Prepa
rasi
Persiapan rangkaian alat, spesimen yang akan dipoles elektrolitik sebagai anoda, katoda
inert dan elektrolit yang memiliki kecocokan untuk proses poles elektrolitik
Melakukan poles elektrolitik dengan parameter arus, lamanya waktu poles dan elektrolit
Polishi yang dipakai sesuai dengan material berdasarkan tabel yang ada hingga diperoleh
ng
polishing film di permukaan sampel
Diagram
Proses
Etsa eletrolitik
diaplikasikan setelah
Elektrolitik
Etsa
poles eletrolitik yang bertujuan untuk
meningkatkan kehalusan permukaan
sampel.
After Electropolisihing
Step I
Step II
Proses :
- Micro-coil yang telah difabrikasi
dimasukkan kedalam rangkaian
elektro-poles dengan arus sebesar
20V selama 60s
- Dilanjutkan dengan proses
elektrolitik etsa menggunakan
elektrolit (NaCl+NH4Cl+H2O) dengan
menggunakan arus sebesar 10V
selama 100s, etching dikontrol
menggunakan switch yang mudah
dioperasikan.
REFERENSI
ASM HANDBOOK VOL.9
FABRICATION OF PRECISE COPPER MICRO-COILS USING ELECTROLYTIC
ETCHING, JAPAN