Revista Colombiana de Fsica, Vol. 42, No. 2 de 2010.

Construccin e Implementacin de Sensores Pirani y de Ctodo Fro para la Medicin de Vaco

Construction and Implementation of Pirani and Cold Cathode Sensors for Vacuum Measurement
J. A. Moreno R.*a,b,c, L. H. Mongui R.a,b,c, L. C. Jimnez B.a, A. Hurtado M.b
b a Grupo Pelculas Delgadas, Pontificia Universidad Javeriana. Bogot D.C., Colombia. Grupo Fsica e Informtica, Universidad Distrital Fco. J. de Caldas. Bogot D.C., Colombia. c Departamento de Fsica, Colegio COPES. Bogot D.C., Colombia.

Recibido 10.04.10; Aceptado 08.12.10; Publicado en lnea 17.01.11.

Resumen
Se presentan dos dispositivos detectores para la medicin de vaco, elaborados con componentes elctricos bsicos. Se estudia la medicin de vaco a travs de la variacin de las cantidades trmicas y elctricas caractersticas tanto del material usado en el detector como del material del gas diluido del sistema a medir a baja presin. Para esto se estudia el comportamiento de un filamento de tungsteno que conduce corriente elctrica como el comportamiento de una buja polarizada a una alta tensin, bajo los cambios de presin en una cmara en pre-vaco y vaco. Se analizan las alternativas para la medicin de los cambios de las cantidades elctricas caractersticas de los materiales en mencin, como resistencia elctrica, tensin de polarizacin y/o corriente elctrica en los sistemas. Se modela desde las leyes bsicas macroscpicas de la termodinmica, la termologa, el electromagnetismo y teora de circuitos, el comportamiento elctrico y trmico de los materiales en trminos de los cambios de presin. A partir del modelo anterior se presenta una analoga del comportamiento de estos dispositivos con el comportamiento de los detectores Pirani y de ctodo fro. Se obtuvieron las curvas caractersticas de tensin, corriente y resistencia en funcin de los cambios de presin. Palabras clave: Vaco, Detector, Filamento de tungsteno, Buja, Sensor Pirani, Sensor ctodo fro.

Abstract
There are two sensing devices for measuring vacuum, developed with basic electrical components. We study the vacuum measurement through the variation of characteristic thermal and electric quantities of both the material used in the detector and the material of the systems diluted gas at low pressure. For this we studied the behavior of a tungsten filament that conducts electrical current and the behavior of a polarized plug to a high voltage, under pressure changes in a prevacuum and vacuum chamber. Alternatives are analyzed to measure changes in the characteristics of electrical quantities in reference materials, such as electrical resistance, bias voltage and / or electric current in the systems. It is modeled from the basic laws of macroscopic thermodynamics, heat molding, electromagnetism and circuit theory, the electrical and thermal behavior of materials in terms of pressure changes. This model provides an analogy of the behavior of these devices with the behavior of Pirani and cold cathode detectors. We obtained characteristic curves of voltage, current and resistance in terms of pressure changes. Keywords: Vacuum, Detector, Tungsten filament, Sparkplug, Pirani sensor, Cold cathode sensor. PACS: 01.50.My, 07.30.Cy, 06.20.fb 2010 Revista Colombiana de Fsica. Todos los derechos reservados.

* juanmore85@hotmail.com

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1. Introduccin La construccin se enfoca en un primer medidor de bajo vaco en el cual la conductividad elctrica del detector vara con la conductividad trmica del medio a medir; en particular, la dependencia entre la relacin tensincorriente del sensor con la presin del medio externo. Para este estudio en el rango de 57 mbares a 67 mbares se utiliz un filamento de Tungsteno de 100 Watts dentro de una campana de vaco, sometido a una tensin elctrica constante donde la corriente vara con los cambios de presin. Un segundo medidor de alto vaco se basa en la ionizacin y/o descarga elctrica en gases enrarecidos, bajo alta tensin Vdes, entre un par de electrodos, en el cual se estudia la dependencia entre la tensin umbral para la descarga y la presin del medio de descarga. Para este caso se utiliz una buja NGK del tipo BP5ES a la cual se gradu la distancia entre los electrodos a 0.25 mm y se estudi en el rango de 70 mbares a 660 mbares. Como sensor referencia se utiliz un sensor Pirani TPR 010 con un rango de 10-3 mbares a 1000 mbares. 2. Modelo terico. El sensor Pirani se basa en dos fenmenos. El primero: la variacin de la conductividad trmica (k) de un gas con el cambio de presin P. El segundo: el cambio de temperatura T de un filamento con el cambio de corriente elctrica J y el cambio de la conductividad elctrica E del filamento con el cambio de T. Estos fenmenos permiten un proceso para la transduccin de la variacin de P en la variacin de E de un filamento de tungsteno. El flujo de energa se hace mediante la radiacin y conduccin de calor a travs de la superficie de interface entre el filamento y el gas. La potencia Pr radiada por las superficies depende la temperatura T1 de la superficie del filamento y T0 del gas:

menor que el recorrido libre medio de una molcula, por lo que se observa una caracterstica diferente. As, analizando esta teora entre 2 superficies a temperatura , a partir de series infinitas tomando los dos primeros trminos, la energa transportada entre las superficies esta dada por: 2
1 3

Partiendo de la definicin de conductividad trmica (k) obtenida de [3] la cual es:

4

donde es la densidad molecular, es la rapidez media de las molculas del gas entre las superficies, es la distancia entre las superficies o tambin conocida como y es el calor especifico y est definido como 32 , con la constante de Boltzmann. Reemplazando en la ecuacin (4) se tiene:
1 2 5

Sustituyendo la ecuacin (5) en la ecuacin (2) se obtiene:

1 2 6

` ` donde . Por tanto si se sustituye la ecuacin (6) en la ecuacin (3) y se reemplaza se tiene:

` ` Si , simplificando se tiene que la energa transportada entre 2 superficies a temperatura es:

1 ` ` 1 ` ` 2 2 2

` `

A altas presiones el gas se comporta como un material aislante y la prdida de calor es determinada por el rea de la superficie, por la conductividad trmica del gas y por el gradiente trmico

J/s

donde = es el flujo trmico por conduccin, A es el rea superficial del filamento, k es la conductividad trmica del material y sus unidades de medida en el SI son , es el gradiente de temperatura en la direccin x. El signo negativo se introduce en la ecuacin para que el termino de la derecha quede positivo debido a que 0. La conductividad trmica desde una superficie caliente es independiente de la presin [4]. Sin embargo a bajas presiones la distancia entre la superficie caliente y la fra es 171

donde es la concentracin molecular, es la rapidez media de las molculas del gas entre las superficies, es ` ` la constante de Boltzmann, son las temperaturas del gas de las molculas que dejan las superficies con temperaturas respectivamente, adems son la energa transportada en modo rotacional o vibracional para el caso de molculas poliatmicas. De la ecuacin (8) [4] se puede decir que al aumento de la presin disminuye la velocidad media de las partculas por tanto la transferencia de energa por conduccin disminuye. Igualmente si la presin disminuye el nmero de partculas tambin lo hace; ocurre el mismo fenmeno para altas presiones. Se puede decir que el primer trmino de la ecuacin representa la energa traslacional y el segundo trmino representa la energa en otros grados de libertad.

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` ` Al introducir las variables se incluye la ` ` condicin que si entonces las molculas no pueden salir de la superficie. Por eso la conduccin de calor a bajas presiones es independiente de la geometra y es proporcional a la presin. De lo anterior, la conductividad trmica puede ser utilizada para crear un detector de vaco.

2. Se puede mantener la corriente constante a travs del termoresistor y observar la razn entre la resistencia y el voltaje aplicado. 3. Se puede mantener una resistencia constante en el termoresistor y observar el voltaje aplicado como una funcin de la presin. Una de las cosas importantes a tener en cuenta en esta clases de medidores, es que usa un puente de Wheatstone para estabilizar la resistencia de la sonda con termoresistor y un elemento compensador como lo hizo C. F. Hale, por lo cual este medidor era sensible a las variaciones de temperatura ambiente. Es as como el rango de medida se defini al tener el medidor y el elemento compensador inmerso a un . a 0 , donde el ms bajo lmite de sensibilidad fue obtenido a 10 . Si el medidor no es inmerso a . presentar variaciones hasta estar en equilibrio trmico; por tal motivo se puede usar como un localizador de corrientes de aire en espacios cerrados, por lo que el rango de medida esta entre 10 1 . Pero para el ctodo fro el anlisis se enfoca en las descargas por altas diferencias de potencial, es decir una medicin por ionizacin en donde se registraba la diferencia de potencial necesario para producir la ruptura del dielctrico (en este caso es el aire) y originar la chispa. 3. Desarrollos Experimentales Para el sensor Pirani, lo primordial fue buscar un elemento sensor econmico y que tuviera las caractersticas necesarias para ser sensible a cambios de presin. Para ello se utiliz el filamento de tungsteno de 100 ya que es un elemento que cambia su resistencia en funcin de la presin circundante, aunque se oxida con facilidad; este permite obtener una buena toma de datos en un amplio rango de medida. Por eso, a partir de estas observaciones se desarroll en el laboratorio de Fsica de la Universidad Distrital el montaje experimental fig. 1 , para observar el comportamiento del tungsteno a bajas presiones, y obtener datos que permitieran establecer el tipo de relacin que hay entre la presin del medio y la razn de cambio de la resistencia y cmo esto depende de la corriente que circula a travs del tungsteno. Teniendo el elemento sensor se utiliza la configuracin de Pirani (modo 1 Voltaje Constante) que fue el escogido por Pirani debido a su manera de operacin tan simple.

La prdida de energa es:

9 10 11

Es decir

El flujo por conduccin se define como:

es la densidad de corriente trmica / ; donde , siendo A el rea del cuerpo. La integral cerrada sobre la superficie permite tener en cuenta que las molculas no pueden salir de la campana de vaco; la solucin de la ecuacin (11) es:
12 13

con

donde k es la conductividad trmica que depende del nmero de partculas , es el radio de la superficie encerrada . Como es proporcional a la presin podemos decir que: donde es una constante de proporcionalidad que contiene a y a . Por lo cual la ecuacin (12) resulta:
14

15

Entonces si la presin disminuye, la transferencia de calor por conduccin tambin disminuye, por lo cual se tiene nicamente la transferencia de calor por radiacin. Un aspecto a tener en cuenta es que, para minimizar los efectos de prdida de calor por radiacin, el material que se escoja como elemento conductor para calentarse podra tener baja emisividad y podra ser manejado a tan bajas temperaturas como sea posible. As que, a partir de la conductividad trmica, el medidor Pirani se construye usando materiales que se calientan con una corriente elctrica, lo que implica que pueda ser operado de tres modos: 1. Se aplica un voltaje constante a travs del termoresistor y se observa la corriente como una funcin de la presin. 172

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Fig. 1: Esquema del sensor usado por Pirani modo 1 voltaje constante.

Para utilizar la configuracin del modo 3 resistencia constante que fue dado por Campbell, se prosigue a desarrollar un circuito que lograr medir las variaciones de la resistencia del tungsteno como variaciones de corriente; se

recurre a la utilizacin del puente de Wheatstone. Para ello se desarroll un circuito, como se ve en la fig. 2, el cual amplifica la seal de salida y relaciona cambios de presin como cambios de corriente que dependen de la variacin de la resistencia del tungsteno al vaco. Este circuito maneja una configuracin de 3 Amp Op que se encuentran en una pastilla llamada LM 324 (se utiliz esta pastilla porque es un integrado de uso general, que permite construir el Amp Op instrumental usando 3 de los 4 Amp Op que contiene), con 6 resistencias de 1 y un trimmer a 10 que generan un amplificador instrumental, un puente de wheatstone que es el sensor pirani del modo 3, un transistor 2N2222 (este transistor tambin llamado PN2222, es un transistor bipolar NPN de baja potencia y de uso general; se implement en el montaje debido a que sirve para amplificar pequeas corrientes a voltajes muy bajos como los utilizados en el sensor Pirani, adems el transistor es muy bueno para trabajar a potencias no mayores a medio vatio , lo cual, lo hace preciso para amplificar pequeas corrientes con muy poco ruido) en modo switch y una configuracin de 1 potencimetro en serie con 2 resistores, que se encuentran en paralelo con el puente para dar el ajuste de cero (ver fig. 2).

Fig. 2: Circuito generado en Orcad 9.1. (A) Fuente Rectificadora Dual. (B) Puente de Wheatstone. (C) Amplificador Instrumental. (D) Transistor. (E) Potencimetro para ajuste del cero.

Para la construccin del Sensor de Ctodo Fro se utiliz una buja, ya que sta muestra la variacin en el potencial necesario para generar la descarga entre el nodo y el ctodo con variaciones de la presin del medio donde se encuentre. Se desarrolla un montaje preliminar fig. 3, con el objetivo de observar cul es el tipo de relacin entre la presin del medio y el potencial de ruptura del dielctrico (Aire) que se encuentra entre el nodo y el ctodo. La chispa que genera la buja permite relacionar los rangos de vaco con el que se requiere para ionizar el aire y pro-

ducir la chispa y de esta forma tener una medida cuantitativa de la presin en la campana. 4. Anlisis de Resultados Para el sensor Pirani se tiene que el principio fsico de funcionamiento es a partir de la conductividad trmica la cual relaciona la temperatura del elemento sensor y la presin del gas circundante. De acuerdo a los datos suministrados por el montaje desarrollado, experimentalmente el medidor puede ser operado en la escala de bajo vaco en 173

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el rango de 57 mbares hasta 65 mbares para un vo voltaje de 2.06V.

puntos, no implica que se pueda hacer un anlisis fsico de los datos porque no hay un modelo terico ter que permita tener un eje de comparacin y de esta forma fo analizar la curva de calibracin. Sin embargo argo, lo rescatable es ver cmo mo la buja en este montaje se convierte en un medidor med de Ctodo do fro donde la diferencia de potencial necesario neces para generar corriente elctrica depende de la presin del medio. 5. Conclusiones Durante el desarrollo del trabajo se encontraron diferentes herramientas conceptuales para relacionar magnitumagnit des fsicas a travs de elementos mentos (transductores), y como stas stas se relacionan con la presin, construyendo una relarel cin matemtica entre la presin in y el flujo por conduccin. El aspecto ecto ms importante de la realizacin de los medidomedid res fue que con un bombillo incandescente, que es un eleel mento cotidiano, se logr realizar un sensor Pirani. IgualIgua mente, con la implementacin de una buja de automvil se construy un sensor de ctodo fro, o, mostrando la posibiliposibil dad del uso de materiales de la cotidianidad en la construcconstru cin de instrumentos de laboratorio. rio. La distancia entre los electrodos del medidor de ctodo fro se debe mantener constante. Esto se debe a la dependencia de la diferencia de potencial necesaria para generar el arco elctrico, con la distancia entre los electrodos. Para el ctodo fro, se enconenco tr que debido a la fuente de alto voltaje no se pudo medir las corrientes que se estaban utilizando en el proceso de ionizacin del aire, debido a la falta de un multmetro que soporte dicho voltaje; en consecuencia el anlisis solo se limita entre la relacin de voltaje respecto a la presin. Se presenta una fluctuacin del valor registrado por el ampeamp rmetro debido a las vibraciones generadas por la bomba que repercuten en el filamento de tungsteno tungste (esta dificultad se apreci experimentalmente generando vibraciones al filamento sin prender la bomba y observado la lectura del ampermetro). . Para evitar este inconveniente se debe colocol car la campana en un lugar donde no perciba dichas vibravibr ciones. 6. Agradecimientos: Este trabajo fue apoyado por el grupo de Fisinfor de la Universidad Distrital Francisco Jos de Caldas, y el grupo de Pelculas Delgadas de la Pontificia Universidad JaveriaJaveri na.

Fig. 3: Esquema del montaje del Ctodo Fro.

Se observa en la fig. 4.a), que la relacin entre la c corriente que circula por el filamento ento de tungsteno y la pr presin tiene un comportamiento lineal; al disminuir la pr presin se tiene una disminucin de transferencia de calor por conduccin con el aire, causando un aumento de la temp temperatura del material, permitiendo as un aumento de la resi resistencia. Se observa que en la ecuacin i=1.305mA/mbarP+22.18mA es una curva va de calibr calibracin experimental tal que tiene un coeficiente de corr correlacin de 98.7%; adems la ordenada al origen es positiva n negando la posibilidad de tener corrientes negativas. vas. Para el sensor Ctodo Fro se tiene que el principio fs fsico de funcionamiento es a travs del estudio de las desca descargas que se generan entre dos electrodos, por el cual se pueden relacionar variables como diferencia de potencial y presin por efecto de la ionizacin. De esta forma, y de acuerdo a los datos suministrados por el montaje desarr desarrollado, experimentalmente el medidor puede ser operado en la escala de bajo vaco (por or dificultades tcnicas con la bomba y la campana de vaco solo se pudo trabajar en ese rango). Sin in embargo, existe un rango importante para entender el comportamiento de la buja como elemento sensor, este rango se comprende desde 70 mbares hasta 660 mbares, donde la relacin entre la dife erencia de potencial necesario para romper el dielctrico y la pr presin es polinmica creciente como o se muestra en la fig. 4.b), que se representa en la siguiente ecuacin V=0.002P+0.546P+600.3, en una curva de cal calibracin que tiene un coeficiente de correlacin de 99. 99.3%. La forma de la ecuacin imposibilita bilita un anlisis fsico razon razonable debido a la falta de informacin que brin nda la ecuacin para interpretar las constantes. Aunque unque matemt matemticamente dicha curva abarque con buena aproximacin macin todos los 174

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Fig. 4: a) Grfica del registro experimental para el sensor Pirani; b) Grfica del registro experimental para el Ctodo Fro.

Referencias [1] Baird, D.C. Experimentacin: El principio de mnimos cuadrados. 2da ed. Mxico: Editorial Prentice-Hall Hispanoamrica, S.A., 1991. 172-177 p. ISBN: 968880-223-9. [2] Peris Aguilar, J. Curso de Termodinmica: Transmisin de calor.1ra ed. Espaa: Alhambra Mexicana, S.A., 1981. 442-484 p. ISBN: 84-205-0842-X. [3] Reif, F. Fundamentals of Statistical and Thermal Physics. International Students edition. Japan: McGrawHill Book Company, 1965. ISBN-10: 0070518009, 480 p ISBN-13: 978-0070518001. [4] Saha, M. N.; Srivastava, B. N.A A treatise on heat: including kinetic theory of gasses. 3ra edicin Calcutta: India Press, 1950. 218 p.

[5] Talavera, Laura Elena. El Vaco y sus Aplicaciones. Mxico: 2da ed. SEP, Fondo de Cultura Econmica, 1995. 11-31 p. ISBN: 9681647343. [6] Weissler, G. L.; Warner Carls, Robert. Vacuum physics and Technology, 2da Ed. New York: Academic Press Inc., 1979. 53-78 p. ISBN: 9780124759145. [7] Collieu, Antony. M.; Powney, Derek. J. Propiedades mecnicas y trmicas de los materiales, 1ra ed. Espaa: Editorial Reverte, 1977. 74-81 p. ISBN: 84-2914142-1. [8] Sadiku, Matthew N. O.; Alexander, Charles K. Fundamentos de Circuitos Elctricos, 1ra ed. Mxico: McGraw Hill interamericana Editores, S.A de C.V., 2003. 36-122 p. ISBN: 970-10-3457-0.

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