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Acclromtre MEMS BUPPC 1 B.

Velay
Modlisation dun acclromtre MEMS
Applications : dclenchement dun airbag et autres
par Bruno VELAY
Dpt. Mesures Physiques IUT Saint Nazaire 44600
bruno.velay@univ-nantes.fr
RESUME
Le sujet de Physique-Chimie de la session 2009 du Baccalaurat srie S proposait
dexplorer le rapport entre airbag et condensateur de faon originale, en limitant
videmment cette tude des considrations trs simplificatrices contraintes par le
programme de cette classe.
Lobjet de cet article est de proposer au niveau Bac+2 une tude lmentaire mais
nanmoins plus dtaille du fonctionnement dun acclromtre MEMS (pour Micro-
Electro-Mechanical-System ) du type de ceux utiliss pour le dclenchement dun airbag,
tant du point de vue du capteur proprement dit que du conditionnement du signal de
mesure.
Des pistes documentaires sur lutilisation de ces composants seront aussi proposes,
en particulier pour la scurit automobile.
Remarque : voir le texte de ce sujet [B] .
1. SYSTEME DE PROTECTION DES OCCUPANTS DUNE AUTOMOBILE
1.1 Choc par lavant
Une vido de visualisation dun choc par lavant, disponible sur le site Internet dun grand
quipementier [1], sinterprte en considrant que lnergie cintique du vhicule doit
tre vacue en chaleur par le systme de freinage (par frottement) ou par la
dformation de la carrosserie. Une tude simple des forces mises en jeu [2] montre que
la distance darrt (dformation du vhicule + allongement de la ceinture) conditionne les
efforts sur les personnes.
Consquences concrtes :
- la gestion fine de la tension de la ceinture de scurit permet de diminuer les forces
sur les personnes et donc les consquences traumatiques pour celles-ci ;
- les corps des personnes ont aussi de lnergie cintique dissiper : malgr le freinage
par la ceinture, il y a mouvement rapide de la partie suprieure des personnes vers lavant
avec un risque majeur de choc [4] .
Pour cela un systme centralis regroupant de multiples capteurs, gr par une unit
de contrle dairbags (face, coude, genoux ) dcide en moins de 5 ms (typiquement)
sil est ncessaire dagir en gonflant les airbags et/ou pr-tendant les ceintures de
scurit.
Ces actions de pr-tension ou de gonflage ont lieu en 50 ms, soit la dure de deux
clignements dyeux
Acclromtre MEMS BUPPC 2 B. Velay

Dclenchement dun airbag et pr-tension des ceintures de scurit (Source BOSCH ) [13]
Remarques :
- une premire approche trs simple de ce fonctionnement est propose dans la fiche du
CEA-LETI [3] ;
- une animation et des informations prcises sur la pr-tension sont disponibles sur le site
dun autre quipementier spcialis [14] ;
- le BUPPC propose une tude dtaille de la mcanique des mouvements/vitesse
/acclration du conducteur lors de lusage dun airbag [4] ainsi quune approche de la
chimie de lairbag [5] .
1.2 Condition de dclenchement de lairbag
Dans un vhicule rcent, un systme centralis regroupe de multiples capteurs, gr par
une unit de contrle dairbag (ACU pour Airbag Control Unit ) . Cette ACU est un des
lments de ce que lon appelle le calculateur de bord .

Les capteurs daccident fournissant les informations dcisives pour la dcision de raction
sont des acclromtres ou des capteurs de pression.
Acclromtre MEMS BUPPC 3 B. Velay
Par exemple, une solution industrielle propose actuellement par lquipementier
BOSCH(
1
) [1] est organise avec la rpartition suivante :

Schma dimplantation dun systme de scurit :
1- Unit de contrle dairbag ACU, 2 et 3- acclromtres (chocs frontaux ou latraux),
4- capteurs de pression pour la dformation des portires (Source BOSCH ) [1]

Les capteurs priphriques internes sont placs sur la carte de lACU :

Capteur Grandeurs mesures Gamme Type
Acclration forte
( high-g : a > 20 g )
Acclrations 2 axes (longitudinale et
latrale)
100 g MEMS
Plausibilit du crash Acclration longitudinale :
redondance pour confirmation de
situation de crash
100 g MEMS
Acclration faible
( low-g : a < 20 g )
Acclrations 2 axes (longitudinale et
verticale) : rotation lente type
drapage/ tte queue
+/- 5 g MEMS
Taux de rotation
(Roll Rate)
Suivi de la variation de la vitesse
angulaire autour de laxe de la voiture :
situation de tonneaux
+/- 240
degr/s
MEMS
Remarque : g = 9.8 m.s
-2
est lacclration de la pesanteur.

1
La production annuelle en capteurs MEMS du groupe BOSCH est actuellement de lordre de 100 millions
dunits. Un acclromtre typique est SMB460 [1].
Acclromtre MEMS BUPPC 4 B. Velay
Les capteurs priphriques externes lACU sont dports lavant du vhicule
(acclromtres destin la dtection de la dformation de la structure en choc frontal) ou
dans les portes latrales (acclromtres et capteurs de pression destins la dtection
de chocs latraux) .

Capteur Grandeurs mesures Gamme Type
Acclration Acclration longitudinale :
UPS UpFrontSensor pour mesurer
lacclration de dformation du chssis avant
100 g MEMS

Les acclromtres sont mutualiss avec dautres systmes lectroniques du
vhicule. Leurs mesures peuvent tre, par exemple, utilises pour la gestion du freinage
ABS, la correction de trajectoire ESP
2. ACCELEROMETRE MEMS DE LA SERIE ADXL
Cet article ne saurait traiter des MEMS (pour Micro-Electro-Mechanical-System) de
faon gnrale et approfondie ; il ne traite ni leur diversit de technologie et dusage, ni
leur histoire et leur dveloppement.
Le lecteur trouvera sur ce site remarquable [12] des informations plus compltes. La
bibliographie propose aussi quelques lectures complmentaires, en particulier [L1] et [L2].
Cette courte synthse introductive prsente les capteurs MEMS [18] .
Mon choix sest port sur cette srie dacclromtres ADXL par le fait que les feuilles de
donnes disponibles sur le site du constructeur Analog Devices [8] sont suffisamment
dveloppes et explicites pour pouvoir proposer un modle dtaill convenable.
Rappelons que la majorit des livres disponibles, mme spcialiss, ne proposent le plus
souvent que des explications de principe et peu de considrations concrtes. Cette famille
de composants est en constante volution : pour prparer un achat, consulter les tableaux
de la page iMEMS [8] ainsi que [15]. Le principe de fonctionnement des capteurs
disponibles ne saurait tre loign de celui qui est prsent dans cet article.
Pour mmoire, Analog Devices est le principal fournisseur de capteurs inertiels en
technologie MEMS pour lindustrie automobile, soit 500 millions de pices en 15 ans
(2)

[16].

2
Analog Devices et Infineon Technologies ont annonc fin juin 2009 une collaboration pousse pour la mise
au point de la nouvelle gnration de systmes pour airbag. Infineon a fourni 600 millions de composants
pour air-bag ces derniers quinze ans.
Analog Devices apporte sa technologie des capteurs MEMS. Infineon contribuera au reste du composant
(interface capteur / microcontrleur / gestion de lalimentation conome / contrle du rseau interne ) .
Une dure typique de dveloppement pour ce genre de produit est typiquement de deux ans. Cette plate-
forme collaborative a pour objet de rduire celle-ci six mois seulement.
Acclromtre MEMS BUPPC 5 B. Velay
2.1 Miniaturisation des capteurs et richesse fonctionnelle
Les premiers acclromtres (1980) occupaient une
carte denviron 50 cm. Ds 1995 la partie active
dun ADXL50 (acclromtre originel pour les
applications dairbag) tait rduite un carr de 16
mm. Le composant sur lequel est base cette tude
date de 2006 et occupe seulement 3 mm, comme
les composants plus rcents.
On dispose maintenant de capteurs capables de
mesurer 1, 2 ou 3 composantes de lacclration
linaire, mais aussi 1, 2, 3 composantes de
lacclration angulaire.
Selon leur tendue de mesures, ils sont qualifis
de Low-g pour des acclrations infrieures 20
fois lacclration de la pesanteur et de High-g au-
del. ADXL103 (low-g) et ADXL78 (high-g) sont des reprsentants significatifs de cette
srie.
Suivant la tendance actuelle, lautre srie ADIS exploite des systmes tout numriques
programmables plus sophistiqus, incluant du traitement et du contrle, de linterfaage,
des auto-tests, la gestion de la consommation etc.
(3)
En suivant la terminologie
technologique, on peut considrer ces capteurs comme intelligents .
Dans la srie ADXL, le capteur MEMS proprement dit et son lectronique de
conditionnement sont intgrs dans le mme composant selon la pratique usuelle.


Photographies de deux acclromtres : le capteur MEMS est dans la zone centrale.
ADXL202 Low-g 2 axes ( gauche) et ADXL78 High-g 1 axe ( droite)
Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

3
ADIS16300 ou ADIS355 sont des reprsentants significatifs de cette srie iSENSOR. Ils mesurent les 6
composantes dacclration [8]. Ce dernier est Gold Level Winner du concours international Best of
sensors expo2008 . National Instruments distribue des drivers LABVIEW pour exploiter ces capteurs sur sa
NI Developer Zone .
Capteur de la srie ADXL [8]
Acclromtre MEMS BUPPC 6 B. Velay
2.2 Ralisation du capteur
Concrtement le capteur est ralis la surface dune tranche de silicium ( wafer )
laide de techniques spcifiques, tels la photolithographie et le micro-usinage de
couches minces.
Aprs ralisation on observe par microscopie lectronique que la surface du composant
prsente des micro-structures en silicium telles des micro-poutres, des micro-lamelles etc.
Les dimensions typiques des lments de ces structures sont de 1 100 m.


Vue gnrale du capteur MEMS dun acclromtre ADXL50 High-g 1 axe
Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.
Acclromtre MEMS BUPPC 7 B. Velay

Dtails dun acclromtre type ADXL202 low-g 2 axes [12]
Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Ces photographies montrent la masse sismique (la partie centrale ajoure ou
beam ) dont on tudie le mouvement et qui subit globalement les effets de
lacclration mesurer. Celle-ci est relie au bti par des micro-poutres dancrage
( anchor ) pour un systme 1 axe ou des micro-ressorts positionns dans les coins
pour un systme 2 axes. Ces parties flexibles gouvernent le mouvement du mobile.

Description des lamelles associes un doigt dun capteur actuel ( single finger set ) .
Il y a deux sries de 30 motifs de ce type pour ADXL78, soit une capacit totale de 64 pF
pour une masse du mobile de 0.7g . Daprs [8] .
Acclromtre MEMS BUPPC 8 B. Velay
Le suivi du dplacement est assur par un capteur capacitif organis autour de sries de
lamelles en regard, solidaires pour moiti du bti et pour moiti de la masse mobile. De
faon gnrale on qualifie dIDT (pour InterDigital Transducer) cette structure particulire
en forme de peignes digits interpntrs (allusion aux doigts des mains) . La
multiplicit de ces lamelles amliore videmment la sensibilit de la mesure.


Dtails du capteur MEMS dun ADXL50 originel :
le mobile ( beam ), les micro-barres de flexion faisant ressort ( anchor ) et
les sries de trois lamelles fixes ou mobile ( plate )
Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Comme le montrera la suite de cette tude, la nature capacitive du suivi du dplacement
ne permet pas pour autant dassimiler cet acclromtre un simple condensateur
dont on pourrait tudier la rponse au sein dun basique circuit RC pour obtenir
lacclration. Cest un capteur diffrentiel paires de condensateurs. Le conditionnement
du signal de mesure devra tre plus labor.

En revanche, dautres capteurs MEMS sont plus raisonnablement assimilables de
simples condensateurs : lannexe dcrit un capteur dhumidit.
Acclromtre MEMS BUPPC 9 B. Velay
Les pages 9 17 de larticles sont volontairement manquantes.

Elles dcrivent les modles mcaniques et lectroniques du capteur qui sont traits dans
le TD correspondant du TD C&C

Mise en ligne de larticle complet en fin de cycle denseignement

Acclromtre MEMS BUPPC 10 B. Velay
3. AUTRES UTILISATIONS DE CES ACCELEROMETRES
3.1.1 La manette de jeu vido Wiimote
Un article rcent du BUPPC [6] montrait comment exploiter lacclromtre de la Wiimote
(la manette de la console de jeu Nintendo) . Celle-ci communique par liaison sans fil de
type Bluetooth des informations sur le mouvement de la main du joueur.
Elle exploite un acclromtre 3D ADXL330 de chez Analog Devices [8] qui fournit trois
tensions (numrises) images des trois composantes de lacclration.


Vue du contrleur Wiimote [9]
Tableau de caractristiques techniques de la Wiimote et de son acclromtre [6]
3.1.2 Air mouse : la souris-tlcommande qui sait aussi cliquer en lair
La souris, daspect classique pour une sans-fil , possde un quatrime bouton
supplmentaire qui permet dactiver la commande 3D et de sen servir dans lespace
sans quelle soit au contact dun quelconque support. Le confrencier apprciera.
Les capteurs intgrs rcuprent les composantes de lacclration en rotation pour le
mouvement de tangage (mouvement Haut-Bas ) et de lacet (mouvement
Droite-Gauche ) . Le systme permet dinterprter ces deux types de mouvement afin
de dplacer le pointeur sur lcran.
La souris est fournie avec un metteur rcepteur USB 2.4 GHz brancher sur le PC.
Brevet Gyration, diffusion Movea (90 environ) . Pour plus de dtails [10].
3.1.3 SMS pour Sudden Motion Sensor
Une rubrique rcente du BUPPC [7] rappelait la prsence dans les ordinateurs portables
dun acclromtre destin la protection de la tte de lecture du disque dur. Ces
composants sont de mme nature.
Par exemple ADXL320 ou ADXL346 (sortie courant 2009) [8] , sont plus particulirement
conus pour dtecter ce genre de chocs (motion- and tilt-sensing) . Plus de dtails dans
cette note technique [17] .
Acclromtre MEMS BUPPC 11 B. Velay
3.1.4 Hot Hand motion sensing system : be the Lord of the ring !


Le capteur Hot Hand en situation au doigt du guitariste [11]

Cette bague commande dynamique deffet a t cre pour permettre au guitariste de
faire varier la nature des sons produits en temps rel.
Le plus souvent le paramtrage utilis pour linstrument est obtenu en alternant entre
diffrents prrglages statiques de botiers ddis, au moyen de poussoirs actionns avec
le pied.
En combinant un capteur acclromtre intgr Analog Devices et un moyen de
traitement de signal en temps rel par DSP, le guitariste module leffet appliqu selon
lacclration de la main. Vido de dmonstration et dtails techniques [11] . Il existe aussi
une version avec transmission hertzienne sans fil jusqu 30 m entre la bague et le
botier.

CONCLUSION
Ces acclromtres MEMS se rvlent avoir un comportement raisonnablement
comprhensible et mettent en uvre une physique de tableau noir la porte dun
tudiant de 1
er
cycle suprieur. Sachant que leur prix est modeste ( 6 25 typiquement
lunit [15] ) et que leur emploi exprimental est ais parce que largement facilit par
lintgration de llectronique de mesure, il y a fort parier quils pourraient faire aussi les
beaux jours de leurs paillasses

Acclromtre MEMS BUPPC 12 B. Velay
REMERCIEMENTS
Un grand merci mon collgue Franois Auger avec lequel jai conu le module
denseignement Capteurs & Conditionneurs de ce dpartement Mesures Physiques,
Saint Nazaire. Cet article lui doit beaucoup.
Merci Bernard Bourniquel, Bruno Jech, Tnnan Quau et Thierry Royant pour leur
relecture et leurs suggestions amicales, ainsi qu Harald Frank ( BOSCH ), Pascal
Cerrutti et Eric Poidevin ( Analog Devices ).

Bruno VELAY
Professeur agrg
Dpartement Mesures Physiques
IUT de Saint Nazaire (Loire atlantique)
NETOGRAPHIE
[A] La page Internet de cet article http://www.mpsn.hbg.fr/udppc/mems propose laccs direct
aux sites par des liens cliquables. Ces liens Internet sont valides la date de rdaction de cet
article ; la page propose un accs direct des copies de certains fichiers indiqus par [A]
pour prvenir une rupture probable de liens.
On y trouve aussi copies des comptes-rendus de lecture des ouvrages de la bibliographie.

[B] Sujet de Physique-Chimie de la session 2009 du Baccalaurat srie S, exercice 3 [A] .
[1] Equipementier BOSCH http://rb-k.bosch.de/en/safety_comfort/occupant_protection/index.html
voir en particulier le menu dtaill dveloppable gauche de lcran.
Description des composants http://www.semiconductors.bosch.de/en/20/sensors/accel.asp
Photothque et articles pour la presse http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/en-US/index.cfm
Le site franais http://rb-kwin.bosch.com/fr-FR/start/safety.html nest pas aussi complet.
[2] La scurit passive (doc LPR La briquerie Thionville) [A] http://www.ac-nancy-
metz.fr/enseign/autocompetences/2_ressources_pedagogiques/6_confort_et.../securite_airbags-
ceintures.pdf
[3] Introduction lairbag [A] http://defis.cea.fr/defis/118/CEA_DEFIS118_P16_17.pdf
Dans le BUPPC : [4] , [5] , [6] et [7] http://udppc.asso.fr/bupdoc/consultation/selections.php mot-
cl : airbag ou manette :
[4] Un modle simplifi de crash-test par O. Valle, [5] Les nouveaux airbags par A. Mathis (ce
dernier sera mis en ligne fin 2009 : BUP n 869 p. 1745 12/2004), [6] Utilisation dune manette
de jeu vido pour des expriences de mcanique par FX Inglse et D. Rousseau, [7] Des souris
et des profs par Thibaut Plisson BUP n 914 p. 599 05/2009 .
[8] Le site du fabriquant Analog Devices : http://www.analog.com Utiliser un moteur de recherche
avec les mots-cls adxl103 ou adxl78 + data [A] .
Acclromtre MEMS BUPPC 13 B. Velay
[9] Sites sur la wii http://wiibrew.org/wiki/Wiimote et
http://www.wiili.org/index.php/Motion_analysis
[10] Revue Science & Vie Micro SVM 11/2008 p74 et site du fabriquant
http://www.gyration.com/?l=fr#productOverview/miceKeyboards
[11] Site du fabriquant de Hot hand http://www.sourceaudio.net/ ; Vidos de dmonstration
www.youtube.com/watch?v=JbYsD7cX9E0 ou www.youtube.com/watch?v=gpCl7xRjZcs
Article de News electronics on Campus (summer 2008) extrait dun document de promotion
distribu gratuitement [A] .
[12] Prsentation des MEMS http://www.esiee.fr/~francaio/intromems/intromems.html Une
prsentation introductive est disponible ainsi que de nombreux documents et un portail thmatique
complet.
[13] Note de prospective : accelerometer
http://www.semiconductors.bosch.de/pdf/prospekt_SMB05x_06x_100.pdf
[14] Equipementier : AUTOLIV
http://www.autoliv.com/wps/wcm/connect/autoliv/Home/What+We+Do
[15] Exemple de prix (06/2009) : MMA7341L / 3 axis- 2g 6 /pc ou ADXL278 / 2 axis-50g 25
/pc, chez http://fr.farnell.com. Attention : pour une exprimentation simplifie, a priori choisir un
composant sorties analogiques. Les utilisateurs de micro-contrleur prfreront un interfaage
numrique type MMA7456L / 3 axis -low g 7 /pc. Ou encore ADXL202AE / 2 axis-2g 20 /pc
chez http://radiospares-fr.rs-online.com
Evidemment les prix baissent par quantit : sur le site AD, les composants les plus rcents sont
environ 2.1 /pc par lot de 1000 ADXL103 est encore disponible au prix de 5.5 pc mais par
1000 pices.
En rsum, critres de choix : type de sortie, nombre daxes, tendue de mesure, sensibilit, prix
lunit.
[16] Actualit http://www.edn.com/article/CA6666239.html
[17] Protection des ttes de lecture de disques durs : note technique ADXL320 [A]
http://www.analog.com/en/mems/high-g-accelerometers/products/technical-
articles/resources/index.html
[18] Integrated MEMS sensors for industrial control [A]. Une courte synthse introductive :
http://www.analog.com/static/imported-files/tech_articles/EPNJan07iSensor.pdf
[19] Vout_solution_exacte.pdf disponible sur [A] .

BIBLIOGRAPHIE
[L1] Handbook of modern sensors par J. Fraden (Springer-Verlag 2004) . Voir le 13.2 pour les
capteurs capacitifs, en particulier celui dhumidit. Le chapitre 18 est consacr aux matriaux des
capteurs, le 18.3 dcrit plus prcisment les technologie de fabrication des MEMS. De faon plus
gnrale, ce livre est une rfrence pour la connaissance des capteurs, surtout sils sont rcents.
[L2] Capteurs : principes et utilisations par F. Baudouin et M. Lavabre (Casteilla 2007) . Voir en
particulier le 4.4 sur les capteurs dacclration. Un livre concret et complet au niveau dun
premier cycle suprieur.
[L3] Acquisition de donnes ; du capteur lordinateur par G. Asch & collaborateurs (Dunod
1999) . Voir le 9.4 pour le conditionnement dun pont capacitif et la dmodulation synchrone.
Globalement ce livre propose une approche assez complte de llectronique de mesure, tout en
restant accessible.
[L4] Microsystmes opto-lectromcaniques MOEMS par P. Viktorovitch (Herms - Collection
Trait EGEM 2003) Un ouvrage spcialis dont le sujet est parallle, consacr aux micro-
Acclromtre MEMS BUPPC 14 B. Velay
systmes pour loptique. Il ny a pas encore, ma connaissance, douvrage spcifiquement
consacr aux MEMS dans cette collection.

Les compte-rendus de lecture de ces quatre ouvrages sont disponibles sur le site du BUPPC :
http://www.udppc.asso.fr/nal/index-nal.php

CREDIT PHOTOGRAPHIQUE
Partie 1 : Groupe Bosch
Partie 2 : toutes photographies Analog Devices Inc All rights reserved
Partie 3 : http://www.wiili.org/ (Wiimote) et Source Audio (Hot Hand)

ANNEXE : CAPTEUR MEMS DHUMIDITE ASSIMILABLE A UN CONDENSATEUR
En effet, dautres capteurs MEMS sont plus raisonnablement assimilables de
simples condensateurs, plus prcisment un rseau RC. Ainsi [L1] dcrit un capteur
dhumidit capacitif ralis par deux peignes interdigits sur couche mince.


Capteur MEMS dhumidit, daprs [L1]
Une couche mince de silice (paisseur 3 nm) est dpose sur un substrat en silicium.
Deux lectrodes (paisseur 2 5 nm) faites daluminium ou de chrome sont dposes
avec un motif de peignes. Deux rsistances complmentaires sont destines la
compensation de temprature. Lensemble est recouvert dune fine couche isolante
(paisseur 0.3 4 nm) de silice.
Lensemble est modlisable par une capacit inter-lectrodes en parallle sur une
rsistance dcrivant la rsistance distribue en surface due la prsence dune fine
couche deau.
Lorsque lhumidit augmente cette rsistance diminue alors que la capacit quivalente
augmente. Le suivi de cette variation est gnralement ralis en incluant le capteur dans
un oscillateur et en tudiant les variations de la frquence.

Acclromtre MEMS BUPPC 15 B. Velay
Modlisation dun acclromtre MEMS
Applications : dclenchement dun airbag et autres
par Bruno VELAY
Dpt. Mesures Physiques IUT Saint Nazaire 44600
bruno.velay@univ-nantes.fr




Proposition de photo de couverture
Lgende :
Dtail dun acclromtre MEMS (source BOSCH)

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