Chaalane Amar

THSE
En vue de l'obtention du
DOCTORAT DE LUNIVERSIT DE TOULOUSE

Dlivr par l'Universit Toulouse III - Paul Sabatier Discipline ou spcialit : Matriaux, technologie des composants pour l'lectronique
Prsente et soutenue par Amar CHAALANE Le 21 NOVEMBRE 2008 Titre : MICROSYSTEME DE PROPULSION A PROPERGOL SOLIDE SUR SILICIUM : APPLICATION AU CONTROLE D'ASSIETE DE MICRODRONE
Alain CAZARRE Jrme DELAMARE Manel PUIG-VIDAL Alain GRELIER Pascal TROUILLOT
JURY Professeur de l'universit Paul Sabatier - Toulouse III Professeur des universits, INP Grenoble Professeur de l'universit de Barcelone (Espagne) PROTAC.sa, la fert st-Aubin PROTAC.sa, la fert st-Aubin
Prsident Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur
Ecole doctorale : Gnie Electrique, Electronique, Tlcommunications Unit de recherche : Laboratoire dAnalyse et dArchitecture des Systmes du CNRS Directeur(s) de Thse : Carole ROSSI / Daniel ESTEVE
UNIVERSITE TOULOUSE III PAUL SABATIER

Laboratoire dAnalyse et dArchitecture des Systmes du CNRS
THESE
en vue de lobtention du
DOCTORAT DE L'UNIVERSITE DE TOULOUSE

dlivr par lUniversit Toulouse III Paul Sabatier
Ecole doctorale : Gnie Electrique, Electronique, Tlcommunications Discipline : Matriaux, technologie des composants pour llectronique
prsente et soutenue
par
Amar CHAALANE
le 21 novembre 2008
Titre :
MICROSYSTEME DE PROPULSION A PROPERGOL SOLIDE SUR SILICIUM : APPLICATION AU CONTROLE DASSIETE DE MICRODRONE
Directeurs de thse : Carole ROSSI et Daniel ESTEVE
JURY
Alain CAZARRE Jrme DELAMARE Manel PUIG-VIDAL Alain GRELIER Pascal TROUILLOT
Professeur de luniversit Paul Sabatier Toulouse III Professeur des universits, INP Grenoble Professeur de luniversit de Barcelone (Espagne) PROTAC.sa, la fert st-Aubin PROTAC.sa, la fert st-Aubin
Prsident Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur
REMERCIEMENT
Ces travaux de thse ont t effectus dans le cadre dun projet financ par la DGA (Dlgation Gnrale pour lArmement) en partenariat avec la socit PROTAC du groupe THALES, au sein du LAAS (Laboratoire dAnalyse et darchitecture des Systme du CNRS), dans du groupe MIS (Microsystmes et Intgration des Systmes), devenu par la suite groupe N2IS (Nano-Ingnierie et Intgration des Systmes). Je tiens tout dabord remercier Messieurs Jean-Claude LAPRIE, Malik GHALLAB et Raja CHATILA, directeurs successifs du LAAS-CNRS qui, depuis mon arrive en 2002, mont accueilli pour un stage de D.E.A puis pour ces travaux de recherche sur les micro-actionneurs pyrotechniques Pyro MEMS au sein de ce laboratoire dexcellence. Je remercie aussi les responsables successifs de lcole doctorale GEET, Messieurs Augustin MARTINEZ et Jacques GRAFFEUIL, pour leur engagement dans notre formation doctorale. Je souhaite exprimer ma profonde gratitude aux membres du jury pour lintrt quils ont port mes travaux de recherche et pour avoir accepter les valuer. Je remercie Alain CAZARRE, professeurs luniversit Paul Sabatier Toulouse III, qui ma convaincue de venir faire un stage de D.E.A au LAAS, davoir accept de prsider ce jury. Je remercie sincrement Monsieur Jrome DELAMARE, professeur des universits INP Grenoble ainsi que Manel PUIG-VIDAL, professeur luniversit de Barcelone et partenaire au projet europen Micropyros, pour avoir accept de se plonger dans la lecture minutieuse de lensemble de mes travaux et den tre les rapporteurs. Mes plus profonds remerciements vont naturellement la gentillesse de Carole R0SSI, charg de cherche au CNRS, personnage principale et spciale, qui ma accompagn et guider pour ainsi dire tout le long de cette aventure, maille de joies mais aussi de moment plus difficiles, au cours desquels sont exprience, notamment en encadrement, et ses encouragements mont t plus que prcieux. Je suis reconnaissant et admiratif de la combativit dont elle a fait preuve pour quont puisse sortir la premire belle courbe de pouss. Sa disponibilit et sa crativit ont t dterminantes dans la conduite de projets nationaux et internationaux. Je suis heureux de lui dire ici tout ce que le lui dois. Jexprime ma profonde reconnaissance Daniel ESTEVE, directeur de recherche au CNRS, un Homme de qualits scientifiques et humaines exceptionnels, pour la confiance quil ma tmoign en acceptant la direction de ma thse. Travailler ces cts a constitu pour moi une source inpuisable de motivation et dinspiration. Daniel, je vous aime ! Merci pour tout Les pages qui suivent doivent beaucoup de nombreux changes, collaborations et discussions avec nos partenaires de projet DRONES. Je tiens remercier donc W. FULLER de la DGA, Alain GRELIER, Pascal TROUILLOT, Julia SARAMAGO et Didier ZANELLI de PROTAC. Jadresse galement tous mes remerciements tous les membres du projet europen Micropyros dans le cadre duquel sinscrivait une partie de mes travaux de thse, non reporte dans ce manuscrit. Je remercie en particulier D. BRIAND et P.Q. PHAM de lIMT Neuchtel (Suisse), N.F. DE ROOIJ, J. KOHLER, K. JONSSON, H. KRATZ de lUniversit dUppsala
(Sude), P. MIRIBEL, E. MONTANE et J.SAMITIER du laboratoire SIC, Universit de Barcelone (Espagne). Le travail prsent ici comporte de nombreux aspects technologiques impliquant des acteurs ne bnficiant pas toujours de lclairage quils mritent. Merci donc tout les membres du service Techniques et Equipements Appliqus la Micro-lectronique (TEAM) pour leur soutien technique quotidien dans la plate-forme technologique du LAAS. Je souhaite plus particulirement remercier Norbert FABRE, responsable TEAM, pour la formation en salle blanche, Pierre-Franois CALMON pour la fabrication des masques, Laurent BOUSCAYROL pour les oxydations thermiques, les dpts LPCVD et les recuits de redistribution des dopants, Bernard ROUSSET pour les dpts PECVD, Franoise et Monique BENOIT en zone photolithographie pour les bons conseils. Je remercie galement Pascal DUBREUIL et Laurent JALABERT pour les gravures RIE et DRIE, Ludovic SALVAGNAC et Sbastien PINAUD pour les mtallisations, Jean-Baptiste DOUCET pour ces comptences en chimie, Davide BOURELLE pour le process de la rsine paisse de 15m (recette magique !). Un grand merci Hugues GRANIER pour les implantations ioniques ainsi que pour les jours pass ensemble pour la mise au point dun processus dassemblage Flip-Chip automatis, Thierry DO CONTO et David COLIN pour les dcoupes et les montages, Franck CARCENAC pour la formation au MEB et lobservation des premires chantillons et Xavier DOLLAT pour lusinage des cramiques. Je ne saurais oublier dans ces remerciements mes collgues de bureau, Lonard JELOAICA, R2my MAURICE, Marie . Je remercie aussi Benoit LARANGOT, Pierre PENNARUM, Gustavo ARDILA RODRIGEZ, Hlne PEZOUS, Christophe ESCARBIA, Daisuke SAYA, Thierry CAMPS, Bruno JAMMES, Georges LANDA, Ali BOUKABACHE,etc (la liste est longue !) Je remercie chaleureusement khouya Ahmed DKHISSI, Mohamed SAADAOUI, Younes LAMRANI, Mohammed LAMHAMDI, Rachid BOUAZIZ, Ahmed MAHI, Imad MOKHTARI, Adel WARDANI. Je tiens galement exprimer ma reconnaissance envers les Professeurs Abd-El-Kader SAHRAOUI, Gay ABLART, Djillali MAHI, Mehdi DJAFARI ROUHANI, Antoine MARTY, Abdelaziz DOGHMANE, Zahia HADJOUB pour leurs formations, leurs conseils et leurs soutiens scientifique et moral. Je prsente par avance mes excuses aux personnes oublies dans la liste ci-dessus ; je voudrais inclure dans ces remerciements les membres des services administratifs et techniques du LAAS pour le temps gagn grce leur aide prcieuse et pour leur contribution conviviale du laboratoire. En fin, je terminerai par une pens affectueuse pour mes proches, notamment ma mre, femme exemplaire mes yeux, qui ma paule tout le long de ma scolarit, et durant une bonne partie de ma thse, et, mon pre qui ma encourager et supporter jusquau bout, pour tous les projets dans lesquels je me suis impliqu dune manire ou dune autre. Le leurs dois bien plus que je ne saurai jamais exprimer. * *
A MES PARENTS, HAFIZA ET LABIDI A MES SOEURES ET FRERES
AUX ENFANTS DE LA PRISON A CIEL OUVERT
LISTE DES PUBLICATIONS
Revues Scientifiques 1. C.ROSSI, B.LARANGOT, D.LAGRANGE, A.CHAALANE, D.ESTEVE, Final characterizations of millimeter scale pyrotechnical microthrusters. Rapport LAAS N04448, Sensors and Actuators A, Vol.121, N2, pp.508-514, Juin 2005. 2. C.ROSSI, B.LARANGOT, P.Q.PHAM, D.BRIAND, N.F.DE ROOIJ, M.PUIG VIDAL, J.SAMITIER, A.CHAALANE, Solid propellant microthrusters on silicon: design, modelling, fabrication and testing. Rapport LAAS N04645, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.15, N6, pp.1805-1815, Dcembre 2006. 3. A.CHAALANE, C.ROSSI, D.ESTEVE, The formulation and testing of new solid propellant mixture (DB+x%BP) for a new MEMS-based microthruster. Rapport LAAS N07341, Sensors and Actuators A, Vol.138, N1, pp.161-166, Juillet 2007. Manifestations avec actes 1. B.LARANGOT, A.CHAALANE, V.CONEDERA , P.DUBREUIL , P.F.CALMON , C.ROSSI, Ignition and combustion investigation on pyrotechnical microthruster. Rapport LAAS N03259, 17th European Conference on Solid-State Transducers (EUROSENSORS XVII), Guimaraes (Portugal), 21-24 Septembre 2003, pp.744-747. 2. A.CHAALANE, B.LARANGOT , C.ROSSI , H.GRANIER, D.ESTEVE, Main directions of solid propellant micro-propulsion activity at LAAS. Rapport LAAS N04248, CANEUS'04. Conference on Micro-Nano-Technologies for Aerospace Applications, Monterey (USA), 1-5 Novembre 2004, 8p. Manifestations avec actes diffusion limite 1. A.CHAALANE, B.LARANGOT, C.ROSSI, D.LAGRANGE, H.GRANIER, Etude de l'initiation de micropropulseurs propergol solide pour nanosatellites. Rapport LAAS N03385, Journes Nationales du Rseau de Recherche en Micro et Nano Technologies, Lille (France), 3-4 Novembre 2003, (Rsum). 2. C.ROSSI, A.CHAALANE, B.LARANGOT, V.CONEDERA, D.BRIAND, P.Q.PHAM, N.F.DE ROOIJ, J.KOHLER, K.JONSSON, H.KRATZ, M.PUIG VIDAL, P.MIRIBEL, E.MONTANE, J.SAMITIER, Pyrotechnical microthrusters for space application. Rapport LAAS N03384, International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS'2003), Makuhari (Japon), 4-5 Dcembre 2003, 4p. 3. A.CHAALANE, C.ROSSI , B.LARANGOT, P.DUBREUIL, D.ESTEVE, Microsystme de propulsion bas sur la micro-combustion de propergol solide : une alternative pour la propulsion des futurs micro-engins spatiaux. Rapport LAAS
N04269, 7mes Journes Nationales du Rseau Doctoral de Microlectronique (JNRDM'2004), Marseille (France), 4-6 Mai 2004, pp.116-118. 4. A.CHAALANE, Fabrication de MEMS nergtiques pour des applications aronautiques et spatiales. Rapport LAAS N05305, 6me Congrs de l'Ecole Doctorale Genie Electrique, Electronique, Telecommunications (GEET), Toulouse (France), 17-18 Mai 2005, 3p. Rapports de Contrat 1. C.ROSSI, B.LARANGOT, A.CHAALANE, D.LAGRANGE, E.DROUET, R.FERAUD, D.DILHAN, Dveloppement de matrices de micropropulseurs intgres sur silicium pour des applications spatiales. Rapport LAAS N03268, Contrat Rgion RECH/99001197, Juin 2003, 15p. 2. C.ROSSI, A.CHAALANE, Dmonstration d'applicabilit des micropropulseurs silicium, dans la commande de drones miniatures. Rapport LAAS N04596, Contrat PROTAC, Novembre 2004, 14p. Rapports LAAS 1. M.PUIG VIDAL, P.MIRIBEL, E.MONTANE, S.MARCO, M.SALLERAS, J.SAMITIER, C.ROSSI, B.LARANGOT, A.CHAALANE, Design and implementation of a dedicated electronic circuitry to control the ignition of pyrotechnical systems. Rapport LAAS N03204, Avril 2003, 5p.
Source : http://www2.laas.fr/laas/1-4266-Publications.php
Table des matires
TABLE DES MATIERES

INTRODUCTIONGENERALE.....................................................................................................................1 CHAPITREI:ETATDELARTETPROBLEMATIQUES................................................................................5 1 2 3 4 5 6 7 INTRODUCTION........................................................................................................................................5 LECONTEXTE:DESMICROTECHNOLOGIESAUXMICROSYSTEMES.....................................................................6 LEMERGENCEDELAMICROPYROTECHNIEDANSLAREALISATIONDEMICROSYSTEMESENERGETIQUES[].....................7 LAMICROPROPULSIONENAERONAUTIQUEBORDDESDRONESMINIATURISES....................................................9 LAMICROPROPULSIONSOLIDEDANSLESPACIALEBORDDESMICROSATELLITES.................................................11 PROGRAMMESDERECHERCHESURLATECHNOLOGIEDEMICROPROPULSIONSOLIDEDANSLEMONDE.....................12 MICROPROPULSIONSOLIDEAPPLIQUEEAUDRONESMINIATURISES ..................................................................17 . 7.1 Lesmicrodrones..........................................................................................................................17 7.2 Dfinitionducahierdescharges..................................................................................................19 7.3 Calculdesforcescompenser......................................................................................................21 7.4 Prsentationdesrsultats............................................................................................................23 8 CONCLUSION.........................................................................................................................................26 CHAPITREII:CONCEPTIONDUNENOUVELLEGENERATIONDEMICROPROPULSEURSABASEDE SILICIUM...............................................................................................................................................27 1 2 INTRODUCTION.................................................................................................................................27 CONCEPTIONDESMICROPROPULSEURS.......................................................................................................28 2.1 Prsentationdunouveauconcept................................................................................................28 3 CHOIXDESMATERIAUXETDESPROPERGOLS ................................................................................................29 . 3.1 choixdumatriauxdesrservoirsdupropergol..........................................................................29 3.2 Choixdumatriaupyrotechnique................................................................................................30 4 DIMENSIONNEMENTDESMICROPROPULSEURSPOURREPONDREAUXEXIGENCESDUCAHIERDESCHARGES...............32 4.1 Calculdesstructures.....................................................................................................................33 4.2 Modlisationthermiqueetmcanique........................................................................................35
4.2.1 Modlisationdesinteractionsthermiquesentrepropulseurs...........................................................36 4.2.2 Lamodlisationmcanique................................................................................................................41 4.2.2.1 Casduneseulechambreenfonctionnement.........................................................................43 4.2.2.2 Casde3chambresenfonctionnement...................................................................................46
5 6
PRESENTATIONSYNTHETIQUEDESPROTOTYPESDEMICROPROPULSEURAPLAT...................................................49 CONCLUSION.........................................................................................................................................50
CHAPITREIII:TECHNOLOGIEDEREALISATIONDESMATRICESDEMICROPROPULSEURS...................53 1 2 INTRODUCTION......................................................................................................................................53 RETOURSURLECHOIXDINITIATEURSSURMEMBRANESIO2/SINXAVECRENFORTPOLYMERE................................54 2.1 RappeldesdimensionsdesstructureschoisiesauchapitreII......................................................55 3 PRESENTATIONDUPROCEDEDEFABRICATION..............................................................................................58 4 REALISATIONDESRESERVOIRSDUPROPERGOL..............................................................................................66 4.1 lapartieensilicium ......................................................................................................................66 . 4.2 lapartieenmacor........................................................................................................................66 5 LESPROPERGOLSSOLIDEENVISAGESPOURLESTESTSDESMICROPROPULSEURS...................................................67
Table des matires
5.1 LaPoudreNoirePN....................................................................................................................67 5.2 PropergolDoubleBasetypeGBTu...............................................................................................68 5.3 LepropergoldoublebaseDBE40320dePROTAC.................................................................68 5.4 PropergolcompositePolyAzoturedeGlycidylePAG..................................................................70 6 PROCEDEDASSEMBLAGEDUDEMONSTRATEUR...........................................................................................70 7 CONCLUSION.........................................................................................................................................74 CHAPITREIV:CARACTERISATIONETVALIDATIONEXPERIMENTALEDESMEMSMICROPROPULSEURS ..............................................................................................................................................................75 1 2 INTRODUCTION......................................................................................................................................75 CARACTERISATIONDELINITIATIONDUMATERIAUPYROTECHNIQUE............................................................76 2.1 Testdinitiationdetdecombustion..............................................................................................77
2.1.1 Descriptiondelexprimentation.......................................................................................................77
2.2 Propergolstestes..........................................................................................................................80 2.3 Rsultatsdestestsdinitiationetdecombustion.........................................................................80

2.3.1 LaPoudreNoirePN..........................................................................................................................80 2.3.2 PropergolDoubleBasetypeGBTu.....................................................................................................81 2.3.2.1 Structuredetest......................................................................................................................81 2.3.2.2 Caractrisation.........................................................................................................................83 2.3.2.3 Conclusion ...............................................................................................................................84 . 2.3.3 PropergolPAG....................................................................................................................................85 2.3.3.1 Premiresstructuresdetest....................................................................................................85 2.3.3.2 Caractrisationetvalidation....................................................................................................87 2.3.3.3 Premiressriesdeconclusions..............................................................................................90 2.3.3.4 Deuximesstructuresdetest.................................................................................................91 2.3.3.5 Caractrisationetvalidation....................................................................................................93 2.3.3.6 Deuximesriedeconclusions................................................................................................96
DEVELOPPEMENTDUNPROPERGOLADAPTEAUPROPULSEURSMEMS............................................................96 3.1 Ideetmotivation........................................................................................................................96 3.2 FabricationetmiseenuvredunpropergolDB+x%PNenbrins................................................97

3.2.1 3.2.2 3.2.3 Procddefabrication.......................................................................................................................97 Miseenformedebrins......................................................................................................................98 avantagesetinconvnientsdunouveaumatriauenergtique........................................................99
3.3 EtudedelinfluencedutauxxduSDdanslacompositionSD+x%PNsurlinitiationetla combustion..........................................................................................................................................100

3.3.1 3.3.2 3.3.3 Structuredetest...............................................................................................................................100 Caractrisationetvalidationdelinitiationparsquencevido......................................................102 Conclusionssurlesstructures..........................................................................................................108
3.4 Caractrisationdepousse........................................................................................................108
3.4.1 BalancedepoussedveloppeauLAASCNRS...............................................................................108 3.4.1.1 Principedefonctionnementetcaractristiquestechniques.................................................109 3.4.1.2 Etalonnageetperformances..................................................................................................110 3.4.2 Systmedacquisitionetcblagedelamatricedepropulseurs.......................................................111 3.4.3 Caractrisationexprimentaledelapousse..................................................................................111 3.4.3.1 Structuresdetests.................................................................................................................111 3.4.3.2 Caractrisationparsquencevido.......................................................................................113 3.4.3.3 LescourbesdePOUSSEEenfonctionduTEMPS:Analysedesrsultatsetdiscussion.........117
CONCLUSION.......................................................................................................................................122
CONCLUSIONGENERALE.....................................................................................................................125 BIBLIOGRAPHIE...................................................................................................................................129
Introduction gnrale
IN T RO D U C TI ON G EN E R A L E
La micropropulsion sur silicium a t propose en 1997 et brevete par le LAAS-CNRS et le CNES [1]. Lide tait dutiliser le micro-usinage du silicium et la ralisation dune membrane pour intgrer la fois un rservoir de matriau nergtique et le support de linitiateur lectrique de mise feu. Loriginalit de cette conception de propulseur tait que la membrane, en se rompant sous leffet de la pression des gaz, permettait ces derniers de scouler par la face avant du propulseur, du cot mme de la mise feu.
Ce propulseur a t lorigine dun grand mouvement dintrts pour ces dispositifs considrant quils amnent aux microsystmes une possibilit dactionnement mcanique ou thermique de grande nergie. Ce mouvement dintrt a t dcrit par C. Rossi et son quipe dans la revue Sensors and Actuators en 2005 [2].
Le grand projet europen : MICROPYROS [3] [4], auquel nous avons particip, t loccasion du dveloppement technologique dune structure dite verticale, qui a fait lobjet du sujet de thse de notre collgue B. Larangot [5].
Ce projet a propos la ralisation de matrices de micropropulseurs en appliquant une technologie dempilement 3D des couches : des forces de 12mN ont pu aussi tre atteintes [6].
Notre travail sinscrit dans cette ligne de travaux consacrs la micropropulsion, non pas avec lobjectif de montrer la faisabilit des approches, mais de concevoir des approches plus optimales en fonction des applications. Nous considrons ici, comme application, la
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Introduction gnrale
correction rapide de lassiette des micro-drones soumis une forte perturbation (dsorientation due un coup de vent).
Des considrations gnrales dcrites au chapitre I montrent quil faut concevoir des structures plus puissantes 100mN et mme 1N, acclrer le processus de mise feu et dans certains cas et trouver des solutions pour des commandes fines continues (non pas seulement discrtes).
Notre apport, original, dans cette srie de travaux consiste en la conception, la ralisation et le test dune structure nouvelle horizontale. Les ides de matrices dallumages sur membrane et dempilement 3D de couches seront maintenues mais, nous proposons dintgrer dans la structure microusine, le col de tuyre De plus, ce dispositif permet denvisager des rservoirs plus volumineux et donc de dlivrer des nergies par micropropulseur plus importantes.
Notre travail sest droul dans le groupe N2IS (Nano Ingnierie et Intgration des Systmes) o des efforts importants sont consacrs non seulement au dveloppement de technologies nouvelles, mais aussi des dveloppements thoriques pour les associer des dmarches de conception. Nous rservons une partie importante dans le premier chapitre lanalyse des besoins en aronautiques pour mettre en uvre une dmarche de conception adapte aux micro-drones. On a pass en revue les diffrents modes et technologies de propulsion. Nous positionnerons lintroduction des micropropulseurs intgrs sur silicium propos par le LAAS en 1995 [7] parmi tous les autres modes de propulsion de manire mieux orienter les travaux que nous menerons pour amliorer les procds de fabrication et les performances, notamment dans les applications aronautiques et spatiales. Dans ce chapitre, nous introduirons nos concepts de micropropulseurs intgrs en matrices raliss sur silicium micro usin. Nous tenterons de positionner ce type de propulsion par rapport aux autres technologies, avec ses atouts et les problmes que soulvent son dveloppement.
Dans le chapitre II, nous allons faire une tude du besoin en force de propulsion et dmontrer que la micropropulsion solide est une option avantageuse pour corriger des
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Introduction gnrale
fortes perturbations sur lassiette des micro-drones. A lissue de cette tude, nous allons faire la conception dune nouvelle gnration de propulseurs base de silicium conformment aux spcifications. Un micropropulseur unitaire sera dfini, ainsi que
larchitecture des matrices de micropropulseurs permettant dassurer un contrle du drone le plus longtemps possible pendant son fonctionnement. Enfin, une mthodologie de mise en place sera prsente pour valider et affiner la conception de ces matrices de micropropulseurs pour dmontrer finalement lapplicabilit de ces matrices pour la commande des micro-drones.
Le chapitre III sera consacr loptimisation du procd de ralisation des matrices de micropropulseurs sur silicium. Lide dorigine, dans lusage du silicium, tait de profiter de la possibilit de fabrication collective et de la possibilit dintgrer sur le mme substrat dautres fonctions lectroniques, par exemple : des rsistances ou des diodes dadressage. Une ide importante dans la conception de cette nouvelle structure sera, au-del de lallumage par un initiateur sur membrane, dintgrer la forme optimale dune tuyre par microusinage du silicium. Nous dfinirons aussi la technologie de ralisation et nous tenterons de prsenter et de rsoudre les difficults technologiques rencontres dans les microfabrications, en salle blanche. Enfin, un procd de chargement du propergol et dassemblage du dmonstrateur par la technique flip-chip sera prsent.
Dans le chapitre IV, sera rserv la caractrisation les processus dinitiation et de combustion. Nous utiliserons diffrents matriaux nergtiques pour trouver un matriau fonctionnel, adapt nos structures. Nous validerons aussi le bon fonctionnement de lassemblage complet. Ensuite, nous tudierons le mode de combustion du propergol, choisi, contenu dans des rservoirs silicium et la tenue mcanique de lassemblage. Nous terminerons par la prsentation des profils de pousse obtenus en utilisant la balance de milli-pousse dveloppe au LAAS et dterminerons les valeurs maximales et les dynamiques des pousses obtenues.
Nous verrons, en conclusion, que cette approche dintgration originale est un succs : nous avons pu, sans difficult technologique majeure, appliquer nos ides et dmontrer leur validit.
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Introduction gnrale
Ce travail naurait pas pu avoir le caractre achev que je viens de dcrire sans la collaboration qui sest installe entre lquipe Micropropulseurs du groupe N2IS du LAAS-CNRS et lquipe de PROTAC, filiale du groupe THALES, qui a propos ltude la D.G.A (la Dlgation Gnrale pour lArmement). Certains rsultats prsents sont en effet de rsultats dun travail coopratif intense et rgulier.
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Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques
CHAPITRE I
CHAPITRE I : ETAT DE LART ET PROBLEMATIQUES

1 INTRODUCTION
Lobjectif gnral de ce premier chapitre est de prciser la place des micropropulseurs intgrs sur silicium parmi tous les autres modes de propulsion de manire mieux orienter les travaux que nous aurons conduire pour amliorer les procds de fabrication et les performances, notamment dans les applications aronautiques et spatiales.
Nous indiquerons les besoins en micropropulsion qui se sont exprims dans lespace (microsatellites) et dans laronautique (micro-drones). Nous proposons un tat de lart pour lequel nous nous bornerons une explication brve du principe de fonctionnement de chacun des modes de propulsion en donnant leur potentiel dapplication. En conclusion de cet tat de lart, on dressera une analyse synthtique de la micropropulsion comparative
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entre les diffrents modes de propulsion en terme de performances et de type de manuvres excutables. Nous terminerons par la prsentation de notre propre approche des micropropulseurs intgrs en matrices raliss sur silicium micro usin. Nous tenterons de positionner ce type de propulsion par rapport aux autres technologies, avec ses atouts et les problmes que soulvent son dveloppement.
2 LE CONTEXTE : DES MICROTECHNOLOGIES AUX MICROSYSTEMES

Le MEMS (MicroElectroMecanicalSystem) est l'intgration dlments mcaniques : capteurs et actionneurs, avec une lectronique de gestion ralise sur un substrat de silicium par les micro et nanotechnologies. Les composants microlectroniques sont fabriqus en utilisant les procds des circuits intgrs (IC) : CMOS, bipolaires, ou BICMOS, alors que les composants micromcaniques sont fabriqus en utilisant les procds de "microusinage" compatibles qui gravent slectivement les parties de la plaquette de silicium ou ajoutent de nouvelles couches structurales pour former des composants mcaniques ou lectromcaniques.
Si lon considre ces vingt dernires annes, les microtechnologies sont au cur des dveloppements technologiques de la Socit de l'Information, en permettant une augmentation considrable des performances des quipements en termes de puissance, de rapidit, de faible consommation et d'intgration. Le secteur des microsystmes fait partie intgrante, avec la microlectronique, de ces technologies et il en prend, depuis quelques annes, une part grandissante. Si on ajoute aux fonctionnalits de capteur ou dactionneur une contrainte de miniaturisation, de traitement de donnes et de communication on peroit bien lintrt que revtent les microsystmes et leur apport, en terme dintelligence, pour les quipements.
Le march ne sy est pas tromp : si les microsystmes reprsentaient il y a plus de quinze ans un objet de laboratoire o visaient des marchs de trs haute technologie, on note depuis quelques annes une croissance de ce secteur avec un taux de croissance annuel de lordre de 20% depuis 2000. Plus de 70% du march des MEMS est actuellement ralis
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dans quelques applications : les ttes dimpression jet dencre, les ttes de lecture/criture pour disque dur, les capteurs de pression et acclromtres pour applications automobiles ou mdicales ainsi que les micro-miroirs pour vido projecteurs. Ces applications correspondent de trs grands volumes. Le reste du march des MEMS (30%) correspond des marchs mergents ou des marchs de niche qui contribuent ou vont contribuer de plus en plus fortement cette croissance. A ce titre, lautomobile est un domaine particulirement porteur car il offre la fois des dbouchs importants (forts volumes) et exige une forte innovation. Les autres domaines applicatifs qui contribueront vraisemblablement la croissance du secteur dans les prochaines annes sont les technologies de linformation (scurit, domotique, tlcommunications), le mdical
(imagerie, dispositifs mdicaux, monitoring, diagnostic, pharmacie) et le spatial. Les volutions technologiques rcentes ont permis la ralisation de nouvelles fonctions et, par consquent, de rpondre de nouveaux besoins. Il nest toutefois pas si simple de matriser les nouvelles technologies des microsystmes car elles sont, par essence, multidisciplinaires. La fabrication de microsystmes ncessite non seulement l'utilisation des technologies de la microlectronique, mais aussi celle de technologies
complmentaires comme la micro-mcanique, le micro-moulage, loptiqueElle ncessite galement de nombreuses comptences dans dautres domaines comme la chimie, les matriaux,
Notre domaine dintrt est celui des microsystmes de puissance dont une part importante est celle de la production dnergie.
3 LEMERGENCE DE LA MICROPYROTECHNIE DANS LA REALISATION DE MICROSYSTEMES ENERGETIQUES [8]

En 1998, Gary Stix un journaliste Scientific American, a crit : getting enough force out of silicon micromachines in order to realize a useful amount of work has always proved a nettlesome challenge. Cette phrase illustre bien la problmatique nergtique qui se pose dans le dveloppement des microsystmes : la miniaturisation des systmes aboutit une rduction considrable des niveaux dnergie disponibles dans les systmes
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Lide propose par le LAAS en 1994 [9] a t dintgrer de matriaux nergtiques dans les microsystmes et plus particulirement les propergols qui sont une source trs attractive dnergie embarque. En effet, typiquement, la combustion du propergol produit 5MJ/kg alors quune batterie Lithium moderne utilise dans les nouveaux PC portable ne stocke peine que 0.4MJ/kg. Mme avec des rendements de conversion lectrique de 10%, les matriaux pyrotechniques restent intressants en terme de niveau dnergie disponible.
Si ces matriaux peuvent tre facilement intgrs dans des microsystmes fonctionnels, la micropyrotechnie reprsente une avance et une rponse trs prometteuse dans le domaine des actionnements de puissance. Cest dans cet esprit que des travaux sur la micropropulsion solide ont t engags au LAAS-CNRS des les annes 90 et poursuivies depuis [7] [10] [11]. Dans ce contexte, notre ambition a t de contribuer deux points, en travaillant sur lintgration de matriaux pyrotechniques, dans des microsystmes silicium et sur la comprhension des mcanismes dinitiation et de combustion de ces matriaux aux faibles dimensions. Lobjectif pratique est clair : la conversion dune nergie chimique embarque en nergie mcanique, plus prcisment en nergie pneumatique, sans partie en mouvement. Cependant, ces systmes sont mono coups et peuvent tre associs en matrice si besoin.
Cette nergie pneumatique de combustion des propergols peut tre soit utilise: pour mettre en mouvement une pice mcanique ou un fluide, pour propulser : dans ce cas, les gaz chauds issus de la combustion sont acclrs au travers dune tuyre convergente-divergente et crent ainsi une pousse. Pour chauffer : dans ce cas, nous utilisons la chaleur produite par la combustion pour chauffer localement une partie du systme, ventuellement pour initier une deuxime raction pyrotechnique.
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4 LA MICROPROPULSION EN AERONAUTIQUE BORD DES DRONES MINIATURISES

Les micro-drones sont des vhicules volants qui ont des missions de surveillance civiles ou militaires. Linformation quil recueille est acquise en temps rel et la mise en uvre de tel enjeu, telle quon limagine aujourdhui, doit tre simple et rapide. Les champs dapplications sont considrables et les enjeux peuvent tre diffrents selon que lon couvre un grand espace ou des secteurs gographiques limits. Il existe dj de nombreux produits commerciaux de grande taille. Nous nous intressons ici aux engins miniatures portables (quelques kilogrammes) appels micro-drones dont un exemple ralis dans le cadre dun projet de collaboration entre lONERA1 et lERM2 est montr sur la Figure 1. De nombreuses applications civiles existent, comme linspection d'ouvrages (ponts, immeubles), la surveillance de catastrophes naturelles, la retransmission d'vnements mdiatiques, le reprage de mines anti-personnelles...etc. Parmi les applications militaires qui nous intressent, les micro-drones de gnration future : MAV2G, MAV3G ont pour objectif la reconnaissance en milieu urbain (inspection en milieu urbain ou l'intrieur de btiments).
Figure 1: Projet ONERA/ERM : le MIRADOR
1 2
Office National dEtudes et de Recherches Arospatiales. Ecole Royale Militaire, Bruxelles.
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Pour ces applications, outre une bonne autonomie, un bon rendement nergtique et une bonne puissance spcifique (la charge embarque en dpend), il faut galement matriser des performances prcises comme : la stabilisation dattitude, le vol stationnaire, pour des tailles dengin qui ne devraient pas excder quelques dizaines de centimtres dans toutes les directions. Les Amricains, par des efforts importants en miniaturisation (DARPA, ARO, NASA), possdent une avance certaine [12] [13]. Actuellement, en France, les minidrones ailes fixes, d'une taille de l'ordre du mtre sont disponibles. En 2005, le vol stationnaire pour une taille de 40 cm (Figure 3) a t test avec succs [14].
Figure 2: Voilure fixe Black widow, Aerovironment, USA
Figure 3: Voilure tournante. Etude DARPA
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5 LA MICROPROPULSION SOLIDE DANS LE SPACIALE BORD DES MICROSATELLITES

Le dveloppement de systmes de micropropulsion partir des technologies MEMS est un sujet de comptition internationale (Europe et USA principalement) depuis les annes 90 [15-46]. ([15][16][17] [18] [19] [20] [21] [22] [23] [24][25][26] [27] [28] [29][30] [31] [32] [33] [34] [35] [36][37] [38] [39] [40] [41] [42] [43] [44] [45] [46]) Etant donn la quantit doptions dveloppe, nous nous limiterons dans cette thse rappeler un tat de lart de la micropropulsion solide afin de positionner nos objectifs parmi ceux de la communaut internationale. On peut caractriser le potentiel dun systme de micropropulsion partir de quelques critres de base qui sont valables quelque soit la mission : Les performances en terme de pousse, impulsion totale et impulsion minimale qui permettent de cibler lapplication : propulsion primaire, secondaire ou ACS, Limpulsion spcifique qui donne limage de lefficacit du propulseur, La robustesse et la fiabilit du systme, Le poids et le volume : cela dpend des contraintes spatiales mais de faon gnrale, la miniaturisation est souhaite, Le cot et lnergie consomme, La puissance.
Par rapport aux dveloppements technologiques, on peut dire que : Au niveau des systmes chimiques, les micropropulseurs gaz froid et sublimation solide sont relativement simples raliser mais ont des performances limites [47]. Les systmes propergol solide sont une option particulirement intressante notamment en matrices : ils sont simples technologiquement et ont des impulsions spcifiques relativement intressantes (~100s). Ce sont des systmes qui gnrent des pousses de lordre du milli-Newton sur des temps de quelques 100ms, ce qui les place au niveau des modules de propulsion secondaire (maintien poste).
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Les moteurs propulsion solide sont des systmes de propulsion trs performants. Ils prsentent une fiabilit suprieure la propulsion liquide et sont utiliss dans les phases de lancement qui ncessitent des niveaux de pousse levs.
En 1997, le LAAS a t lorigine dune tude sur la micropropulsion propergol solide tendue vers les technologies microsystmes. Notre propre travail sinscrit dans cette logique de proposition. A la suite de ces prcdents travaux, un consortium Amricain (TRW, Space & Technology Group, lAerospace Corporation, Mechanics & Propulsion Department, et le California Institute of Technology (Engineering Design Research Laboratory)) a lanc un projet DARPA visant aussi dvelopper ce type de systme de micropropulsion solide [29]. Depuis plusieurs projets dtude ont t lancs travers le monde sur le sujet [32] [37] [48-57]. [48] [49] [50] [51][52] [53] [54] [55] [56] [57].
Lide nouvelle des travaux du LAAS tait de proposer la ralisation de micropropulseurs intgrs sur silicium, le concept fonctionnel restant bas sur la combustion dun matriau pyrotechnique introduit dans une chambre. Le gaz mis par la combustion est acclr au travers dune tuyre convergente/divergente et gnre la pousse. Lintensit et la dure de cette pousse sont modifiables selon la gomtrie du micropropulseur. Dans la proposition initiale du laboratoire, la mise en feu est ralise sur membraneSiO2/SiNx. Cette membrane se brise la mise en feu pour permettre lvacuation des gaz. Le principe donn lieu un brevet commun CNES-CNRS [58] et a fait lobjet dun dveloppement important dans la thse de B. Larangot [5] et dans le projet europen MICROPYROS [3] dirig par le LAAS.
6 PROGRAMMES DE RECHERCHE SUR LA TECHNOLOGIE DE MICROPROPULSION SOLIDE DANS LE MONDE

Le systme de micro-propulsion solide propos par le LAAS [5] est prsent sur la Figure 4. Celui-ci a la particularit du fait que llment chauffant se trouve sur une membrane dilectrique trs fine. Il est constitu de cinq parties : Initiateur en silicium micro-usine avec membrane fine en SiO2/SiNx sur lequel dpos llment chauffant,
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Chambre intermdiaire en silicium micro-usine, Rservoir en Foturan, Fond en pyrex, Tuyre en silicium micro-usine.
Figure 4. Dimensions et caractristiques dun micropropulseur du LAAS-CNRS
Ce systme donne un bon rendement Edlivre/Edallumage. Cest un systme simple minimisant les risques de dfaillance et flexible : les caractristiques de pousse sont modifiables selon gomtrie du systme. Il reprsente aussi un grand avantage en terme de puissance ncessaire linitiation qui est trs faible (150mW) par rapport au systme de propulsion digital (50W). Ceci est d au rle de la membrane fine qui est en contact avec lair : Elle confine la chaleur dans le propergol et empche sa dissipation vers lextrieur du micropropulseur cause de la trs faible conductivit thermique de lair par rapport celle du silicium. Les tests de caractrisation de pousse, avec le combustible ZPP dans linitiateur et la composition 40 dans le rservoir, ont donn des pousses entre 2.5 et 0.28mN avec des structures respectivement avec et sans tuyre de 500m de diamtre de col, pendant une dure denviron 450ms. Les rsultats ont montr que ce type de concept micropropulseurs propergol solide rpond au besoin en propulsion des nanosatellites pour le maintien poste.
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Un systme de propulsion digitale caractris par une impulsion faible et trs courte dans le temps (quelques ms) a t propos par les amricains [29]. La configuration schmatique dun systme de propulsion digitale est reprsente sur le schma de la Figure 5. Il est constitu de trois couches superposes: Une plaque de silicium qui contient les diaphragmes, une plaque de verre contenant des chambres de propulseur, et une plaque de silicium infrieure contenant des initiateurs.
Figure 5. Configuration dune matrice de 4 propulseurs digitaux [29]
La rsistance de chauffage en silicium poly-cristallin a la forme dun serpentin. Sa valeur est de 210. Pour allumer le combustible, il faut tre aliment 100V en tension et 0.5A en courant pendant 50s, lquivalence de 50W de puissance et de 2.5mJ dnergie. En utilisant un propulseur rempli de propergol solide, les essais initiaux ont dvelopp 10-4N.s d'impulsion et environ 100W de puissance. Un microsystme de propulsion solide bas sur la technologie MEMS a t ralis et test par You Zheng et al. de luniversit de Tsinghua en Chine [59]. Il propose un concept proche de celui des amricains avec initiation sur matriau massif. Linitiateur est une plaque de Prex7740 sur laquelle est dpose une rsistance Pt. Une plaquette en silicium (100) type-P avec des trous cylindriques raliss en gravure ICP constitue les rservoirs.
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Une troisime plaque de silicium (100) grave au KOH constitue les tuyres (Figure 6). Les deux dernires parties sont assembles par la mthode Silicon Bonding.
Figure 6. Micropropulseur chinois [59]
Les caractristiques de linitiation et de la pousse nont pas t dtailles par lauteur mais une analyse comparative nous permet de dire que ce microsystme prsente un avantage par rapport aux propositions des Amricains en terme de consommation dnergie, car ils sont remplacer le silicium par le Pyrex7740.
Les Japonais S. TANAKA et al. de luniversit de Tohoku ont propos un prototype dun systme de propulsion solide ddi au contrle dattitude dun microsatellite de classe 10kg [60]. Le systme comporte une matrice 1010 micropropulseurs de diamtre de chambre 0.8mm. Llment chauffant se trouve sur membrane. La particularit de ce systme est quil est aliment en face arrire laide dune mtallisation des parois de la chambre de combustion cylindrique. Deux types de combustibles ont t tests. Linitiation se fait une puissance relativement faible entre 3 et 4W pour le premier combustible test, et entre 4 et 6W pour le deuxime. Limpulsion de la pousse et de 210-5Ns 310-4Ns. En rsum, pour initier un matriau pyrotechnique, il existe deux approches diffrentes:
- la premire, propose par les groupes Californiens [29], propose deffectuer

linitiation par un lment chauffant dispos sur le substrat silicium (Figure 5), larrire de la tuyre.
p.15
- Le second, propos par le LAAS, permet linitiation du propergol sur sa surface

suprieure, par lintermdiaire dune rsistance chauffante place au centre dune membrane dilectrique (cf. Figure 7). Cette membrane est rompue par la combustion du propergol et pendant ljection des gaz de propulsion.
Tuyres Matriau pyrotechnique
Substrat initiateur Rservoir en silicium et cramique micro usin
Fond de scellement
Figure 7: Initiation sur membrane
Les deux approches sont trs attractives car elles sont simples et compactes. Toutefois linitiation sur le substrat a pour dsavantage de consommer une grande puissance lectrique (100W) contrairement linitiation sur membrane qui limite les pertes par conduction. Avec un initiateur sur membrane, une puissance entre 150mW et 6W est suffisante [61]. Notre ambition est maintenant danalyser toutes ces approches pour mieux situer la contribution que pourraient prendre les propulseurs solides, dans les applications qui nous concernent : les micro-drones.
Dans ce cas la caractristique mono-coup des micropropulseurs propergol solide limite le systme. Cette limitation peut tre contourne par la conception de matrice de propulseurs en bnficiant des possibilites dintgration offerte par les microsystmes silicium. Par ailleurs, cette option reste trs attractive:
1) le systme complet est fabriqu de manire monolithique avec une forte densit dintgration, 2) lutilisation de propergol solide facilite le stockage des propulseurs et limine les risques de fuite qui sont un problme difficile rsoudre pour les propergols liquides ou gazeus,
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3) les micropropulseurs que nous concevons nont pas de partie mobile.
Ces avantages font que ce type de systme a t dj envisag pour raliser les manuvres des petits satellites (1~100kg).
7 MICROPROPULSION SOLIDE APPLIQUEE AU DRONES MINIATURISES

Depuis lmergence du concept des microinitiateurs propos par le LAAS en 1997, lintrt pour ces dispositifs ne sest pas limit ceux des micropropulseurs pour laronautique et pour lespace, mais dautres applications mdicales ou scuritaires mritent dtre mentionnes dans ce chapitre introductif. Indiquons ici quelques notes sur les applications mdicales pour la mise en circulation des fluides [62] ou pour la scurit des mise a feu [63]. Une premire gnration de produits de trs petite puissance a t valide en laboratoire : lavenir passe maintenant par des tapes de tests, sur des applications relles, pour parfaire les technologies et sassurer de la conformit du produit toutes les exigences du cahier des charges en environnement rel. Lavenir, comme nous allons le voir, passe aussi par une augmentation de la pousse disponible pour la propulsion : cest le cas pour les applications la correction dassiette des drones, que nous allons dtailler ci-dessous.
7.1
LES MICRO-DRONES
Les micro-drones sont des engins volants dobservation utiliss, par exemple, pour la surveillance courte distance, dans les environnements complexes comme
lenvironnement urbain : ils sont quips dune camra dans le spectre visible ou dans linfrarouge et renvoient le signal en temps rel un poste dobservation fixe. Lanc partir dun quipement lger et portable, ils peuvent voluer quelques dizaines de minutes pilot du sol ou en vol autonome. Idalement, ils devraient pouvoir tre autonome et doivent tre capables de voler vitesse rduite pour raliser des prises de vue de qualit.
p.17
Sur la base des technologies de micropropulsions que nous venons de prsenter, lide que le laboratoire proposait de dvelopper dans cette problmatique tait celle dun engin totalement propuls et command par des micropropulseurs rpartis et correctement rajouts sur la structure volante : en envisageant de concevoir une structure gomtrie variable, stocke sous la forme dune mini-rocket, propulse en altitude pour y tre dploye sous la forme dun micro-drone de type avion u.l.m ou simplement dun parachute Dans sa forme dploye, lengin devait tre propuls par des micropropulseurs placs larrire et manuvrs par des commandes mcaniques et des micropropulseurs placs larrire et sur les ailesetc. Ltude de faisabilit conduisait, pour heure de vol, aux problmatiques suivantes: Lancement, Propulsion en vol, Correction dassiette.
Le projet, tel que nous venons de le prsenter, na pas t retenu, bien que soutenu par PROTAC, notre partenaire. La D.G.A a plutt souhait construire un dmonstrateur sur une fonction dappoint, dans la commande des micro-drones : la correction dassiette, dans le cas des fortes perturbations lies, par exemple, des bourrasques de vent.
Ce projet doit tre trs dmonstratif des capacits des micropropulseurs en matrice que nous exprimenterons en collaboration avec la socit PROTAC, trs exprimente sur la conception des missiles. Lorganisation du projet se rsume en un partage des tches o PROTAC fixe le cahier des charges, assure linterprtation et fait la dmonstration de la faisabilit du projet, o le LAAS apporte la conception et la ralisation, au stade prototype, dune matrice de micropropulseurs.
Notre travail de thse sinscrit compltement dans ce projet. Nous lavons conduit selon le planning dfini contractuellement, en nous efforant de renforcer nos mthodes gnrales de conception des microsystmes : dfinition de cahier des
p.18
charges, modlisation, conception, ralisation, validation, testetc. Le lecteur trouvera toutes les tapes, dans les prochains chapitres.
7.2
DEFINITION DU CAHIER DES CHARGES
On se propose, dans un premier temps, dexpliciter les objectifs fixs par la DGA et dcrire les spcifications, nous permettant aussi de raliser le dimensionnement des micropropulseurs. On dfinira en particulier le drone ainsi que le niveau de perturbation considr. A partir de l, nous pourrons calculer le besoin en force et dimensionner les propulseurs.
A partir des spcifications DGA, nous devons considrer un drone miniature dont les dimensions et caractristiques sont les suivantes (Figure 8): Masse totale: 1.5kg, Aile : 250g, nacelle : 1kg, Dimensions dune aile : o Longueur : 25cm, o Largeur : 10cm, o Epaisseur : 2cm, Alpha (angle que fait les ailes avec le plan horizontal) : ~5.
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25cm 10cm
y
2cm
250g
x 1kg
250g
4cm 50cm 4cm x y
25 cm
10cm
Figure 8 : Schma du drone et dimensions pour ltude
Dans un souci defficacit, les matrices de micropropulseurs seront disposes au plus prs de lextrmit de chaque aile. Selon les spcifications, nous supposons que le drone est en vol stationnaire propuls par hlice et quil reoit une rafale de vent de vitesse apparente jusqu 8 m/s. Le vent faisant un angle dincidence avec le plan horizontal (Figure 9).
Figure 9: Schma du drone en vol stationnaire soumis une rafale de vent dangle par rapport son plan horizontal
Pour les besoins de ltude, et conformment aux spcifications DGA, on sintressera aux rafales de vent sinscrivant dans la dfinition suivante : Vitesse : 0 - 8m/s, soit 0- 28 km/h, Dure : quelques secondes (2 - 3s), Angle dincidence : tous les angles.
p.20
Soumis la rafale, le drone se dstabilise. Lobjectif est donc de le ramener sa position horizontale au plus vite avant quil ne devienne incontrlable (Figure 10). Pour cela, la stratgie consiste placer au bout des ailes des matrices de micropropulseurs sur silicium dclenches en couple ds que le drone est dstabilis.
Figure 10 : Rponse du systme une rafale, (a) avec et (b) sans lintervention des -propulseurs
Des calculs, dtaills dans le paragraphe suivant, permettent de connatre la rotation du drone en fonction du temps avec ou sans lintervention des micropropulseurs. Dans ces calculs, nous ne prenons pas en compte leffet didre des ailes du drone qui tend stabiliser le drone en roulis lorsque celui ci est dstabilis.
7.3
CALCUL DES FORCES A COMPENSER
La rotation du drone autour de son centre de gravit est gouverne par lquation suivante :
( F )
avec :
& = J .&
(1)
o J : moment dinertie du drone o : moment des forces auxquelles est soumis le drone.
En supposant que le drone a la forme simple dun cylindre central (corps) avec deux ailes rectangulaires (Figure 8), le moment dinertie sexprime par la relation :
J G = 2 J ailes + J corps
En fonction des dimensions, on trouve :
p.21
m( b + e ) ( D + b )2 D2 J G = 2( )+ M +m = 0.018USI 12 4 8
avec : o m : masse de chacune des ailes (250g), o M : masse du corps central (1kg), o b : longueur de chacune des ailes (25cm), o e : paisseur des ailes (2cm), o D : diamtre du corps central (4cm).
Lorsquune rafale de vent sapplique sur le drone alors que ce dernier est en vol stabilis, lquation (1) scrit :
ab 2 C zV[sin( + +(t))sin( +(t))]= J G. d 2 4 dt 2
(2)
avec :
V : vitesse apparente du vent (entre 1 et 8 m.s-1) a : largeur de chacune des ailes (10cm),
: densit de lair (1.2kg/m3), : angle dincidence de la rafale par rapport lhorizontale du drone (variable), : angle entre le plan des ailes et lhorizontale (5),
& et & sont langle et lacclration angulaire gnre par la rafale de vent autour de
laxe de roulis.
Lquation (2) peut galement scrire :
ab C zV.sin cos( +(t))= J G& & 2
(3)
Pour les petits (<1), lquation (3) devient :
ab 2 ab 2 & C zV 2 sin cos C z V 2 sin sin = J& 2 2
(4)
p.22
Soit :
& A + B = &
Avec
ab 2 A= C z V 2 sin sin 2JG ab 2 B= C z V 2 sin cos 2JG

Cette quation restreinte aux petits angles de roulis (<1), a pour solution :
B cos sin (cosh At 1 ) = (cosh At 1 ) (pour <1) (5) A sin cos

=0
pour t=0 et & =0 pour t=0.
A partir de cette quation, on peut tracer lvolution de langle de rotation du drone en fonction du temps.
7.4
PRESENTATION DES RESULTATS
Pour la structure de drone dcrite prcdemment, la Figure 11 prsente lvolution de langle de rotation du drone par rapport lhorizontale en fonction du temps, et ce, pour diffrentes inclinaisons et intensits du vent. Nous pouvons en dgager le temps de rponse attendu pour les micropropulseurs.
p.23
roulis (thta n fctn de t) delta V=2m/s 0.09 0.08 0.07 0.06 theta (degr) 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 psi=10 psi=45 psi=70
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1 0.12 temps (s)
0.14
0.16
0.18
0.2
Figure 11 : Angle de rotation en fonction du temps pour V=2m/s et V=8m/s
En effet, ce graphe montre que le drone, compte tenu de sa matrice dinertie, met entre
60ms et 250ms pour tourner de 0.1.
Les propulseurs sont dclenchs ds que le drone est dstabilis, comme le montre le schma de la Figure 12.
T +
F1V F2V T
Figure 12 : Dstabilisation du drone soumis une rafale de vent
On suppose que le temps de la commande est ngligeable par rapport au temps de rotation, et quoi quil en soit, infrieur 1ms. La Figure 13 reprsente lvolution de langle de rotation (roulis) du drone soumis une rafale de vitesse apparente de 8m/s 45 de lhorizontale, et avec les propulseurs de stabilisation pour deux forces : 20mN et 35mN.
p.24
roulis (thta n fctn de t) 1 0.9 0.8 0.7 theta (degr) 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0
sans propulseurs couple : 2x20mN couple : 2x35mN
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1 0.12 temps (s)
0.14
0.16
0.18
0.2
Figure 13 : Angle de rotation du drone pour V=8 m/s et =45, avec ou sans micropropulseurs.
Ainsi, il faut 35mN sur chaque aile pour compenser une rafale de vent de 8m/s 45.
Enfin, le graphe de la Figure 14 permet dapprcier le niveau de force appliquer sur chaque aile en fonction de la vitesse du vent, pour des inclinaisons =45,10,70. Dans la gamme de vitesse tudie (entre 1m/s et 8m/s), la force appliquer varie de
0.5mN 50mN.
50 45 Force appliquer au bout des ailes (mN) 40 35 30 25 20 15 10 5 0 psi=10 psi=45 psi=70
4 5 delta v(m/s)
Figure 14 : Force appliquer au bout de chaque aile, pour stabiliser le drone soumis une rafale dintensit deltaV et dorientation : 10, 45 ou 70.
p.25
8 CONCLUSION
Ce chapitre a permis de situer notre activit et notre projet dans le cadre des microsystmes de puissance. Nous avons rappel lhistoire rcente du concept des micropropulseurs et situ lide originale propose par le LAAS en 1995, parmi lensemble des travaux sur le sujet : En effet, lide dutiliser un matriau nergtique et son initiation des dimensions microniques, dfinis un champ dactivit qui ne cesse de se diversifier car cette option apporte des solutions compactes dans lactionneur de puissance. Nous avons rappel les principaux travaux dans le monde et avons dtaill plus particulirement les rsultats obtenus au sein du projet europen MICROPYROS [3], auquel nous avons particip.
Notre thse sinscrit dans le cadre de dveloppement des micropropulseurs sur silicium pour la stabilisation de petits drones et qui pourrait aussi intervenir sur les nanosatellites. En relation avec lentreprise PROTAC, notre travail vise la stabilisation des drones dans les cas de fortes perturbations en milieu urbain. Nous avons prsent le problme, dgag un cahier des charges et command plus spcifiquement cette application qui conduit une nouvelle gnration de micropropulseurs plus puissants.
p.26
Chapitre 2 : Conception dune nouvelle gnration de micropropulseurs base de silicium
CHAPITRE II
CHAPITRE II : CONCEPTION DUNE NOUVELLE GENERATION

D E MIC R O PR O PU LSEUR S A B A SE D E SI L ICI U M
1 INTRODUCTION
Pendant quils voluent en zone urbaine, les drones sont soumis de brves, mais frquentes rafales de vent lors des passages prs des btiments par exemple. Ces courtes perturbations ont principalement pour effet de modifier lassiette du drone, et de dplacer son centre de gravit. Ainsi, comme nous lavons prsent dans le chapitre I, ltude actuelle a pour objectif de dmontrer que la micropropulsion solide est une option avantageuse pour corriger des effets de fortes perturbations comme ces effets de fortes acclrations/dclrations en milieu urbain.
p.27
Dans le cadre de cette prsentation, ce chapitre a pour objet, partir de lanalyse des besoins prsents au chapitre I, de proposer une conception de lactionneur micropyrotechnique conformment aux spcifications suivantes : dfinir le micropropulseur unitaire, ainsi que larchitecture des matrices de micropropulseurs permettant dassurer un contrle du drone le plus longtemps possible pendant son fonctionnement, prsenter une mthodologie de mise en place pour valider et affiner la conception de ces matrices de micropropulseurs pour dmontrer finalement lapplicabilit de ces matrices pour la commande des micro-drones.
2 CONCEPTION DES MICROPROPULSEURS 2.1 PRESENTATION DU NOUVEAU CONCEPT
Nous proposons ici, une architecture de propulseur plat (Figure 15). Elle se diffrencie de larchitecture verticale dveloppe dans le cadre du projet MICROPYROS [3] par le fait que le rservoir, le convergent, le col, la tuyre et linitiateur sont usins dans le mme substrat de silicium. Cette structure prsente donc lavantage de raliser tout le corps
du propulseur en une seule tape dusinage silicium. De plus elle permet de dissocier
linitiation du rservoir, mme sils sont sur le mme substrat. Ceci permet de raliser de gros rservoirs, en usinant la pice rapporte, sans gner linitiation.
La structure globale des micropropulseurs plat est simple ; elle consiste en un empilement de 2 ou 3 couches : Un substrat de silicium micro usin qui dessine la tuyre, le rservoir et linitiateur sur membrane dilectrique fine. Ce substrat de silicium central permet aussi la ralisation des chemins dalimentation lectriques de chacun des initiateurs, Une couche suprieure assurant ltanchit et dfinissant le volume du rservoir, Une couche supplmentaire qui peut tre insre sur la face infrieure du substrat, si lon a besoin de rservoirs plus importants pour des dispositifs plus nergtiques.
p.28
Rservoir en MACOR
Membrane dilectrique (~2m) avec rsistances et contacts Silicium (~1mm) Rservoir en MACOR
Figure 15 : Architecture de la structure des micropropulseurs sur silicium plat
3 CHOIX DES MATERIAUX ET DES PROPERGOLS 3.1

CHOIX DU MATERIAUX DES RESERVOIRS DU PROPERGOL
Les technologies de fabrication choisies sont celles des microsystmes pour des raisons videntes de capacit la miniaturisation, de cots et de prcision dusinage.
Le silicium est le matriau le plus utilis et reste encore aujourdhui le matriau privilgi en microsystmes. Il sera utilis pour la ralisation des initiateurs et des chambres. Cependant lutilisation du silicium en micropyrotechnie prsente des limites. Sa forte conductivit thermique (140W/mK) qui est un avantage en microlectronique pour vacuer la chaleur est un inconvnient majeur pour la ralisation de micropyro-systemes performant ncessitant un confinement de la chaleur.
Un autre matriau doit tre alors envisag pour raliser les rservoirs de propergol. Au LAAS, nous maitrisons lusinage les matriaux suivants :
le verre photosensible : ce type de verre prsente lavantage davoir une faible
conductivit thermique (1.4W/mK) et susine chimiquement par des procds compatibles avec les microsystmes. Nous lavons dj utilis dans les micropropulseurs verticaux de MICROPYROS [3].
p.29
le MACOR : cette cramique prsente lavantage par rapport au verre davoir
un coefficient de dilatation trs proche du silicium et donc rduit les risques de rupture mcanique de lassemblage soumis aux forts gradients thermiques et la pression. Le MACOR susine par voie classique.
Notre choix sest port sur le MACOR afin de tester son utilisation notamment dans les micropropulseurs, tant donn que nous avons dj utilis le verre photosensible dans les micropropulseurs architecture verticales (projet MICROPYROS [3]) Nous avons dvelopp des nouvelles mthodes dusinage pour le MACOR, toujours par voie classique, pour tendre son intgration dans les microsystmes base de silicium. Les caractristiques thermiques et mcaniques du MACOIR et du Silicium sont prsentes dans le Tableau 1.
Silicium Macor
Conductivit thermique (W/cm.K) Chaleur spcifique (J/g.K) Diffusivit thermique (cm/s) Masse volumique (g/cm3) Coefficient de dilatation thermique (K-1) Module dYoung (Gpa) Coefficient de Poisson Contrainte la rupture (MPa)
1.412 0.70 0.9 2.33 2.6 10-6 155.8 0.2152 > 600
0.0146 0.79 7.3 10-3 2.52 9.3 10-6 66 0.29 94
Tableau 1 : Principales caractristiques des matriaux
3.2
CHOIX DU MATERIAU PYROTECHNIQUE
Le choix des matriaux est un lment clef des performances des propulseurs. En gnral, un matriau pyrotechnique utilis dans la chambre de combustion doit rpondre aux exigences suivantes :
p.30
Pour des questions de scurit, le matriau doit prsenter une raction de type dflagration sans risque de passer en rgime de dtonation.
Pour des raisons de protection de lenvironnement, la combustion doit tre complte, ne laissant aucun rsidu en fin de combustion.
De plus :

Le matriau doit tre stable dans le temps, Les gaz de combustion ne doivent pas tre toxiques, La combustion doit avoir un rendement gazeux maximum et prsenter des vitesses de combustion suffisantes aux trs petites dimensions,
Lors de lexcution de nos travaux, nous avons rencontr deux difficults quil faut surmonter : La ractivit du matriau qui, si elle est trop faible, ne permet pas la combustion totale La nature du matriau doit tre adapte au remplissage par lquipement Flip-Chip et la mise en contact avec linitiateur. Lexprience de MICROPYROS [3] a dj montr ces deux limites et a indiqu que le remplissage mme soign et mcanis ne permet pas toujours le contact direct matriau/initiateurs, ce qui augmente lnergie lectrique ncessaire linitialisation et mme peut entraner le non fonctionnement.
Cest un intrt de notre nouveau concept que de permettre de nouveaux types de remplissage ; lidal serait, une structure moule de matriau que lon collerait sur
linitiateur. Pour des raisons essentiellement de cot, de simplicit de mise en uvre et modularit des performances, nous avons choisi lutilisation des chargements libres de forme cylindrique en propergol double base extrud. Parmi les propergols de type DBE actuellement en production, notre choix prliminaire, dans cette tape de conception, sest port sur le propergol DBE-40-320 de chez
p.31
BAYERN-CHEMIE3. Il fonctionne basse pression et sa vitesse de combustion r varie entre r=5.6 mm/s 20bars et r=0.9mm/s 1bar. Dans le Tableau 2, on en retrouve les principales caractristiques du propergol type DBE-40-320, qui nous serviront dans les modlisations qui suivent.
Masse volumique Module dYoung Allongement Vitesse de combustion 50 bars Impulsion spcifique Vitesse caractristique Gamma des gaz brls Masse molaire
1.57 g/cm3 60 MPa 20% 9.6 mm/s 221 s 1390 m/s 1.237 23.3 g/mol
Tableau 2 : Quelques caractristiques du DBE-40-320
Pour saffranchir des ventuels problmes de tolrance dans la fabrication des rservoirs, et dans la mise en forme du chargement, on a utilis des brins de propergol de 1.4mm de diamtre.
4 DIMENSIONNEMENT DES MICROPROPULSEURS POUR REPONDRE AUX EXIGENCES DU CAHIER DES CHARGES
Les outils mthodologiques dvelopps au LAAS permettent le dimensionnement des micropropulseurs pour atteindre les niveaux de pousse requis dans le cahier des charges : Il sagit dun programme informatique de modlisation dvelopp sous loutil SIMULINK de MATLAB, par C. ROSSI et S. ORIEUX [64].
BAYERN-CHEMIE : socit Allemande du Groupe THALES et partenaire PROTAC
p.32
4.1
CALCUL DES STRUCTURES
Les spcifications indiques dans les chapitre I indiquent un objectif de pousse entre 0,5 et, 50mN ce qui impose des choix relatifs de la surface de combustion (section du rservoir en gnrale) et de la dimension de la tuyre (section du col de la tuyre). La contrainte est plutt celle de dimensionner le rservoir. Compte tenu des possibilits technologiques, nous avons prvu deux sections de rservoir (2.25mm et 4.5mm), choisies en fonction des objectifs de pousses et de notre exprience. Ensuite, pour chacune de ces sections de rservoir, la section du col est calcule pour balayer le niveau de pousse spcifi entre : 0.5mN-50mN.
Les rsultats des calculs de dimensionnements sont donns dans les Tableau 3, Tableau 4, Tableau 5 et Tableau 6. Ils donnent, les dimensions des propulseurs (section rservoir, section col) ainsi que les niveaux de pression et de pousse attendus pour chacune des structures suivant deux modles de combustion : la combustion en cigarette : le Tableau 3 et Tableau 5 fixent la valeur des pousses minimales qui peuvent tre dlivres par chaque micropropulseur : ils montrent d'ores et dj que les niveaux de pousse spcifis pourront tre atteints avec la technologie retenue. la combustion du brin simultanment sur toutes ses faces, cest dire en bloc les performances sont comme sur le Tableau 4 et Tableau 6. On voit que lon peut atteindre 0,2N.
Section de la chambre de combustion Distance entre deux chambres Section de col (mm) Ach/Acol Pression de fonctionnement calcule Pousse calcule 0.054 41 5
2.25mm 500m 0.081 27 3 <3.8mN 0.108 21 1.85
Tableau 3 : Performances d'un micropropulseur avec combustion en cigarette pour un rservoir de 2.25mm
p.33
Le concepteur, dans la mesure o il peut le matriser, aura le choix du type de conception : en cigarette pour les impulsions longues et faibles, en bloc pour les impulsions rapides et intenses. A titre indicatif, le Tableau 4 ci-aprs prsente les performances limites qui seraient obtenues avec une combustion du brin sur toutes ses faces, qui caractrise le cas le plus favorable pour la pousse.
Longueur du rservoir & brin de propergol Section de la chambre de combustion Distance entre deux chambres Section de col (mm) Ach/Acol Pression de fonctionnement initiale (bars) Pousse initiale (mN) 0.054 41 19 100
3.5 mm
5 mm
2.25mm
2.25mm
500m 0.081 27 5 40 0.108 21 3 30 0.054 83 47 200
500m 0.081 55 13 100 0.108 21 5 60
Tableau 4: Performances d'un micropropulseur avec combustion par toutes les faces pour un rservoir de 2.25mm
Section de la chambre de combustion Distance entre deux chambres Section de col (mm) Ach/Acol Pression de fonctionnement (bars) Pousse calcule (mN) 0.015 300 55 65
4.5mm 500m 0.054 83 11 18 0.081 55 5.3 10 0.108 21 4 8
Tableau 5 : Performances d'un micropropulseur rservoir double avec combustion en cigarette pour un rservoir de 4.5mm
p.34
Section de la chambre de combustion Distance entre deux chambres Section de col (mm) Ach/Acol Pression de fonctionnement (bars) Pousse calcule (mN) 0.054 83 108 590
4.5mm 500m 0.081 55 66 543 0.108 21 13.7 149
Tableau 6 : Performances d'un micropropulseur rservoir double avec combustion en cigarette pour un rservoir de 4.5mm
Remarque : La section de 0.015 mm correspond l'utilisation de plaque de silicium de

0.15 mm d'paisseur. Cette structure entrane des difficults technologiques dues la trs faible paisseur de silicium : il ne sera utilis en dernier recours que si les performances obtenues jusque l ne convenaient pas.
4.2
MODELISATION THERMIQUE ET MECANIQUE
Cette modlisation a t effectu sous le logiciel ABAQUS [65] par notre partenaire, la socit PROTAC. La structure que nous avons simule est celle de la Figure 16. La matrice de micropropulseurs est constitue de plusieurs chambres de combustions disposes cte cte. Dans notre approche technologique, les chambres sont latralement spares par du silicium. Les rservoirs sont ferms par du MACOR4 usin sur une face, du verre ou du silicium sur lautre.
Le MACOR est un matriau cramique technique usinable avec un outillage conventionnel, sciage, fraisage, perage, tournage. Notre choix du MACOR est justifi par ces coefficients de dilatations thermiques qui sont proches de celui du silicium pour viter tout dlaminage des deux couches.
MACOR cramique usinable de chez CORNING ( www.corning.com)
p.35
La modlisation doit nous dire quelle distance les uns des autres, doit-on placer les propulseurs, sans risque dinteractions thermiques?
Figure 16 : Schma 3D dune matrice de micropropulseurs
4.2.1 MODELISATION DES INTERACTIONS THERMIQUES ENTRE PROPULSEURS
Le silicium est un matriau trs bon conducteur thermique, dont lutilisation en pyrotechnie cot de ses avantages dtre un support microlectronique requiert la prise de certaines prcautions : Dans notre application, il ne faut pas que la combustion initie dans une chambre conduise l'initiation d'une des deux chambres adjacentes. Or, pendant le fonctionnement du micropropulseur, la chaleur se transfre au chargement pyrotechnique voisin et peut dclencher son auto-inflammation. Il sagit donc dvaluer, par la modlisation, le temps maximum de fonctionnement dune chambre avant quelle nimpacte les chargements adjacents. Pour retarder cette chance et limiter le risque, nous proposons de crer une barrire thermique de type
tranches dair : gravure ralisant des tranches dans le silicium pour rduire la
transmission de la chaleur. Nous avons programm avec la socit PROTAC trois types de configurations, pour des initiateurs silicium, de diffrentes configurations : une configuration de rfrence o le silicium est plein et deux configurations o lon a cr des tranchs discontinues et continues (Figure 17). On rappelle que les pertes thermiques par le dessus du rservoir sont
p.36
limites par une couche d'EPDM d'environ 0.4mm (paisseur minimale ralisable industriellement avec les outillages disponibles).
Configuration 1 : de rfrence
Configuration 2 : petites tranches
Configuration 3 : grandes tranches
Figure 17. Les trois configurations des barrires thermiques
La Figure 18 explicite la structure la structure simule et les matriaux utiliss.
Code de couleurs Orange : Protection thermique (EPDM) Bleu : Cramique (MACOR) Gris : Silicium
paisseurs : Macor : 1,5 mm Protection thermique : 0,4 mm Silicium : 0,545 mm
Figure 18 Schma des couches constituant la matrice de micropropulseurs
p.37
Pour simuler la structure prsente en Figure 19, le flux thermique est suppos convectif et radiatif. Pour reprsenter le flux thermique transmis aux parois par la combustion du propergol, nous nous sommes bass sur des valeurs de paramtres dchanges obtenus loccasion dessais raliss sur dautres structures silicium dans le cadre du projet
MICROPYROS [3].
Lessai choisi comme rfrence est une structure tout silicium dont on a vrifi quelle conduisait un allumage intempestif des chambres voisines au bout denviron 160 ms. Les paramtres du flux thermique ont donc pu tre calculs pour que lon atteigne la
temprature dallumage du propergol (200C) dans la chambre voisine au bout de 160 ms. Les valeurs obtenues pour les coefficients dchanges sont les suivantes :
Coefficient de convection : h = 2400 W/mK Emissivit : = 0,16
Dans les simulations, on se limitera au fonctionnement dune seule chambre pendant 400ms (dure suprieure la dure relle de fonctionnement), en considrant que la temprature de combustion typique pour nos propergols est de 2058C.
1. Transfert thermique dans les tranches dair
Rayonnement 1 T1
Conduction dans lair
2 T2
L
Figure 19: schma de transfert thermique entre deux parois en silicium
Les proprits thermiques des matriaux sont ceux dans Tableau 7 :
p.38
Matriaux
Conductivit thermique (W/m/C)
Densit (kg/m3)
Cp (J/kg/C)
EPDM (Protection thermique) MACOR Silicium
0,09 1,46 141,2
1030 2520 2330
2000 790 700
Tableau 7. Proprits thermiques des matriaux utiliss
Les parois en silicium sont spares par une tranche dair, et les quations gouvernant lchange de la chaleur sont :
Transfert de chaleur par conduction :

qCond = (T1 T2 ) L
Transfert de chaleur par rayonnement : qRad =C(T14 T24)

o : avec : F =1, , 1=2=0,87, =0,03 , Facteur de forme Constante de Stephan-Boltzmann Emissivit des surfaces Conductivit de l'air
C=
1 2
F 1 + 1 1
Le graphique de la Figure 20 dcrit lvolution de la temprature de paroi de la chambre voisine celle en fonctionnement pour chacune des configurations.
p.39
Temprature paroi de la chambre voisine

250
200
Temprature (C)
150
100
Configuration 1 Configuration 2 Configuration 3
50
0 0 50 100 150 200 t (m s) 250 300 350 400
Figure 20 Evolution de la temprature de paroi de la chambre voisine celle en fonctionnement
La Figure 21 permet d'observer la nature et l'intensit des transferts thermiques dans chaque configuration.
Figure 21 : Profil de temprature dans la matrice 180ms aprs allumage d'une chambre
p.40
On peut en tirer des configurations de la Figure 21, les rsultats concernant les dlais de passage la temprature dallumage du propergol. Ces rsultats sont reprsents dans le Tableau 11.
Config.1 (pasdetranches) Tempspouratteindre 200C(ms) 160 Config.2 (petitestranches) 178 Config.3 (grandestranches) 285
Tableau 8. Temps de passage du silicium de la temprature ambiante 200C
On observe que la configuration en petites tranches a une faible efficacit, c'est--dire quon ne gagne que 10% du dlai de rponse (20ms). Pour les grandes tranches par contre, le gain est de 125 ms, ce qui reprsente presque un gain de 100%.
Ces calculs par lments finis ont montr que, sans barrire thermique, la combustion dans un rservoir peut provoquer lallumage intempestif de son voisin en 160ms environ. Des barrires thermiques sont donc ncessaires dans le silicium entre chaque rservoir. Une faon simple de confiner la temprature dans le propulseur en combustion est la ralisation de tranches dair dans le silicium entre chaque rservoir. Des deux types de tranches qui ont t envisages, celle dune barrire continue est prfrable et permet une multiplication par deux du dlai.
Dans le cas le plus favorable ( savoir avec un col de 0.545mm0.2mm, et aucune perte thermique), les calculs donnent un temps de combustion maximal d'environ 150 ms. Par consquent, on retiendra pour la conception la barrire thermique de type 1, dont l'efficacit est suffisante pour notre besoin immdiat : elle apporte une meilleure tenue mcanique.
4.2.2 LA MODELISATION MECANIQUE
Il s'agit d'une simulation des ractions de la structure la dpressurisation de la chambre, pour valuer les contraintes que vont devoir subir les matriaux et les collages. Les configurations suivantes ont t values :
p.41
Configuration 1 : petites tranches
Configuration 2 : grandes tranches
Figure 22 : Les configurations values
La pression applique dans les chambres est de 100bars que lon considre comme la pression maximale du fonctionnement rel.
En fonction du nombre de chambres en fonctionnement simultan, deux cas ont t tudis: Cas 1 : une seule chambre en fonctionnement, Cas 2 : trois chambres en fonctionnement.
Figure 23 : Rsultats de simulation de la pressurisation en cas dune seule et de trois chambre en fonctionnement
Les calculs ont t raliss en rgime lastique (linaire), dans lhypothse des petites dformations. Les colles qui assurent les liaisons entre les diffrentes couches de matriaux ne sont pas prises en compte. La structure dtude retenue est celle de la Figure 24.
p.42
Code de couleurs Gris clair : Aluminium Orange : Protection thermique (EPDM) Bleu : Cramique (MACOR) Gris fonc : Silicium
Epaisseurs : Aluminium : 0,5 mm Macor : 1,5 mm Protection thermique : 0,4 mm Silicium : 0,545 mm
Figure 24 Schma dune matrice de micro-propulseur renforce avec deux couches de mtal
Les proprits des matriaux constituant cette dernire structure sont prsentes sur le Tableau 9 :
Matriaux
E (Mpa)
Emissivit
Aluminium (AU4G) EPDM MACOR Silicium
74000 100 66000 155800
0,33 0,4 0,29 0,2152
Tableau 9 : Proprits des matriaux utiliss
4.2.2.1 Cas dune seule chambre en fonctionnement
Dans le cas 1, o une seule chambre est en fonctionnement, les rsultats de simulation sur le silicium et le MACOR, pour les deux types de tranches proposes, sont montrs sur les figures suivantes :
p.43
Configuration 1 (petites tranches) :
Figure 25 Contraintes de Von Mises (Mpa) dans le Silicium avec petites tranches (cas 1)
Figure 26 MACOR - Contraintes de Von Mises (Mpa) (cas 1)
Le Tableau 10 rsume les valeurs maximales des contraintes dans chacune des trois couches de la structure :
Aluminium (AU4G)
MACOR
Silicium
Von mises max (MPa)
86,3
102,3
81,63
Tableau 10 : Valeurs maximales des contraintes dans la configuration 1
On note la prsence dune surcontrainte locale importante au niveau de la base de la tuyre ct MACOR. Cette contrainte est proche de la limite en rupture de la cramique (~100Mpa).
p.44
Configuration 2 (grandes tranches) :
Figure 27 SILCIUM - Contraintes de Von Mises (Mpa) dans la configuration des grandes tranches
Figure 28 MACOR - Contraintes de Von Mises (Mpa) pour la configuration des grandes tranches
Aluminium (AU4G) MACOR Silicium
Von mises max (MPa)
86,4
94,6
81,68
Tableau 11 : Valeurs maximales des contraintes dans la configuration 2
p.45
4.2.2.2 Cas de 3 chambres en fonctionnement
Dans le cas 2, o les 3 chambres sont simultanment en fonctionnement, les rsultats pour les deux types de tranches proposes sont montrs sur les figures suivantes :
Configuration 1 (petites tranches) :
Figure 29 Silicium - Contraintes de Von Mises (Mpa) pour la configuration des petites tranches
Figure 30 MACOR - Contraintes de Von Mises (Mpa)
Von mises max (MPa)
71,95
85,76
103,4
Tableau 12: Valeurs maximales des contraintes dans la configuration 1
p.46
Configuration 2 (grandes tranches) :
Figure 31 : Silicium - Contraintes de Von Mises (Mpa)
Figure 32 : MACOR - Contraintes de Von Mises (Mpa)
Von mises max (MPa)
72,06
87,88
73.24
Tableau 13: Valeurs maximales des contraintes dans la configuration 2
p.47
En rsum, pour vrifier la tenue mcanique de la matrice dans ces conditions, deux
situations ont t modlises par lments finis : Application d'une pression de 100 bars dans une chambre de combustion Application d'une pression de 100 bars dans 3 chambres cte cte simultanment
Les rsultats de ces simulations montrent que :
Le dplacement maximal de l'aluminium est de 0.015 mm dans le 1er cas et 0.024 mm dans le second. Cette valeur est trs faible, et nous permet d'tre optimistes quant l'efficacit de l'EPDM pour assurer l'tanchit de chaque rservoir (en effet, l'EPDM est comprim par l'aluminium). L'paisseur d'aluminium envisage, savoir 0.5mm, semble donc suffisante pour assurer la tenue mcanique de lensemble
Les contraintes observes dans le silicium sont trs infrieures aux contraintes maximales admissibles par ce matriau.
Dans les deux cas, on observe une surcontrainte dans le Macor, au niveau du col de tuyre. Cette surcontrainte est trs locale, et son intensit est proche, mais infrieure la limite admissible par le MACOR.
On constate donc que la configuration avec de grandes tranches dair ninduit pas plus de contraintes que celles avec de petites tranches, indpendemment de la tenue des collages qui ne sont pas modliss. Pour lensemble des configurations testes, les contraintes observes dans le Silicium et laluminium sont relativement peu importantes par rapport leur limite en rupture. On peut cependant observer la prsence dune surcontrainte locale importante, dans le MACOR, au niveau de la base de la tuyre. Cela dit, cette contrainte s'inscrit dans les limites admissibles du MACOR, dautant que les conditions de simulation correspondent une pression suprieure celle qui sera effectivement applique.
Pour prendre en compte les faiblesses ventuelles qui viendraient des collages et de faon rendre lensemble de la matrice plus rsistante aux pressions gnres par les chargements, on propose, si ncessaire, de raliser autour de celle-ci un sertissage en aluminium (Figure 33).
p.48
Figure 33 : Sertissage en aluminium dune matrice
5 PRESENTATION SYNTHETIQUE DES PROTOTYPES DE MICROPROPULSEUR A PLAT

La modlisation que nous venons de prsenter permettant de spcifier un cahier de charge pour la ralisation technologique. En voici lessentiel : Les pousses individuelles de chaque propulseur doivent aller jusqu' 50mN Chaque propulseur doit tre spar de son voisin de 2mm pour tenir les conditions de scurit dauto-inflammation Il faut prvoir un conditionnement de lassemblage pour grer les contraintes mcaniques Il faut pouvoir positionner ces micropropulseurs sur les ailes des Drones.
Cela donne, dans limplantation dune structure plat une matrice de 7 micropropulseurs sur 10cm de large. Nous voulons plusieurs pousses dans une mme matrice par ralisation de diffrentes sections de col. Cela conduit un projet dencombrement total de 24.1mm x 10.2mm. En ajoutant le sertissage en aluminium, on atteint une longueur maximale de 34.1 mm et une masse de l'ordre de 5g.
p.49
Par extrapolation et compte tenu des dimensions obtenues, il sera possible de positionner jusqu' une dizaine de matrices cte cte, et de raliser un sertissage pour l'ensemble.
Du point de vue de la commande lectrique, les micropropulseurs raliss par le LAAS sallument par effet joule en appliquant la puissance directement sur la rsistance initier. Dans cette tude, nous souhaitons ainsi valuer la possibilit dune lectronique de commande actionnable par un circuit logique et pouvoir retrouver en rsultat un systme complet et scuris, en exploitant les rsultats de notre collgue P. Pennarum [63] pour la scurisation des systmes dinitialisation.
6 CONCLUSION
Lobjectif de cette tape de travail tait de prciser les spcifications, de faire les choix de conception des propulseurs, de slectionner les technologies pour la fabrication et lassemblage et de dfinir lexprimentation mettre en uvre. Notre premire contribution, a t de proposer une structure nouvelle horizontale ou plat diffrente de la structure propose dans MICROPYROS [3]. Nous y voyons des avantages potentiels importants dans le fait de pouvoir intgrer la tuyre et datteindre des forces plus grandes, au del de 50mN. Cela suppose toutefois de refaire les tapes de modlisation qui sont : - Le calcul de la pousse, - Le calcul thermique et mcanique. Il faut noter que, en effet, des prcautions sont prendre : En scurit thermique pour viter des interactions entre propulseurs : notre proposition est dutiliser des poches dair micro-usines dans le silicium, entre deux micropropulseurs, En scurit mcanique, nous navons pas simul la structure : silicium, MACOR, Verre qui elle devrait tre viable. Toutefois, la tenue des colles nest pas incluse dans les simulations. Nous devrons nous rfrer aux travaux antrieurs, et lon a prvu si ncessaire dencapsuler lassemblage ou de le sertir.
p.50
Lanalyse des rsultats, de simulation, obtenus ont permis daiguiller notre choix, dans la conception du propulseur Silicium, savoir : le type de barrire thermique. Notons ici, que la nouvelle structure ouvre des nouveaux modes de chargement par morceau moul ou extrud et collage sur linitiateur. Finalement, nous proposons une structure dtude comportant 7 micropropulseurs dont les dimensions sont 25mm10mm2mm. Bien sur la structure ne suffit pas dterminer le succs : la matrice est un lment essentiel. Nous en verrons les limites dans le chapitre 3.
p.51
p.52
Chapitre 3 : Technologie de ralisation des matrices de micropropulseurs
CHAPITRE III
CHAPITRE III : TECHNOLOGIE DE REALISATION DES

MATRICES DE MICROPROPULSEURS
1 INTRODUCTION
Nous avons, dans le chapitre prcdent, indiqu les spcifications associes lapplication Drones , et propos une structure originale de micropropulseurs plat . Nous en avons fait la modlisation et calcul les dimensions optimales en supposant leur ralisation sur silicium. Lide dorigine dans lusage du silicium tait de profiter du niveau technologique associ ce matriau, notamment de la possibilit de fabrication collective. Cest un argument toujours essentiel en faveur des micropropulseurs silicium. Lautre argument de base est la possibilit dintgrer sur le mme substrat dautres fonctions lectroniques : cest ce qui t exploit dans MICROPYROS [3] avec lutilisation des diodes dadressage.
p.53
Une ide importante maintenue dans la conception de cette nouvelle structure est lallumage par un initiateur sur membrane : cest ce choix qui apporte la sensibilit et nous y reviendrons dans ce chapitre. Nous dcrirons dans ce chapitre la technologie de ralisation : nous tentons de rester conforme la chronologie des oprations et indiquerons les points difficiles.
2 RETOUR SUR LE CHOIX DINITIATEURS SUR MEMBRANE SIO2/SINX AVEC RENFORT POLYMERE
Afin de limiter l'nergie dinitiation (puissance et temps dinitiation) mettre en jeu, nous avons continu dadopter les initiateurs sur membranes dilectriques suspendues, sur lesquelles sont dposes les rsistances chauffantes. La principale difficult lie ce concept est de raliser une membrane suffisamment fine pour limiter les pertes thermiques, mais en mme temps suffisamment robuste pour supporter le propergol en contact.
Imagines en 1996/1997 au LAAS [7] [62], les membranes dilectriques SiO2/SiNx rpondent ce besoin et ont constitu une avance trs importante pour la ralisation de
plates-formes chauffantes performantes. De nombreux dispositifs, capteurs et
actionneurs, utilisent ce procd, savoir : des capteurs de gaz d'oxygne micro-usin pour des systmes de mesure de consommation d'nergie microscopiques [66], des micro-valves faible nergie de consommation pour des applications micro-fluidiques [67], des microcapteurs de limite de transition des supraconducteur [68]. Sur le plan technologique, loxyde de silicium (SiO2) dpos sur silicium est en compression tandis que le nitrure de silicium (SiNx) est en tension. Ainsi, en adaptant les paisseurs relatives des couches de SiO2 (eSio2) et SiNx (eSiNx), il est possible dobtenir une membrane faiblement contrainte, lui confrant une bonne tenue mcanique. En effet, l'exprience a montr que, pour avoir une membrane mcaniquement robuste, la contrainte rsultante de celle-ci doit tre infrieure 100MPa. La relation (1) donne la contrainte rsultante r de la membrane bicouche en fonction des contraintes moyennes de chacune des couches et en fonction de leur paisseur relative.
p.54
r =
SiO eSiO + SiN eSiN

2 2 x
e SiO2 + e SiN x
(1)
avec :
SiO : contrainte moyenne de loxyde = -275MPa

2
SiN : contrainte moyenne de nitrure = +575MPa

x
A partir de la relation (1) et en fonction des contraintes technologiques, nous avons choisi de fabriquer des membranes en bicouche SiO2/SiNx avec 1.1m et 0.6m dpaisseur respectivement. Une couche de 10m de polymre non contraint de type BCB (BenzoCyclo-Butene) peut tre dpose sur la membrane pour la renforcer.
2.1
RAPPEL DES DIMENSIONS DES STRUCTURES CHOISIES AU CHAPITRE II
Masque type 1 Largeur col Epaisseur col (paisseur substrat Si) Angle convergent Angle divergent Longueur convergent Longueur divergent Largeur rservoir Longueur rservoir Section des rservoirs
Masque type 2
25m
50m 525m 10 70 1270m 430m 1.5mm
75m
100m
150m 525m 10 70 1270m 430m 1.5mm
200m
33.30mm (1.50.525)+ ( 1.52)
53.30m (1.50.525)+ (1.52)
33.30mm (1.50.525)+ (1.52)
53.30m (1.50.525)+ (1.52)
Tableau 14. Caractristiques gomtriques des propulseurs
p.55
1248m 400m
250m
1425m 200m
1500m 250m 375m 625m
750m
1250m 1078m
1020m
Silicon Thick polymer membrane Ceramic
Figure 34 : Schma et dimensions de 2 micropropulseurs
p.56
Figure 35. Dimensions dtailles du rservoir dun micropropulseur (ct silicium)
p.57
3 PRESENTATION DU PROCEDE DE FABRICATION

A partir dun substrat de silicium poly cristallin dop N+, le procd de fabrication que nous avons mis au point au LAAS est une succession de dpts de film mince et de gravures au travers de masques. Les principales tapes sont les suivantes :
tape 1 : Nettoyage des plaquettes de silicium
Le procd de nettoyage du substrat de silicium est a faire selon lordre suivant : Bain de H2SO4 (1.5) et H2O2 (1.5) 2min Rinage leau d-ionise Bain HF 10% 30s Rinage leau d-ionise Schage lazote
tape 2 : Oxydation thermique
Elle se fait dans un four horizontal 1150C pendant 1h53min, sous un flux de gaz dhydrogne (180cc/min) et doxygne (100cc/min). On obtient 1.1m doxyde de silicium.
Etape 3 : Dpt LPCVD du nitrure SiNx
Le dpt LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) se fait dans un four basse pression partir de SiH4 et de NH3. Le dpt se fait 800C sous pression de 400mTorr pendant 100min. Lpaisseur de nitrure de silicium ainsi obtenue est de 0.6m.
tape 4 : Dpt LPCVD de silicium polycristallin
Le gaz utilis est le SiH4 (100cc/min). Le dpt se fait 605C et 300mT pendant 50min. On obtient alors 0.5m de polysilicium.
tape 5 : Dopage par diffusion de silicium polycristallin
Le dopage du silicium par diffusion de phosphore (~1020atome.cm-3) ncessite du PoCl3 (5mg/min) en phase gazeuse. Il se fait en 10min 950C et pression atmosphrique. Le dpt est suivi par une lgre oxydation de surface en prsence dazote (800cc/min) et
p.58
doxygne (100cc/min) la mme temprature. Aprs le dopage du silicium, un recuit dit de redistribution est ncessaire pour avoir un profil de concentration du dopant homogne sur toute la profondeur de la couche dope. Dans notre cas la dure de recuit est de 10min 950C sous flux dazote (800cc/min). La rsistivit du Si-Poly ainsi obtenue est de 8.10-4Ohms.cm.
tape 6 : Gravure de silicium polycristallin pour dfinir la rsistance chauffante
La premire tape de photolithographie permet de raliser la rsistance et les contacts lectriques (Figure 36). La photolithographie est suivie dune gravure DRIE qui permet de graver, travers le masque de rsine, la couche de poly-silicium de 0.5m dpaisseur suivant la gomtrie de la rsistance et des contacts lectriques dfinie par le masque.
Figure 36 . Niveau 1 : dlimitation du poly-silicium
tape 7 : Gravure de SiO2/SiNx
Ltape suivante est une photolithographie suivie dune attaque RIE du SiO2/SiNx au niveau des tranches disolation et de la partie divergente de la tuyre. Le masque est celui donn sur la Figure 37.
p.59
Figure 37 . Niveau 2 : dlimitation du SiO2/SiNx
tape 8 : Mtallisation
Un dpt de titane/or par vaporation sous vide permet de raliser les contacts lectriques des rsistances chauffantes et les contacts des vias au travers le silicium. Le titane permet ladhrence de lor sur le silicium et poly-silicium. Aprs 2heures de dpt, les paisseurs sont respectivement de 0.2m et 0.8m pour le titane et lor.
Figure 38 . Niveau 3 : mtallisation et gravure du mtal
p.60
tape 9: Gravure
Une tape de photolithographie en utulisant le masque de la Figure 38 dfinit les contacts et les lignes damene du courant. Nous procdons ensuite une attaque chimique de lor au travers du masque de rsine dans un bain de KI-I2 pendant environ 2min30s. Ensuite, aprs rinage et schage, nous gravons le titane dans un bain de Buffer-HF pendant 45s. Pour crer le contact ohmique, les mtaux sont recuits pendant 25min 250C sous un flux dazote.
tape 10 : gravure des trois couches sur face arrire
Une gravure RIE de 15min permet dliminer les trois couches poly-silicium, SiNx et SiO2 de la face arrire de la plaquette qui ne sont pas utilises.
tape 11 : Dpt de la couche de polymre sur membrane SiO2/SiNx
Cette tape consiste dposer sur la face avant une couche paisse de rsine BCB de 10~15m. Cest un polymre photosensible (rsine ngative) de trs haute puret, planarisant, de bonne stabilit thermique et excellente rsistance chimique. Aprs ltalement du BCB sur la plaquette, un recuit sur plaque chauffante 90C pendant 2min et ncessaire pour vaporer les solvants. Ensuite vient la phase dinsolation aux UV (CI110mW/cm2) pendant 80s. Aprs nous rvlons les zones non-exposes. Nous procdons ensuite un post-recuit sur plaque chauffante 90C pendant 1min. les membranes rectangulaire BCB obtenues sont reprsentes sur la Figure 39 en vert.
p.61
Figure 39 . Niveau 4 : dpt dune membrane en polymre
Enfin, un recuit thermique de durcissement se fait dans un four, sous flux dazote, en suivant les cycles thermiques de la Figure 40.
Figure 40. Cycle thermique du recuit de durcissement du BCB
tape 12 : libration face arrire
La gravure du silicium par DRIE (Deep Reactive Ion Etching) permet de librer les membranes et de raliser les propulseurs ainsi que les tranches disolation. Elle dure environ 4heures pour 525m dpaisseur de silicium. Notons ici que la vitesse de gravure en DRIE dpend de louverture graver. Plus louverture est grande, plus la gravure est rapide (voir Figure 41). Ce qui engendre des surgravures ou/et des zones non graves sur une mme plaquette.
p.62
Figure 41. Mise en vidence de la dpendance de la vitesse de gravure en DRIE en fonction de la surface d'ouverture
Ceci est un point important dans notre cas car nous avons des surfaces douverture diffrentes. Par exemple entre le col de la tuyre et le rservoir, il y a un facteur compris entre 7.5 (cols de 200m de largeur) et 60 (cols de 25m).
La Figure 42, illustre ces problmes de non homognit de la vitesse de gravure due aux non homognits de surfaces. Elle prsente une photo prise par microscope lectronique balayage (MEB) sur une structure test de 525m dpaisseur. Cette photo et prise pour une cellule se trouvant au centre de la plaquette. Elle montre la sur gravure de la membrane au niveau du rservoir avec une gravure non termine au niveau du col.
Nous avons travaill sur le procd de gravure DRIE et notmes sur loptimisation du collage de la plaquette silicium graver sur la plaquette silicium. Cela nous a permis dobtenir des rsultats de gravures satisfaisantes, savoir des parois de silicium droits et une gravure avec un minimum de rsidu de silicium au font des rservoirs et notamment au font des cols de tuyres. La Figure 43 montre un zoom sur un col de tuyre de 150m de largeur de col, grav sur une plaquette en silicium de 525m dpaisseur. Une plaquette en silicium 4 et un vecteur de 7 micropropulseurs, ainsi gravs et contenant les parties : initiateur, rservoir et tuyre formant les micropropulseurs est prsent sur la Figure 44.
p.63
Figure 42. Photo MEB d'un micropropulseur silicium sans membrane: test de gravure DRIE
Figure 43. Photo MEB du micro propulseur au niveau de la tuyre
p.64
Figure 44. Plaquette 4 contenant les parties en silicium des micropropulseurs
La Figure 45 rsume les principales tapes du process Flow pour la ralisation des parties : Initiateurs, rservoirs et tuyres.
Figure 45. Rsum des tapes technologiques pour la fabrication des micropropulseurs
p.65
4 REALISATION DES RESERVOIRS DU PROPERGOL

Les rservoirs des micropropulseurs sont constitus dun empilement de 2 matriaux :
4.1
LA PARTIE EN SILICIUM
Du fait de son procd de fabrication, la section du rservoir ct silicium est rectangulaire, de largeur 1.5mm. Cette dimension constitue un bon compromis entre un encombrement rduit, et un rservoir suffisamment grand pour pouvoir entretenir une combustion [69]. Cest galement cette partie qui comporte le col de la tuyre, dont on trouvera trois largeurs dans une mme matrice : 100m, 150m et 200m (cela permettra dadapter la puissance suivant la perturbation rencontre). De plus, compte-tenu des wafers disponibles, la hauteur du silicium sera de 545m ou de 150m.
4.2
LA PARTIE EN MACOR
Une plus grande libert dans la fabrication faite de faon classique permet de raliser des structures adaptes la forme du chargement.
10
250m 3330m & 5330m 20
300m
1mm
Figure 46. Schma et plan dusinage du MACOR
p.66
Le col de tuyre ne sera grav que dans la partie silicium. En effet, une hauteur de 1.5mm pour la tuyre conduirait une largeur trs petite (moins de 100m) difficilement ralisable.
La Figure 49 reprsente une photo prise de la matrice de 7 rservoirs MACOR usin, ralise au LAAS, par usinage classique de haute prcision.
Figure 47. Photo de la matrice du MACOR ralise
5 LES PROPERGOLS SOLIDE ENVISAGES POUR LES TESTS DES MICROPROPULSEURS

Dans notre recherche dun matriau pyrotechnique fonctionnel et adapt nos structures miniatures, nous avons test de la Poudre-Noire (PN), du propergol Double-Base (DB) et le propergol composite Glycidyl-Azide-Polymre (GAP). Ainsi, un mlange nouveau que nous avons expriment pour nos micros fuses et qui se compose du propergol DoubleBase et dun pourcentage de Poudre-Noire. Une brve description de ces matriaux sera prsente dans les paragraphes suivants et les rsultats des tests seront expliqus en dtails dans le chapitre 4.
5.1
LA POUDRE-NOIRE PN
La poudre noire est un mlange dflagrant de nitrate de potassium (salptre), de soufre, de charbon de bois. Parmi les avantages de la poudre noire, notons qu'elle est peu onreuse,
p.67
stable mais trs sensible. On peut l'enflammer l'aide d'un point chaud, d'un impact, d'une friction, d'une tincelle, ou mme d'un laser. Il en rsulte que sa manipulation est dangereuse. Elle produit des rsidus solides, surtout composs de sulfure de potassium, (calamine). La poudre noire est un explosif qui contient la fois le combustible et le comburant. Le comburant est le nitrate de potassium qui libre de l'oxygne au cours de la raction, venant oxyder les combustibles (soufre et carbone). Stable temprature ambiante, un petit apport d'nergie localis suffit amorcer la raction. La temprature de la raction est assez leve (plus de 2000K) mais reste nettement infrieure celle obtenue avec des explosifs modernes (TNT, dynamite, poudres pyroxyles), limitant les risques de brlures.
5.2
Le
PROPERGOL DOUBLE-BASE TYPE GBTU

propergol Double-Base est un matriau nergtique homogne constitu
essentiellement de deux bases nergtiques : la nitrocellulose et un nitrate organique liquide comme la nitroglycrine dont la fonction est de glatiniser la nitrocellulose. En propulsion, l'emploi de ces propergols se limite aux petites et moyennes fuss et aux tages de dcollage et d'acclration des gros missiles. On parle alors de propergols SD (sans dissolvant) obtenus par extrusion, ou de propergols picttes obtenus par moulage. Le terme multi base s'applique en fait exclusivement aux poudres pour armes tubes : on parle alors de poudres multi base. Aux deux bases nergtiques principales, on ajoute un ou plusieurs autres esters nitriques ou drivs nitrs ou nitramins (exemple : nitroguanidine dans le cas le plus frquent des poudres triple base).
5.3
LE PROPERGOL DOUBLE BASE DBE 40-320 DE PROTAC
Le propergol extrud est - comme nous lavons dj voqu - une originalit permise par la structure plat du dispositif. Cest un procd propre PROTAC que nous avons dabord exploit. Les principales tapes de fabrication, schmatises sur la Figure 48, sont les suivants: Inspection d'entre des matriaux de base (galette, additifs, stabilisants..), Calcul de la formulation, Mlange des diffrents matriaux par malaxage,
p.68
Laminages (de faon enlever un maximum d'eau du mlange)
et
enroulement (avant extrusion, le matriau doit avoir un diamtre lgrement infrieur au diamtre d'extrusion pour viter les pertes de charges, Extrusion sous vide haute temprature (de l'ordre de 65C), Tests qualitatifs.
En ce qui concerne nos "spaghettis", la forme extrieure du propergol est laisse brute aprs extrusion. Par consquent, on obtient des diamtres compris entre 1.4 et 1.5mm.
Figure 48 : Principales tapes de la fabrication du propergol
Aprs fabrication, notre propergol se prsente sous la forme d'un long filament de couleur orange (cf Figure 49).
p.69
Figure 49 : Propergol DBE 40 320 l'tat final
5.4
PROPERGOL COMPOSITE POLYAZOTURE DE GLYCIDYLE PAG
Le PAG ou G A P en anglais (Glycidyl Azide Polymer) est un polyther a terminaisons hydroxyles a base de carbone, d'hydrogne, d'azote et d'oxygne et ayant des groupements azotures N3 sur sa chane carbone. Le PAG est un polymre nergique thermiquement stable, de faible sensibilit, de bonnes caractristiques mcaniques et apport d'nergie. Ce propergol solide avanc des applications potentielles dans des systmes de propulsion pour des vhicules spatiaux.
6 PROCEDE DASSEMBLAGE DU DEMONSTRATEUR

L'assemblage de la matrice est ralis au moyen d'une colle EPOXY thermique rticulable basse temprature. Ce choix a t motiv par les raisons suivantes : Lassemblage doit tre ralis des tempratures maximales de 80C-100C. Des tempratures suprieures risqueraient de dtriorer le propergol. Lassemblage est htrogne : Pyrex/silicium/MACOR.
Deux colles sont utilises : Epoxy-H70E-2 (non conductrice thermiquement) pour le collage des matriaux structuraux et la H20E (conductrice thermiquement) pour le collage des btonnets de propergol sur la rsistance chauffante.
Ainsi, les principales tapes de l'assemblage du micropropulseur sont prsentes en dtail dans le Tableau 15.
p.70
Etape
Description
Type colle
Schma
Nettoyage de chacune des parties (silicium, pyrex et Macor) avec de lactone puis leau d-ionise.
Collage du verre sur silicium face avant pour fermer cot membrane. 1 La colle est dpose autour de chaque propulseur de manire continue pour avoir une bonne tanchit pendant le fonctionnement. Rticulation de la colle 60C pendant 15h H70E-2
Dpt face arrire de deux points de colle : un sur la rsistance et un en bout de propulseur.
H20E
Dpt du btonnet de propergol solide prdcoup sur les deux points de colle dposs en 2. 3 Rticulation de la colle 60C pendant 15h. Epaisseur de colle mesure entre la rsistance et le propergol est de 30~50m. -
Collage du MACOR sur la partie silicium face arrire. 4 La colle est dpose autour de chaque propulseur de manire continue et sur le silicium Rticulation de la colle 60C pendant 15h. Tableau 15. Etapes dassemblage dun micropropulseur H70E-2
p.71
Les tapes de la procdure dassemblage dun micropropulseur dmonstrateur sont illustres sur les schmas de la Figure 50.
Figure 50 : Etapes dassemblage dun propulseur rservoir Silicium/MACOR (Section de chambre 2.25mm)
Pour illustration, la Figure 51 reprsente un vecteur de 7 propulseurs dont 4 sont remplis avec le propergol. On peut voir sur cette photo les deux points de colle en noir aux deux extrmits du propulseur.
La Figure 52 est une photo de la face arrire de la partie silicium remplie avec le propergol. Enfin, la Figure 53 est une photo dune structure de propulseur totalement assemble. On voit :
en blanc, la partie rservoir en Macor (paisseur, 1.5mm). au centre, la partie silicium (0.545mm) avec les cols de tuyre et, en transparence, le pyrex (0.5mm) qui ferme lassemblage.
p.72
Figure 51. Photo de propulseurs remplis avec du propergol (photo de la partie silicium face avant)
Figure 52. Photo de propulseurs remplis avec du propergol (photo de la partie silicium face arrire)
Figure 53. Photo de propulseurs assembls compltement : en blanc : Macor (1.5mm). Au centre : silicium (0.545mm) et en transparence : pyrex (0.5mm)
p.73
Aprs assemblage des matriaux constitutifs de la matrice, et mise en place des btonnets de propergol, l'ensemble est entour de plaques en EPDM, puis serti avec la structure mtallique dj mentionne par le pass.
A noter que l'assemblage sans pyrex dcrit dans le paragraphe "complments de dfinition" est celui vers lequel nous souhaitons aboutir. Cela dit, compte-tenu des rserves que l'on peut mettre quant la rsistance de la membrane au contact direct de l'EPDM, nous prfrons dans un premier temps raliser les matrices telles que dcrites dans cette partie (i.e en intgrant une partie en pyrex dans le rservoir), de faon faciliter les premiers essais de mise au point. Dans l'autre cas, les tapes dcrites prcdemment restent valides, exceptes celles concernant le pyrex.
7 CONCLUSION
Ce chapitre a dcrit la technologie de ralisation des micropropulseurs sur silicium. Une ide importante maintenue dans la conception de cette nouvelle structure est lallumage par un initiateur sur membrane. Nous avons propos dans ce chapitre une technologie en 12 tapes que nous avons conues et mises au point au LAAS. Nous nous sommes attachs utiliser et dvelopper des procdes microsystmes standards. Nous avons t amens rgler des points de difficults notamment, sur les membranes SiO2/SiNx : nous avons report une couche de BCB pour renforcer la tenue mcanique et obtenir des rendements de production suprieure 80%. Aussi sur le micro-usinage de la tuyre, nous avons dvelopp un procd technologique permettant davoir un bon rendement. Ce chapitre conclu sur le fait que la technologie de fabrication de la puce est prte. Pour lassemblage nous avons utilis une approche manuelle mais qui pourra tre un jour automatis.
p.74
Chapitre 4 : Caractrisation et validation exprimentale des MEMS micropropulseurs
CHAPITRE IV
CHAPITRE IV : CARACTERISATION ET VALIDATION

EXPERIMENTALE DES MEMS MICROPROPULSEURS
1 INTRODUCTION
Le chapitre prcdent a t consacr loptimisation du procd de ralisation des matrices de micropropulseurs sur silicium. Il nous a permis de rsoudre des difficults technologiques rencontres dans la microfabrication en salle blanche, de valider un procd de chargement en propergol et dassemblage du dmonstrateur par la technique flip-chip. Dans cette tape de dmonstration et de validation du fonctionnement de nos micropropulseurs, nous avons tout dabord souhait qualifier les structures et donc les choix technologiques que nous avons prsents prcdemment. Nous allons caractriser le
p.75
processus dinitiation et de combustion et comparerons diffrents matriaux nergtiques pour trouver un matriau fonctionnel et adapt nos structures miniatures. Nous allons vrifier les performances des propergols contenus dans les rservoirs et valider le bon fonctionnement de lassemblage complet.
Dans une premire partie, nous chargerons la chambre de combustion en appliquant les critres de scurit, de compatibilit avec lquipement dinjection et de capacit brler de faon fiable aux faibles dimensions.
Dans une deuxime partie, nous caractriserons et validerons linitiation du propergol. Ensuite, nous tudierons la combustion du propergol choisi contenu dans des rservoirs silicium. La tenue mcanique de lassemblage sera aussi valide. Aprs cela, nous terminerons par la prsentation des profils de pousse obtenus en utilisant la balance de milli-pousse dveloppe au LAAS et nous dterminerons les valeurs maximales et les dynamiques des pousses obtenues. Enfin, nous proposerons par la suite une analyse prospective de la situation laquelle nous avons abouti. Ces points seront dtaills dans ce qui suit.
2 CARACTERISATION DE LINITIATION DU MATERIAU PYROTECHNIQUE

La caractrisation de linitiation du matriau pyrotechnique contenu dans la chambre de combustion consiste vrifier, dans un premier temps, lallumage ou le non allumage du propergol se trouvant en contact direct avec la micro-rsistance. A lissue de cette phase, lobjectif sera de connatre : - Lnergie mettre en jeu pour lallumage dun bloc de propergol, - Le dlai dallumage du micropropulseur, - La capacit d'auto-entretien de la combustion basse pression ( pression atmosphrique).
Ces points seront caractriss en filmant les tests et en enregistrant les protocoles dinitiation : courant et tension, passant travers de la rsistance miniature.
p.76
2.1
TEST DINITIATION DET DE COMBUSTION
2.1.1 DESCRIPTION DE LEXPERIMENTATION
Le principe du test dinitiation dun matriau pyrotechnique est le suivant : il consiste appliquer la rsistance de chauffage un courant de quelques milli-Ampres puis mesurer la tension rsultante et dtecter linstant qui correspond linitiation. Ces tests ont t raliss laide dun banc de test mise en place et dvelopp par D. Lagrange de lquipe dinstrumentation 2I et S. Orieux (post doctorant au sein du LAAS-CNRS, spcialement pour caractriser les micropropulseurs), (cf Figure 54). Ce banc de test assure la fois la commande en courant et lacquisition des donnes exprimentales : la tension et le temps aux bords de la rsistance de chauffage. Il est constitu dun gnrateur de courant (courant maximal continu : 80mA) pour un temps de mont de 1.3s.
Figure 54: Banc de caractrisation de l'initiation
Le systme de mesure ralise une commande en puissance de linitiateur afin davoir une reprsentation concrte directe de lnergie lectrique ncessaire linitiation. Pour ce faire, un gnrateur de courant pilot en tension envois le courant linitiateur correspondant la puissance souhaite (cf Figure 55). La commande est mise en uvre par
p.77
une carte dacquisition 6052e de chez National Instrument, dinterface PCI relie un PC. Les donnes de lacquisition sont collectes et traites au niveau du PC.
initiateur
I (mA) Gnrateur de courant V I Cmd I(mA) Carte dacquisition

Envoi des paramtres de lacquisit ion Retour des donnes de lacquisit ion
Alimentation +15V/-15V Alimentation +40V
PC
Figure 55 : Schma lectronique du montage pour la caractrisation de linitiation [5]
Lalgorithme de commande est ralis sous Labview CVI de la socit National Instrument. Cet outil permet de dfinir les diffrents profils dinitiation, de fixer la puissance et la dure dinitiation. Le profil de la commande dinitiation peut inclure une phase de prchauffage, sous la forme dune rampe ou dun crneau (cf Figure 56). Nous avons, dans nos tests, appliqu les deux profils avec des valeurs diffrentes de puissance dinitiation.
Loutil informatique commande donc le gnrateur de courant qui fournit le courant adquat partir de la valeur de puissance choisie. La mesure de la puissance en temps rel se fait avec une frquence dacquisition de 20kHz, ce qui permet aussi didentifier le moment de linitiation : leffet Joule sur la micro-rsistance en polysilicium de quelques dizaines dOhms, initie le matriau pyrotechnique lorsque la temprature atteint la temprature dallumage qui est aux alentours de 250C. Sous leffet des gaz dgags par la combustion du propergol, la membrane en film mince se brise et entrane la rupture de la rsistance. La dtection dun courant nul dfinit linstant dinitiation. Linterface graphique de loutil de commande est indique sur la figure 2, avec des zones de saisie et dacquisitions.
p.78
P Pinit Ppr
- Prchauffe en crneau - Initiation en rampe t - Prchauffe en crneau - Initiation en crneau t - Initiation en crneau sans prchauffe t - Initiation en rampe sans prchauffe t
P
Pinit Ppr
P Pinit Ppr P Pinit
t
P Pinit
Pinit: Pinitiation Ppr: Pprchauffage

Figure 56 : Profils dinitiation possibles
Figure 57 : Interface graphique de loutil de commande
p.79
2.2
PROPERGOLS TESTES
Cette tude statique consiste raliser les tests de combustion sur des matrices compltes de micropropulseurs. On applique des squences prprogrammes, et on vrifie en particulier : La tenue mcanique de la matrice, Labsence dun couplage thermique qui pourrait altrer la scurit de fonctionnement de lensemble, Lors de ces tudes, on a test diffrentes configurations de propulseurs, en faisant varier : Les longueurs de brins, Les dimensions des cols, Les matriaux constitutifs de la matrice. Et cela en employant diffrents types de propergols solides pour trouver la composition la plus adquate de tels composants MEMS. La socit PROTAC, notre partenaire dans le projet, a formul diffrents types de propergol : composite, Double-Base et de la poudre noire. Nous les avons caractriss au LAAS sur des critres de combustions, soutenues et compltes, pression atmosphrique et haute pression de fonctionnement, dans des rservoirs silicium. A partir de ces rsultats, nous avons retenu les compositions qui prsentaient une combustion soutenue, a une vitesse et donc une pousse importante et avec une section de combustion critique minimale.
2.3
RESULTATS DES TESTS DINITIATION ET DE COMBUSTION
2.3.1 LA POUDRE-NOIRE PN
Dans notre tude, et dans le but dexplorer le fonctionnement de nos propulseurs la Poudre-Noire, nous avons effectu un premier test dinitiation de la Poudre-Noire, lair libre, avant de la charger directement dans les rservoirs de propulseurs. Nous avons dpos une trs faible quantit de Poudre-Noire sur la micro-rsistance. Lalimentation en courant de cette dernire a provoqu une dflagration de la Poudre-Noire, ce qui signifie que londe de combustion ou front de flamme se dplace moins vite que les gaz gnrs, ne produisant donc pas donde de choc.
p.80
Dans un deuxime test dinitiation, la Poudre Noire a t confine dans un rservoir de micropropulseur. Cette fois il y a eu une trs rapide combustion de la Poudre-Noire, qui caus explosion de la matrice de micropropulseurs.
La mise feu de la Poudre-Noire est trs facile raliser, mme aux trs faibles dimensions de structures, mais sa trs forte vitesse de combustion rend son utilisation dans les micropropulseurs silicium dlicate. La chambre monte en pression sans atteindre un rgime de pression stable ou quasi-stable. Nous avons donc orient nos essais vers des propergols solides Double-Base.
2.3.2 PROPERGOL DOUBLE-BASE TYPE GBTU
Dans cette partie, nous avons test le propergol Double-Base nomm GBTu (LAAS). Il est sous forme de brins jaunes trous au centre, obtenu par extrusion, denviron 1.4 mm de diamtre et de longueur variable entre 2 et 9 mm. Lobjectif ici est de vrifier le phnomne dinitiation du propergol en contact avec la micro-rsistance de linitiateur, et en suite le transfre de flamme entre linitiateur et le reste du brin de propergol. Nous allons dterminer ensuite: la puissance dallumage, le dlai de linitiation, le rendement de linitiation.
2.3.2.1 Structure de test
Pour ces premiers tests, la structure ntait pas compltement scelle et le propergol est pression ambiante. Des matrices de microinitiateurs en silicium donc fabriques suivant le procd dcrit en dtail dans le chapitre 3, avec la face avant coll sur du verre. Elles ont t remplies avec du propergol GBTu denviron 1mm de diamtre dcoup par un outil spcial fabriqu au LAAS en brins de 3mm de longueur. La fixation est faite grce de deux micro-gouttes de colle thermiquement conductrice type Epoxy-H20-E, dpos aux des deux extrmits (cf Figure 58). Un bon contact thermique permet de rduire la puissance et le dlai de lallumage du propulseur.
p.81
Matrice de microinitiateurs en silicium
Assemblage du verre sur la face avant
Dpt de la colle sur la face arrire de la membrane
Dpt du brin de propergol sur la colle
1.4mm
Mat. Pyro btonnet
Figure 58 : Etapes requises pour lassemblage de la structure pour les tests dinitiation du propergol Double-Base type GBTu
La difficult de ce procd de chargement consiste charger les cavit de la matrice silicium dun initiateur de dimensions 1.5mm x 3 mm et de 525m de profondeur avec des brins de propergol GBTu de 1400m de diamtre, proprement et sans casser les membranes, et en assurant un bon contact entre le propergol et la rsistance chauffante qui servira pour linitiation de la combustion. Des photos de la matrice de test aprs lassemblage sont reprsentes sur la Figure 59. Nous constatons une bonne reproductibilit du dpt des micro-gouttes et un bon positionnement des brins
Figure 59: Photos de la matrice de 7 microinitiateurs silicium sur du verre, charg de propergol GBTu: (haut) face avant et (bas) face arrire
p.82
A cause de la dissipation de chaleur dans le verre, cette dernire configuration : silicium sur verre, est plus dfavorable linitiation par rapport la mme structure sans le verre. Le fait de coller du verre face la rsistance permet dobtenir la puissance et le dlai de linitiation le plus proche de celui du prototype final assembl. La caractrisation exprimentale et les rsultats seront prsents point par point dans le paragraphe suivant.
2.3.2.2 Caractrisation
Les tests dinitiations ont t faites, un par un, sur chaque propulseur constituant la matrice. Avant lapplication dune diffrence de potentiel entre les bornes de la microrsistance pour la mise feu, nous mesurons la valeur initiale de rsistance R0 qui nous permettra ensuite de dduite la puissance dinitiation. Pour mieux comprendre le phnomne de linitiation cette chelle, o le cas chant faire un diagnostic des facteurs qui empchent linitiation du propergol, nous avons choisi de raliser les premiers tests par la mthode manuelle classique c--d sans faire appel loutil informatique ddi aux tests linitiation. Pour ce faire, une stratgie t mise en place pour conomise le temps et largent. Elle consiste procder comme suit :
Dans un premier temps, nous avons fait une exprience pour valuer
approximativement le courant dinitiation. Nous avons appliqu un courant en
rampe : de 0 jusqu' Iinit qui correspond au courant dinitiation et/ou la cassure de

la rsistance.
Dans un deuxime temps, nous avons appliqu un courant en crneau, de la

valeur de Iinit, et sil ny a pas initiation nous testons des courants infrieurs Iinit si la membrane casse, ou suprieur Iinit sil na pas dinitiation o dans le cas dun point rouge.
R0 () Test 1.1 Test 1.2 Test 1.3
V init (V)
Pinit (mW)
618 666 525
12.6 12.6 10.0
256 238 190
Tableau 16: quelques rsultats d'initiation du GBTu
p.83
Les rsultats des tests dinitiations "rampe" sont montrs sur le Tableau 16. Dabord, ces premiers tests nous ont permis de vrifier la bonne tenue mcanique du GBTu sur la membrane. Nous avons obtenu des initiations russites dans tous les cas, avec des puissances dallumage qui vont de 238mW et 256mW correspondant un DDP de
12,6V, au plus faible valeur de 190mW correspondant a un DDP de 10V. Les valeurs
des rsistances de chauffage taient entre 525 et 666. Cette cart est relativement fort et peut tre expliqu par au moins lune des raisons technologiques suivantes :
une fluctuation de lpaisseur de la couche mince de poly silicium, une inhomognit du dopage de cette dernire couche, une erreur lors du report du motif entre le masque et la rsine, un corps tranger pass entre le masque et la rsine lors de ltape dinsolation
par rayons UV,
autres types de dfauts

Etant donn que les tests non pas t automatiss, nous navons pas pu relever avec prcision les dlais dinitiations et les temps de combustions.
Le point important pour le fonctionnement dun propulseur est la transition de flamme de linitiateur la chambre de combustion qui constitue lallumage du rservoir de propergol. Ce processus est trs critique dans notre cas et doit tre fiable. Malheureusement, les expriences de combustion ont montrs que la propagation de flamme au long du brin de GBTu est partielle et trs fluctuante. Au meilleur des cas, Elle a atteint 20% sur les 3mm de longueur de brin.
2.3.2.3 Conclusion
Nous avons pu valider le chargement des matrices initiateurs silicium avec des brins de propergol Double-Base type GBTu, avec une trs bonne reproduction et sans casser les membranes, en assurant un bon contact thermique entre le GBTu et la micro rsistance en poly-silicium. Des tests dinitiations du GBTu ont t raliss avec succs au alentour de 200mW, pour une structure de micropropulseur silicium sur du verre face avant, non scell sur la face arrire (GBTu pression ambiante). Les rsultats de ces premiers tests de
p.84
validation de larchitecture horizontale de micropropulseurs t prsents dans la confrence international CANEUS04 [70].
2.3.3 PROPERGOL PAG 2.3.3.1 Premires structures de test
Pour caractriser linitiation et la combustion du PAG, une structure de microinitiateurs sur silicium, colle sur du verre par la face des membranes a t charge avec des formes rectangulaires de PAG de dimensions 1400m 500m 3000m. Ensuite, les rservoirs silicium ont t scells avec une deuxime lame de verre (Figure 60). Trois structures de diffrentes sections du col ont t testes ; 100m525m, 150m525m et 200m525m, pour voir leffet de la pressions de confinement du PAG. La Figure 61 prsente : gauche, un schma dune matrice de 7 micropropulseurs avec la position des trois types de tuyres 100m, 150m et 200m sur la matrice, et droite ; une photo de la matrice de test du PAG prise lors de lavant dernire tape dassemblage, sans le scellement verre face arrire. Le chargement les brins de PAG est reproductible. Grce la technique de dpt de colle par flip-chip dvelopp, en intgrant dune lame mtallique fine, nous avons obtenu un dpt de colle H70-E continu est homogne sur des parois de silicium de trs faible paisseur (250m).
Nous avons prvu dans la conception des matrices silicium une barrette nomme "barrette
anti-rapprochement", en silicium micro usin en mme temps que les rservoirs. Cette
barre vite que les membranes tenues uniquement par 3 parois silicium se cassent, sous des forces thermiques ou mcaniques, notamment pendant la caractrisation des membranes et/ou au court des tapes dassemblage et de recuits thermiques. Cette barre en solicium sera donc dissocie de la matrice par clivage une fois lassemblage achev et la colle rticule.
p.85
GAP
Dpt du brin de propergol sur la colle et coller du verre
Figure 60: Etapes requises pour lassemblage de la 1re structure tests pour linitiation/combustion du PAG
Figure 61: matrice de micropropulseurs assemble, charge avec du PAG, non sclle face arrire (deux membranes casses) : gauche :shma, droite : photo de la matrice silicium
La matrice G constitue des couches Verre/Silicium/Verre est compose de 7 micropropulseurs quasi-identiques de G1 G7 avec comme seule diffrence la largeur du col de la tuyre : 100m pour G1 et G7, 150m pour G2 et G6 et 200m pour G3, G4 et G4. Les rservoirs de 4,4 mm3 de volume ont t remplis de 4mg de PAG quivalent de 3,466mm3. Dans un propulseur, le serrage est dfini comme le rapport entre la surface en combustion (section de propergol) et la section du col. Cest un paramtre trs important, proportionnel la force de propulsion : Il est gal 0,081 pour G1 et G7, 0,121m pour G2 et G6 et 0,162m pour G3, G4 et G4. Le Tableau 17 rsume les caractristiques gomtriques et techniques de la matrice utilise pour les tests PAG.
p.86
Matrice G : verre/Si/verre. Matriau pyro. PAG # propulseur Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm ) Section chambre (mm2) Volume chambre (mm ) Section col (mm2) Serrage
3 3 2
G1
G2
G3
G4 525 5,333
G5
G6
G7
4 0,650 3,466 0,825 4,400 0,053 0,081
4 0,650 3,466 0,825 4,400 0,105 0,162
4 0,650 3,466 0,825 4,400 0,105 0,162
4 0,650 3,466 0,825 4,400 0,079 0,121
4 0,650 3,466 0,825 4,400 0,053 0,081
Tableau 17: Caractristiques gomtriques et proprits techniques de la matrice test au PAG
2.3.3.2 Caractrisation et validation
Pour valider la transition de flamme dans la cavit nous avons utilis un enregistrement vido par camra CCD, de la manire suivante : nous initions la composition propergolique (GAP) prsente dans la cavit de linitiateur et filmons lensemble de la combustion. Nous contrlons ensuite sil y a bien eu une combustion complte de la composition dans le rservoir.
Les rsultats sont les suivants :

Il y a bien initiation du PAG faible puissance de 300mW pour les 3 structures de propulseurs avec des diffrentes largeurs de tuyres ; 100m, 150m et 200m et des serrages correspondants de 0,081, 0,121 et 0,162 respectivement. Une initiation au PAG
a t obtenue pour une puissance de 250mW sur la structure au serrage de 0,162 (structure avec 100m de largeur de col). Ces rsultats apportent une relle validation
du processus de chargement en utilisant une microgoutte de colle thermiquement conductrice H20E. Cependant, la puissance de linitiation nest pas suffisante pour
entretenir la propagation de flamme dans le propergol. Cet effet est d aux pertes thermiques vers les matriaux environnants, qui sont, dans ce type de structure, le silicium et le verre, avec lesquels le propergol est en contact direct. Cette hypothse est valide
p.87
notamment dans les cas des fortes sections de tuyres o la pression dans le racteur est faible (cf. Figure 62 -propulseurs G3 et G4), le cas le plus dfavorable la combustion.
Ces rsultats montrent que la combustion nest complte que pour la structure au plus faible surface de col dont le serrage est de 0,081 (structure avec 100m de largeur de col) ou la pression de chambre est la plus importante (cf. Figure 62 -propulseur G1). Il est dmontr quil y a une densit de puissance minimum appliquer pour avoir une initiation optimale du propergol [62]. Dans notre cas, nous avons trouv quune puissance plus importante que 300mW ne favorise pas linitiation car un espace dair est dj cr entre la membrane et le propergol lissu dun dbut de dcomposition de ce dernier, et cela se passe au alentour de 300mW. Une fois que la membrane est dcolle du propergol, laugmentation de la puissance pour la mise feu cr un point chaud ou point rouge, comme nous pouvons le voir sur les photos G3 et G4 de la Figure 62.
G1, 100m
G3, 150m
G4, 200m
Figure 62 : Images prises l'or des tests de mise feu
La photo de la structure G1 (cf. Figure 62) prise en plein test de mise feu nous montre que la combustion du propergol composite PAG ne produit pas de flamme contrairement la combustion dautres propergols, notamment les Double-Base.
La Figure 63 montre les deux faces de la matrice de micropropulseur G, utilis pour les tests dinitiation et de combustion au PAG, aprs les tests de combustion. Deux chambres parmi les sept non pas t charges cause des membranes casses. Nous rappelons que pour ces premiers tests, nous avons intentionnellement test les matrices contenants quelques membranes casses ; soit au cours des tapes de fabrication en salle blanche ou aprs ltape de sparation des matrice du mme plaquette silicium (tape de clivage).
p.88
Dans la premire photo (photo face des membranes), nous observons quune zone dans propergol au voisinage de chaque micro rsistance a t dcompose, ce qui prouve quil y a bien eu initiation du PAG. Cependant, la combustion na pas t soutenue le brin de propergol ntait pas consomm dans la plupart des chambres part dans G1 ou le PAG a t consomm intgralement. Nous remarquons que la combustion dans les propulseurs identiques G3 et G4, avec la plus grande surface de col de tuyre est donc la plus faible pression de chambre, na mme pas atteint les 10% par rapport la longueur du brin. Toutefois, la combustion dans les propulseurs identiques G1 et G7, avec la plus faible surface de col de tuyre est donc la plus forte pression de chambre, tait tonnement complte pour G1 et partiel pour G7.
Face membrane
G7
G6
G5
G4
G3
G2
G1
Face arrire
G7
G6
G5
G4
G3
G2
G1
Figure 63 : Matrice G aprs les tests de combustion au PAG
p.89
Matrice G : verre/Si/verre. Matriau pyro. PAG # propulseur Rsistance () Rsistance moyenne ()

Puissance dinitiation (mW) Type dinitiation
G1 555
G2 -
G3 540
G4 548 540
G5 -
G6 530
G7 525
300
Crneau
300
Rampe
250
Crneau
300
Crneau
300
Crneau
Etat de linitiation Combustion
Oui Oui
Oui dbut
Oui non
Oui Non
Oui Non
Tableau 18: Caractristiques lectriques et paramtres de l'initiation au PAG (1me matrice)
Sur le Tableau 18 nous prsentons les caractristiques lectriques et les paramtres de l'initiation au PAG pour les structures verre/silicium/verre. Les valeurs des rsistances poly-silicium mesures avant le test dinitiation sont entre 525 et 555 (valeur moyenne 540). Les valeurs des rsistances sont trs proches ce qui montre la reproductibilit du processus de fabrication les initiateurs silicium. Mise part le premier test effectu sur le propulseur G3 qui t en rampe dans le but de trouver une valeur de puissance minimale et suffisante a linitiation (ici 300mW), le reste des tests de ont t de type crneau. Les puissances ont t trs faible entre 250mW et 300mW ce qui fait le point fort de notre concept dinitiation travers une membrane fine dilectrique [71].
2.3.3.3 Premires sries de conclusions
Dans ces premiers essais, nous avons pu valider la technique de chargement et lassemblage du propergol composite PAG dans des propulseurs silicium. Les rsultats de test initiation/combustion nous permettent de conclure que le propergol composite PAG peut tre systmatiquement utilis pour linitiation mais il prsente un trs faible rendement de combustion aux faibles dimensions notamment, par le fait quil est confin dans des matriaux thermiquement conducteurs (le verre, et particulirement le silicium). A ces faibles dimensions, ce milieu est dfavorable la combustion a cause du phnomne de section limite dextinction [72] [73].
p.90
2.3.3.4 Deuximes structures de test
Dans le but damliorer le rendement et la reproduction de linitiation et de la combustion du PAG, une nouvelle structure de test, thermiquement plus favorable linitiation et la combustion, a t conue et ralise. Il sagit dune matrice de microinitiateurs silicium de 525m dpaisseur identique celle utilise dans les premiers tests au PAG, coll sur du verre sur la face des membranes puis charge avec des morceaux de PAG de dimensions 1,4mm 0,5mm 3mm. Les rservoirs silicium ont, cette fois ci, t scells avec une structure en Macor. La structure a t usine par usinage classique. Des rservoirs de 1,5mm de profondeur et une partie des tuyres ont t raliss pour tre assembls avec les rservoirs silicium (cf. Figure 64).
Macor
Si
Figure 64: Schma 3D du Macor et du silicium micro usins
GAP
Dpt du brin de propergol sur la colle et coller le Macor
Figure 65: Etapes requises pour lassemblage de la 2re structure test pour linitiation/combustion du PAG
p.91
La Figure 65 reprsente les diffrentes tapes du chargement et dassemblage de la structure de test au PAG. Dans cette nouvelle structure, le brin de propergol est thermiquement mieux isol grce espace dair qui lentoure. Le flux de chaleur se fait principalement travers les murs en silicium. Pour minimiser ce flux de chaleur, une solution technologique peut tre envisag et rajouter aux tapes du des initiateurs silicium. Il consiste revtir les parois silicium avec une couche de SiNx dpose par PECVD faible temprature juste aprs gravure profonde DRIE des rservoirs.
L7 L6
L4
Figure 66: Matrice de micropropulseurs verre/Si/Macor ( droite) charge avec du PAG. La colle est dpos sur le silicium pour la dernire tape dassemblage du Macor usin ( gauche)
La matrice L ralise pour cette deuxime gamme de tests au PAG est prsente sur la Figure 66 : Elle est constitue des couches suivantes : verre/Si/Macor, en dernre tape dassemblage, avec la colle dpos sur le Silicium pour le scellement du capuchon en Macor usin. Parmi les 7 micropropulseurs L1 L7 de la matrice L, nous nous intresserons uniquement aux trois suivants : L4, L6 et L7 avec 200m, 150m et 100m de largeur du col de la tuyre, respectivement pour tudier linitiation et la combustion PAG. Les rservoirs Silicium/Macor de 19,8 mm3 de volume ont t remplis de 4mg de PAG (3,466mm3). Les
p.92
serrages sont gaux 0,162, 0,121 et 0,081 pour L4, L6 et L7 respectivement. Dans le Tableau 19, sont rsumes les caractristiques gomtriques et techniques de la matrice L utilis pour les tests PAG.
Matrice L : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm. Matriau pyro. PAG # propulseur Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm3) Section chambre (mm ) Volume chambre (mm3) Section col (mm ) Serrage
2 2 2
L4
L5 525 5,333
L6
L7
4 0,650 3,466 3,717 19,824 0,105 0,162
4 0,650 3,466 3,717 19,824 0,079 0,121
4 0,650 3,466 3,717 19,824 0,053 0,081
Tableau 19: Caractristiques gomtriques et proprits techniques de la 2me matrice test au PAG
2.3.3.5 Caractrisation et validation
Les tests de mise feu du PAG dans une structure verre/silicium/Macor ont t valids par enregistrement vido. Les rsultats montrent une initiation russie du PAG, systmatique et faible puissance : la puissance dinitiation et de 250mW, pour les 3 structures propulseurs de largeurs de tuyres de ; 100m, 150m et 200m correspondants aux serrages de 0,081, 0,121 et 0,162 respectivement.
On observe une propagation de flamme rapide dans le propergol et donc une combustion complte. Ces tests confirment limportance des phnomnes physiques identifis prcdemment, notamment thermiques. La dissipation de la chaleur du propergol vers les matriaux environnants est cette fois ci moins importante que dans la premire structure avec le verre.
p.93
Figure 67 : Images prises pendant un test de mise feu : la combustion du PAG ne produit pas de flamme
L7
L6
L4
avec le verre coll face membranes
Verre dcoll sur la face des membranes

Figure 68 : Matrice L aprs les tests de combustion au PAG
p.94
Aprs les tests de combustion, nous avons dcoll le couvercle en verre pour accder aux rsidus de la combustion. La Figure 68 montre les deux faces de la matrice de micropropulseur L, utilis pour la validation de linitiation et de combustion au PAG. Une chambre sur sept na pas t charge car la membrane t dj casse, et les trois premires chambres de propulseurs ont t utilises pour dautre type de test que nous dcouvrirons par la suite :
La combustion tait soutenue et complte, quelque soit le serrage de la structure sauf dans le cas L7 o le PAG a t partiellement consomm. Cela peut tre justifi par un mauvais collage du brin de PAG sur la membrane ce qui entran sa chute au fond du rservoir Macor en cours de combustion, ce qui suffit lextinction de la combustion. Cette hypothse est conforte par la forme finale de section de flamme. Au contact avec le Macor, le front de flamme du brin de propergol PAG en feu suivi une forme oblique jusqua son extinction au lieu de suivre le modle cigarette.
Matrice L : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm. Matriau pyro. PAG # propulseur Rsistance () Rsistance moyenne ()

Puissance dinitiation (mW) Type dinitiation (R ou C)
L4 477
L5 480
L6 483
L7 480
250
Rampe
250
Rampe
250
Rampe
Oui Oui
Oui Oui
Oui
Partielle
Tableau 20: Caractristiques lectriques et paramtres de l'initiation au PAG (2me matrice)
Le Tableau 20 rcapitule les caractristiques lectriques et les paramtres de l'initiation au PAG pour la structure prsente sur la Figure 66 et compos des trois couches
verre/silicium/Macor. Les valeurs des rsistances sont trs proches et varient entre 477 et 483 avec une rsistance moyenne de 480. Cette fois ci, tous les tests dinitiation ont t raliss en crneau avec une puissance lectrique de 250mW.
p.95
2.3.3.6 Deuxime srie de conclusions
Afin de sloigner du phnomne dauto extinction de la combustion du propergol aux faibles dimensions, nous avons utilis des matriaux nouveaux faible conductivit thermique et usinables : le Macor, est lun des matriaux qui rpond ces exigences. Le collage du PAG la colle poxy H20-E et lassemblage dune matrice compose du verre/silicium/Macor poxy H70-E a t test et valid. Les tests dinitiation et de combustion ont donn un bon rendement dinitiation 250mW et une amlioration de la combustion (entre 50% et 100% de la longueur du brin) laide de lutilisation des chambres micro usines sur le Macor avec un espace dair entre ce dernier et le propergol. Du point de vue thermique, cette dernire configuration parait plus favorable la combustion du propergol dans tel faibles dimensions de structure.
3 DEVELOPPEMENT DUN PROPERGOL ADAPTE AU PROPULSEURS MEMS 3.1 IDEE ET MOTIVATION
Notre but tait, dune part didentifier un propergol solide, adapt nos besoins et notre communaut lie aux microsystmes nergtiques et dautre part, de rpondre aux exigences spcifies par lutilisateur. Nous avons donc tent dimaginer de nouveaux matriaux pyrotechniques avec les moyens simples dont nous disposons au LAAS.
Le mlange nouveau que nous avons expriment pour nos micro-fuses se compose du propergol Double-Base et dun pourcentage de Poudre-Noire. Cette proportion
reprsente la contribution en masse dans le constituant principale qui est le DoubleBase. Elle permet au mlange qui alimente de micropropulseur de brler plus vite que la traditionnelle Double-Base.
p.96
3.2
FABRICATION ET MISE EN UVRE DUN PROPERGOL DB+X%PN EN

BRINS
Il ne suffit pas simplement de mlanger les produits chimiques pour obtenir un nouveau propergol. Le procd de mixage est aussi important est rigoureux quun simple mlange de pte, car les matriaux que nous manipulons sont trs sensibles et instables. Les tapes du procd de synthse du propergol BD+x%PN seront dcrites en dtail.
3.2.1 PROCEDE DE FABRICATION
En gnral, les matriaux composites associent des fibres, des poudres, des alliages mtalliques, des rsines,...etc appliquant des techniques de malaxage, tissage, bobinage filamentaire,... afin d'obtenir des matriaux aux proprits nouvelles. Dans cette tude, le but est de crer une combustion dans un trs petit volume qui produit un maximum dnergie en un temps limit. Nous avons effectu de nombreux essais, avec les moyens trs simples que nous avons, pour arriver dfinir un procd adapt et reproductible tel quil est dcrit ci dessus:
Un premier problme rencontr dans la mise en forme de ce nouveau propergol tait de trouver un solvant au propergol Double-Base qui serait aussi compatible avec lusage de la Poudre-Noire. Pour cela, plusieurs types de solvants ont t tests sur les deux propergols ; Double-Base et Poudre-Noire sparment puis appliqu au mlange des deux, avant de choisir lactone.
Un autre problme a t lapport en masse (stochiomtrie) de chaque constituant dans le compos final PD+x%DB. Plusieurs valeurs de x on t testes ; entre 0% et 30% pour obtenir un propergol fonctionnel dans les micropropulseurs sur silicium.
Une fois les prcurseurs pess, nous les diluons la Double-Base avec un volume minimum dactone puis nous rajoutons la Poudre-Noire. Le mlange est inhomogne, il est ncessaire donc de brasser le mlange. Ce brassage est une tape essentielle dans lobtention dun propergol composite, densit volumique homogne.
p.97
Le mlange sous forme de pte obtenu est rentr dans une seringue pour lextrusion, et le propergol sous forme de fils est finalement obtenu. Nous avons aussi obtenu des fils de
0,5mm jusqu' quelques millimtres, en fonction du diamtre du col de seringue utilise.
Un premier recuit de cuisson est appliqu pour vaporer lactone rsidant dans la section du propergol. Un tuvage 90C pendant 24h permet enfin dobtenir un propergol solide prs lutilisation. Il faut donc tenir en compte du fait que le diamtre final du propergol aprs recuit est de 10 20% moindre par rapport au diamtre initial du fil aprs extrusion. Notant aussi quil est trs important de choisir le bon moment pour passer du malaxage extrusion, parce quun excs dactone entrane des dformations de la section lors du recuit (cf. Figure 69).
Figure 69: Diffrents tapes de production du propergol SD+x%PN
3.2.2 MISE EN FORME DE BRINS
Une fois le propergol en fil est obtenu, nous procdons ltape qui consiste en la dcoupe en petits brins. Etant donn que nous avons conu des deux types de rservoirs de propulseurs de longueurs diffrentes de 3,33 et 5,33mm, nous avons dcoup le propergol deux longueurs diffrentes de 3 et 5mm. Pour cela un outil spcial ddi la dcoupe
p.98
t conu et ralis en collaboration avec X. Dollat, responsable de latelier de Mcanique au sein du LAAS. La Figure 70 prsente lensemble de loutil de dcoupe en aluminium usin et les deux parties constituantes. La plaque suprieure principale est ralise en deux niveaux de 3 et 5mm dpaisseurs, dans chaque niveau nous avons perfor 7 trous de 1,5mm de diamtre, traversant lpaisseur de la plaque. La plaque infrieure sert uniquement de fond de trous de la premire plaque. La dcoupe des brins de propergol se fait en rentrant fond dans chaque trou une baquette de matriau pyrotechnique pour venir ensuite le dcouper ras laide dune lame coupante en acier. Nous obtenons aprs chaque dcoupe, 7 morceaux identiques, de brin prt tre chargs dans les propulseurs.
Figure 70: Outil de dcoupe de propergol : (a) photo des deux partis constituants, (b) photo de loutil assembl
3.2.3
AVANTAGES ET INCONVENIENTS DU NOUVEAU MATERIAU ENERGETIQUE
Le propergol (DB+x%PN) ainsi synthtis possde les avantages suivants :
Mise en uvre facile et peu coteuse, Propergol solide permettant un chargement/remplissage facile, combustion continue mme dans un milieu non confin et pression ambiante, Possibilit dune large gamme de vitesse de combustion et par consquent de
pousse en faisant varier x le taux de la Poudre-Noire dans le mlange,
Stabilit dans le temps.
p.99
Ses inconvnients sont :
Composition granulomtrique inhomogne, Granulation importante de la Poudre-Noire par rapport la trs faible quantit du
propergol charger dans les cavits, ainsi que par rapport la section de col de tuyre.
3.3
ETUDE DE LINFLUENCE DU TAUX X DU SD DANS LA COMPOSITION SD+X%PN SUR LINITIATION ET LA COMBUSTION
Aprs les mdiocres rsultats dinitiations et de combustions en utilisant le propergol Double-Base, nous avons procd son dopage par 20% de poudre noire dans le mlange. Ensuite, un brin de cette composition t teste en combustion pression et temprature ambiante. Nous avons obtenu une combustion soutenue et complte. Ce rsultat nous a encourag laborer des compositions avec 10% et 30% de Poudre-Noire, pour voir leffet de ce paramtre sur la vitesse de combustion. En utilisant les deux dernires compositions, nous avons russi obtenir une combustion soutenue et complte partir dun certain pourcentage de Poudre-Noire dans la composition propergolique. Nous avons fait une tude exprimentale visant dterminer le pourcentage minimum de Poudre-Noire gnrant une combustion soutenue. Pour cela, nous avons commenc par la mise en uvre les compositions : SD+2,5%PN, SD+5%PN et SD+7,5%PN. Les tests en combustion des 3 compositions ont montr une combustion partielle puis une extinction du front de la flamme. Linitiation et la combustion des micropropulseurs en utilisant les compositions : SD+10%PN, SD+20%PN et SD+30%PN seront dtailles et commentes dans la partie suivante.
3.3.1 STRUCTURE DE TEST
Il sagit dune matrice de microinitiateurs silicium de 525m dpaisseur, coll sur du verre face des membranes a t charge avec des brins cylindriques de propergol SD+x%PN de 5mm de longueur et denviron 1.4mm de diamtre. Ensuite les rservoirs
p.100
silicium ont t scells avec une deuxime lame de verre (cf. Figure 71). Le volume total des chambres silicium/Macor est de 20mm3 et la section est de 2,9mm2. Trois structures avec des diffrentes sections du col ont t testes ; 100m525m, 150m525m et 200m525m. La Figure 72 prsente : gauche un schma dune matrice de 7 micropropulseurs avec la position des trois types de propulseurs de largeurs de tuyre tuyres 100m, 150m et 200m sur la matrice, et droite ; une photo de la matrice de test du PAG prise lor de lavant dernire tape dassemblage, sans le scellement avec du verre face arrire. La photo montre un chargement de PAG assez reproductible et un dpt de colle H70-E tanche est homogne sur des parois en silicium de 250m dpaisseur.
SD+x%PN SD+x
Dpt du brin de propergol sur la colle et coller le Macor
Figure 71: Etapes dassemblage de la structure test pour linitiation/combustion du SD+x%PN
L3 L2 L1
Figure 72: Exemple dune matrice de micropropulseurs verre/Si/Macor ( gauche) charge avec du SD+10%PN. La colle est dpos sur le silicium pour lassemblage du Macor usin ( droite)
p.101
Les caractristiques gomtriques et les proprits techniques des propulseurs testes sont inscrites dans le
Matrice L : verre/Si/gros-Macor1,5mm, gros Macor h=1,5mm # propulseur Type propergol Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm3) Section chambre (mm ) Volume chambre (mm3) Section col (mm ) Serrage
2 2 2
L1 SD+10%PN
L2 SD+20%PN 525 5,333
L3 SD+30%PN
7 0,950 5,068
9 1,327 7,079 3,717 19,824
9 1,327 7,079
0,053 0,055
0,079 0,059
0,105 0,079
Tableau 21: Caractristiques gomtriques et proprits techniques de la matrice test la composition SD+x%PN
3.3.2 CARACTERISATION ET VALIDATION DE LINITIATION PAR SEQUENCE VIDEO
Linitiation de propergol est un point important pour le fonctionnement dun propulseur. Ce processus doit tre fiable. Il est dautant plus critique dans notre cas que nous avons dvelopp un procd de chargement bas sur la fixation du propergol solide sur linitiateur pour optimiser linitiation. Dans ce paragraphe, lobjectif est de vrifier le phnomne de transition de flamme entre linitiateur et le matriau pyrotechnique que contient le rservoir. Nous tudierons ensuite exprimentalement la combustion de la composition SD+x%PN dans les matrices de rservoirs silicium/Macor afin den dterminer les vitesses de combustion et la reproductibilit. Nous avons assembl les diffrents lments avec de la rsine poxy dont le procd t expos dans la Figure 71. Les dimensions des structures de tests on t prsentes dans le paragraphe prcdent. Pour vrifier la transition de flamme, nous initions la composition propergolique dveloppe SD+x%PN prsente dans le rservoir, en
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filmant lensemble de la combustion. Nous contrlons ensuite sil y a bien eu une combustion complte de la composition.
Nous avons obtenus les rsultats suivants :
Pour les 3 types de compositions (SD+10%PN, SD+20%PN et SD+30%PN) il y a bien initiation puis transition de la flamme de linitiateur au rservoir et allumage de la composition contenue dans le rservoir silicium/Macor. Les squences du film du test donn sur la Figure 74 et Figure 75 en illustrent les rsultats.
La Figure 73 reprsente un exemple de squences dimages saisies laide de la camra numrique dlivrant 25 images par seconde (signifiant une acquisition dune image toutes les 40ms) durant la combustion de la composition DB+10%PN dans une structure de
100m de largeur de col. Ainsi, on a pu calculer une dure de combustion totale de 1,48s40ms (38 images image initiale = 37 images). En tenant compte de la longueur du
brin dans le rservoir, la vitesse qui correspond pour la combustion de la composition DB+10%PN est bien 3,38mm/s.
Dans la Figure 74 est reprsent un deuxime exemple de squences dimages de la combustion pour un propulseur de 150m de largeur de col remplis de la composition
DB+20%PN. Le temps total de combustion est de 1,56s 40ms (40 images image
initiale = 39 images). La vitesse de combustion de la composition DB+20%PN dans cette structure de test est 3,21mm/s.
La configuration comprenant un propulseur de 200m de largeur de col avec un rservoir repli de la composition DB+30%PN (cf. Figure 75) a galement valid la transition de flamme entre linitiateur et le brin de propergol. Cette combustion a dure 1,32s 40ms (34 images image initiale = 33 images). La vitesse qui correspond pour la combustion de la composition DB+30%PN est bien 3,79mm/s.
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Figure 73: Squence de photos, intercales de 40ms, prises durant la combustion de la composition DB+10%PN dans une structure de 100m de largeur de col (CLIP 15).
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Figure 74 : Squence de photos, intercales de 40ms, prises durant la combustion de la composition DB+20%PN dans une structure de 150m de largeur de col (CLIP 14).
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Figure 75: Squence de photos, intercales de 40ms, prises durant la combustion de la composition DB+30%PN dans une structure de 200m de largeur de col (CLIP 13).
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Les images de la Figure 76 montrent les deux faces dune matrice de micropropulseur aprs les tests de combustion de la composition DB+x%PN. Nous avons dcoll le couvercle en verre pour accder aux rsidus de la combustion. La combustion t soutenue et complte pour les 3 propulseurs de 100m, 150m et 200m de largeur de tuyre. Nous avons obtenue des rsultats identiques celui-ci pour les 3 compositions : DB+10%PN, DB+20%PN et DB+30%PN.
Verre encore coll face membranes
Verre dcoll sur la face des membranes
Figure 76: Matrice aprs les tests de combustion avec la composition (SD+x%PN)
Les caractristiques de linitiation et de la combustion des compositions SD+x%PN (x=10, 20 et 30) sont rsumes dans le Tableau 22.
Matrice L : verre/Si/gros-Macor1,5mm, gros Macor h=1,5mm # propulseur Type propergol Rsistance () Rsistance moyenne ()
L1 SD+10%PN 472
L2 SD+20%PN 475 474,6
L3 SD+30%PN 477
600 Rampe Oui 100%
600 Rampe Oui 100%
600 Rampe Oui 100%
Tableau 22: Caractristiques de linitiation et de la combustion des compositions SD+x%PN (x=10, 20 et 30)
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3.3.3 CONCLUSIONS SUR LES STRUCTURES
Les tests sur les structures de micropropulseurs remplis de la nouvelle composition DB+x%PN, ont valids avec succs les processus dinitiation et de la combustion ; Ces deux paramtres sont importants pour qualifier notre architecture de micropropulseurs sur silicium. Nous avons trouv quau del dun pourcentage x=10% de la Poudre-Noire dans le propergol Double-Base, nous avons obtenue un rendement dinitiation maximum de 100% pour les 3 compositions. Une combustion soutenue et complte a t acheve dans une structure millimtrique en employant les compositions DB+10%PN, DB+20%PN et DB+30%PN. Dans le cas de la dernire composition, la combustion sest propage dans le brin de 5mm de longueur en 1,32s et vitesse a atteint 3,79mm/s
Dans le paragraphe suivant, nous allons tester et caractriser les pousses gnres par des structure micropropulseurs comme celles dcrites prcdemment, en utilisant les 3 compositions DB+10%PN, DB+20%PN et DB+30%PN.
3.4
CARACTERISATION DE POUSSEE
Dans le but de pouvoir caractriser la pousse, il a t ncessaire de raliser une balance mesurant des pousses de lordre de quelques dizaines de milli-newtons avec des prcisions infrieures au mN. Nous allons donc prsenter la balance de pouss que nous avons utiliss. Ensuite, nous prsenterons les rsultats des caractrisations de pousse effectues sur plusieurs propulseurs.
3.4.1 BALANCE DE POUSSEE DEVELOPPEE AU LAAS-CNRS
Il existe dans la littrature plusieurs modles de balances pour mesurer les trs faible forces [74-81] dans lesquelles deux types de systmes sont employs : [74] [75] [76] [77] [78] [79] [80] [81]
Des systmes de mesures statiques, bien adapts la mesure des performances des micropropulseurs gaz froid ; Des systmes de mesure dimpulsion de microforces qui ont t conus pour la caractrisation de micropropulseurs plasma pulss.
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Aprs un tat de lart prcis sur ces balances, le LAAS a opt pour un systme de balance bas sur la rotation autour dun pivot dune lame mince asservie magntiquement [82].
3.4.1.1 Principe de fonctionnement et caractristiques techniques
Une lame mince pivote autour dun axe fixe. Sur la face avant de la lame est plac le micro propulseur caractriser. En face arrire de la lame, autour du point de centrage du micro propulseur, se trouve une bobine de cuivre. Cette bobine est place en regard dun aimant permanent fixe (cf Figure 77). Soumise la force mesurer la lame scarte de sa position dquilibre. Langle de dflexion est alors mesur avec un capteur haute frquence constitu dune antenne mettrice (laimant) et dune antenne rceptrice (la lame). La dflexion de la lame par rapport au zro se traduit par une modulation en amplitude du signal qui est redress et amplifi avant dtre trait via un circuit dasservissement lectroniquement. Le but du PID est de maintenir la lame autour de sa position zro en compensant la force issue de la combustion du propergol par une force lectromagntique. La mesure du courant dalimentation de la bobine donne ainsi une image de la pousse. La Figure 78 prsente une photo de la balance utilise pour la caractrisation des pousses avec une matrice de micropropulseurs intgre.
Pivot
Lame Capteur Bobine Propulseur Aimant
Figure 77 : Schma de principe de fonctionnement de la balance lame pivotante asservie magntiquement [83]
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Figure 78: Balance de milli-pousses utilise pour la caractrisation des micropropulseurs [83]
3.4.1.2 Etalonnage et performances
La modification du courant dans la bobine aprs initiation dun propulseur induit une variation de la tension mesure la sortie de la bobine. Pour avoir une correspondance entre la force gnre et la variation de tension, il est ncessaire dtalonner la balance. Ceci se fait grce des masses talons de 1mg 2g poses sur la lame positionne horizontalement. Une fois ltalonnage effectu, on obtient la relation suivante :
F (mN) = 2.16U (Volt) + 24.87
Cette relation tablit la force gnre F en fonction de la tension mesure U au bornes de la bobine qui est la tension ncessaire pour remettre le pendule en position dquilibre. Les performances mesures exprimentalement de la balance ainsi ralise sont : Gamme de mesure: Sensibilit : Bruit de mesure: 0 2g (0 19mN) 20mg (196N) 8mg 2mg (80N) sur la sortie directe (19N) sur la sortie filtre
Temps de rponse impulsionnel : 540S sur la sortie directe 1.15ms sur la sortie filtre Bande passante : 1.7 kHz
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3.4.2 SYSTEME DACQUISITION ET CABLAGE DE LA MATRICE DE PROPULSEURS
Chaque matrice de propulseurs remplie de propergol est colle puis cble sur le support de la balance. Les propulseurs seront commands un par un directement partir dune connexion de type BNC derrire la balance. Une mesure instantane de la tension et du courant est alors possible permettant ainsi dobtenir la pousse. La carte d'acquisition est une carte 6052E PCI de chez National Instrument qui est la mme que celle utilise pour les tests de caractrisation pyrotechnique et a une frquence d'acquisition maximale de 330Khz, avec une rsolution de 16 bits.
3.4.3 CARACTERISATION EXPERIMENTALE DE LA POUSSEE
Dans cette partie, nous prsenterons les caractrisations de pousses effectues sur des propulseurs assembls ayant des chambres remplies de composition SD+10%PN.
3.4.3.1 Structures de tests
Aprs une caractrisation et une validation complte de linitiation et la combustion de nos micropropulseurs en utilisant le nouveau matriau nergtique SD+x%PN. nous allons mesurer limpulsion de pousse dune structure comprenant une matrice de microinitiateurs silicium de 525m dpaisseur, du verre face des membranes et du Macor usin pour ltanchit des rservoir silicium. Les tapes dassemblage sont identiques celles prsentes sur la Figure 71 mais en ajoutant une tape de cblage pour la commande. Le volume total des chambres silicium/Macor est de 20mm3 et la section est de 2,9mm2. Trois structures avec des diffrentes sections du col ont t testes ; 100m525m, 150m525m et 200m525m.
Figure 79: photos de la matrice de tests de pousse a) face membranes b) face arrire
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La Figure 79 prsente des photos de la matrice de test prise lors de lavant dernire tape de fixation de la matrice sur la balance de milli-pousse pour caractriser la pousse gnre de chacun des 7 micropropulseurs de la matrice.
Les caractristiques gomtriques et les proprits techniques des matrices H et A testes sont inscrites dans les Tableau 23, Tableau 24 et Tableau 25.
Matrice H et A : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm # propulseur Type propergol Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm ) Section chambre (mm2) Volume chambre (mm ) Section col (mm2) Serrage
3 3 2
H1 SD+10%PN
A2 SD+10%PN 525 5,333
A3 SD+10%PN
5 0,950 5,068 3,717 19,824 0,053 0,055
5 0,950 5,068 3,717 19,824 0,079 0,083
5 0,950 5,068 3,717 19,824 0,105 0,110
Tableau 23: Caractristiques gomtriques et proprits techniques de la matrice test au SD+10%PN
Matrice A : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm # propulseur Type propergol Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm3) Section chambre (mm ) Volume chambre (mm ) Section col (mm ) Serrage
2 3 2 2
A5 SD+20%PN
A6 SD+20%PN 525 5,333
A7 SD+20%PN
7 1,327 7,079 3,717 19,824 0,105 0,079
7 1,327 7,079 3,717 19,824 0,079 0,059
7 1,327 7,079 3,717 19,824 0,053 0,040
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Matrice H : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm # propulseur Type propergol Epaisseurs Si (m) Longueur chambre (mm) Masse propergol (mg) Section propergol (mm ) Volume propergol (mm ) Section chambre (mm ) Volume chambre (mm ) Section col (mm2) Serrage
3 2 3 2
H5 SD+30%PN
H6 SD+30%PN 525 5,333
H7 SD+30%PN
10 1,539 8,210 3,717 19,824 0,105 0,068
10 1,539 8,210 3,717 19,824 0,079 0,051
10 1,539 8,210 3,717 19,824 0,053 0,034
3.4.3.2 Caractrisation par squence vido
Comme voqu ci-dessus, les tests de caractrisations de forces de propulsions gnrs par nos micro-rockets ont t films avec une camra numrique CCD pour garder une trace dynamique de lexprimentation, ainsi pour pouvoir analyser les rsultat en superposant la squence dimage prise donc dans une intervalle de temps de 40ms, dlai dacquisition de lappareil, avec les courbes reprsentant lvolution de la pousse pendant le temps de combustion. Ce type de caractrisation nous permet de :
Dduire approximativement le temps de combustion, Voir la forme de la flamme qui nous permettra de valider la gomtrie
choisi de la tuyre : une flamme bien centre est un signe dune forme de convergent-divergent mieux adapte,
Prdire, dans le cas dune projection de flamme, la forme de la courbe de

pousse en fonction du temps et durant la combustion.
p.113
Nous allons prendre 3 exemples de tests de pousses avec 3 compositions propergoliques diffrentes. Ces compositions ont t charges dans 3 propulseurs de gomtries identiques, dont les tapes dassemblage et les constituants ont t dcrits sur la Figure 71.
La Figure 80 illustre une squence de photos prise avec la camra numrique dcrivant le droulement dun test de caractrisation de la pousse gnre par une structure caractrise par une largeur de col 150m, charge avec le propergol (SD+10%PN).
Une squence de photos prise lors dun test de caractrisation de la pousse gnre par une structure de micropropulseurs identique la prcdente, avec 150m de largeur de col mais charg avec du (SD+20%PN) est reprsente sur la Figure 81. Cette composition propergolique est plus nergtique car elle contient 20% de Poudre-Noire au lieu de 10%.
Enfin, la Figure 82 illustre une squence de photos dun test de caractrisation de la pousse gnre par une structure identique aux deux prcdentes, toujours avec 150m de largeur de col mais charg avec du (SD+30%PN), une composition est plus nergtique que les deux prcdentes (30% de Poudre-Noire) pour explorer des niveaux de forces de propulsions plus levs.
Nous allons dans le paragraphe suivant comparer les squences dimages avec les courbes correspondantes et analyser les rsultats.
p.114
Figure 80: Squence d'image prises lors de la caractrisation de la pousse pour micropropulseur de 150m de largeur de col charg avec du (SD+10%PN) [clip22_A2]
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Figure 81: Squence d'image prises lors de la caractrisation de la pousse pour micropropulseur de 150m de largeur de col charg avec du (SD+20%PN) [clip23_A6]
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Figure 82: Squence d'image prises lors de la caractrisation de la pousse pour micropropulseur de 150m de largeur de col charg avec du (SD+30%PN) [clip29_H6]
3.4.3.3 Les courbes de POUSSEE en fonction du TEMPS : Analyse des rsultats et discussion
Si lon regarde dsormais lacquisition de la force gnre par les 3 dernires compositions propergoliques :
p.117
Chargement avec du SD+10%PN :
Figure 83: Courbe de pousse pour -propulseur de 100m de largeur de col charg au (SD+10%PN)
p.118
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p.120
Les Tableau 26, Tableau 27 et Tableau 28 rcapitulent des caractristiques lectriques et des paramtres de l'initiation en utilisant les compositions SD+10%PN SD+20%PN et SD+30%PN.
Matrices H et A : verre/Si/gros-Macor1,5mm # propulseur Type propergol Rsistance () Rsistance moyenne ()

H1 SD+ 10%PN 493
A2 SD+ 10%PN 467 475
A3 SD+ 10%PN 465
600 Rampe Oui 100% 150 1750 3,047 58,046 0,50 0,20
600 Rampe Oui 100% 150 1650 3,232 41,043 0,20 0,05
600 Rampe Oui 100% 250 1750 3,047 29,023 0,12 0,10
Etat de linitiation Combustion Dlai dinitiation (ms) Temps de combustion (ms) Vitesse de comb. (mm/s) Vitesse comb./section col Pic de pousse (mN) Palier de pousse (mN)
Tableau 26: Caractristiques lectriques et paramtres de l'initiation au SD+10%PN
Matrice A : verre/Si/gros-Macor1,5mm # propulseur Type propergol Rsistance () Rsistance moyenne ()

A5 SD+ 20%PN 469
A6 SD+ 20%PN 466 467,5
A7 SD+ 20%PN casse
600
Crneau
600
Crneau
Etat de linitiation Combustion Dlai dinitiation (ms) Temps de combustion (ms)
oui 100% 150 1600
oui 100% 150 1500
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Matrice A : verre/Si/gros-Macor1,5mm Vitesse de comb. (mm/s) Vitesse comb./section col Pic de pousse (mN) Palier de pousse (mN) 3,333 31,744 0,40 0,25 3,555 45,147 0,35 0,35 -
Matrice H : verre/Si/gros-Macorh=1,5mm # propulseur Type propergol Rsistance () Rsistance moyenne ()

H5 SD+ 30%PN 480
H6 SD+ 30%PN 490 485
H7 SD+ 30%PN 485
600
Crneau
600
Crneau
600
Crneau
Etat de linitiation Combustion Dlai dinitiation (ms) Temps de combustion (ms) Vitesse de comb. (mm/s) Vitesse comb./section col Pic de pousse (mN) Palier de pousse (mN)
oui
100%
oui
100%
oui
100%
150 Pb-acqui 1 0,75
150 1200 4,444 56,434 0,70 1
150 1100 4,848 92,346 1,70 2,50
4 CONCLUSION
Ce chapitre t consacr la caractrisation et la validation du fonctionnement des micropropulseurs propergol solide et notamment la composante de microinitiation. Dans un premier temps, nous avons caractris linitiation du matriau pyrotechnique seul. Les tests dinitiation ont t effectus pour le micro-initiateur en utilisant des matriaux de type : Poudre-Noire, Double-Base (GBTu, ) et composites (GAP) qui ne sont pas adapts lapplication mais qui ont permis de mettre en vidence la capacit de linitiateur initier une charge pyrotechnique.
p.122
Le besoin du bon fonctionnement de nos micromoteurs de propulsion sur silicium nous a men travailler sur la synthse et le test de matriaux pyrotechniques qui rpondent nos exigences et celles de la communaut des MEMS. Nous avons pu dvelopper, au sein du LAAS, un nouveau matriau nergtique bien adapt des structures microsystmes bas sur la combustion dun propergol solide. Il rpond parfaitement nos attentes. Aprs un long travail exprimental de recherche de solutions et doptimisation, nous avons obtenu :
En ce qui concerne les microinitiateurs sur silicium les performances sont celles
attendues : les problmes dinitiations ont t rsolus. Toutefois, des problmes ont t identifis lorsque le matriau pyrotechnique est non adapt, peu ou trop ractif. La mthode de remplissage, a du tre amliore en utilisant des technologies de type flip-chip,
Une bonne matrise et reproductibilit de linitiation et une combustion soutenue

et complte ont t obtenues en utilisant une puissance lectrique de quelques 100mW,
Un dlai dinitiation et un temps de combustion modulable par un dopage plus ou

moins important et/ou par une simple modification de la gomtrie de structure avant ltape de gravure DRIE du silicium,
Une large gamme de forces de pousse avec des formes de courbes diffrentes
ont t obtenues pour rpondre notre cahier de charge, qui pourront rpondre aussi dventuelles exigences de futurs projets.
p.123
p.124
CO N C LU SI ON G EN ERA LE
Le travail de cette thse sinscrit dans laxe microsystme conduit au LAAS-CNRS, dans le groupe N2IS (Nano Ingnierie et Intgration des Systmes). Elle contribue laxe micropyrotechnie ouvert en 1995 par C. Rossi dans son travail de thse, qui a donn lieu une prise de brevet en 1997 sur la micropropulsion. Lide dorigine est lutilisation de matriaux nergtiques dans les microsystmes : une premire technologie dveloppe ensuite dans le cadre du projet europen MICROPYROS [3] utilisant un initiateur construit sur membrane SiO2/SiNx et proposant un procd dassemblage vertical par empilement des couches. Cest une technologie qui a donn lieu la thse de B. Larangot, avec comme performances, typiques : des matrices de micropropulseurs ayant une pousse maximale de 12mN. Depuis le lancement de ces travaux, dautres tudes dans le monde sont venues concourir leur dveloppement et la recherche dapplications nouvelles. Larticle de synthse de C. Rossi et al donne un aperu de ces travaux et de ltat actuel des connaissances. De notre ct, nous nous sommes intresss aux applications potentielles de la commande dattitude des nano-satellites ainsi que dans la correction dassiette des micro-drones soumis de fortes perturbations. Dans les deux problmatiques, commande dattitude ou correction dassiette, le dsquilibre est dtect par un capteur qui commande une force de correction.
p.125
En principe cette force doit tre proportionnelle au dsquilibre ce qui, dans notre cas, peu tre ralis par la mise feu dun ou de plusieurs micropropulseurs : Cest pourquoi, la conception en matrice est importante.
Dans le chapitre I, nous avons prsent une analyse des besoins dans les deux applications possibles dj cites : Pour les drones, nous sommes partis dun cahier de charge que nous avons dfini avec
la DGA et la socit PTOTAC qui a t notre partenaire. Une analyse des besoins est dtaille dans chapitre I : on y voit quil faut - par rapport aux travaux antrieurs chercher des pousses plus importantes ( 50mN) mais conserver tous les acquis de larchitecture verticale et notamment lallumage conome (~300mW). Pour les micro/nano-satellites, nous avons choisi les forces ncessaires et le nombre
de propulseurs quil convient dembarquer pour avoir la dure de vie escompt : 1ans, 2ans On peut dire que les micro-actionneurs, tels ceux de MICROPYROS [3], ont leur place dans les composants embarqus pour des petits satellites (entre 1Kg (nano) et 50Kg (micro)). Evidemment, il faudrait, pour aller jusquau bout de cette logique, faire la preuve de la fiabilit des dispositifs et dune capacit les produire en grande srie.
Cest la suite de ces travaux danalogie que nous avons choisi notre axe de recherche
sur la conception, la ralisation et le test des micro-propulseurs en matrice applicable au micro-drone. Les rsultats obtenus ont t prsents dans cet ordre pour marquer notre
intrt et celui de lquipe, sur lavantage dune modlisation fine pralablement aux lancements technologiques qui vont tre trs consommateurs de temps et dargent.
Le chapitre II est consacr la modlisation dune structure nouvelle que nous avons propos en regard des spcifications dfinies dans les considrations du chapitre I. Cette structure nouvelle diffre fortement des propulseurs antrieurs : elle est fabrique plat en micro-usinant dans le silicium une part du rservoir, linitiateur, la tuyre (cest un niveau suprieur dintgration puisque la tuyre est fabrique en mme temps). Les contraintes qui ont conduit ces choix sont surtout des contraintes de pousse et de fiabilit : Pousse, parce que le rservoir doit pouvoir plus aisment tre agrandi,
p.126
Fiabilit, parce que la tuyre est intimement raccorde au rservoir et pas reporte comme ctait le cas prcdemment.
Limportant dans ce chapitre, est que nous avons, grce aux modles disponibles, prcalcul la pousse que lon pourrait obtenir et avec PROTAC nous avons ralis une tude assez prcise des proprits thermiques et mcaniques de notre concept. Cela a notamment permis de dimensionner les piges thermiques micro-usiner dans le silicium pour viter les interactions entre les micropropulseurs les plus proches. Notons ici que nous navons pas refait de nouveaux travaux sur les collages, bien que ce soit important pour la fiabilit finale des dispositifs : ce sont probablement des travaux reprendre.
Le chapitre III, propose une technologie de fabrication en 12 tapes. Ce sont des tapes que nous avons conu et mis au point avec lappui de la centrale des technologies TEAM, que nous remercions au passage. Nous nous sommes attachs dvelopper des procds microsystmes standards. Nous avons t amens rgler des points de difficults notamment, sur les membranes SiO2/SiNx, o nous avons report une couche de BCB pour renforcer la tenue mcanique et obtenir des rendements de production suprieure 80%. Aussi sur le micro-usinage de la tuyre, nous avons globalement dvelopp un procd technologique permettant davoir un bon rendement. Ce chapitre conclut sur le fait que la technologie de fabrication de la puce est prte. Pour lassemblage nous avons utilis une approche manuelle mais, en nous esprons que lensemble pourra tre un jour automatis !
Le chapitre IV prsente les rsultats consacrs la caractrisation et la validation du fonctionnement du dmonstrateur du micropropulseur propergol solide et notamment les composants microinitiateurs. Les tests dinitiation ont t effectus pour le micro-initiateur en utilisant des matriaux de type : Poudre-Noire, Double-Base (GBTu, ) et composites (PAG) qui ne sont pas adapts lapplication mais qui nous ont permis de mettre en vidence la capacit de linitiateur initier une charge pyrotechnique. Le besoin du bon fonctionnement de nos micromoteurs de propulsion sur silicium nous a amen travailler sur la synthse et le test de matriaux pyrotechnique qui rpondent nos
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exigences et ceux de la communaut des MEMS. Nous avons pu synthtiser au sein du LAAS un nouveau matriau nergtique bien adapt des structures microsystmes bas sur la combustion dun mlange de propergols solides qui a rpondu parfaitement nos attentes. Nous avons publi une partie de ces rsultats dans le journal international Sensors & Actuators [84].
Pour rsumer nos principales contributions, la conception dun micropropulseur part et lassociation de la tuyre au rservoir ouvre la voie la conception de micropropulseurs de plus grandes puissances encore, et permettre dintgrer des fonctions complexes comme la scurit de mise feu, sur lesquelles a travaill notre collgue P.Pennarun [63].
En ltat, nos prototypes moyennant quelques amnagements technologiques peuvent tre envisags sur les applications relles. Lassemblage en matrice permet dj de rpondre un besoin de proportionnalit.
La conception des systmes de propulsion proportionnel o les gaz seraient stocks avant dtre librs par une lectrovanne nous parait envisageable : Il nous parat que la forme de la tuyre se prte bien la ralisation du trou de tuyre et son actionnement : il y a donc beaucoup faire encore en micropropulsion !
Maintenant que les technologies sont prtes, nos perspectives visent des applications relles et compltes. Par exemple, aller jusqu' la ralisation dun drone conu pour tre quip de micropropulseurs ou vers la construction des nanosatellites exprimentaux.
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MICROSYSTEMEDEPROPULSIONAPROPERGOLSOLIDESURSILICIUM:APPLICATIONAU CONTROLEDASSIETTEDEMICRODRONE Rsum: Les travaux de cette thse ont port sur la conception, la ralisation et la caractrisation de matrices de micropropulseurs propergol solide intgrs sur silicium. Ces structures sont ddieslastabilisationdedroneminiatureetpouvantaussitreutilisespourlapropulsiondes Micro/NanoSatellites. Les travaux se sont effectus dans le cadre dun projet financ par la Direction Gnrale pour lArmement (DGA) en collaboration entre le LAASCNRS et la socit PROTAC du groupe THALES. Le principe de fonctionnement dun micropropulseur repose sur linitiation thermique dun matriau pyrotechnique de type propergol introduit dans la cavit desmicropropulseurs.Unefoissoumisunepolarisationdetypecourant,unersistancemicro usinesurunemembranedilectriquetrsfinechauffelepropergolpareffetJoulejusqu'initi delautocombustion.Lesgazgnrsvonttraverserlamicrotuyreetfournirlapousse. Aprsavoirvalulesbesoinsenpropulsionpourlastabilisationdundroneminiatureenvol, nous avons opt pour la micropropulsion propergol solide qui prsente de nombreux avantagespourlapplicationvise:cestunetechnologiesimple,ncessitantpeudepuissance defonctionnement(quelque100mW)etquiestadaptablefacilementaubesoindelamission. Lesforcesgnressontrglablesentrequelques100NjusquauNenmodifiantseulement pouruntypeutilisdepropergolladimensionducoldetuyre.Aucoursdecemanuscritde thse, nous prsenterons tout dabord les spcifications de la DGA qui ont guides nos conceptions, nous prsenterons ensuite la technologie de fabrication et dassemblage mis en uvreauseindelacentraletechnologiqueduLAAS.Etenfin,lesrsultats decaractrisation quivalidentlefonctionnementetlagammedepousseaccessibleparcettetechnologieseront donns. Motsclefs: Micropropulsion, micro initiateur thermique, micro combustion, propergol solide, pyro MEMS, usinagecramique.
MEMSBASESOLIDPROPELLANTMICROTHRUSTER:APPLICATEDTOMICRODRONEROLL CONTROL Abstract: Thisworkconcernstheconception,therealizationandthecharacterizationofsolidpropellant microthrusterarrayintegratedonsilicon.TheseMEMSdevicesaredevotedthestabilizationof smalldroneandalsobeusedaspropulsionmoduleforMicro/NanoSatellites.Thisstudywas made within a national project financed by the French Head office for Armament (Direction Gnrale pour lArmement DGA) in partnership between the LAASCNRS and the PROTAC of THALESgroup.Theconceptisbasedonthehighratecombustionofsolidpropellantorexplosive stored in a micromachined chamber. The ignition process is insured by heating effect of a polysilicon resistor micromachined on thin membrane. The generated gases are accelerated throwthemicronozzleandsupplythethrustforce. Inafirststep,weestimatedthepropulsionforcesneededforstabilizethesmalldroneinflight. he solid propellant micropropulsion mode is chosen because it is not complicated technology, needlowpowersupplyandgeneratealargerangoftrust.Foraspecifiedenergeticmaterial,the generated force is adjustable from few 100N to N simply by modifying the nozzle throat dimension. In this manuscript, we present first of all, the DGA specifications used for conception, the technology of manufacturing and assembly developed at LAAS. Finally, the thrust characterizationresultsaregiven. Keywords: Micropropulsion, thermal microigniter, micro combustion, solid propellant, pyro MEMS, ceramicmanufacturing.

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DOCTORAT DE LUNIVERSIT DE TOULOUSE

Prsident Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur

UNIVERSITE TOULOUSE III PAUL SABATIER

DOCTORAT DE L'UNIVERSITE DE TOULOUSE

Prsident Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur

A MES PARENTS, HAFIZA ET LABIDI A MES SOEURES ET FRERES

AUX ENFANTS DE LA PRISON A CIEL OUVERT

LISTE DES PUBLICATIONS

Table des matires

TABLE DES MATIERES

Table des matires

2.2 Propergolstestes..........................................................................................................................80 2.3 Rsultatsdestestsdinitiationetdecombustion.........................................................................80

3.3 EtudedelinfluencedutauxxduSDdanslacompositionSD+x%PNsurlinitiationetla combustion..........................................................................................................................................100

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

CHAPITRE I : ETAT DE LART ET PROBLEMATIQUES

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

2 LE CONTEXTE : DES MICROTECHNOLOGIES AUX MICROSYSTEMES

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

3 LEMERGENCE DE LA MICROPYROTECHNIE DANS LA REALISATION DE MICROSYSTEMES ENERGETIQUES [8]

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

4 LA MICROPROPULSION EN AERONAUTIQUE BORD DES DRONES MINIATURISES

Figure 1: Projet ONERA/ERM : le MIRADOR

Office National dEtudes et de Recherches Arospatiales. Ecole Royale Militaire, Bruxelles.

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Figure 2: Voilure fixe Black widow, Aerovironment, USA

Figure 3: Voilure tournante. Etude DARPA

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

5 LA MICROPROPULSION SOLIDE DANS LE SPACIALE BORD DES MICROSATELLITES

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

6 PROGRAMMES DE RECHERCHE SUR LA TECHNOLOGIE DE MICROPROPULSION SOLIDE DANS LE MONDE

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Figure 4. Dimensions et caractristiques dun micropropulseur du LAAS-CNRS

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Figure 5. Configuration dune matrice de 4 propulseurs digitaux [29]

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Figure 6. Micropropulseur chinois [59]

- la premire, propose par les groupes Californiens [29], propose deffectuer

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

- Le second, propos par le LAAS, permet linitiation du propergol sur sa surface

Substrat initiateur Rservoir en silicium et cramique micro usin

Figure 7: Initiation sur membrane

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

3) les micropropulseurs que nous concevons nont pas de partie mobile.

7 MICROPROPULSION SOLIDE APPLIQUEE AU DRONES MINIATURISES

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

DEFINITION DU CAHIER DES CHARGES

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

4cm 50cm 4cm x y

Figure 8 : Schma du drone et dimensions pour ltude

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

CALCUL DES FORCES A COMPENSER

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

Lquation (2) peut galement scrire :

ab C zV.sin cos( +(t))= J G& & 2

Pour les petits (<1), lquation (3) devient :

ab 2 ab 2 & C zV 2 sin cos C z V 2 sin sin = J& 2 2

Chapitre 1 : Etat de lart et problmatiques

ab 2 A= C z V 2 sin sin 2JG ab 2 B= C z V 2 sin cos 2JG

B cos sin (cosh At 1 ) = (cosh At 1 ) (pour <1) (5) A sin cos

PRESENTATION DES RESULTATS