Junio, 2011

Una revisin general sobre los micro y nano sensores y actuadores, as como su rol en los sistemas microfludicos
Luis Hernndez-Nez
Universidad Nacional de Ingeniera, Lima, Per This work is licensed under the Creative Commons Attribution 2.0 Generic License. To view a copy of this license, visit http://creativecommons.org/licenses/by/2.0/ or send a letter to Creative Commons, 171 Second Street, Suite 300, San Francisco, California, 94105, USA.

Resumen: El presente artculo tiene como propsito brindar un panorama general sobre el desarrollo de los micro- y nano sensores y actuadores; haciendo adems un anlisis detallado sobre determinados sensores y actuadores fundamentales para los sistemas microfludicos. Para cumplir tal fin, se empezar haciendo una clasificacin de los nanosensores y luego se explicar los avances ms relevantes relacionados a cada categora. Como segunda parte del artculo, describiremos algunos de los micro- y nano actuadores de mayor trascendencia en los ltimos tiempos. Posteriormente trataremos en detalle algunos actuadores presentes en los sistemas microfludicos, como los micromezcladores y las microbombas; as como algunos elementos sensores presentes en los dispositivos lab-on-a-chip. Finalmente se mostrarn las conclusiones a las que se lleg luego de hacer esta revisin. Palabras clave: nanoparticula, nanotubos de carbono, microviga en voladizo (microcantilever), punto cuntico (quantum dot), microfluidos, microbombas, micromezcladores, lab-on-a-chip.

1. Micro- y nano sensores

1.1 Introduccin
Los sorprendentes avances en la micro- y nano fabricacin han hecho posible el desarrollo de dispositivos mecnicos con partes mviles de tamao nanomtrico [1]. Si a esto le sumamos las excelentes propiedades fsicas de los nanomateriales (xidos metlicos, polmeros, derivados del carbono, etc.); es sencillo caer en la cuenta de que cada vez se tiene ms y mejores herramientas para desarrollar sensores nuevos con mejores prestaciones y desempeo. Estos factores, han convertido en los ltimos tiempos a los micro- y nano sensores en un campo muy amplio y dinmico; donde constantemente se desarrollan nuevos dispositivos, se observan nuevas
1

Junio, 2011

tendencias y se ampla la gama de aplicaciones posibles. Tanto es as, que por ejemplo, podemos mencionar entre los avances recientes a nuevos nanosensores de gases txicos [2], nanosensores de pH [3], sensores de lactato [4] y sensores de masa nanomecnicos [5]. A estos se suman un sinfn de variables o combinacin de variables que es posible medir con nanosensores como flujo [6], presin [7], humedad [8], entre otros.

1.2 Clasificacin
De lo expuesto en el tem anterior, se desprende que debido a la amplitud de este campo- ser necesario establecer una clasificacin de los nanosensores para poder organizar su estudio. Esto se puede hacer de acuerdo a la aplicacin o a la naturaleza de la variable medida. Una clasificacin bastante completa se encuentra en [9]; no obstante, aqu optaremos por definir cuatro grandes grupos de nanosensores: mecnicos, pticos, qumicos y biolgicos (biosensores). En tal sentido, los subttulos de los tems 1.3 a 1.6 corresponden a la clasificacin de los nanosensores por la que hemos optado.

1.3 Nanosensores mecnicos

Los nanosensores mecnicos cumplieron y cumplen hasta hoy un rol fundamental en el desarrollo de la nanotecnologa. Basta con mencionar a los microscopios de campo cercano (microscopio de efecto tnel [10] y microscopio de fuerza atmica [11]) para sustentar la veracidad de la afirmacin anterior. Sin embargo, dichos microscopios no son los nicos nanosensores mecnicos; en los aos recientes se han desarrollado mltiples sensores basados en vigas en voladizo (cantilevers) y nanotubos de carbono, cuyas prestaciones se pueden calificar cuanto menos de interesantes. A continuacin hacemos un tratado de los principios de funcionamiento y principales usos de los nanosensores mecnicos ms resaltantes.

1.3.1 Microscopio de efecto tnel

El microscopio de efecto tnel es considerado en la categora de nanosensores mecnicos ya que puede ser visto tanto como sensor de desplazamiento o de posicin. Este microscopio fue inventado en 1981 [10] y posee dos elementos principales para su funcionamiento: una sonda que estar a una distancia muy corta de la superficie analizada y un sistema de control de posicin vertical y lateral de alta precisin cuyo actuador es un piezoelctrico. La distancia entre la punta de la sonda y la muestra se mide usando una interaccin cuntica (corriente de tnel) que se manifiesta conforme se acerca la punta a la superficie del material. Esta corriente de tnel est directamente relacionada con la distancia, en consecuencia al ser medida permitir obtener la distancia sonda-muestra. De lo anterior podemos inferir que al barrer de manera controlada una superficie podremos generar su topografa. Una buena resolucin para este microscopio sera 0.1 nm lateral y 0.01 nm en profundidad [12]. En la figura 1 se puede apreciar una representacin esquemtica del microscopio de efecto tnel.
2

Junio, 2011

Figura1. Representacin esquemtica del microscopio de efecto tnel. En (a) se aprecia a escala macro, la superficie a analizar y la sonda del microscopio. En (b) en cambio, podemos ver la relacin de tamao y proximidad de la punta con respecto a la superficie y la corriente de tnel que se genera. Es importante aclarar, que idealmente la punta debe terminar en un solo tomo, pero en la prctica esto generalmente no ocurre as. (Imagen tomada de [13]).

1.3.2 Microscopio de fuerza atmica

Como se hace notar en [14], el microscopio de efecto tnel tena una fuerte limitacin al necesitar que las muestras fuesen conductoras de electricidad. El microscopio de fuerza atmica resuelve ese problema. Este microscopio tambin es capaz de generar la topografa de una superficie; sin embargo, adems puede ser visto como un sensor de fuerza. En ese sentido sus aplicaciones han permitido medir fuerzas de van der Waals, fuerzas de enlaces qumicos, fuerzas magnticas, fuerzas de Casimir, entre otras, segn se menciona en [9]. Se ha obtenido experimentalmente resoluciones de 10-12 N, pero el lmite terico ha sido estimado en 10-18N [15]. El principio de funcionamiento de este microscopio de campo cercano, se basa en la fuerza atmica entre una punta fina (idealmente una que termine en un solo tomo), que se encuentra en el extremo de una micro viga en voladizo (cantilver) muy flexible, y la superficie. A medida que la punta se acerca, las nubes electrnicas tienden a repelerse, esto genera una fuerza que est relacionada con la distancia entre la punta y la muestra. Esto nos permite conocer la topografa de la superficie al hacer un barrido sobre la misma manteniendo la fuerza constante. Esto se logra mediante un laser y un arreglo de fotodiodos con los que se sensa la posicin del extremo

Junio, 2011

del cantilver flexible (deformacin constante, implica fuerza constante). En la figura 2 se muestra una representacin esquemtica del microscopio de fuerza atmica.

Figura 2. Representacin esquemtica del microscopio de fuerza atmica. En la imagen superior observamos con claridad, como se deforma el micro cantilver y como su deformacin es medida usando un laser y un arreglo de fotodiodos. En la imagen en vista detalle, se hace evidente la interaccin cuntica de tipo fuerza atmica que ocurre entre las nubes electrnicas de los tomos de la superficie y los de la punta. Cabe decir, que la resolucin de un microscopio de fuerza atmica depender fundamentalmente de la punta, aunque otras condiciones como vaco tambin pueden aumentar la resolucin [14]. (Imagen tomada de [16])

1.3.3 Nanosensores mecnicos basados en nanotubos de carbono

Las excelentes propiedades mecnicas, trmicas y elctricas de los nanotubos de carbono (CNTs por sus siglas en ingls) los convierten en componentes con gran potencial para constituir materiales inteligentes [17]. Esto ha hecho que estos dispositivos reciban una especial atencin por parte de la comunidad cientfica en lo que respecta al desarrollo de nuevos sensores. Tanto es as, que por ejemplo en [18] se hace un tratado extenso solo sobre sensores electroqumicos basados en CNTs. Aqu nosotros haremos un brevsimo resumen de los sensores mecnicos basados en CNTs: En 2003 Ghosh et al [6] construyeron un sensor de flujo basados en CNTs. Su funcionamiento se basaba en la generacin de una corriente/voltaje en un grupo de CNTs de pared simple (SWCNTs) que tena lugar cuando el grupo de SWCNTs entraba en contacto con el flujo de lquido. En su trabajo encontr que pese a que su diseo implicara una relacin lineal entre el flujo y la corriente elctrica, experimentalmente la data del voltaje inducido se ajustaba mejor a
4

Junio, 2011

una curva exponencial, correspondiendo la saturacin a 10-5m/s. Este trabajo gener optimismo en el concepto del uso de los CNTs en aplicaciones de NEMS (nano electro mechanical systems) como sensores de flujo. Otras variables como presin tambin han podido ser medidas usando CNTs, como se detalla en [7]. Adems, recientemente se han desarrollado aplicaciones para medir tensin mecnica usando CNTs y espectroscopia micro-Raman como se detalla en [19]; y se est investigando la sensibilidad de algunos arreglos de CNTs para ser usados como sensores de masa en aplicaciones especficas [20].

1.3.4 Nanosensores mecnicos basados en cantilevers

Gran cantidad de nanosensores mecnicos basan su funcionamiento en las buenas propiedades elsticas de los cantilevers, ya que su deformacin en fcil de medir, segn se explico en la seccin 1.3.2. La mayor parte de ellos tienen aplicaciones en biologa. Por ejemplo, se pueden usar como sensores de esfuerzo en superficies segn se explica en [1]. Quedando en evidencia la forma de trabajo con lo que se explica en la figura 3.

Figura 3. En esta figura se aprecia claramente cmo se puede emplear un cantilver como sensor de esfuerzo en una superficie. La deflexin, es medida con un laser que luego rebota en un arreglo de fotodiodos al igual que en el caso del AFM; sin embargo, ya se ha probado con xito el uso de mtodos piezorresistivos para realizar esta medicin [21]. (Imagen tomada de [1])

Existen aplicaciones con cantilevers que usan otro principio de medicin, hacen oscilar el cantilver a una frecuencia de resonancia y cuando alguna pequea masa se deposita sobre el mismo, se sabe que esto ha ocurrido, porque la frecuencia vara. A estos sensores tambin se les denomina micro-resonadores y su variacin de frecuencia se detecta determinando el ruido trmico [22]. Aplicaciones de este tipo pueden encontrarse en [23] y [24].

Junio, 2011

1.3.5 Sensores trmicos

Gran parte de los nanosensores trmicos basan su funcionamiento en CNTs y microcantilevers. En el caso de los microcantilevers se usa el efecto bimetlico; es decir el micro cantilver est compuesto por dos materiales con constante de expansin trmica diferente, esto permite que pequeas variaciones de temperatura produzcan deflexiones que pueden ser medidas fcilmente [9]. Figura 4. Esquema de un micro cantilver compuesto de dos materiales de constante de expansin trmica diferentes (Si y Al) deformado por una variacin en la temperatura. (Imagen tomada de [9]) En el caso de los CNTs se vienen desarrollando trabajos que demuestran las buenas prestaciones que se pueden obtener al utilizar arreglos (arrays) de SWCNTs. Tan es as que en [25] se demuestra como un sensor basado en una matriz o arreglo de SWCNTs presenta menor consumo de energa que los sensores de platino tradicionales brindando a la vez mayor sensibilidad.

1.4 Nanosensores pticos

Los nanosensores pticos tienen una alta influencia en biologa, siendo herramientas que cooperaran a mejorar la comprensin que se tiene de los procesos celulares, segn se describe en [26]. Tambin resultan imprescindibles en el bioanlisis donde la mayor parte de aplicaciones son basadas en fluorescencia. El nanosensor debe ser sensible y selectivo a algn tipo especfico de sustancia ante la presencia de la cual emitir fluorescencia. Varios de estos sensores usan matrices de polyacrylamide, algunos casos importantes que han sido reportados son [27] y [28] que corresponden a sensores de glucosa y zinc respectivamente. Adems de las aplicaciones biolgicas, podemos mencionar que tambin han sido usados para sensar humedad [8].

1.5 Nanosensores qumicos

La mayor parte de nanosensores qumicos estn orientados a la deteccin de algn gas en particular. Por ejemplo, en el 2000 Kong et al. [29] demostraron que la conductancia de los SWCNTs semiconductores (S-SWCNTs) sufra incrementos o decrementos significativos ante la exposicin a gases como el CO2 o el NH3. En los ltimos aos la aplicacin de CNTs en sensores de gases ha ido en aumento, una revisin ms profunda de esto puede ser encontrada en [30].

Junio, 2011

Otro avance es el empleo de nanopartculas de paladio en sensores de hidrgeno [31]. El funcionamiento de estos sensores se basa en que el hidrogeno se disocia en presencia de paladio y esta disociacin conduce a cambios en la estructura cristalina. Tanto ha sido el avance de estos sensores en los ltimos aos que incluso se ha reportado una nariz nanoelectronica en [32]. All, Chen et al, proponen un sensor hibrido hecho de un arreglo de nanocables de In2O3, SnO2, ZnO y SWCNTs. Este sensor fue probando con gases industriales como hidrgeno, etanol y dixido de nitrgeno a diferentes concentraciones y temperaturas obteniendo una muy buena selectividad y capacidad de discriminacin. En la figura 4 puede observarse la nariz nanoelectronica.

Figura 4. Sensor hbrido con nanocables( de In2O3, SnO2 y ZnO) y nanotubos de carbono de pared simple. Esta combinacin permite distinguir entre gran variedad de gases, incluso algunos explosivos; por ello sus autores lo denominaron nariz nanoelectrnica. (Imagen tomada de [32])

Junio, 2011

1.6 Biosensores
Varios tipos de biosensores ya han sido tratados hasta este punto. Si hacemos un recuento, podemos mencionar a los de la seccin 1.3.4 que corresponden a biosensores mecnicos y a los nanosensores pticos de la seccin 1.4 cuyas aplicaciones son en su mayora biolgicas. Aparte de ellos, consideramos importante mencionar las aplicaciones de nano partculas de oro y quantum dots.

1.6.1 Nanopartculas de oro

Las nanopartculas de oro han probado ser tiles en el diagnostico de cncer y terapias, segn se reporta en [33]. Esto se debe a su distintividad foto-ptica y a su buena biocompatibilidad como se explica en [34]. Revisiones completas del impacto de las nanoparticulas de oro en biosensado y nanomedicina pueden ser encontradas en [34] y [35].

1.6.2 Quantum dots

Los quantum dots son nanocristales fluorescentes casi esfricos compuestos de material semiconductor. Poseen propiedades nicas y su tamao promedio est entre 2 y 8 nm. En su forma til para la biologa estn en estado coloidal, con tamao similar al de protenas grandes y dispersos en una solucin acuosa. Son cubiertos con molculas orgnicas para estabilizar su dispersin [47]. En la figura 5 se explican las propiedades fotofsicas de los quantum dots. Figura 5. Un quantum dot se excita cuando absorbe un fotn de energa superior a su energa de bandgap, esto resulta en la generacin de portadores de carga. Debido al pequeo tamao de los quantum dots, estos portadores de carga son confinados en un espacio menor al de su tamao convencional en semiconductores a macroescala. Este confinamiento es el causante de la relacin entre el tamao de los quantum dots y sus propiedades optoelectrnicas [48]. Reducir el tamao de un quantum dot genera mayor confinamiento y esto hace que la energa de bandgap sea mayor. La consecuencia ms importante de esto es que la longitud de onda emitida por un quantum dot puede ser modulada ajustando su tamao. (Imagen tomada de [49])

Junio, 2011

Los quantum dots tienen el potencial para ser usados como elementos sensitivos para visualizar marcadores de cncer en fluidos, esto se debe a que poseen alta resolucin de contraste para imgenes mdicas. El empleo de quantum dots permite distinguir hasta los tumores ms pequeos [47].

2. Micro- y nano actuadores

2.1 Introduccin
Al igual que en el caso de los nanosensores, el desarrollo de los nanoactuadores ha sido propiciado por la mejora en los mtodos de nanofabricacin y las excelentes propiedades de ciertos nano materiales. El concepto de nanoactuador al igual que el concepto de nanosensortambin incluye a una amplia gama de dispositivos que van desde los nanoactuadores basados en CNTs [36] hasta los nanoactuadores basados en protenas [37]. En las siguientes secciones describimos los avances de diversos tipos de nanoactuadores.

2.2 Nanoactuadores basados en nanotubos de carbono

Muchos dispositivos nano electromecnicos basados en el movimiento relativo de las paredes de los nanotubos de carbono han mostrado gran potencial. Entre ellos podemos citar dispositivos mecnicos tiles para los actuadores como nanorodajes [38] y nanoengranajes [39]; pero tambin actuadores -propiamente dichos- como los nanomotores [40]. En [41] por ejemplo, se propone un nanoactuador electromecnico basado en nanotubos de carbono, en el que se planea convertir una fuerza axial en un desplazamiento rotacional relativo de las paredes del nanotubo. A su vez la fuerza axial requerida puede ser obtenida a partir de la generacin de un campo elctrico. En la figura 6 se muestra los esquemas de funcionamiento y se describe el proceso.

2.3 Nanoactuadores fotnicos

En esta categora de actuadores encontramos, por ejemplo, nanomotores fotnicos, que funcionan gracias a que un nmero considerable de molculas rotan o cambian su conformacin debido a fotones. Informacin referencial al respecto puede ser encontrada en [43]. Otros actuadores situados en esta categora son las vlvulas moleculares controladas por luz [44], estas fueron desarrolladas modificando una protena encontrada en la bacteria e. coli que en la naturaleza sirve como una vlvula de alivio cuando hay presin excesiva en la clula.
9

Junio, 2011

Figura 6. Representacin esquemtica del nanoactuador. En (a) el estator es la pared interna y en (b) el estator sera la pared externa. En ambos casos se ha numerado con 1 al estator, 2 y 3 se mueven juntos como equivalentes al rotor y 3-4 actan como el par que el autor denomin par nanotornillo-nanotuerca, cuyo funcionamiento se describe en [42], explicando cmo se convierte la fuerza axial en movimiento relativo rotatorio de las paredes del nanotubo. La fuerza axial se obtiene a partir de un campo elctrico generado por las cargas +q y q. (Imagen tomada de [41].

2.4 Actuadores moleculares biolgicos

Este tipo de actuadores, normalmente basan su funcionamiento en protenas o en ADN y requieren algn tipo de combustible para funcionar. Por ejemplo, los motores de ATP basados en protenas requieren protones o molculas de alta energa y las mquinas de ADN necesitan hilos de ADN como combustible [37]. Figura 7. Mecanismo natural de un motor de ATP, interfaceado con biomoleculas ensambladas en una superficie de vidrio para crear un motor hibrido que trabaje en un ambiente no fisiolgico. (Imagen tomada de [37])

10

Junio, 2011

Algunas ventajas de estos actuadores, segn se reporta en [45] son las siguientes: Ahora se tienen disponibles biomotores derivados de sistemas vivos y pueden ser producidos en cantidades considerables. La mayora de biomotores han sido probados con xito in vitro; es decir, fuera de la clula, sobre instrumentos de vidrio. Son manejables individualmente gracias a que su combustible puede ser enviado directamente mediante tubos moleculares. La velocidad promedio de los motores puede ser controlada regulando la razn de alimentacin de combustible Los biomotores pueden ser conectados a otros componentes de un nanosistema para controlar su locomocin.

Dentro de los biomotores, los motores flagelares destacan por su velocidad y par torsional. Estos motores estn presentes en bacterias como el e. coli, su energa es provista por un flujo de iones y su tamao esta alrededor de los 45 nm de dimetro. Est hecho de por lo menos veinte tipos de partes diferentes, la mximo par torsional entregado es 2400 pN-nm y la frecuencia mxima es 300 Hz. Una revisin profunda sobre este motor pueden ser encontrados en [46].

3. Sensores y actuadores en los sistemas microfludicos

3.1 Introduccin
Los microfluidos son la ciencia y tecnologa de sistemas capaces de procesar y manipular pequeas cantidades de fluido (10-9 a 10-18 litros), usando canales con dimensiones entre decenas y centenas de micrmetros [50]. En ellos se busca explotar principalmente dos aspectos: su tamao y sus propiedades al fluir por microcanales, como el flujo laminar. En los inicios de esta disciplina se pens que la fotolitografa, que haba tenido tanto xito en el desarrollo de los sistemas micro electromecnicos, sera aplicable directamente, de hecho se realizaron algunos trabajos usando silicio y vidrio. No obstante, en la actualidad dichos materiales ya han sido reemplazados por polmeros debido a que tanto el silicio como el vidrio resultaban inapropiados para trabajar con muestras biolgicas (no tienen permeabilidad ante gases) y a que era ms simple desarrollar dispositivos como vlvulas o bombas en un material elstico que en uno frgil. Una cantidad considerable de la investigacin experimental hecha en microfluidos ha sido llevada a cabo en poli(dimetilsiloxano), conocido como PDMS, que es un elastmetro suave y pticamente transparente [51].

11

Junio, 2011

Los microfluidos han resultado de especial importancia para la bioqumica, genmica y ensayos farmacuticos gracias a los dispositivos lab-on-a-chip (laboratorio en un chip). Estos dispositivos incluyen sistemas microfludicos, electrnicos y varios elementos sensores. Su importancia recae en la posibilidad que brindan de automatizar procesos de laboratorio, lo cual reduce el tiempo de exmenes biomdicos y en general el trabajo de laboratorio [52]. Para que los sistemas microfludicos y sus aplicaciones (como los dispositivos lab-on-a-chip) sean viables se necesitan ciertos componentes genricos como un mtodo para impulsar y mover el fluido dentro del chip, un mtodo para mezclar fluidos, una forma de introducir reactivos y muestras en el sistema, y una manera de medir variables relevantes para el anlisis que se haga [50]. Ello implica que se requieren actuadores como las microbombas y los micromezcladores, y tambin algunos sensores. En los tems 3.2 al 3.4 se trata en detalle cada uno de estos componentes.

3.2 Micromezcladores
En los sistemas microfludicos como los lab-on-a-chip es muy importante lograr la mezcla de fluidos para poder realizar anlisis biolgicos o qumicos [53]. Esto no es fcil de lograr, ya que a diferencia de los fluidos en escala macro, en la escala micro los nmeros de Reynolds son muy pequeos (generalmente menores a 1); en consecuencia, los flujos son laminares y la mezcla por turbulencia no ocurre. Debido a ello, la difusividad juega un rol importante para lograr la mezcla, pero es un proceso lento. Para resolver este problema es que se hizo necesaria la aparicin de los micromezcladores. En los ltimos tiempos el inters por disear micromezcladores ms eficientes ha ido en aumento, buenas revisiones de las ltimas tendencias pueden ser encontradas en [53] y [54]. En ambas referencias se propone clasificaciones para los micromezcladores, aqu emplearemos la propuesta en [54], por lo que en los subtemas siguientes procederemos a explicar los avances recientes en los micromezcladores pasivos y los micromezcladores activos.

3.2.1 Micromezcladores pasivos

En este tipo de micromezcladores, un mtodo efectivo para obtener una buena mezcla consiste en incrementar el rea de contacto entre los fluidos para as incrementar tambin la difusin. Esto se ha logrado en muchos casos [55-58] mediante configuraciones geomtricas especficas de los canales que permiten la laminacin repetida. Otro mtodo, consiste en incrementar el tiempo de contacto entre los fluidos que se desea mezclar; sin embargo, el uso de este mtodo deviene por lo general en una menor eficiencia de la mezcla y en consecuencia requiere un canal de mezcla ms largo para obtener un buen resultado segn se afirma en [54]. Las ventajas que se le atribuyen a los micromezcladores pasivos son principalmente el no requerir fuentes de energa externas ni usar partes mviles. Adems del mtodo de incrementar la
12

Junio, 2011

difusin (por rea de contacto o tiempo de contacto) descrito en el prrafo anterior, existe la opcin de incrementar los efectos de adveccin catica para obtener una buena mezcla. Dentro de los micromezcladores pasivos existe una subclasificacin de acuerdo a la forma especfica en la que se busca obtener la mezcla, a continuacin exponemos los avances ms notables de algunas de dichas subcategoras. Laminacin Varios de los micromezcladores que usan laminacin funcionan aceptablemente bien pero para nmeros de Reynolds de 33 [55], o incluso hasta en el rango 400-500 [56], esto no sera tan til en aplicaciones comunes de microfluidos donde por lo general el nmero de Reynolds est por debajo de 1 [53]. No obstante, Tofteberg et al [57], presentaron en 2009 una interesante configuracin de canales que puede ser repetida varias veces hasta obtener el nivel de mezcla deseado. La configuracin se muestra y se explica en la figura 8.

Figura 8. El principio de funcionamiento se basa en hacer una rotacin controlada de 90Oseguida de una divisin en varios canales, el flujo rota nuevamente 90 O en cada uno de estos canales para luego ser recombinado nuevamente. (Imagen tomada de [57]). Canales en zigzag En 2002 Mengeaud et al [59] presentaron un interesante micromezclador con canales en zigzag, cuya caracterstica ms interesante consiste en que para un numero de Reynolds de 0.26 la eficiencia de la mezcla aumentaba de 65% a 83.8% conforme la relacin de los parmetros s/w -que se muestran en la figura 9- variaban de 1 a 8. Esto dio indicios de la existencia de una geometra ptima de esta configuracin para determinados nmeros de Reynolds.
13

Junio, 2011

Figura 9. Configuracin de canales en zigzag. (Imagen tomada de [59]). Estructuras en 3D Una de las estructuras en 3D ms conocidas es la estructura en serpentn clsica que propuso Liu et al [60] en 2000, dicha estructura (que se muestra en la figura 10(c)) usa como principio de mezcla la adveccin catica. Tiempo despus en 2005 otras dos configuraciones en 3D fueron comparadas con el serpentn clsico por Xia et al [61], los resultados demostraron que las otras 2 configuraciones generaban mejores mezclas que el serpentin clsico para nmeros de Reynolds bajos. Esto nos permite concluir que para flujos tpicos de Re<1 las otras dos configuraciones seran ms convenientes. Esto fue confirmado en [62]. En la figura 10 se muestran los 3 micromezcladores que fueron comparados.

Figura 10. Micromezcladores comparados por Xia et al. (Imagen tomada de [61])
14

Junio, 2011

3.2.2 Micromezcladores activos

Los micromezcladores activos emplean fuerzas externas para acelerar la difusin entre los fluidos y lograr mezclarlos [63]. Las tcnicas que han sido utilizadas son acsticas/ultrasnicas, pulsos electrocinticos, perturbaciones por presin, flujo magneto-hidrodinmico, fuerza electrohidrodinmica, efectos trmicos, y el mtodo dielectrofortico [54]. A continuacin explicamos algunas de estas tcnicas. Pulsos electrocinticos Este mtodo se basa en aplicar fuerzas electrocinticas para modular el flujo de los fluidos y simultneamente introducir perturbaciones peridicas en el campo de velocidades [64]. Tpicamente se aplican ondas cuadradas o sinodales con frecuencias entre 0.1 y 5 Hz; sin embargo, el solo hecho de colocar conductores cargados en las paredes pude generar vrtices [65].

Figura 11. Mostramos la generacin de vrtices producida por el solo hecho de colocar conductores cargados en las paredes. (Imagen tomada de [65])

15

Junio, 2011

Perturbacin por presin Este mtodo de mezcla se basa en un canal principal y mltiples canales laterales. Los fluidos en el canal principal son revueltos por los pulsos de velocidad de los flujos de fluido de los canales laterales. Como resultado de esto se induce el efecto de adveccin catica y en consecuencia se favorece la mezcla [66].

Figura 12. Micromezclador por perturbaciones de presin. (Imagen tomada de [66])

3.3 Microbombas
Las microbombas -como ya se mencion en la seccin 3.1- son elementos bsicos de los sistemas microfludicos, sus aplicaciones se encuentran por ejemplo en dispositivos lab-on-achip y recientemente se les usa para refrigerar dispositivos microelectronicos [67]. Las microbombas se pueden clasificar en dos grandes grupos: microbombas de desplazamiento mecnico y microbombas electro/magneto cinticas.

16

Junio, 2011

3.3.1 Microbombas de desplazamiento mecnico

Son aquellas que ejercen presin oscilatoria o rotacional en el fluido, por medio de un dispositivo solido, que bien podra ser por ejemplo- un diafragma oscilatorio o elementos rotativos. Tambin se considera en esta categora a aquellas microbombas cuyo principio de funcionamiento se basa en lmites fluido-fluido como las bombas permeables de gas. [67] La subcategorizacin de estas bombas es como sigue: Bombas de Diafragma El funcionamiento de estas bombas es bastante sencillo, se basa en una cmara con vlvulas de admisin y escape. El diafragma al combarse hacia afuera genera vaco y se abre la vlvula de admisin y entra el fluido. Luego, al combarse el diafragma hacia abajo ejerce presin sobre el fluido y se abre la vlvula de escape por la que sal el fluido impulsado. Como se infiere de la explicacin, el movimiento del diafragma deber ser oscilatorio. En la figura 13 se muestra con claridad el proceso aqu descrito. [68]

Figura 13. En (a) se encuentra la bomba con el diafragma sin deformar. En la figura (b) se puede apreciar en el lado derecho la admisin de fluido, cuando el diafragma se mueve hacia arriba (como lo indica la flecha morada), en el lado izquierdo se encuentra la descarga o escape del fluido impulsado por el desplazamiento del diafragma hacia abajo. (Imagen tomada de [68])

17

Junio, 2011

La actuacin sobre el diafragma puede ser hecha mediante un piezoelctrico [69], electrostticamente [70], magnticamente [71], trmicamente [72], neumticamente [73], entre otras. Bombas de desplazamiento de fluido El funcionamiento se basa en la manipulacin del fluido de trabajo por medio de un fluido secundario o auxiliar, sin usar diafragma. El fluido de trabajo debe ser inmiscible con respecto al fluido auxiliar. Algunas formas de hacer esto son: -Usando ferrofluidos [74]. -Por cambio de fase: Dentro de este mtodo se encuentra la bomba de burbujas, cuyo funcionamiento se explica en la figura 14. [75] Figura 15. La bomba de burbujas se basa en el cambio de volumen producido por el cambio de fase de lquido a vapor. El funcionamiento se basa en primero encender el primer calentador para formar una burbuja de vapor, luego se enciende el segundo para generar un gradiente de presin de vapor, esto sumado al gradiente en la tensin superficial deviene en una presin de desplazamiento que es lo que finalmente impulsa al fluido.

(Imagen tomada de [67])

Bombas rotativas Estas son similares a las bombas clsicas, poseen un rotor dentado, una entrada y una salida de fluido [76]. Otro tipo de bomba rotativa usa fuerzas viscosas, una aplicacin de ese tipo puede encontrarse en [77].
18

Junio, 2011

3.3.2 Microbombas electro/magneto cinticas

Estas bombas convierten directamente la energa magntica o elctrica en movimiento del fluido. Dado que esto ocurre de forma ininterrumpida el flujo resultante suele ser estable. Las bombas electrocinticas por lo general generan campos elctricos para empujar iones dentro del canal de bombeo, el impulso se transfiere al fluido debido a la viscosidad [78]. En el caso de las bombas magnetocinticas se emplea la fuerza de Lorentz para mover el fluido.

3.4 Elementos sensores

Una de las aplicaciones ms importantes de los dispositivos lab-on-a-chip son las pruebas biomdicas. Entre ellas destaca la deteccin de patgenos. Para que dicha funcin pueda ser cumplida se necesita integrar ciertos sensores en los dispositivos lab-on-a-chip. Hasta la fecha se ha logrado integrar con xito detectores pticos, detectores electroqumicos, sensores magneto-resistivos, y sensores de resonancia magntica nuclear, segn se afirma en [79]. No obstante, los de mayor aplicacin son los dos primeros. Por tal motivo en las secciones 3.4.1 a la 3.4.3 trataremos de dichos detectores, as como de los sensores de flujo que son elementos frecuentes en los sistemas microfluidicos.

3.4.1 Detectores pticos

Los sensores pticos que se emplean son predominantemente fluorescentes. Por ello se conjuga la afinidad de determinados marcadores con compuestos fluorescentes como fluorescein isothiocyanate o phycoerythrin. Otra alternativa es usar molculas fluorescentes usando transferencia de energa resonante fluorescente (FRET por sus siglas en ingls) como se explica en [80]. Otro caso de integracin de sensores pticos en dispositivos lab-on-a-chip fue reportado en [81].

3.4.2 Detectores electroqumicos

Un ejemplo ilustrativo de la integracin de detectores electroqumicos en dispositivos lab-on-achip se puede encontrar en [82]. All se detalla que el detector electroqumico consiste en electrodos de platino y que su desempeo no se ve afectado por la miniaturizacin dado que ya es posible medir corrientes muy pequeas (picoAmperes), en consecuencia la integracin es posible.

3.4.2 Sensores de flujo

Los primeros sensores de flujo para microfluidos datan de mucho tiempo atrs (1993) [83] y sus prestaciones eran limitadas; ms adelante, en 2000 [84] ya se haba logrado desarrollar sensores capaces de medir caudales incluso para sistemas nanofludicos. Recientemente se ha reportado
19

Junio, 2011

un sensor de flujo con resolucin de hasta 3 nL/min [85]. Su principio de funcionamiento se describe en la figura 16.

Figura 16. En la parte (a) se muestra el sensor, cuyo elemento de contacto es un microcantilever muy flexible. Al pasar el fluido, de acuerdo a su caudal aplicar una presin sobre el microcantilever de modo que este se deformar como se muestra en (b). Esta deformacin ser medida usando un laser y un arreglo de fotodiodos. El laser se refleja en una pequea placa de aluminio que va en la parte superior del sensor. (Imagen tomada de 85)

4. Conclusiones
Luego de realizar esta revisin, podemos decir que desde los inicios de la nanotecnologa, los nanosensores y los nanoactuadores se han constituido como los protagonistas de los avances tecnolgicos ms importantes, expandiendo su influencia a muchas disciplinas y permitiendo el desarrollo de mltiples aplicaciones tiles para la vida del hombre. Desde los primeros nanosensores como el STM y el AFM que revolucionaron las ciencias de los materiales y permitieron el desarrollo de la nanotecnologa (con todas las disciplinas que esta engloba), hasta los recientes avances en dispositivos lab-on-a-chip que permiten hacer anlisis biomdicos y an guardan gran potencial; se han desarrollado una serie de transformaciones cuyos alcances an no apreciamos en su real magnitud, pero que con toda certeza empezarn a mejorar la vida del ciudadano comn de manera ms notoria en los prximos aos. Para darse cuenta de aquello basta con repasar algunas aplicaciones como la deteccin de gases txicos que es posible gracias a nanosensores qumicos o las terapias y diagnsticos de cncer que han mejorado gracias a las nanopartculas de oro y a los puntos cunticos. En definitiva continuar desarrollando ms y mejores nanosensores y nanoactuadores ser clave para mover las fronteras del conocimiento en una gran cantidad de disciplinas cientficas y abrir una gama ms amplia de posibilidades de desarrollo tecnolgico que conduzcan a la solucin de los grandes problemas de la humanidad.

20

Junio, 2011

Referencias
[1] J.L. Arlett, E.B. Myers, and M.L. Roukes, Comparative advantages of mechanical biosensors, Nature Nanotechnology, vol. 6, pp. 203-215, 2011. [2] C. Griessler, et al, Tin oxide nanosensors for highly sensitive toxic gas detection and their 3D system integration, Microelectronic Engineering, doi:10.1016/j.mee.2011.02.017, 2011. [3] P. Li, C.M. Martin, K.K. Yeung, and W. Xue, Dielectrophoresis aligned single-walled carbon nanotubes as pH sensors, Biosensors, vol. 1, pp. 23-35, 2011. [4] C. Boero, et al, Highly sensitive carbon-nanotube-based sensing for lactate and glucose monitoring in a cell culture, IEEE Transactions on NanoBioscience, vol. 10, no.1 pp. 59-67, 2011. [5] R.A. Barton, et al, Fabrication of a nanomechanical mass sensor containing a nanofluidic channel, Nano Lett., vol. 10, pp. 2058-2063, 2010. [6] S. Ghosh, A.K. Sood, and N. Kumar, Carbon nanotube flow sensors, Science, vol. 299, pp. 1042-1044, 2003. [7] J.R. Wood, and H.D. Wagner, Single-wall carbon nanotubes as molecular pressure sensors, Appl. Phys. Lett., vol. 76, no. 30 pp. 2883-2885, 2000. [8] I. Pellejero, et al, An optochemical humidity sensor based on immobilized Nile Red in Y zeolite, Industrial & Engineering Chemistry Research, vol.46, no.8 pp.2335-2341, 2007. [9] V. K. Khanna, Frontiers of Nanosensor Technology, Sensors & Transducers Journal, vol. 103, no.4 pp. 1-16, 2009. [10] G. Binning, H. Rohrer, Ch. Gerber, and E. Weibel, Surface studies by scanning tunneling microscopy, Phys. Rev. Lett., vol. 49, no. 1, pp. 57-61, 1982. [11] G. Binning, C. F. Quate, and Ch. Gerber, Atomic Force Microscope, Phys. Rev. Lett., vol. 56, no. 9, pp. 930-933, 1986. [12] N. Yao, Z. L. Wang, Handbook of Microscopy for Nanotechnology, New York: Kluwer Academic Publishers, 2005, pp. 55-59. [13] S. Woedtke, Ph.D. thesis, Inst. f. Exp. u. Ang. Phys. der CAU Kiel, 2002. [14] Fundacin espaola para la ciencia y la tecnologa, Nanociencia y Nanotecnologa, Publicaciones del ministerio de ciencia e innovacin del gobierno de Espaa, 2009, pp.51-60. [15] R. Wiesendanger, Future Nanosensors, In sensors: a comprenhensive survey, vol. 8, pp. 337-356, 1995.
21

Junio, 2011

[16] G. Drenkow, Whats an atomic force microscope?, Nano images: Where nanotechnology research and art intersect, 2007. [17] C. Li, E. T. Thostenson, and T.-W. Chou, Sensors and Actuators based on carbon nanotubes and their composites: a review, Department of Mechanical Engineering, University of Delaware, Newark, 2007. [18] A. Qureshi, W. P. Kang, J.L. Davidson, and Y. Gurbuz, Review on carbon-derived, solidstate, micro and nano sensors for electrochemical sensing applications, Diamond and Related Materials, vol. 18, no. 12 pp. 1401-1420, 2009. [19] W. Qiu, et al, Carbon nanotube strain sensor by using micro-Raman spectroscopy, XXII International Conference on Raman Spectroscopy Proceedings, vol. 1267, pp. 450-451, 2010. [20] Y. Joshi, et al, An investigation of mass sensitivity of fixed free single walled carbon nanotube based nanomechanical sensor, Current Nanoscience, vol. 6, no. 6 pp. 598-603, 2010. [21] K. W. Wee, et al, Novel electrical detection of label-free disease marker proteins using piezoresistive sel-sensing micro-cantilevers, Biosens. Bioelectron., vol. 20, pp. 1932-1938, 2005. [22] L. G. Carrascosa, et al, Nanomechanical biosensors: a new sensing tool, Trends in Analytical Chemistry, vol. 25, no. 3 pp. 196-206, 2006. [23] K. Y. Gfeller, N. Nugaeva, and m. Hegner, Micromechanical oscillators as rapid biosensors for the detection of active growth of Escherichia coli, Biosens. Bioelectron., vol. 25, pp 528-533, 2005. [24] A. Gupta, D. Akin, and R. Bashir, Single virus particle mass detection using microresonators with nanoscale thickness, Appl. Phys. Lett., vol. 84, pp. 1976-1978, 2004. [25] X. Yang, et al, High sensitivity temperature sensor based on a long, suspended singlewalled carbon nanotube array, Micro & Nano Letters, vol. 5, no.2 pp. 157-161, 2010. [26] J. Kneipp, H. Kneipp, B. Wittig, and K. Kneipp, Novel optical nanosensors for probing and imaging live cells, Nanomedicine: Nanotechnology, Biology and Medicine, vol. 6, pp. 214-226, 2010. [27] H. Xu, et al, Fluorescent nano-PEBBLE sensors designed for intracellular glucose imaging, Analyst, vol. 127, pp. 1471-1477, 2002. [28] J.P. Sumner, J. W. Aylott, E. Monson, and R. A. Kopelman, Fluorescent PEBBLE nanosensor for intracellular free zinc, Analyst, vol. 127, pp. 11-16, 2002. [29] J. Kong, et al, Nanotube molecular wires as chemical sensors, Science, vol. 287, no. 5453 pp. 625-627, 2000.
22

Junio, 2011

[30] T. Zhang, S. Mubeen, N.V. Myung and M. A. Deshusses, Recent progress in carbon nanotube based gas sensors, Nanotechnology, vol. 19, 332001, 2008. [31] I. Pavlovsky, P. Soundarrajan, and Z. Iyaniv, Palladium nanoparticle hydrogen sensor, Gases and Technology, pp. 18-21, July-August 2006. [32] P.-C. Chen, et al, A nanoelectronic nose: a hybrid nanowire/carbon nanotube sensor array with integrated micromachined hotplates for sensitive gas discrimination, Nanotechnology, vol. 20, 125503, 2009. [33] X. Huang, PK Jain, IH El-Sayed, et al. Gold nanoparticles: interesting optical properties and recent applications in cancer diagnostics and therapy, Nanomed, vol. 2, no. 5 pp. 681693, 2007. [34] P.C. Chen, S.C. Mwakwari, and A.K. Oyelere, Gold nanoparticles: From nanomedicine to nanosensing, Nanotechnology, Science and Applications, no. 1, pp. 45-66, 2008. [35] J. Satija, R. Bharadwaj, VVR Sai, and S. Mukherji, Emerging use of nanostructure films containing capped gold nanoparticles in biosensors, Nanotechnology, Science and Applications, no.3 pp. 171-188, 2010. [36] R.H. Baughman, et al, Carbon Nanotube Actuators, Science, vol. 284, no. 5418 pp. 13401344, 1999. [37] A. Dubey, C. Movroidis, and M.S. Tomassone, Design of protein based nano-actuators, ISNM, paper no. 47, 2006 [38] J. Cumings, and A. Zettl, Low-friction nanosclae bearing realized from multiwall carbon nanotubes, Science, vol. 289, no. 5479, pp. 602-604, 2000. [39] D. W. Srivastava, A phenomenological model of the rotation dynamics of carbon nanotube gears with laser electric fields, Nanotechnology, vol. 8, no. 4 pp. 186, 1997. [40] B. Bourlon, D. C. Glatti, L. Forro, and A. Bachfold, Carbon Nanotube Based Bearing for Rotational Motions, Nano Lett. , vol. 4, pp. 709, 2004. [41] S.S. Kuznetsov, Yu.E. Lozovik, and A.M. Popov,The nanoactuator based on a carbon nanotube, Physics if the solid state, vol. 49, no.5 pp. 1004-1012, 2007. [42] Yu. E. Lozovik and A. M. Popov, Fullerenes, Nanotubes, Carbon Nanostruct., vol. 12, pp.485, 2004. [43] E. R. Kay, D. A. Leigh, and F. Zerbetto, "Synthetic Molecular Motors and Mechanical Machines," Angew. Chem. Int. Ed., 46, pp. 72-191,2007.

23

Junio, 2011

[44] A. Kocer,M. Walko, W. Meijberg, B.L. Feringa, "A Light-Actuated Nanovalve Derived from a Channel Protein," Science, vol. 309, no. 5735 pp. 755-757, 2005. [45] D.R. Forrest, R. A. Freitas Jr., and N. Jacobstein, Molecular motors, actuators and mechanical devices, Institute of Molecular Manufacturing, International Technology Roadmap for Productive Nanosystems, July 2007. [46] H. C. Berg, The rotary motor of baterial flagella, Annu. Rev. Biochem., vol. 72, pp. 19-54, 2003. [47] A. M. Smith, et al, Multicolor quantum dots for molecular diagnostics of cncer, Expert Rev. Mol. Diagn., vol. 2, no. 6 pp. 231-244, 2006. [48] C.J. Murphy, and J.L. Coffer, Quantum dots: a primer, Appl. Spectrosc., vol. 56, no.1 pp. 16-27, 2002. [49] A. Smith, XH Gao, and S. Nie, Quantum dot nanocrystals for in vivo molecular and celular imaging, Photochem. Photobiol., vol. 80, pp. 377-385, 2004. [50] G.M. Whitesides, The origins and future of microfluidics, Nature, vol. 442, pp. 368-373, 2006. [51] J. M. K. Ng,I. Gitlin, A. D. Stroock, and G. M. Whitesides, Components for integrated poly(dimethylsiloxane) microfluidic systems, Electrophoresis, vol. 23, pp. 34613473, 2002. [52] A. T. Giannitsis, Microfabrication of biomedical lab-on-a-chip devices, Estonian Journal of Engineering, vol. 17, no. 2 pp. 109-139, 2011. [53] Y. K. Suh, and S. Kang, A Review on Mixing Microfluidics, Micromachines, vol.1, no. 2072 pp. 82-111, 2010. [54] C. Y. Lee, C.-L. Chang, Y.-N. Wang, and L.-M. Fu, Microfluidic Mixing: A Review, International Journal of Molecular Sciences, vol. 12, no. 1422 pp. 3263-3287, 2011. [55] J. Branebjerg, From microfluidic components to micro-TAS, Proceedings of micro Total Analysis Systems Workshop, pp. 21-22, Holanda, Noviembre 1994. [56] S.H. Wong, M. C. L. Ward, and C.W. Warthon, Micro T-mixer as rapid mixing micromixer, Sens. Actuators, vol. 100, pp. 359-379, 2004. [57] T. Tofteberg, et al, A novel passive micromixer: Lamination in a planar channel system, Microfluid. Nanofluid., vol. 8, pp. 209-215, 2010. [58] W. Buchegger, et al, A highly uniform lamination micromixer with wedge shaped inlet channels for time resolved infrared spectroscopy, Microfluid. Nanofluid., vol. 10, pp. 889-897, 2011.
24

Junio, 2011

[59] V. Mengeaud, J. Josserand, and H.H. Girault, Mixing processes in a zigzag microchannel: Finite element simulations and optical study, Anal. Chem., vol. 174, pp. 42794286, 2002. [60] R. H.Liu, et al, Passive mixing in a three-dimensional serpentine microchannel, J. Microelectromech. Syst., vol. 9, pp. 190-197, 2000. [61] H.M. Xia, S.Y.M. Wan, C. Shu, Y.T. Chew, Chaotic micromixers using two-layer crossing channels to exhibit fast mixing at low Reynolds numbers, Lab Chip, vol. 5, pp. 748-755, 2005. [62] M.A. Ansari, K.-Y. Kim, Parametric study on mixing of two fluids in a three-dimensional serpentine microchannel, Chem. Eng. Sci., vol. 146, pp. 439-448, 2009. [63] H.E.H. Meijer, et al, Passive and active mixing in microfluidic devices, Macromol. Symp., vol. 279, pp. 201-209, 2009.
[64] C.Y. Lee, et al, electrokinetically driven active micromixers utilizing zeta potential variation induced by field effect, J. Micromech. Microeng., vol.14, pp. 1390-1398, 2004.

[65] Z. Wu, and D. Li, Micromixing using induced-charge electrokinetic flow, Electrochim. Acta , vol. 53, pp. 5827-5835, 2008. [66] X. Niu, and Y.K. Lee, Efficient spatial-temporal chaotic mixing in microchannels, J. Micromech. Microeng., vol.13, pp. 454-462, 2003. [67] B. D. Iverson, and S. V. Garimella, Recent advances in microscale pumping technologies: a review and evaluation, Microfluid. Nanofluid., vol. 5, pp. 145-174, 2008. [68] D. J. Lanser, and J.G. Santiago, A review of micropumps, J. Micromech. Microeng., vol. 14, pp. 35-64, 2004. [69] Q. Cui, C. Liu, and X. F. Zha, Study on a piezoelectric micropump for the controlled drug delivery system, Microfluidics Nanofluidics, vol. 3, no. 4 pp.377390, 2007. [70] A. Machauf, Y. Nemirovsky,and U. Dinnar, A membrane micropump electrostatically actuated across the working fluid, J Micromech Microeng , vol. 15, no.12 pp.23092316, 2005. [71] J.J. Nagel, G. Mikhail, H. Noh, and J. Koo, Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane, Proceedings of the international society for optical engineering, smart structures and materials, pp. 13, 2006. [72] H. J. Zhang, and C. J. Qiu, Characterization and MEMS application of low temperature iNi (Cu) shape memory thin films, Mater Sci Eng A , pp. 11061109, 2006. [73] W. Inman, et al, Design modeling and fabrication of a constant flow pneumatic micropump, J Micromech Microeng, vol. 17, no.5 pp. 891899, 2007.
25

Junio, 2011

[74] C. Yamahata, et al, Plastic micropump with ferrofluidic actuation, J Microelectromech Syst, vol. 14, no. 1 pp. 96102, 2005. [75] Z. Yin, and A. Prosperetti, A microfluidic blinking bubble pump, J Micromech Microeng, vol. 15, no.3 pp.643651, 2005. [76] K. F. Lei, et al, A vortex pump-based optically-transparent microfluidic platform for biotech and medical applications, Proc Inst Mech Eng H J Eng Med , vol. 221, no.2 pp.129 141, 2007. [77] D. Blanchard, P. Ligrani, and B. Gale, Single-disk and double-disk viscous micropumps. Sensors Actuat A Phys, vol. 122, no.1, pp.149158, 2005. [78] P. Woias, Micropumpspast, progress and future prospects, Sensors Actuat B Chem , vol. 105, pp. 2838, 2005. [79] J. Mairhofer, K. Roppert, and P. Ertl, Microfluidic systems for pathogen sensing: a review, Sensors, vol. 9, pp. 4804-4823, 2009. [80] F. Gaits; K. Hahn, Shedding Light on Cell Signaling: Interpretation of FRET Biosensors, Sci STKE, vol. 165, PE3, 2003. [81] L. Luan, et al, Integrated Optical sensor in a digital microfluidic platform, IEEE Sensors J., vol. 8, no. 5, pp. 628-635, 2008. [82] R. S. Pai, et al, Integrated electrochemical detection for lab on a chip analytical microsystems, University of Louisville, Louisville 2002. [83] T. S. J. Lammerink, et al, Micro-liquid flow sensor, Sensors and actuators, A 37-38, pp. 45-50, 1993. [84] S. Wu, Q. Lin, Y. Yuen, and Y.C. Tai, MEMs flow sensors for nanofluidic applications, Caltech micromachining laboratory, Pasadena, California 2000. [85] N. Noeth, S. Sylvest, and a. Boisen, Fabrication of a Cantilever based microfluidic flow meter with nL/min resolution, J. Micromech. Microeng., vol. 21, 015007, 10pp, 2011.

26