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Bombas de Vcuo

Prof. MSc. Matheus Tabata Santos

mateustabata@gmail.com

Introduo
Denominamos vcuo a regio do espao em que a presso

menor que a presso atmosfrica. O gs mais comumente tratado o ar, cuja composio dada na Tabela abaixo. Na esmagadora maioria das vezes, a presso de trabalho suficientemente baixa e a temperatura suficientemente alta para considerarmos, com segurana, que o comportamento deste gs pode ser descrito pela equao de estado dos gases perfeitos, ou seja: P.V=n.R.T
Nesta equao P representa a presso, V o volume do gs, n

a massa do gs medida em moles, T a temperatura absoluta e R a constante universal dos gases.

Introduo
Composio do ar.

Introduo
Para esta frmula poder ser aplicada consistentemente,

necessrio usar um sistema consistente de unidades, que, obviamente, deve ser o Sistema Internacional (SI). Neste sistema, a unidade de presso N/m, tambm denominada Pascal (Pa), o volume expresso em m, a temperatura em graus Kelvin (K), a massa em moles, e R tem o valor de 8,314 J/(K.mol). preciso colocar, todavia, que o uso e o costume cristalizam algumas unidades de presso usadas antes da adoo do SI. o caso da unidade de presso em ocasies de vcuo. Nesta rea, predomina ainda a presso medida em mm de altura da coluna de mercrio, ou mm Hg, que denominado Torr, em homenagem a Torricelli, e o volume medido em litros. O Torr definido como a presso exercida por uma coluna de mercrio de altura 1 mm a 0C, e dado por: 1 Torr 133,3224 Pa 1,33 mbar

Introduo
A equao de estado tambm pode ser escrita na forma:

P. V = N . k . T em que N o nmero de molculas e k denominada constante de Boltzmann, tendo o valor de 1,38.10-23 J/K. Lembramos que a relao entre a constante universal dos gases e a constante de Boltzmann : R = k . NA na qual NA o nmero de Avogadro, de valor NA= 6,02.1023 molculas/mol. A equao acima tambm pode ser escrita como P = n` . k . T na qual n` = n / V, a densidade molecular, expressa em molculas/m, ou, mais comumente, em molculas/cm. Note que a inversa de n o volume molar especfico.

Introduo
A fim de reduzir a densidade molecular e portanto, a

presso, em um recipiente as molculas do gs devem ser dele retiradas. Isto feito pelas assim chamadas bombas de vcuo. De um modo muito geral, as bombas de vcuo podem ser classificadas em dois grupos: Bombas de Transferncia: So bombas que transportam o gs do recipiente para a atmosfera ou para recipientes, ou ento para outras bombas com presses maiores que as de sua entrada; Bombas de Aprisionamento: Retiram as molculas do recipiente prendendo-as em suas paredes por processos fsicos ou qumicos.

Introduo
As Bombas de Transferncia podem ser divididas em 3 tipos: Bombas que operam criando volumes de cmaras que

periodicamente crescem e decrescem (ou expandem e comprimem), como acontece nas bombas de pisto, de membrana, e outros tipos;
Bombas cujo volume interno fixo e que de algum modo

transferem o gs da regio de baixa presso para a de alta presso (compresso, arraste molecular), como as bombas Roots e as turbomoleculares;
Bombas em que o bombeamento se d por arraste por

viscosidade ou por difuso, como acontece nas bombas ejetoras de vapor e nas difusoras.

Introduo
As Bombas de Aprisionamento podem ser divididas em 2

tipos: Bombas que aprisionam o gs permanentemente por processos fsico-qumicos, como nas bombas inicas e de aprisionamento qumico (getters); Bombas que aprisionam o gs enquanto uma certa condio fsica mantida (em geral, temperatura baixa), como acontece nas bombas por adsoro e nas criognicas.
Adsoro a adeso de molculas de um fluido (o adsorvido) a uma superfcie slida (o adsorvente);

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas


A seleo do tipo de bomba a ser usado em cada caso

especfico funo dos requerimentos que o sistema a ser evacuado impe. As bombas so caracterizadas por possurem alguns parmetros intrnsecos sua construo e ao princpio de bombeamento em que se baseiam.
Os principais parmetros so: A presso mais baixa que alcanam; O intervalo de presses em que podem ser usadas; A velocidade de bombeamento e a presso de exausto

(ou de sada).
No caso de ultra-alto-vcuo dois outros parmetros so

importantes: a seletividade da bomba para gases e a composio do gs residual.

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas


A presso mais baixa que pode ser alcanada na entrada de

uma bomba determinada ou por vazamentos internos a ela, ou pela presso de vapor do fluido utilizado na bomba. Esta presso mais baixa , evidentemente, o limite inferior do intervalo de presso em que a bomba pode trabalhar. O intervalo de presso em que uma bomba pode trabalhar aquele em que sua velocidade de bombeamento pode ser considerada til. A Figura logo abaixo apresentada o intervalo de trabalho e a velocidade de bombeamento normalizada para diferentes tipos de bombas. Bombas de mesmo tipo mas de diferentes tamanhos ou estgios podem ter intervalos de presso diferentes e adjacentes, ou seja, o mesmo tipo de bomba pode apresentar intervalo de presso diferente do intervalo de presso para uma bomba especfica daquele mesmo tipo.

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas


A Figura abaixo mostra a classificao das bombas pelo seu limite

inferior de presso e tambm pelo seu intervalo de trabalho.

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas


Outro parmetro muito importante a velocidade de

bombeamento de uma bomba, pois este parmetro, combinado com dados do sistema, permite o dimensionamento de sistemas de vcuo.
Em geral, a velocidade de bombeamento (S) no

constante em todo o intervalo de presso de trabalho, apresentando formatos como os ilustrados na figura abaixo. Todavia, vrios tipos de bombas apresentam velocidades de bombeamento razoavelmente constantes em alguns intervalos de presso, o que acaba justificando a aproximao de S.=.cte feito para alguns clculos simplificados de sistemas de Bombeamento.

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas


Velocidades de bombeamento normalizadas para alguns tipos de

bombas de vcuo.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


Esta bomba constituda de um estator cilndrico que recebe um rotor

excntrico, como mostrado na figura abaixo. Este rotor possui duas fendas diametrais, nas quais correm duas palhetas que so foradas contra a parede do estator por molas e/ou pela fora "centrfuga" do movimento de rotao do rotor.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


Tanto o estator quanto o rotor so fabricados em ao,

enquanto as palhetas podem ser de ao ou de um compsito polimrico. As extremidades do estator so fechadas por placas convenientes, que suportam o eixo do rotor. O estator tambm contm orifcios que so a entrada e a sada do gs. A entrada de gs ligada ao sistema que se quer bombear por conexes e tubulaes apropriadas, em geral contendo um filtro de p, enquanto a sada ligada a algum sistema conveniente de exausto para a atmosfera. Esta sada fechada por uma vlvula que usualmente uma lmina de metal ou de borracha (neoprene) que se dobra em uma lateral. Esta vlvula normalmente fica imersa em leo. A figura abaixo d uma viso explodida de um conjunto estator-rotor.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


Vista explodida de uma bomba de palhetas rotativas:

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


O rotor um cilindro excntrico ao estator, colocado de

modo a que a linha de contato entre ambos separe a entrada da sada de gs.
Como os dimetros so diferentes, esta morfologia d

origem a uma cmara, que onde o gs ser admitido a baixa presso e comprimido a uma presso ligeiramente acima da presso atmosfrica de modo a poder abrir a vlvula de sada e ir para a atmosfera.
Os outros limites desta cmara so as placas laterais que

fecham o conjunto estator-rotor, e sustentam este ltimo. Esta cmara ser dividida em uma cmara de admisso (baixa presso) e em uma cmara de compresso (alta presso) medida que as palhetas passam pelas aberturas de entrada e de sada.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


Note que ambos, estator e rotor, no podem se tocar, mas

devem manter uma distncia muito pequena entre si, pois o filme de leo que se localiza entre eles que forma o selo entre as cmaras de entrada e de sada, denominado selo superior.
O leo tambm faz o selo dinmico nas laterais do conjunto,

onde o rotor e as palhetas "encontram" as placas laterais. Em geral, estes espaamentos devem ser da ordem de 2 a 3 m para os selos funcionarem, e isto demonstra o nvel de preciso da usinagem necessrio para a fabricao deste tipo de bomba.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


As palhetas so placas retangulares que se encaixam com

folga muito pequena nas fendas do rotor e que podem deslizar livremente nestas fendas, tendo a extremidade que toca a superfcie do estator arredondadas. Em geral, elas so mantidas separadas e em contato com o estator por molas.
Como h contato contnuo entre as duas superfcies, elas

devem estar sempre muito bem lubrificadas. Alm disso, o leo que faz a lubrificao tambm prov um filme de vedao (selo dinmico) que isola as cmaras de alta e baixa presso uma da outra.
Todo o conjunto estator-rotor-placas imerso em leo, que

fornece lubrificao, selagem e resfriamento a este conjunto.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


As figuras a seguir ilustram o funcionamento

deste tipo de bomba.


Quando a palheta A passa pelo orifcio de

entrada de gs, a cmara a ser evacuada colocada em contato com o volume limitado pelo estator, pelo selo superior, pelo rotor e pela prpria palheta.
Este volume aumenta medida que a palheta

avana, produzindo um abaixamento de presso na cmara, que continua at que a palheta B passe pela entrada, quando ento o gs neste volume isolado entre as duas palhetas.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


medida que a rotao continua, o gs isolado

passa a ser comprimido pela palheta B, at atingir presso suficiente (aproximadamente 850 torr) para abrir a vlvula de sada e ir para a atmosfera.
Uma vez que ambas as palhetas atuam

sequencialmente, em uma rotao um volume igual ao dobro do mostrado na Fig. b retirado da cmara pela bomba, ou seja, a velocidade de bombeamento deste tipo de bomba pode ser escrito:
S=2.V.n
em que V o volume entre as palhetas na

posio da Fig. b e n o nmero de rotaes do motor por unidade de tempo.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


Os contatos das palhetas e do rotor com o estator formam 3

cmaras separadas (veja Fig. d) que contm gs em diferentes presses, e devem portanto serem estanques para vcuo (vacuum tight), principalmente o selo superior, que deve conter gs a presso acima da atmosfrica.
Por essa razo, como j apontado acima, as superfcies

interna do estator e externas do rotor e das palhetas devem ser cuidadosamente usinadas, e deve-se ter o mximo cuidado para evitar a presena de qualquer elemento abrasivo nestas superfcies, ou qualquer gs corrosivo nesta cmara interna.

Bomba Mecnica de Palhetas Rotativas


A conexo em paralelo de dois sistemas rotor-estator dar duas vezes a

velocidade de bombeamento, mas com a mesma presso mnima. Por outro lado, a conexo em srie de dois conjuntos rotor-estator (dois estgios de bombeamento) resulta em presso mnima significativamente menor para o conjunto. A figura abaixo ilustra a curva de velocidade de bombeamento para um estgio e dois estgios.

V-se que a bomba de duplo estgio pode alcanar presso mnima da ordem de 10-4 torr; Nota-se tambm que a velocidade de bombeamento constante desde a presso atmosfrica at da ordem de 10 torr, quando comea a variar, chegando at zero para a mnima presso da bomba.

Lastro de Gs (Gas Ballast)


Muitas vezes encontramos situaes em que a bomba

mecnica deve bombear vapores condensveis junto com o ar da cmara.


Em geral, trata-se de gua, mas pode-se encontrar tambm

solventes como acetona, ter, etc. Em todos estes casos existe a possibilidade do vapor condensar durante o estgio de compresso da bomba, uma vez que, como j citado acima, estas bombas tm grandes taxas de compresso (Presso de Exausto / Presso de Entrada =105).
A figura a seguir ilustra a situao do bombeamento de uma

mistura de ar-vapor com e sem o uso de lastro de gs.

Lastro de Gs (Gas Ballast)

Bombeamento sem lastro de gs para bomba de palhetas rotativas

Lastro de Gs (Gas Ballast)


Observa-se a condensao do vapor no estgio final de

compresso. Quando isso acontece, a mistura ar-vapor pode no atingir a presso de abertura da vlvula de exausto, e neste caso o lquido condensado pode se misturar ao leo.
Se o vapor for um solvente, esta mistura pode alterar

profundamente as propriedades lubrificantes e selantes do leo, levando a uma degradao da performance da bomba.
Se o vapor for gua, ela pode se emulsionar ao leo,

novamente levando a uma grande perda de performance, alm de propiciar a corroso das superfcies usinadas do rotor e do estator.

Lastro de Gs (Gas Ballast)


Em 1935 Gaede introduziu o dispositivo denominado de lastro de

gs para prevenir a condensao de vapores no estgio de compresso.


Trata-se de uma vlvula que se abre para a atmosfera aps o

volume da mistura ar-vapor ter sido isolada da cmara a ser evacuada, e que deixa entrar uma quantidade pr-determinada de ar (ou de um gs seco) na cmara.
Esta quantidade de ar tem a funo de reduzir a taxa de

compresso da bomba a um nvel que no permita a condensao do vapor.


Em outras palavras, o ar que entra no volume isolado entre as

palhetas abaixa a presso parcial do vapor, de modo que, quando a mistura comprimida, o vapor no atinge a presso de saturao na temperatura de trabalho da bomba, e, portanto, no condensa, e retirado da bomba junto com o ar.

Lastro de Gs (Gas Ballast)

Bombeamento com lastro de gs para bomba de palhetas rotativas

Lastro de Gs (Gas Ballast)


O dispositivo do lastro de gs permite usar bombas de

palhetas rotativas (e outras bombas mecnicas) para bombear sistemas fortemente carregados com vapores condensveis, como no caso de secagem de alimentos, por exemplo, sem estragar o leo e a bomba.
No entanto, a performance da bomba diminuda com o

uso do lastro de gs, pois a presso mnima que a bomba pode atingir com ele maior que sem ele.
Por isso, em geral, para sistemas que contm pequena

quantidade de vapores, usa-se o lastro de gs no estgio inicial de bombeamento, e fecha-o aps este estgio inicial, de modo que a plena performance da bomba usada no estgio final de bombeamento.

Bombas tipo Roots


Este tipo de bombas, tambm conhecido como sopradores

Roots, Ventoinha ou Andorinha tm ampla utilizao na tecnologia de vcuo. Elas podem ser usadas em combinao com bombas de apoio (bombas de palhetas rotativas, de pisto rotativo, de anel lquido, etc.) e, quando de um estgio, estendem o intervalo de trabalho at a regio de mdio vcuo (at 10-3) torr. Usando-se bombas Roots de dois estgios, elas podem atingir o intervalo de alto vcuo (at 10-5 torr). O princpio de funcionamento das bombas Roots permite a construo de sistemas de bombeamento de altssima velocidades de bombeamento, at 100.000 m/h, que so mais econmicos que, por exemplo, bombas ejetoras de vapor para trabalho no mesmo intervalo de presses. A Figura abaixo ilustra um corte transversal de uma bomba tipo Roots.

Bombas tipo Roots

Esquema de uma bomba Roots.

Bombas tipo Roots


Uma bomba Roots uma bomba rotativa de deslocamento

positivo na qual dois rotores simtricos em forma de 8 giram em direes opostas dentro de um estator.
Os rotores so usinados como uma engrenagem de dois

dentes, e por isso guardam sempre a mesma separao entre si, qualquer que seja a sua posio angular, e guardam tambm uma distncia constante em relao ao estator.
Ou seja, as partes da bomba Roots movem-se sem qualquer

contacto entre si, e por isso podem ser acionadas sem lubrificao.
Os seus movimentos so sincronizados externamente por

um conjunto de engrenagens (que so lubrificadas) movimentadas por um motor.

Bombas tipo Roots


Em geral, a distncia entre as partes da ordem de 0,1 mm.

Por isso estas bombas podem funcionar com grandes velocidades de rotao, o que permite as grandes velocidades de bombeamento que so tpicas de conjuntos contendo bombas Roots.
Tambm por essa razo, estas bombas praticamente no se

desgastam, sendo bastante insensveis presena de ps. A figura abaixo ilustra o funcionamento de uma bomba Roots.

Bombas tipo Roots


Por outro lado, por no terem um selo de leo, elas

apresentam o problema de retro-migrao (ou retrodifuso), que significativo em presses relativamente altas, tornando-se menos importante na regio de baixas presses. Este efeito limita a taxa de compresso efetiva deste tipo de bomba, e por essa razo elas sempre trabalham associadas a uma bomba de apoio, como j mencionado acima. Dependendo da separao entre os rotores e entre os rotores e o estator, a taxa de compresso atinge um mximo para uma presso de sada (presso de apoio) no intervalo de 4.10-1 a 2 torr, e, para presses mais baixas, decai muito devido ao fenmeno de retro-migrao. A figura abaixo ilustra uma tpica curva de velocidade de bombeamento em funo da presso para uma bomba Roots.

Bombas tipo Roots

Curva de velocidades de bombeamento para uma bomba Roots.

Bombas tipo Roots


Em presses altas, a taxa de compresso atinge valores

mximos da ordem de 3:1. A aproximadamente 1 torr, uma bomba Roots de um estgio pode atingir taxas de compresso da ordem de, ou maiores que, 50:1. Isto significa que as bombas Roots tm um comportamento bastante distinto das demais bombas, tendo uma taxa de compresso varivel e dependente tanto da presso de entrada quanto da presso da bomba de apoio. No caso das bombas com selo de leo, elas comprimem o gs at a presso atmosfrica independentemente da presso da entrada, e as bombas de vapor comprimem fazem o mesmo at uma presso de exausto fixa abaixo da atmosfrica.

Materiais Usados em Sistemas De Vcuo


Os materiais usados em linhas de vcuo devem ter as

seguintes caractersticas:
Sustentar o vcuo;
Baixa taxa de desgaseificao; Ser inerte quimicamente.

Os materiais que atendem essas caractersticas so vidro,

alguns metais, cermicas e elastmeros. Entende-se por taxa de desgaseificao a quantidade de gs liberado por segundo e por cm de superfcie de um material sob condies de vcuo. O vidro predominantemente usado na maioria dos sistemas. As vantagens dos vidros so a transparncia, baixa taxa de desgaseificao propriedade de isolante eltrico e so inertes quimicamente.

Materiais Usados em Sistemas De Vcuo


O melhor metal para tcnicas com vcuo o ao inoxidvel.

O ao inoxidvel possui muito baixa taxa de desgaseificao e baixa porosidade, sendo inerte ao ataque de cido;
fcil de ser limpo, polido e assim reduzindo a rea real de

superfcie;
Podem ainda ser usado o cobre, lato e o alumnio.
Ao coberto por nquel diminui a taxa de desgaseificao e

protege contra corroso.


O cobre raramente usado por ter alta maleabilidade,

sendo fcil de usinar, podendo ser usado na forma de longos tubos de conexo.
O lato fcil de usinar mas s usado se recoberto com

nquel devido a sua elevada taxa de deseigasificao.

Materiais Usados em Sistemas de Vcuo


Alumnio endurecido pode ser usado em aparelhos com vcuo

no muito elevado.
Muitas partes de vidro de linhas de vcuo so disponveis

comercialmente em muitas formas e tamanhos (torneiras, juntas, bales etc).


Com um pouco de experincia em manipulao com vidro

(glass blowing ) tais partes podem ser facilmente ligadas.


Outros materiais como a cermica e a alumina so usados

como isolante trmico em equipamentos de vcuo.


Elastmeros (viton, fluorel) so frequentemente usados em

juntas desmontveis. Um elastmero um polmero que apresenta propriedades "elsticas", obtidas depois da reticulao. Ele suporta grandes deformaes antes da ruptura. O termo borracha um sinnimo usual de elastmero.

Deteco de Vazamentos em Linhas de Vcuo


Um grande problema das tcnicas com vcuo assegurar que

os equipamentos sejam resistentes ao vcuo, ou seja, mantenham o vcuo. Considera-se que um sistema resistente ao vcuo, quando a taxa de desgaseificao ou de vazamento esteja entre 10-5 a

10-6 torr.L.s-1

Assim, por exemplo, se aps evacuar um sistema de volume de

1 L, a leitura do vacumetro indicou 1.10-3 torr, e o mesmo aps ficar fechado por 2 minutos indicou uma presso de 2. 10-3 torr, a taxa de desgaseificao ou de vazamento ser de 8,4 10-6 torr.L.s-1, sendo o sistema considerado resistente ao vcuo. Em linhas de alto vcuo usa-se para deteco de vazamentos um dispositivo denominado de Bobina Tesla que d uma descarga eltrica de alta frequncia ionizando o ar. Acionando a bobina prximo s paredes da linha de vcuo a descarga deixar as molculas de ar ionizada e indicar o ponto em que est ocorrendo um vazamento.

Classificao dos processos de vcuo quanto s diversas faixas de presso.


Nome de Faixa de Vcuo Valores que a define Principais Usos da Faixa

Vcuo Primrio

De 1013 mbar a 1 mbar

Secagem, Destilao, Degaseificao. Destilao molecular, Liofilizao, Fornos de fundio e fuso, Fornos a arco. Evaporao de revestimentos, Polimento de cristais, Espectrmetros de massa, Fornos de feixe eletrnico, Produo de vlvulas, Aceleradores de Partculas. Fuso nuclear, Pesquisa sobre o espao, Fsica da superfcie, Anis de acelermetro, Pesquisa de materiais.

Vcuo Mdio

De 1 mbar a 10E-3 mbar

Alto Vcuo

De 10E-3 mbar a 10E-7 mbar

Ultra Alto Vcuo

<10E-7 mbar