PAPER PRAKTIKUM METALOGRAFI

PRINSIP PERBEDAAN :
OPTICAL MICROSCOPE, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, &
TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
Secara umum terdapat perbedaan mendasar dari prinsip penggunaan antara
mikroskop optik (OM) dengan mikroskop electron (SEM & TEM). Sumber
penerangan untuk mikroskop optik menggunakan cahaya sedangkan pada mikroskop
electron menggunakan electron beam atau semacam pantulan electron. Keunggulan
dari penggunaan mikroskop optik adalah alat ini dapat digunakan untuk mempelajari
baik spesimen hidup maupun yang tak bergerak, dan tidak perlu dilakukan dehidrasi
terlebih dahulu.
Selain itu OM juga tidak memerlukan sumber listrik dalam jumlah besar dan
tidak terdapat resiko radiasi. Gambar pada penggunaan mikroskop optik terbentuk
akibat adanya penyerapan gelombang cahaya oleh mata melalui lensa kaca. OM dapat
melakukan perbesaran sampai dengan 1000-4000 X yang mana jauh lebih kecil
apabila dibandingkan dengan mikroskop elektron yang dapat melakukan perbesaran
hingga >50.000 X. Kelemahan dari penggunaan OM adalah resolusinya yang rendah
hanya sampai beberapa sub-mikron atau beberapa ratus nanometer akibat terbatasnya
kemampuan difraksi cahaya.
Sedangkan untuk Mikroskop elektron sendiri terdapat dua jenis yang biasa
digunakan yaitu Scanning Electron Microscope (SEM) dan Transmission Electron
Microscope (TEM). Keduanya sama-sama menggunakan elektron sebagai sumber
untuk mendapatkan gambarnya. Perbedaannya adalah pada SEM berdasarkan pada
scattered electron atau penghaburan elektron sedangkan pada TEM menggunakan
prinsip transmitted electron atau elektron yang ditembuskan melalui sampel.
Scattered electron pada SEM menghasilkan gambar setelah mikroskop
mengumpulkan dan menghitung jumlah elektron yang terhamburkan. Sedangkan
pada TEM, elektron diarahkan langsung ke sampel, sehingga dapat dilihat bahwa

[AUTHOR NAME]

PAPER PRAKTIKUM METALOGRAFI

elektron yang melalui sampel merupakan bagian yang diterangi pada gambar yang
dihasilkan.
Fokusan analisis yang dihasilkan juga berbeda dimana SEM adalah untuk
melihat permukaan sampel serta komposisinya, dan TEM untuk melihat lebih jauh
dan lebih dalam dari permukaan.Yang menjadi keunggulan dari penggunaan SEM
adalah alat ini menghasilkan gambar secara rotasi 3 dimensi. Selain itu SEM juga
dapat digunakan untuk semua jenis sampel baik yang bersifat konduktif maupun non
konduktif (memerlukan stain coating). SEM memiliki perbesaran hingga 50.000 X.
Pada Transmission Electron Microscopy (TEM) perbesaran dapat dilakukan
hingga 500.000 X yang mana menjadi keunggulannya apabila dibandingkan dengan
SEM. Pada TEM sampel yang digunakan harus tipis atau tidak terlalu tebal.
Keunggulan dari penggunaan TEM adalah resolusinya yang tinggi hingga 0.2
nanometer, kemudian dapat menggambarkan secara langsung kisi Kristal serta cacat
yang terdapat pada bagian dalam sampel.
Kelemahan

dari

TEM

apabila

dibandingkan

dengan

SEM

adalah

penggambaran 2 dimensi pada TEM membutuhkan interprestasi lebih lanjut terlebih

dahulu, sedangkan untuk SEM menghasilkan representasi yang akurat secara 3
dimensi. Namun memang secara kemampuan perbesaran dan Resolusi TEM jauh
lebih unggul daripada SEM.
Jenis Mikroskop
Optical
Scanning Electron
Transmission Electron

Resolusi

Perbesara

Sumber

Sampel

~0.2 mm
1.5 nm
0.2 nm

n
1000 X
50000 X
500000 X

Cahaya
Elektron
Elektron

Polished
Bulk Material
Thin Foils

Daftar Pustaka:
College of Engineering, University of Utah. Lec. 3 : Brief Overview of Microscope.
University of Tennessee, Knoxville. Topics 3B & C : Electron Microscopy.

[AUTHOR NAME]

PAPER PRAKTIKUM METALOGRAFI

http://www.differencebetween.net/science/difference-between-tem-and-sem.
http://www.majordifferences.com/2013/10/difference-between-electron-microscope.

[AUTHOR NAME]