Anda di halaman 1dari 25

Instrumentasi Pengukuran Piezoelektrik

OLEH : Randa Indrawan & Riyan Teknik Listrik 2A

PROGRAM STUDI TEKNIK LISTRIK JURUSAN TEKNIK ELEKTRO POLITEKNIK NEGERI JAKARTA 2012

Piezoelektrik
Prinsip Dasar. Piezoelektrik adalah muatan yang menumpuk dalam materi padat tertentu (terutama kristal, keramik tertentu, dan bahan biologis seperti tulang, DNA dan berbagai protein) [1] dalam menanggapi regangan mekanik diterapkan. Kata yang piezoelektrik berarti listrik yang dihasilkan dari tekanan. Hal ini berasal dari piezo Yunani atau piezein, yang berarti memeras atau tekan, dan listrik atau elektron , yang merupakan singkatan dari ambar -. Sumber kuno dari muatan listrik [2] piezoelektrik merupakan akibat langsung dari efek piezoelektrik. Efek piezoelektrik dipahami sebagai interaksi elektromekanis linier antara mekanik dan negara listrik di material kristalin tanpa simetri inversi. [3] Efek piezoelektrik adalah proses reversibel dalam bahan menunjukkan efek piezoelektrik langsung (generasi internal dari muatan listrik dihasilkan dari kekuatan mekanik diterapkan) juga menunjukkan efek piezoelektrik terbalik (generasi internal suatu kekuatan mekanik yang dihasilkan dari medan listrik diterapkan). Sebagai contoh, kristal timbal zirkonat titanat akan menghasilkan piezoelektrisitas terukur ketika struktur statis mereka cacat oleh sekitar 0,1% dari dimensi asli. Sebaliknya, kristal timbal zirkonat titanat akan mengubah sekitar 0,1% dari dimensi statis mereka ketika medan listrik eksternal diterapkan pada materi. Piezoelektrisitas ditemukan dalam aplikasi yang berguna seperti produksi dan deteksi suara, generasi tegangan tinggi, generasi frekuensi elektronik, microbalances, dan ultra halus fokus majelis optik. Ini juga merupakan dasar dari sejumlah teknik instrumental ilmiah dengan resolusi atom, microscopies probe scanning seperti STM, AFM, MTA, SNOM, dll, dan menggunakan sehari-hari seperti bertindak sebagai sumber pengapian untuk pemantik rokok dan push-start propane barbecue.

Isi Sejarah Penemuan dan penelitian awal Pengaruh piroelektrik, dimana material menghasilkan sebuah potensial listrik sebagai respon terhadap perubahan suhu, dipelajari oleh Carl Linnaeus dan Franz Aepinus pada pertengahan abad ke-18. Menggambar di pengetahuan ini, baik Ren Hanya Hay dan Antoine Csar Becquerel mengemukakan hubungan antara stres mekanik dan muatan listrik, namun, percobaan oleh kedua terbukti tidak meyakinkan. Demonstrasi pertama dari efek piezoelektrik langsung adalah pada tahun 1880 oleh saudara Pierre Curie dan Jacques Curie. Mereka gabungan

pengetahuan mereka tentang pyroelectricity dengan pemahaman mereka terhadap struktur kristal mendasar yang memunculkan pyroelectricity untuk memprediksi perilaku kristal, dan menunjukkan efek menggunakan kristal turmalin, kuarsa, topaz, gula tebu, dan garam Rochelle (natrium kalium tartrat tetrahydrate). Kuarsa dan garam Rochelle dipamerkan piezoelektrisitas paling. Sebuah disk piezoelektrik yang menghasilkan tegangan ketika deformasi (perubahan bentuk sangat berlebihan) Curie, bagaimanapun, tidak memprediksi efek piezoelektrik bercakap-cakap. Pengaruh berbicara itu matematis dideduksi dari prinsip-prinsip dasar termodinamika oleh Gabriel Lippmann pada tahun 1881 [4] Curie segera membenarkan adanya efek berbicara, dan melanjutkan untuk memperoleh bukti kuantitatif dari berbaliknya lengkap deformasi elektro-elasto-mekanis di piezoelektrik. kristal. Untuk beberapa dekade mendatang, piezoelektrik tetap sesuatu dari keingintahuan laboratorium. bekerja lebih dilakukan untuk mengeksplorasi dan menentukan struktur kristal yang dipamerkan piezoelektrik. Hal ini memuncak pada tahun 1910 dengan penerbitan der Lehrbuch Woldemar Voigt's Kristallphysik (buku teks pada fisika kristal), yang menggambarkan 20 kelas kristal alami yang mampu piezoelektrik, dan ketat mendefinisikan konstanta piezoelektrik menggunakan analisis tensor. Perang Dunia I dan pasca-perang Aplikasi praktis pertama untuk perangkat piezoelektrik adalah sonar, pertama kali dikembangkan selama Perang Dunia I. Di Perancis pada tahun 1917, Paul Langevin dan rekan kerja nya mengembangkan kapal selam detektor ultrasonik. Detektor terdiri dari transduser, terbuat dari kristal kuarsa tipis dengan hati-hati terpaku antara dua pelat baja, dan hidrofon untuk mendeteksi kembali echo. Dengan memancarkan kicauan frekuensi tinggi dari transduser, dan mengukur jumlah waktu yang dibutuhkan untuk mendengar gema dari gelombang suara yang memantul dari suatu objek, seseorang dapat menghitung jarak ke objek tersebut. Penggunaan piezoelektrisitas di sonar, dan keberhasilan proyek itu, menciptakan minat pengembangan intens dalam perangkat piezoelektrik. Selama beberapa dekade mendatang, bahan piezoelektrik baru dan aplikasi baru untuk bahan-bahan tersebut dieksplorasi dan dikembangkan. perangkat piezoelectric ditemukan rumah di berbagai bidang. Keramik phonograph cartridge disederhanakan desain pemain, yang murah dan akurat, dan membuat catatan pemain murah untuk mempertahankan dan lebih mudah untuk membangun. Perkembangan dari transduser ultrasonik diperbolehkan untuk pengukuran mudah viskositas dan elastisitas dalam cairan dan padatan, sehingga kemajuan besar dalam penelitian bahan. Ultrasonic waktu-domain reflectometers (yang mengirim pulsa ultrasonik melalui refleksi material dan mengukur dari diskontinuitas) bisa menemukan kekurangan dalam benda logam cor dan batu, meningkatkan keamanan dan keselamatan bangunan.

Perang Dunia II dan pasca-perang Selama Perang Dunia II, kelompok penelitian independen di Amerika Serikat, Rusia, dan Jepang menemukan kelas baru bahan buatan manusia, ferroelectrics disebut, yang dipamerkan konstanta piezoelektrik berkali-kali lebih tinggi dari bahan-bahan alami. Hal ini menyebabkan penelitian intensif untuk mengembangkan barium titanat dan kemudian memimpin bahan titanat zirkonat dengan sifat spesifik untuk aplikasi tertentu. Salah satu contoh yang signifikan dari penggunaan kristal piezoelektrik dikembangkan oleh Bell Laboratories Telepon. Setelah Perang Dunia I, Frederick R. Kurangnya, bekerja di telefoni radio di departemen teknik, mengembangkan "AT memotong" kristal, kristal yang dioperasikan melalui berbagai suhu. kristal's Kurangnya tidak membutuhkan aksesoris berat kristal sebelumnya digunakan, memfasilitasi gunakan pada pesawat. Perkembangan ini memungkinkan pasukan Sekutu udara untuk melakukan serangan massal dikoordinasikan melalui penggunaan radio penerbangan. Pengembangan perangkat piezoelectric dan material di Amerika Serikat itu disimpan dalam perusahaan yang melakukan pengembangan, terutama karena awal masa perang lapangan, dan kepentingan mengamankan paten menguntungkan. bahan baru adalah yang pertama kali dikembangkan - kuarsa kristal bahan piezoelektrik pertama dieksploitasi secara komersial, tetapi para ilmuwan mencari bahan yang lebih tinggi-kinerja. Meskipun kemajuan materi dan pematangan proses manufaktur, Amerika Serikat pasar tidak tumbuh dengan cepat. Tanpa banyak aplikasi baru, pertumbuhan industri piezoelektrik Amerika Serikat menderita. Sebaliknya, produsen Jepang berbagi informasi mereka, dengan cepat mengatasi tantangan teknis dan manufaktur dan menciptakan pasar baru. upaya-upaya Jepang dalam penelitian bahan dibuat bahan piezoceramic kompetitif dengan materi AS, tetapi bebas dari pembatasan paten mahal. Mayor perkembangan piezoelektrik Jepang termasuk desain baru filter piezoceramic untuk radio dan televisi, buzzers transduser piezo dan audio yang dapat terhubung langsung ke sirkuit elektronik, dan alat penyala piezoelektrik, yang menghasilkan bunga api untuk sistem pengapian mesin kecil (dan gas-grill korek api) dengan menekan disk keramik. transduser ultrasonik yang mengirimkan gelombang suara melalui udara telah ada selama beberapa waktu, tapi pertama kali melihat penggunaan komersial besar di awal remote kontrol televisi. Transduser ini sekarang sudah terpasang pada beberapa model mobil sebagai perangkat echolocation, membantu pengemudi menentukan jarak dari bagian belakang mobil untuk setiap benda yang mungkin di jalan.

Mekanisme Cari

poling

di

Wiktionary

Sifat efek piezoelektrik berkaitan erat dengan terjadinya momen dipol listrik dalam padatan. Yang terakhir ini juga dapat dirangsang untuk ion di situs kisi kristal dengan lingkungannya biaya asimetris (seperti dalam BaTiO3 dan PZTs) atau langsung dapat dilakukan oleh kelompok-kelompok molekul (seperti dalam gula tebu). Kepadatan dipol atau polarisasi (dimensi [Cm/m3]) dengan mudah dapat dihitung untuk kristal dengan menjumlahkan momen dipol per volume sel satuan kristal [5] Karena setiap dipol. Vektor, kepadatan P dipol juga merupakan vektor atau kuantitas diarahkan. Dipol dekat satu sama lain cenderung berpihak di daerah yang disebut Weiss domain. Domain biasanya acak berorientasi, tetapi dapat disejajarkan selama poling (tidak sama dengan poling magnet), suatu proses dimana suatu medan listrik yang kuat diterapkan di seluruh material, biasanya pada suhu yang tinggi. Penting untuk menentukan efek piezoelektrik adalah perubahan polarisasi P ketika menerapkan stres mekanik. Hal ini baik mungkin disebabkan oleh konfigurasi-ulang dari dipol-membujuk sekitarnya atau dengan re-orientasi momen dipol molekul di bawah pengaruh tegangan eksternal. Piezoelektrisitas mungkin kemudian termanifestasi dalam sebuah variasi kekuatan polarisasi, arah atau keduanya, dengan rincian tergantung pada 1. orientasi P dalam kristal, 2. kristal simetri dan 3. menerapkan stres mekanik. Perubahan P muncul sebagai variasi kepadatan muatan pada permukaan kristal wajah, yaitu sebagai variasi dari medan listrik memperpanjang antara wajah, karena unit kerapatan muatan permukaan dan polarisasi adalah], sama C/m2 = [Cm / m3]. Namun, piezoelektrik tidak disebabkan oleh perubahan densitas muatan di permukaan, tetapi dengan kepadatan dipol dalam bulk. Misalnya, 1 cm3 kubus kuarsa dengan 2 kN (500 lbf) gaya diterapkan dengan benar dapat menghasilkan tegangan 12500 V. [6] Bahan piezoelektrik juga menunjukkan efek sebaliknya, disebut efek piezoelektrik berbicara, dimana aplikasi dari suatu medan listrik menciptakan deformasi mekanik dalam kristal. deskripsi Piezoelektrik Matematika gabungan dari perilaku

adalah

efek

listrik

bahan:

dimana D adalah densitas perpindahan muatan listrik (perpindahan listrik), adalah permitivitas dan E adalah kuat medan listrik, dan Hooke Hukum: dimana S adalah strain, s adalah kepatuhan dan T adalah stres. Ini mungkin digabungkan ke dalam persamaan digabungkan apa yang disebut, yang berupa regangan-charge adalah:

dimana [d] adalah matriks untuk efek piezoelektrik langsung dan [dt] adalah matriks untuk efek piezoelektrik bercakap-cakap. E superscript menunjukkan nol, atau konstan, medan listrik; T superscript menunjukkan nol, atau konstan, bidang stres, dan t superscript singkatan Transposisi sebuah matriks.

Strain-biaya untuk bahan kelas (C4v) kristal 4mm (seperti poled piezoelektrik PZT keramik seperti tetragonal atau BaTiO3) serta kelas kristal 6mm juga dapat ditulis sebagai (ANSI IEEE 176): di mana persamaan pertama mewakili hubungan untuk efek piezoelektrik berbicara dan yang kedua untuk efek piezoelektrik langsung. [7] Meskipun persamaan di atas adalah bentuk yang paling sering digunakan dalam literatur, beberapa komentar tentang notasi diperlukan. Umumnya D dan E adalah vektor, yaitu, tensor Cartesian peringkat-1, dan adalah permitivitas tensor Cartesian peringkat 2. Saring dan stres adalah, pada prinsipnya, juga peringkat-2 tensor. Tapi konvensional, karena strain dan stres semua tensor simetris, subskrip strain dan stres bisa ulang label dengan cara sebagai berikut: 11 1; 22 2; 33 3; 23 4; 13 5; 12 6. (Konvensi yang berbeda dapat digunakan oleh penulis yang berbeda dalam sastra Katakanlah, menggunakan beberapa 12 4;. 23 5; 31 6 sebagai gantinya.) Itulah sebabnya S dan T tampaknya memiliki "bentuk vektor" dari 6 komponen. Sebagai akibatnya, tampaknya menjadi 6 dengan 6 matriks bukan peringkat-4 tensor. Seperti notasi ulang berlabel sering disebut Voigt notasi. Secara total, ada 4 koefisien piezoelektrik, DIJ, eij, gij, dan hij didefinisikan sebagai berikut:

dimana set pertama dari 4 syarat sesuai dengan efek piezoelektrik langsung dan set kedua dari 4 syarat sesuai dengan efek piezoelektrik berbicara [8]. formalisme A telah berhasil bagi mereka kristal piezoelektrik, yang polarisasi adalah bidang-kristal akibat jenis, yang memungkinkan untuk perhitungan koefisien piezoelectrical DIJ dari konstanta kisi elektrostatik atau konstanta Madelung tingkat tinggi [5].

kelas Crystal Setiap biaya spasial terpisah akan menghasilkan medan listrik, dan karena itu merupakan potensi listrik. Ditampilkan di sini adalah suatu dielektrik standar dalam sebuah kapasitor. Dalam perangkat piezoelektrik, stres mekanik, bukan tegangan eksternal diterapkan, menyebabkan pemisahan muatan dalam atom individu bahan,. Dari tiga puluh dua kelas kristal, dua puluh satu adalah non-centrosymmetric (tidak memiliki pusat simetri), dan dari jumlah ini, dua puluh menunjukkan piezoelektrik langsung (21 adalah kelas kubik 432). Sepuluh ini merupakan kelas-kelas kristal kutub, yang menunjukkan polarisasi spontan tanpa stres mekanik karena saat non-lenyap dipol listrik yang terkait dengan sel satuan mereka, dan yang menunjukkan pyroelectricity. Jika momen dipol dapat dibalik oleh aplikasi medan listrik, bahan dikatakan feroelektrik. * Polar kristal kelas: 1, 2, m, mm2, 4, 4 mm, 3, 3m, 6, 6 mm. * Piezoelectric kelas kristal: 1, 2, m, 222, mm2, 4, 4, 422, 4 mm, 42m, 3, 32, 3m, 6, 6, 622, 6 mm, 62m, 23, 43m.

Untuk kristal kutub, yang P 0 memegang tanpa menerapkan beban mekanik, efek

piezoelektrik memanifestasikan dirinya dengan mengubah besar atau arah P atau keduanya. Untuk kristal non-polar, tetapi piezoelektrik, di sisi lain, polarisasi P berbeda dari nol hanya ditimbulkan dengan menerapkan beban mekanis. Bagi mereka stres bisa dibayangkan untuk mengubah materi dari kelas kristal non-polar (P = 0) ke satu [5] polar, memiliki P 0. Bahan Banyak bahan, baik piezoelektrisitas pameran alami dan buatan manusia,: * * * Quartz * Garam Rochelle * Topaz * Tourmaline kelompok mineral alami-terjadi kristal Berlinite (AlPO4), mineral fosfat langka yang secara struktural identik dengan kuarsa Tebu gula

bahan alami lainnya * Tulang: tulang kering menunjukkan beberapa sifat piezoelektrik. Studi et al Fukada. menunjukkan bahwa ini tidak disebabkan oleh kristal apatit, yang centrosymmetric, sehingga non-piezoelektrik, namun karena kolagen. Kolagen pameran uniaksial orientasi dipol molekul polar dalam struktur dan dapat dianggap sebagai bioelectret, semacam bahan dielektrik menunjukkan biaya ruang quasipermanent dan biaya dipole. Potensi diperkirakan terjadi ketika sejumlah molekul kolagen yang ditekankan dalam angka menggusur cara yang sama signifikan dari biaya operator dari dalam ke permukaan spesimen. Piezoelektrisitas tunggal fibril kolagen individu diukur dengan menggunakan mikroskop kekuatan piezoresponse, dan itu menunjukkan bahwa fibril kolagen berperilaku dominan sebagai bahan piezoelektrik geser [9]. Efek piezoelektrik umumnya berpikir untuk bertindak sebagai sensor kekuatan biologis. [10] [11] Efek ini dimanfaatkan oleh penelitian yang dilakukan di University of Pennsylvania di akhir 1970-an dan awal 1980-an, yang menetapkan bahwa aplikasi yang berkelanjutan potensial listrik dapat merangsang baik resorpsi dan pertumbuhan (tergantung pada polaritas) tulang in-vivo. [12] Penelitian lebih lanjut pada 1990-an memberikan persamaan matematika untuk mengkonfirmasi propagasi gelombang sepanjang tulang dengan yang heksagonal (Kelas 6) kristal. [13] * Tendon * Sutra * Kayu karena tekstur piezoelektrik * Enamel * Dentin kristal buatan

* Gallium ortofosfat (GaPO4), kristal kuarsa analogic * Langasite (La3Ga5SiO14), kristal kuarsa analogic keramik buatan unit tetragonal sel titanat timbal Keluarga keramik dengan perovskit atau tungsten-perunggu struktur piezoelektrisitas pameran: * Barium titanat (BaTiO3)-Barium titanat adalah yang pertama ditemukan keramik piezoelektrik. * Lead titanat (PbTiO3) * Zirkonat titanat Timbal (Pb [ZrxTi1-x] O3 0 <x <1)-lebih dikenal sebagai PZT, titanat zirkonat memimpin adalah keramik piezoelektrik saat ini digunakan paling umum. * Kalium niobate (KNbO3) * Lithium niobate (LiNbO3) * Lithium tantalit (LiTaO3) * Sodium tungstat (Na2WO3) * Ba2NaNb5O5 * Pb2KNb5O15 piezoceramics Lead-free Baru-baru ini, ada tumbuh perhatian mengenai toksisitas dalam memimpin yang mengandung perangkat didorong oleh hasil pembatasan peraturan direktif zat berbahaya. Untuk mengatasi masalah ini, telah ada kebangkitan dalam pengembangan komposisi bahan piezoelektrik bebas timah. * Natrium kalium niobate (NaKNb). Pada tahun 2004, sekelompok peneliti Jepang yang dipimpin oleh Yasuyoshi Saito menemukan kalium natrium komposisi niobate dengan sifat dekat dengan yang dipelajari, termasuk tinggi TC. [14] * Ferit Bismut (BiFeO3) juga merupakan kandidat yang menjanjikan untuk penggantian keramik timbal-based. * Sodium NaNbO3 niobate Sejauh ini, baik dampak lingkungan maupun stabilitas penyediaan zat ini telah dikonfirmasi. Polimer * Polyvinylidene fluoride (PVDF): piezoelektrik PVDF kali beberapa pameran lebih besar dari kuarsa. Tidak seperti keramik, dimana struktur kristal dari material menciptakan efek piezoelektrik, pada polimer yang panjang rantai molekul saling menarik dan menolak satu sama lain ketika sebuah medan listrik diterapkan. Aplikasi kristal piezoelectric sekarang digunakan dalam berbagai cara:

sumber tegangan tinggi dan daya piezoelektrik langsung dari beberapa zat seperti kuarsa, seperti disebutkan di atas, dapat menghasilkan beda potensial dari ribuan volt. * Aplikasi yang paling terkenal adalah pemantik rokok listrik: menekan tombol menyebabkan spring-loaded palu untuk memukul kristal piezoelektrik, menghasilkan arus listrik tegangan yang cukup tinggi yang mengalir di celah percikan kecil, sehingga pemanasan dan menyalakan gas. Sparkers portabel yang digunakan untuk gas grills cahaya atau kompor bekerja dengan cara yang sama, dan berbagai jenis kompor gas sekarang memiliki built-in sistem pengapian piezo berbasis. * Sebuah ide yang sama sedang diteliti oleh DARPA di Amerika Serikat dalam proyek yang disebut Energi Panen, yang mencakup upaya untuk peralatan listrik medan perang oleh generator piezoelektrik tertanam dalam sepatu bot tentara. Namun, sumber-sumber energi panen oleh asosiasi berdampak pada tubuh. DARPA upaya untuk memanfaatkan 1-2 watt dari dampak sepatu terus menerus sambil berjalan ditinggalkan karena tidak praktis dan ketidaknyamanan dari energi tambahan yang dikeluarkan oleh orang yang memakai sepatu. ide energi lainnya pemanenan termasuk pemanenan energi dari gerakan manusia di stasiun kereta api atau tempat umum lainnya. [15] [16] * Sebuah transformator piezoelektrik adalah jenis tegangan AC multiplier. Tidak seperti sebuah transformator konvensional, yang menggunakan kopling magnetik antara input dan output, transformator piezoelektrik menggunakan kopling akustik. Sebuah tegangan input diterapkan di panjang pendek sebuah bar bahan piezoceramic seperti dipelajari, membuat stres bergantian di bar oleh efek piezoelektrik invers dan menyebabkan seluruh bar bergetar. Frekuensi getaran dipilih menjadi frekuensi resonansi blok, biasanya dalam kisaran 100 kilohertz untuk 1 megahertz. Sebuah tegangan output lebih tinggi maka dihasilkan di bagian lain dari bar oleh efek piezoelektrik. rasio Langkah-up lebih dari 1000:1 telah dibuktikan. Sebuah fitur ekstra dari transformator ini adalah bahwa, dengan operasi itu di atas frekuensi resonansi nya, dapat dibuat untuk tampil sebagai beban induktif, yang berguna dalam sirkuit yang memerlukan lembut mulai dikontrol. [17] Perangkat ini dapat digunakan di DC -AC inverter untuk menggerakkan lampu neon katoda dingin. transformator Piezo adalah beberapa sumber yang paling kompak tegangan tinggi. Sensor Piezoelektrik disk yang digunakan sebagai pickup gitar Banyak roket granat menggunakan sumbu piezoelektrik. Sebagai contoh: RPG-7 [18] Artikel utama: piezoelectric sensor Prinsip pengoperasian sensor piezoelektrik adalah bahwa dimensi fisik, berubah menjadi kekuatan, bertindak pada dua wajah yang berlawanan dari unsur penginderaan. Tergantung pada desain sensor, berbeda "mode" untuk memuat elemen piezoelektrik dapat digunakan: longitudinal, transversal dan geser. Deteksi variasi tekanan dalam bentuk suara adalah aplikasi sensor yang paling umum, misalnya mikrofon piezoelektrik (gelombang suara menekuk bahan piezoelektrik,

menciptakan tegangan berubah) dan piezoelectric pickup untuk gitar akustik-elektrik. piezo Sebuah sensor yang melekat pada tubuh instrumen dikenal sebagai mikrofon kontak. piezoelectric sensor terutama digunakan dengan suara frekuensi tinggi di transduser ultrasonik untuk pencitraan medis dan juga industri uji tak rusak (NDT). Untuk teknik penginderaan banyak, sensor dapat bertindak sebagai sensor dan aktuator sering transduser istilah lebih disukai bila perangkat bertindak dalam kapasitas yang ganda, tetapi sebagian besar perangkat piezo memiliki milik berbaliknya apakah itu digunakan atau tidak. transduser ultrasonik, misalnya, dapat menyuntikkan gelombang ultrasound ke dalam tubuh, menerima gelombang kembali, dan mengubahnya menjadi sinyal listrik (tegangan). Kebanyakan transduser USG medis piezoelektrik. Selain yang disebutkan di atas, aplikasi berbagai sensor meliputi:

* Piezoelectric unsur juga digunakan dalam deteksi dan generasi gelombang sonar. * Power pemantauan dalam aplikasi daya tinggi (misalnya perawatan medis, sonochemistry dan pengolahan industri). * Piezoelectric microbalances digunakan sebagai bahan kimia yang sangat sensitif dan sensor biologis. Piezos * kadang digunakan sebagai pengukur regangan. * Piezoelectric transduser digunakan dalam bantalan drum elektronik untuk mendeteksi dampak drumer tongkat. sistem manajemen mesin * menggunakan transduser piezoelektrik Otomotif untuk mendeteksi ledakan dengan sampling getaran dari blok mesin dan juga untuk mendeteksi saat yang tepat dari injeksi bahan bakar (jarum sensor lift). * Ultrasonik sensor piezo digunakan dalam deteksi emisi akustik dalam pengujian emisi akustik. * Crystal earphone kadang-kadang digunakan dalam radio kekuatan lama atau rendah

Actuators Metal disk dengan disk piezoelektrik terpasang, digunakan dalam bel Amplified aktuator piezoelektrik dengan keramik multilayer Sebagai medan listrik yang sangat tinggi sesuai dengan hanya perubahan kecil pada lebar kristal, lebar ini dapat diubah dengan presisi lebih baik dari mikrometer, membuat kristal piezo alat yang paling penting untuk penentuan posisi benda dengan akurasi ekstrim - sehingga penggunaannya dalam aktuator. Multilayer keramik, menggunakan lapisan tipis dari 100 mikron, memungkinkan mencapai medan listrik tinggi dengan tegangan lebih rendah dari 150 V. keramik ini digunakan dalam dua jenis aktuator: actuator piezo langsung dan

Amplified Piezoelectric Actuators. Sementara stroke actuator langsung adalah umumnya lebih rendah dari 100 mikron, diperkuat aktuator piezo bisa mencapai stroke milimeter. * Pengeras suara: Voltage dikonversi menjadi gerakan mekanis dari film polimer piezoelektrik. * Piezoelectric motor: elemen piezoelectric menerapkan kekuatan arah ke sebuah poros, menyebabkan ia untuk memutar. Karena jarak yang sangat kecil yang terlibat, motor piezo dipandang sebagai pengganti presisi tinggi untuk motor stepper. * Piezoelectric elemen dapat digunakan dalam laser alignment cermin, di mana kemampuan mereka untuk memindahkan sebuah massa besar (cermin mount) jarak mikroskopis dimanfaatkan untuk elektronik menyelaraskan beberapa cermin laser. Dengan tepatnya mengontrol jarak antara cermin, elektronik laser akurat dapat mempertahankan kondisi optik di dalam rongga laser untuk mengoptimalkan output balok. * Sebuah aplikasi yang terkait adalah modulator acousto-optik, sebuah perangkat yang menyebarkan cahaya off dari gelombang suara dalam kristal, yang dihasilkan oleh unsurunsur piezoelektrik. Hal ini berguna untuk fine-tuning frekuensi laser. * Force microscopes Atom dan mikroskop scanning tunneling menggunakan piezoelektrik berkomunikasi untuk menjaga jarum dekat penginderaan untuk menyelidiki [19]. * Inkjet printer: Pada banyak printer inkjet, kristal piezoelektrik digunakan untuk mendorong keluarnya tinta dari print head inkjet ke kertas. * Mesin diesel: performa tinggi mesin diesel common rail menggunakan injeksi bahan bakar piezoelektrik, pertama kali dikembangkan oleh Robert Bosch GmbH, bukannya lebih umum perangkat solenoid valve. * Kontrol aktif getaran menggunakan aktuator diperkuat. * X-ray daun jendela. * Tahap XY untuk pemindaian mikro yang digunakan dalam kamera inframerah. * Memindahkan pasien justru aktif dalam CT dan scanner MRI dimana radiasi magnet yang kuat atau menghalangi motor listrik. [20]

Frekuensi

standar Sifat piezoelectrical kuarsa berguna sebagai standar frekuensi. * Quartz jam menggunakan garpu tala yang terbuat dari kuarsa yang menggunakan kombinasi dari kedua piezoelektrik langsung dan bercakapcakap untuk menghasilkan serangkaian teratur timed pulsa listrik yang digunakan untuk menandai waktu. Kristal kuarsa (seperti bahan elastis) memiliki frekuensi alami didefinisikan secara tegas (yang disebabkan oleh bentuk dan ukuran) di mana ia lebih suka berosilasi, dan ini digunakan untuk menstabilkan frekuensi tegangan periodik diterapkan pada kristal.

* Prinsip yang sama penting dalam seluruh pemancar radio dan penerima, dan di komputer di mana ia menciptakan sebuah pulsa clock. Kedua biasanya menggunakan frekuensi multiplier untuk mencapai kisaran megahertz dan gigahertz.

Sebuah SPA Jenis

bermotor

piezoelectric aktuator yang

menggunakan piezoelektrik

motor slip-stick. CEDRAT meliputi:

APA

motor

* Motor perjalanan-gelombang digunakan untuk auto fokus pada kamera refleks * Inchworm motor untuk gerakan linier * Motor empat kuadran Rectangular dengan kepadatan daya tinggi (2,5 watt/cm3) dan kecepatan mulai dari 10 nm / s ke 800 mm / s. * Melangkah piezo motor, menggunakan efek tongkat-slip. Semua motor, kecuali kerja motor stick-slip menginjak prinsip yang sama. Didorong oleh dual mode getaran ortogonal dengan beda fase 90 , titik kontak antara dua permukaan bergetar di jalur elips, menghasilkan gaya gesekan antara permukaan. Biasanya, satu permukaan adalah tetap menyebabkan yang lain untuk bergerak. Dalam motor kebanyakan kristal piezoelektrik piezoelectric senang dengan sinyal gelombang sinus pada frekuensi resonansi motor. Menggunakan efek resonansi, tegangan jauh lebih rendah dapat digunakan untuk menghasilkan amplitudo getaran tinggi. Stick-slip motor bekerja dengan menggunakan inersia massa dan gesekan penjepit. motor tersebut dapat sangat kecil. Ada yang digunakan untuk perpindahan kamera sensor, sehingga fungsi anti shake.

Referensi 1. ^ Berteriak, F. James; Skoog, Douglas A; Crouch, Stanley R (2007). "Bab 1". Prinsip Analisis Instrumental (6 ed.). Cengage Learning. p. 9. ISBN 9780495012016. 2. ^ Harper, Douglas. "Piezoelektrik". Etimologi Kamus Online. http://www.etymonline.com/index.php?term=piezoelectric. 3. ^ Gautschi, G (2002). Piezoelektrik Sensorics: Force, Strain, Tekanan, Percepatan dan Sensor Emisi Akustik, Bahan dan Amplifier .. Springer. 4. ^ Lippman, G. (1881). "Principe de la konservasi de l'lectricit" (dalam bahasa Perancis). Annales de Chimie et de 24 fisik: 145. http://gallica.bnf.fr/ark:/12148/bpt6k348640. 5. ^ A b c M. Birkholz (1995). "Crystal-field induced dipol dalam kristal heteropolar - II signifikansi fisik.". Z. Phys. B 96: 333-340. DOI: 10.1007/BF01313055. 6. ^ Sense Sensor: Sensor Angkatan piezoelectric 7. ^ Damjanovic, Dragan (1998). "Ferroelektrik, dielektrik dan sifat piezoelektrik film

tipis feroelektrik dan keramik". Laporan Kemajuan dalam Fisika 61: 1267-1324. DOI: 10.1088/0034-4885/61/9/002. 8. ^ Kochervinskii, V (Juli 2003). "Piezoelektrisitas dalam mengkristal Polimer Ferroelektrik".

Standar Internasional

Piezoelektrik sensor
Dari Wikipedia, ensiklopedia bebas Sebuah disk piezoelektrik yang menghasilkan tegangan ketika deformasi (perubahan bentuk sangat berlebihan) Sebuah sensor piezoelektrik adalah perangkat yang menggunakan efek piezoelektrik untuk mengukur tekanan, percepatan, regangan atau memaksa dengan mengubah mereka ke sinyal listrik. Isi * 1 Aplikasi * 2 Prinsip operasi * 3 Listrik properti * 4 Sensor desain * 5 Penginderaan bahan * 6 Lihat juga * 7 Referensi * 8 Pranala luar

Aplikasi Piezoelektrik disk yang digunakan sebagai pickup gitar piezoelectric sensor telah terbukti menjadi alat serbaguna untuk pengukuran berbagai proses. Mereka digunakan untuk jaminan kualitas, pengendalian proses dan untuk penelitian dan pengembangan di berbagai industri. Meskipun efek piezoelektrik ditemukan oleh Curie pada tahun 1880, itu hanya pada 1950-an bahwa efek piezoelektrik mulai digunakan untuk aplikasi penginderaan industri. Sejak itu, prinsip ini pengukur sudah semakin banyak digunakan dan dapat dianggap sebagai teknologi dewasa dengan keandalan yang melekat luar biasa. Ini telah berhasil digunakan dalam berbagai aplikasi, seperti di medis, instrumentasi kedirgantaraan, nuklir, dan sebagai sensor tekanan pada bantalan sentuhan ponsel. Dalam industri otomotif, elemen piezoelektrik digunakan untuk memantau pembakaran ketika mengembangkan mesin pembakaran internal. Sensor baik langsung dipasang ke lubang tambahan ke dalam kepala silinder atau spark / plug berseri dilengkapi dengan built in sensor piezoelektrik miniatur [1]. Maraknya teknologi piezoelectric secara langsung berkaitan dengan serangkaian keuntungan yang melekat. Modulus elastisitas tinggi bahan piezoelektrik banyak sebanding dengan logam banyak dan naik ke 105 N / m [meragukan - mendiskusikan]. Meskipun sensor piezoelektrik adalah sistem elektromekanis yang bereaksi terhadap kompresi, unsur-unsur penginderaan menunjukkan hampir nol defleksi. Ini adalah alasan mengapa sensor piezoelektrik sangat kasar, memiliki frekuensi alami yang sangat tinggi dan linieritas yang sangat baik pada rentang amplitudo yang lebar. Selain itu, teknologi piezoelektrik tidak sensitif terhadap medan elektromagnetik dan radiasi, memungkinkan pengukuran dalam kondisi yang keras. Beberapa bahan yang digunakan (terutama fosfat galium [2] atau turmalin) memiliki stabilitas ekstrim bahkan pada suhu tinggi, memungkinkan sensor memiliki jangkauan kerja hingga 1000 C. Tourmaline menunjukkan pyroelectricity selain efek piezoelektrik, ini adalah kemampuan untuk menghasilkan sinyal listrik ketika suhu perubahan kristal. Efek ini juga umum untuk bahan piezoceramic. Prinsip Strain Sensitivitas [V / *] Ambang [ *] Span terhadap ambang Piezoelektrik 5.0 0,00001 100.000.000 Piezoresistif 0.0001 0.0001 2.500.000 Induktif 0,001 0,0005 2.000.000 0,005 kapasitif 0.0001 750.000 Salah satu kelemahan dari sensor piezoelektrik adalah bahwa mereka tidak dapat digunakan untuk pengukuran yang benar-benar statis. Sebuah gaya statis akan menghasilkan jumlah

tetap sebesar biaya pada bahan piezoelektrik. Ketika bekerja dengan pembacaan elektronik konvensional, bahan isolasi tidak sempurna, dan pengurangan dalam perlawanan sensor internal akan berakibat pada hilangnya konstan elektron, dan menghasilkan sinyal penurunan. Peningkatan suhu menyebabkan penurunan tambahan dalam perlawanan internal dan sensitivitas. Efek utama pada efek piezoelektrik adalah bahwa dengan meningkatnya beban tekanan dan suhu, sensitivitas berkurang karena twin-formasi. Sementara sensor kuarsa perlu didinginkan selama pengukuran pada suhu di atas 300 C, jenis khusus dari kristal seperti fosfat galium GaPO4 tidak menunjukkan formasi kembar sampai titik leleh bahan itu sendiri. Namun, tidak benar bahwa sensor piezoelektrik hanya dapat digunakan untuk proses sangat cepat atau pada kondisi kamar. Bahkan, ada banyak aplikasi yang menunjukkan pengukuran kuasi-statis, sedangkan ada aplikasi lain dengan suhu yang lebih tinggi dari 500 C. piezoelectric sensor juga terlihat di alam. Tulang kering piezoelektrik, dan dianggap oleh beberapa orang untuk bertindak sebagai kekuatan sensor biologis. [3] [4] [Sunting] Prinsip operasi Tergantung pada bagaimana bahan piezoelektrik dipotong, tiga mode utama dari operasi dapat dibedakan:. Transversal, longitudinal, dan geser [1] Efek melintang Sebuah gaya diterapkan sepanjang sumbu netral (y) dan biaya dihasilkan sepanjang arah (x), tegak lurus dengan garis gaya. Jumlah biaya tergantung pada dimensi geometris elemen piezoelektrik masing-masing. Ketika dimensi a, b, c berlaku, Cx = dxyFyb / a,

dimana adalah dimensi sejalan dengan sumbu netral, b ini sejalan dengan muatan menghasilkan sumbu dan d adalah koefisien piezoelektrik. bersangkutan [5] Longitudinal efek Jumlah biaya yang dihasilkan adalah sangat sebanding dengan gaya yang diterapkan dan tidak tergantung pada ukuran dan bentuk elemen piezoelectric. Menggunakan beberapa elemen yang mekanis dalam seri dan elektrik secara paralel adalah satu-satunya cara untuk meningkatkan output biaya. Muatan yang dihasilkan Cx = dxxFxn,

mana dxx adalah koefisien piezoelektrik dengan biaya di x-arah dirilis oleh pasukan diaplikasikan sepanjang x-arah (di pC / N). Fx adalah Angkatan diterapkan dalam arah x[N] dan n sesuai dengan jumlah elemen ditumpuk.

Efek Shear Sekali lagi, biaya yang dihasilkan secara ketat sebanding dengan gaya yang diterapkan dan tidak bergantung pada ukuran dan bentuk elemen. Untuk n unsur mekanis dalam seri dan elektrik secara paralel biaya adalah Cx = 2dxxFxn.

Berbeda dengan efek longitudinal dan geser, efek melintang membuka kemungkinan untuk sensitivitas menyempurnakan diterapkan pada gaya dan dimensi elemen. properti Skematik Listrik piezoelektrik

simbol

dan

model

elektronik

dari

sensor

Sebuah transduser piezoelektrik memiliki impedansi keluaran DC yang sangat tinggi dan dapat dimodelkan sebagai sumber tegangan yang proporsional dan jaringan filter. V tegangan pada sumber berbanding lurus dengan tekanan, gaya yang diberikan, atau regangan [2] Sinyal keluaran ini kemudian berkaitan dengan gaya mekanis seolah-olah telah melewati rangkaian setara.. Frekuensi respon dari sebuah sensor piezoelektrik; vs output tegangan yang diberikan kekuatan Sebuah model rinci mencakup dampak konstruksi mekanikal sensor dan non-idealities [3] induktansi Lm adalah karena massa seismik dan inersia dari sensor itu sendiri.. Ce berbanding terbalik dengan elastisitas sensor mekanik. C0 merupakan kapasitansi statis transduser, yang dihasilkan dari massa inersia ukuran yang tak terbatas [3] Ri adalah. Kebocoran isolasi perlawanan dari elemen transduser. Jika sensor tersambung ke tahanan beban, ini juga bertindak secara paralel dengan hambatan isolasi, baik meningkatkan frekuensi cutoff tinggi-pass. Di daerah datar, sensor dapat dimodelkan sebagai sumber tegangan secara seri dengan kapasitansi sensor atau sumber biaya secara paralel dengan kapasitansi Untuk digunakan sebagai sensor, wilayah datar plot respon frekuensi biasanya digunakan, antara cutoff tinggi lulus dan puncak resonansi. Beban dan perlawanan kebocoran harus cukup besar bahwa frekuensi rendah bunga tidak hilang. Suatu model rangkaian ekivalen yang disederhanakan dapat digunakan di wilayah ini, dimana Cs merupakan kapasitansi permukaan sensor itu sendiri, ditentukan dengan rumus standar untuk kapasitansi pelat paralel. [3] [4] Hal ini juga dapat dimodelkan sebagai sumber biaya secara paralel dengan kapasitansi sumber, dengan muatan berbanding lurus dengan gaya yang diberikan, seperti di atas. [2]

desain Sensor Metal disk dengan bahan piezo, yang digunakan dalam buzzers atau sebagai mikrofon kontak Berdasarkan jumlah berbagai teknologi piezoelektrik fisik dapat diukur, yang paling umum adalah tekanan dan percepatan. Untuk sensor tekanan, selaput tipis dan basis besar digunakan, memastikan bahwa tekanan yang diterapkan secara khusus memuat unsurunsur dalam satu arah. Untuk kecepatan, massa seismik melekat ke elemen kristal. Ketika accelerometer pengalaman gerakan, beban invarian massa seismik unsur menurut hukum kedua Newton tentang gerak F = ma. Perbedaan utama dalam prinsip kerja antara kedua kasus ini adalah cara pasukan diterapkan pada elemen sensing. Dalam tekanan sensor selaput tipis yang digunakan untuk mentransfer gaya yang mengenai unsur-unsur, sedangkan di accelerometers kekuatan diterapkan oleh massa seismik terpasang. Sensor sering cenderung sensitif terhadap lebih dari satu kuantitas fisik. Tekanan sensor menunjukkan sinyal palsu ketika mereka terkena getaran. sensor tekanan canggih karena menggunakan elemen percepatan kompensasi di samping tekanan sensing elemen. Dengan hati-hati mencocokkan elemen-elemen, sinyal percepatan (dilepaskan dari unsur kompensasi) dikurangi dari sinyal gabungan dari tekanan dan percepatan untuk mendapatkan informasi tekanan yang benar. sensor Getaran juga dapat digunakan untuk panen dinyatakan terbuang energi dari getaran mekanik. Hal ini dilakukan dengan menggunakan bahan piezoelektrik untuk mengubah regangan mekanik menjadi energi listrik yang dapat digunakan. [5] bahan Sensing Dua kelompok utama dari bahan yang digunakan untuk sensor piezoelektrik: keramik piezoelektrik dan bahan kristal tunggal. Bahan keramik (seperti PZT keramik) memiliki konstanta piezoelektrik / sensitivitas yang kira-kira dua perintah besarnya lebih tinggi daripada bahan kristal tunggal dan dapat diproduksi dengan proses sintering murah. The piezoeffect di piezoceramics adalah "dilatih", jadi sayangnya degradasi tinggi sensitivitas dari waktu ke waktu. degradasi ini sangat berkorelasi dengan suhu. Bahan kristal kurang sensitif (galium fosfat, kuarsa, turmalin) memiliki lebih tinggi - stabilitas jangka panjang - ketika ditangani dengan hati-hati, hampir tak terbatas.

Referensi 1. ^ "Piezoelectric sensor". Piezocryst website. http://www.piezocryst.com/piezoelectric_sensors.php. Diperoleh 2006/06/02. 2. ^ Ab "Interfacing Film Piezo untuk Electronics" (PDF). Pengukuran Istimewa. Maret 2006. http://www.meas-spec.com/myMeas/download/pdf/english/piezo/Interfacing untuk Electronics.pdf. Diperoleh 2007/12/02. 3. ^ A b c Alfredo Vzquez Carazo (2000 Januari). Novel piezoelectric transduser untuk Pengukuran Tegangan Tinggi. Politcnica Universitat de Catalunya. 242 hlm. 4. ^ Karki, James (September 2000). "Sensor penyejuk piezoelectric Sinyal" (PDF). Texas Instruments. http://focus.ti.com/lit/an/sloa033a/sloa033a.pdf. Diperoleh 2007/12/02. 5. ^ Ludlow, Chris (Mei 2008). "Energi Pemanenan dengan piezoelectric Sensor" (PDF). Mide Teknologi. http://www.mide.com/pdfs/vibration_harvesting_conference_2008.pdf. Diperoleh 2008/05/21. [Link mati]

Bahan piezoelektrik
Pendahuluan: efek piezoelektrik Efek piezoelektrik menggambarkan hubungan antara stres mekanik dan tegangan listrik dalam padatan. Ini adalah reversbile: suatu stres mekanik yang diterapkan akan menghasilkan tegangan dan tegangan yang diterapkan akan mengubah bentuk padat oleh sejumlah kecil (sampai dengan perubahan 4% volume). Dalam fisika, efek piezoelektrik dapat digambarkan sebagai hubungan antara elektrostatika dan mekanik. efek piezoelektrik Sejarah Efek piezoelektrik ditemukan pada tahun 1880 oleh Jacques Pierre Curie dan saudara. Mereka menemukan bahwa ketika stres mekanik diaplikasikan pada kristal seperti turmalin, turmalin, topaz, kuarsa, garam Rochelle dan tebu, biaya listrik muncul, dan tegangan ini sebanding dengan stres. aplikasi pertama adalah transduser ultrasonik piezoelektrik dan segera kuarsa berayun

untuk standar frekuensi (jam kuarsa). Sebuah contoh kehidupan sehari-hari aplikasi yang sensor airbag mobil Anda. Materi yang mendeteksi intensitas shock dan mengirimkan sinyal electricla yang memicu airbag tersebut.

Bahan piezoelektrik Efek piezoelektrik hanya terjadi pada bahan konduktif non. bahan piezoelectric dapat dibagi dalam 2 kelompok utama: kristal dan cermaics. Bahan piezoelektrik paling terkenal adalah kuarsa (SiO2).

Aktuator

piezoelektrik

aktuator piezoelectric adalah transduser yang mengubah energi listrik menjadi perpindahan mekanis atau stres menggunakan efek piezoelektrik. Karena elemen piezoelektrik memiliki respon yang sangat baik dan efisiensi konversi dari energi listrik menjadi energi mekanik, berbagai jenis aktuator piezoelektrik memanfaatkan efek piezoelektrik piezoelectric unsur telah dikembangkan dalam beberapa tahun terakhir. Sebuah aktuator piezoelektrik yang memanfaatkan piezoelektrisitas kristal telah digunakan secara luas dalam suatu mekanisme penentuan posisi presisi tinggi karena dapat mengontrol perpindahan mekanis menit dengan kecepatan tinggi. Aktuator piezoelectric memiliki keuntungan dari penggerak presisi yang tinggi dan reaksi cepat. aktuator tersebut adalah komponen dengan kapasitas listrik yang tinggi dimana hanya sebagian dari energi listrik dipasok ke aktuator diubah menjadi energi mekanik. Aktuator piezoelektrik didorong dengan berbagai cara sesuai dengan tujuan dan metode penggunaan sistem yang mereka diterapkan. Aktuator piezoelektrik telah diterapkan untuk produk-produk seperti bel piezoelektrik, seorang kepala inkjet printer, dan sebuah motor ultrasonik. Dalam printer ink jet, sebuah aktuator piezoelektrik umumnya digunakan di kepala jet tinta printer tinta jet untuk mendepak tinta cair darinya. aktuator piezoelectric biasanya termasuk pluralitas elemen piezoelectric diatur dalam tumpukan. Masing-masing unsur, pada gilirannya, termasuk lapisan piezoceramic yang disediakan di kedua sisi dengan elektroda logam. Sebuah aktuator piezoelektrik keramik multilayer termasuk elemen efek piezoelektrik dibentuk dengan menumpuk sejumlah lembaran tipis dari bahan piezoelektrik dalam arah perpindahan, sehingga sejumlah besar perpindahan dapat diperoleh dengan tegangan mengemudi rendah. Sebuah elektroda internal sela antara setiap pasangan yang berdekatan lembaran bahan piezoelektrik, dan elektroda internal yang saling berhubungan setiap orang lain, sehingga semua elektroda internal dibagi menjadi dua kelompok. Sebuah aktuator piezoelektrik tipe laminasi terdiri dari struktur berlapis film piezoelektrik dari keramik piezoelektrik, dll, masing-masing yang mempunyai ketebalan beberapa puluhan mikron dan memiliki film tipis internal elektroda atasnya disediakan. tipe seperti itu aktuator adalah fitur oleh kemampuan menghasilkan kekuatan besar dengan tegangan drive relatif rendah dan telah banyak digunakan dalam bidang posisi presisi kontrol yang tinggi dari aparat manufaktur semikonduktor seperti aparat paparan, kendali katup dari flowmeter massa, ketebalan kontrol dalam extruder film plastik dan optik kontrol sumbu pada perangkat optik, yang

memerlukan kontrol presisi yang tinggi perpindahan menit dalam urutan mikron atau kurang.

MEMS mikro-katup untuk aplikasi ruang Beli artikel teks lengkap

Referensi dan bacaan lebih lanjut mungkin tersedia untuk artikel ini. Untuk melihat referensi dan bacaan lebih lanjut Anda harus membeli artikel ini. I. ChakrabortyCorresponding Author Contact Information, E-mail Penulis korespondensi, WC Tang, DP Bame dan TK Tang [Pengarang riwayat] Jet Propulsion Laboratory (JPL) 4800 Oak Grove Drive, Pasadena, CA 91109-8099, USA Diterima 17 Desember 1999. Tersedia online 10 Mei 2000. Abstrak Kami melaporkan pada pengembangan suatu sistem mikro-elektro-mekanis (MEMS) katup yang dirancang untuk memenuhi persyaratan kinerja yang ketat untuk berbagai aplikasi ruang, seperti mikro-propulsi, dalam analisis kimia situ dari planet lain, atau mikrobiologi. Sistem ini sering membutuhkan katup silikon yang sangat kecil namun dapat diandalkan dengan tingkat kebocoran yang sangat rendah dan kehidupan rak panjang. Juga, mereka harus bertahan dari bahaya perjalanan ruang angkasa, termasuk radiasi tak terbendung, shock monumental dan kekuatan getaran, serta variasi temperatur yang ekstrim. Saat ini, tidak ada katup MEMS komersial memenuhi persyaratan ini. Pada JPL, kami sedang mengembangkan sebuah katup MEMS piezoelektrik yang mencoba untuk mengatasi masalah ruang yang unik. Kita mulai dengan konfigurasi terbukti bahwa mungkin tampak akrab. Namun, kami telah menerapkan beberapa inovasi desain utama yang harus menghasilkan katup unggul. The JPL mikro-katup diharapkan memiliki tingkat kebocoran yang sangat rendah, kerentanan terbatas pada partikel, getaran atau radiasi, serta berbagai macam suhu operasional.

Author Keywords: MEMS, Valve, piezoelectric, Actuator; Space Pasal Outline 1. Pengantar

2. Desain 2.1. Operasi 2.2. Kursi desain 2.3. Actuator desain 3. Pengolahan 4. Pengujian 5. Tantangan di masa depan 6. Kesimpulan Ucapan Terima Kasih Referensi Vitae

Thumbnail gambar Gambar. 1. Jadi diafragma dan bagian kursi. Lihat Pasal Dalam Thumbnail gambar Gambar. 2. Micro-katup silang-bagian. Lihat Pasal Dalam Thumbnail gambar Gambar. 3. SEM dari wafer diafragma. (A) Didukung diafragma. (B) Suspended diafragma. (C) Tutup dari kerut. Lihat Pasal Dalam Thumbnail gambar

Gambar. 4. SEM dari wafer kursi. (A) Inlet dan outlet. (B) Tutup di kursi. Lihat Pasal Dalam Thumbnail gambar Gambar. 5. Skematis dan foto aktual setup uji. Lihat Pasal Dalam Tabel 1. Khas persyaratan untuk propulsi pesawat luar angkasa NASA mikro Tabel Icon Lihat Pasal Dalam Tabel 2. Eksperimental data mikro-katup Tabel Icon Lihat Pasal Dalam Penulis korespondensi penulis Kontak Informasi Terkait. Tel: 1-818-354-3672; faks: 1818-393-4663; email: indrani.chakraborty @ jpl.nasa.gov. Vitae Chakraborty: Indrani Chakraborty menerima Sarjana gabungan nya / Magister Teknik Mesin dari MIT pada tahun 1996. Sejak tahun 1992, dia telah bekerja sebagai magang di Jet Propulsion Laboratory. proyek nya meliputi desain, fabrikasi dan pemrograman mobile robot otonom dan manipulator robot. Setelah lulus, ia bergabung dengan JPL sebagai anggota staf teknis di Laboratorium Micro Devices (Sec. 346), di mana dia juga bekerja di beberapa proyek yang berbeda, termasuk JPL / giroskop UCLA mikro, magnetometer terbang bebas, penggerak mikro, mikro katup, dan kehandalan dan kualifikasi ruang MEMS. Tang: Dr William C. Tang menerima gelar PhD di bidang Teknik Elektro dan Ilmu Komputer dari University of California di Berkeley pada tahun 1990, setelah authoring tesis doktor tengara di drive sisir elektrostatik. Pada tahun 1990, ia bergabung dengan Laboratorium Penelitian Ford di Dearborn, Michigan, dan pada tahun 1993 menjadi Manajer Riset Sensor di Ford Microelectronics, Inc, di Colorado Springs, CO, di mana ia berperan dengan program airbag accelerometers. Pada tahun 1996, ia bergabung dengan JPL sebagai pengawas dari MEMS Technology Group. Dr Tang memiliki tiga paten AS, dan adalah penulis dan co-penulis selama lebih dari tiga puluh konferensi dan kertas wasit di bidang MEMS. Dr Tang saat ini menjabat sebagai anggota Dewan Editorial untuk Institut Fisika Publishing, berkontribusi Journal of Micromechanics dan microengineering.

Bame: David P. Bame telah menghabiskan 25 tahun terakhir dalam pengembangan hardware kedirgantaraan. melanjutkan Nya meliputi Northrop Pesawat dan Sistem Teknis Nasional. Pada JPL sejak tahun 1990, ia telah mengembangkan pengalaman dalam pengujian lingkungan hardware penerbangan. Ini termasuk desain, build-up dan pengujian sistem penerbangan pesawat ruang angkasa, termasuk bekerja untuk NASA Wide Field Camera 2, LPX, MSTI 1 dan 2, Cassini, Mars Pathfinder, Mars Observer, Mars Global Surveyor, dan Topex. Baru-baru ini, ia telah terlibat dalam pengembangan mikro-pesawat serta kemasan dan pengujian MEMS. Tang: Dr Tony K. Tang menerima gelar PhD di bidang Teknik Elektro dari University of Illinois pada tahun 1991. tesis doktor-Nya ditangani dengan integrasi pasif dan aktif semikonduktor divais fotonik III-V. Sebagai seorang ilmuwan peneliti senior di Raytheon Research Division sejak tahun 1991 sampai 1993, dia bekerja pada bolometers Si mikromesin, detektor inframerah, mikro-optik dan waveguides, dan 3D sistem pencitraan. Saat Dr Tang Anggota Senior Staf Teknis di JPL. Dia adalah pemimpin tugas proyek mikro-giro dan mikro sistem referensi inertial. topik lain Nya penelitian termasuk micromachining silikon, mikro-katup dan pompa, mikro-kecepatan, sensor matahari, sensor tekanan, dan micromachining berlian. Sensor dan Actuators A: Fisik Volume 83, Issues 1-3, 22 Mei 2000, Halaman 188-193

Anda mungkin juga menyukai