persen mungkin dalam bidang yang besar. untuk
menghasilkan sensor dengan ratusan hingga ribuan ohm perlawanan, panjang,
garis semikonduktor yang sempit beberapa mikrometer lebar diproduksi
menggunakan photolithography.

Diperlukan panjang-to-lebar rasio yang dicapai dengan membentuk resistansi

rendah periodik

Gambar 7. Magnetoresistors dapat dibangun dari dikembangkan dengan jarum

berbentuk
-resistansi rendah endapan dari NiSb dalam matriks InSb. endapan
berfungsi sebagai bar korslet.
logam korslet bar di seluruh jejak. Setiap bar korslet menghasilkan ekipotensial
melintasi garis semikonduktor. Hasilnya adalah, pada dasarnya, sejumlah kecil
elemen semikonduktor dengan tepat rasio panjang-to-lebar terhubung dalam
seri.

Metode kedua adalah dengan menggunakan wafer dibelitkan dipotong dari

dikembangkan yang memiliki jarum berbentuk
-resistansi rendah endapan dari NiSb dalam matriks InSb. endapan
berfungsi sebagai bar korslet [9]. Pada Gambar 7, yang menunjukkan efek ini
korslet bar di jalan saat ini, perhatikan bahwa semakin tinggi medan magnet,
semakin lama jalan saat ini dan semakin tinggi resistensi.

Magnetoresistors terbentuk dari InSb relatif tidak sensitif dalam

bidang rendah; di bidang tinggi, namun, mereka menunjukkan perlawanan yang
berubah
kira-kira sebagai alun-alun lapangan. Mereka sensitif hanya itu
komponen medan magnet tegak lurus terhadap slab dan tidak apakah
lapangan adalah positif atau negatif. Koefisien suhu yang besar

angka

Gambar 8. Resistance diplot terhadap bidang untuk magnetoresistor InSb

pada suhu 20C dari, 0C, 25C, 60C, 90C,
dan 120C (atas ke bawah). Perlawanan dinormalkan untuk perlawanan
di lapangan nol.
resistivitas disebabkan oleh perubahan dalam mobilitas pembawa muatan
dengan suhu. Sensor yang dibuat dengan baik resistor tunggal atau berpasangan
dari spasi resistor. Yang terakhir digunakan untuk mengukur gradien medan dan
biasanya dikombinasikan dengan resistor eksternal untuk membentuk sebuah
jembatan Wheatstone.
Sebuah magnet permanen sering tergabung dalam sensor medan gradien
bias magnetoresistors hingga bagian yang lebih sensitif dari karakteristik mereka
kurva. Gambar 8 menunjukkan perubahan InSb sensor khas perlawanan dengan
lapangan dan suhu. Tingkat doping yang berbeda dari bahan semikonduktor
account untuk perbedaan karakteristik dan konduktivitas, misalnya, 200
(omegacm) -1 untuk bahan D dan 550 (omegacm) -1 untuk bahan L.
Sensor Hall. Sensor aula biasanya menggunakan tipe-n silikon saat biaya
adalah yang paling penting dan GaAs untuk kemampuan suhu tinggi karena
untuk band gap yang lebih besar. Selain itu, InAs, InSb, dan semikonduktor
lainnya
bahan yang mendapatkan popularitas karena mobilitas pembawa tinggi yang
menghasilkan sensitivitas dan respon frekuensi kemampuan yang lebih besar di
atas
10-20 kHz khas sensor Si Hall. Kompatibilitas Hall
bahan sensor dengan substrat semikonduktor ini penting karena sensor Balai
sering digunakan dalam perangkat terintegrasi yang meliputi struktur
semikonduktor lainnya.

Sebuah sensor Balai menggunakan geometri yang mirip dengan yang

ditunjukkan pada Gambar 6; dalam hal ini
kasus, bagaimanapun, panjang ke arah tegangan yang diberikan lebih besar
daripada lebar. Pembawa muatan yang dibelokkan ke samping dan membangun
sampai
mereka membuat Balai tegangan slab dengan kekuatan setara Lorentz
berlaku pada pembawa muatan. Pada titik ini perjalanan pembawa muatan
tersebut
panjang dalam garis lurus sekitar, dan tidak ada biaya tambahan membangun
up. Karena jalur pembawa muatan akhir pada dasarnya sepanjang diterapkan
medan listrik, ketahanan end-to-end perubahan sedikit dengan magnet
lapangan. Ketika tegangan Hall diukur antara elektroda ditempatkan di

angka

Gambar 9. Tiga efek Hall sensor yang terbuat dari bahan semikonduktor yang
berbeda
menunjukkan resistensi masukan yang berubah dengan suhu.
tengah setiap sisi, tegangan diferensial yang dihasilkan sebanding
dengan medan magnet tegak lurus terhadap pelat. Hal ini juga mengubah tanda
saat
tanda perubahan medan magnet. Rasio tegangan Hall ke
arus input disebut perlawanan Hall, dan rasio yang diterapkan
tegangan dengan arus input disebut resistansi masukan.

The Hall resistensi dan meningkatkan tegangan Balai linear dengan bidang
terapan
beberapa teslas (puluhan kilogauss). Ketergantungan suhu
tegangan dan resistansi input diatur oleh ketergantungan suhu

angka

Gambar 10. The Hall tegangan pada 0,05 T (500 Oe) dari beberapa sensor Balai
terbuat dari bahan semikonduktor yang berbeda diplot vs suhu. itu
tegangan input yang diberikan untuk masing-masing bahan.
mobilitas pembawa dan koefisien Hall. bahan yang berbeda
dan tingkat doping yang berbeda menghasilkan timbal balik antara sensitivitas
dan
ketergantungan suhu (lihat Gambar 9 dan 10) [10].

Sensor terintegrasi Hall. Perangkat Balai sering dikombinasikan dengan

elemen semikonduktor untuk membuat sensor terintegrasi. menambahkan
pembanding
dan perangkat output ke elemen Hall, misalnya, menghasilkan unipolar dan
bipolar
switch digital. Menambahkan amplifier meningkatkan tegangan relatif rendah
sinyal dari perangkat Aula untuk memproduksi sensor linear Balai ratiometric
dengan
output berpusat pada satu setengah tegangan suplai. Pemakaian daya bahkan
bisa
dikurangi ke tingkat yang sangat rendah dengan menggunakan tugas rendah
siklus [11].
aksasa Magnetoresistive (GMR) Devices. Medan magnet besar tergantung
perubahan resistensi yang mungkin dalam film feromagnet tipis / nonmagnetic
multilayers logam. Fenomena ini pertama kali diamati di Perancis pada tahun
1988
[12], ketika perubahan dalam perlawanan dengan medan magnet hingga 70%
terlihat.
Dibandingkan dengan perubahan persen kecil dalam perlawanan diamati pada
anisotropic
magnetoresistance, fenomena ini benar-benar magnetoresistance raksasa.

Hambatan dari dua lapisan feromagnetik tipis dipisahkan oleh nonmagnetic tipis

melakukan lapisan dapat diubah dengan mengubah momen yang feromagnetik

lapisan dari paralel ke antiparalel, atau paralel, tetapi dalam arah yang
berlawanan.