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DESENVOLVIMENTO DE

SOFTWARE PARA SIMULAO


ATOMSTICA DA CORROSO
ANISOTRPICA DO SILCIO
POR AUTMATO CELULAR
Nome: Jos Pinto de Oliveira Jnior
Prof. Dr. Marcelo N. P. Carreo
Escola Politcica

Desenvolver um software para fazer a


simulao da corroso do silcio

Baseado em A!t"#ato C$l!la%

Implementa vrios modelos de simulao


corroso de silcio

Autmato Convencional

Autmato Estocstico

Autmato Contnuo

Prorama com uma It$%&ac$ '%(&ica


!"#etivos

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

! $ilcio cristalino possui os tomos oranizados


de uma maneira ,ue s$ %$+$t$ o $s+a,o
t%i-i#$sioal
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

! menor padro de repetio do silcio 1 a sua


cl!la !it(%ia -o ti+o -ia#at$ 2c3"ica4

Cada tomo de silcio faz . li/a,0$s com os


outros tomos5

1to#os -$ s!+$%&*ci$ so tomos ,ue


possuem o n3mero de lia-es diferente de 65
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

! taman7o da aresta da c1lula unitria 1 o


par8metro de rede da c1lula do silcio ,ue possue
23.4 A -$ co#+%i#$to

A dist8ncia entre os tomos 1 de 534.6 A


Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

Plaos c%istalo/%(&icos

*o cristal de silcio e9istem muitos planos de


tomos os ,uais influenciam as propriedades e
comportamento do material

! silcio monocristalino possui vrios planos


de tomos: mas os mais comuns so;
<==>?: <=>>? e <===?5
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

Vis!ali7a,8o -o +lao 9:;;<

*esse plano: os tomos de superfcie possuem


-!as li/a,0$s %o#+i-as e duas lia-es com os
tomos de su"strato5
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

Vis!ali7a,8o -o +lao 9::;<

*esse plano: os tomos de superfcie possuem


!#a li/a,0$s %o#+i-a: duas lia-es com os
tomos de superfcie e uma liao com o tomo de
su"strato5
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

Vis!ali7a,8o -o +lao 9:::<

*esse plano: os tomos de superfcie possuem


!#a li/a,0$s %o#+i-a e tr@s lia-es com os
tomos de su"strato5
Desenvolvimento do $imulador
C'I$(A)!.'A/IA D! $I)0CI!

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

Isot%=+ica A (a9a de
corroso i/!al em
todas as dire-es
Aisot%=+ica A
(a9a de corroso
-i&$%$t$s para
todas as dire-es
E9iste "asicamente 5 ti+os de Corroso do $i;
Desenvolvimento do $imulador
C!''!$B! D! $I)0CI!

Corroso AnisotrCpica % Caractersticas;

Permite o"ter eometrias tridimensionais


comple9as

(1cnica mais comum para fa"ricar


$istemas micro%eletro%mec8nicos 2MEMS4

Depende da o%i$ta,8o c%istalo/%(&ica


-o s!>st%ato e da a"ertura do filme de
mascaramento

!corr@ncia do fenmeno D!-$%?$tc@E


Desenvolvimento do $imulador
C!''!$B! D! $I)0CI!

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

&odelo &atemtico representado por uma matriz


de c1lulas Fs ,uais est associado um t$#+o3
um $s+a,o e um $sta-o -isc%$tos

E9emplo; Autmato Celular +nidimensional A


2=D4 A $imulao de $eres Givos
t
>
$adio Com fome Doente &orto
Estados;
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! CE)+)A'

&odelo &atemtico representado por uma matriz


de c1lulas Fs ,uais est associado um t$#+o3
um $s+a,o e um $sta-o -isc%$tos

E9emplo; Autmato Celular +nidimensional A


2=D4 A $imulao de $eres Givos
t
>
$adio Com fome Doente &orto
Estados;
t
=
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! CE)+)A'

&odelo &atemtico representado por uma matriz


de c1lulas Fs ,uais est associado um t$#+o3
um $s+a,o e um $sta-o -isc%$tos

E9emplo; Autmato Celular +nidimensional A


2=D4 A $imulao de $eres Givos
t
>
$adio Com fome Doente &orto
Estados;
t
=
EA!i)al$ a
: It$%a,8oB
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! CE)+)A'

'eras de transio de estados

*um autmato celular: o estado das


c1lulas pode mudar com o tempo5 Em
particular: o estado de uma c1lula num
instante inicial Dt
o
E pode mudar o estado
num tempo final Dt
o
ItE em funo ;

Do estado inicial das c1lulas

Do estado das c1lulas vizin7ana

Das 'eras de (ransio de Estados


Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! CE)+)A'

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

&1todos .eom1tricos

&1todos Atomsticos
Desenvolvimento do $imulador
&!DE)!$ DE $I&+)AJB!

&1todos Atomsticos

Autmato Celular

&onte Carlo
Desenvolvimento do $imulador
&!DE)!$ DE $I&+)AJB!

Autmato Celular

Convencional

Estocstico

Contnuo
Desenvolvimento do $imulador
&!DE)!$ DE $I&+)AJB!

Autmato Celular (ridimensional 2KD4

As c1lulas possuem dois estados ,ue so;

Estado ; ,ue sinifica VACIO

Estado : ,ue sinifica 1TOMO DE SILCIO

$omente os (to#os -$ s!+$%&*ci$ so


corrodos nesse autmato
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

'eras
=L 'era A 2a4
Estado atual;
M )ia-es com o su"strato
M )ia-es rompidas
Plao 9 : ; ; <
%$+%$s$ta-o
a s!+$%&*ci$ -o
#at$%ial
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

=L 'era A 2a4
Estado atual;
M )ia-es com o su"strato
M )ia-es rompidas
1to#o aalisa-o
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2a4
Estado atual;
5 Li/a,0$s co# o s!>st%ato
M )ia-es rompidas
1to#o -$
s!>st%ato
1to#o -$
s!>st%ato
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2a4
Estado atual;
M )ia-es com o su"strato
5 Li/a,0$s %o#+i-as
Li/a,8o
%o#+i-a
Li/a,8o
%o#+i-a
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2a4
Estado Atual;
M )ia-es com o su"strato
M )ia-es rompidas
Estado /uturo;
Ntomo 'emovido
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2"4
Estado Atual;
nL liao O = com a superfcie
nL liao O > com o su"strato
= )iao rompida
1to#o aalisa-o
Plao 9 : : ; <
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2"4
Estado Atual;
D li/a,8o E : co# a s!+$%&*ci$
nL liao O > com o su"strato
= )iao rompida
1to#o -$
s!+$%&*ci$
1to#o -$
s!+$%&*ci$
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2"4
Estado Atual;
nL liao O = com a superfcie
D li/a,8o E ; co# o s!>st%ato
= )iao rompida
1to#o -$
s!>st%ato
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2"4
Estado Atual;
nL liao O = com a superfcie
nL liao O > com o su"strato
: Li/a,8o %o#+i-a
Li/a,8o
%o#+i-a
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

=L 'era A 2"4
Estado Atual;
nL liao O = com a superfcie
nL liao O > com o su"strato
= )iao rompida
Estado /uturo;
Ntomo 'emovido
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

ML 'era
Estado Atual;
K )iao com o su"strato
= )iao rompida
1to#o aalisa-o
Plao 9 : : : <
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

ML 'era
Estado Atual;
4 Li/a,8o co# o s!>st%ato
= )iao rompida
1to#o -$
s!>st%ato
1to#o -$
s!>st%ato
1to#o -$
s!>st%ato
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

ML 'era
Estado Atual;
K )iao com o su"strato
: Li/a,8o %o#+i-a
Li/a,8o
%o#+i-a
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

Estado /uturo;
Ntomo &antido
ML 'era
Estado Atual;
K )iao com o su"strato
= )iao rompida
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

Estado /uturo;
Ntomo 'emovido
KL 'era
Estado Atual;
$e o tomo atual no cumpre
a rera =L e nem a ML5
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
'eras

Baseado no Autmato Celular Convencional

As reras al1m de serem as mesmas do autmato


convencional: incorpora um &ato% +%o>a>il*stico
-$&ii-o o it$%)alo F;3 :G para decidir a
corroso

Permite o a#uste das ta9as de corroso para os


K planos principais ,ue so; 9::;<3 9:;;< $ 9:::<
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!
E9emplos;
(a9a==> P =Q>
(a9a=>> P =>>
(a9a=== P =
(a9a&a92(a9a==>: (a9a=>>: (a9a===4 P (a9a 2=Q>: =>>: =4 P =Q>
P
::;
P (a9a==> R (a9a&a9 P =Q> R =Q> P =:>>>
P
:;;
P (a9a=>> R (a9a&a9 P =>> R =Q> P >:QMS
P
:::
P (a9a=== R (a9a&a9 P = R =Q> P >:>>Q

'eras;
= % A c1lula localizada na superfcie pode ser removida
se;
2a4 tiver 5 )i7i@os e se o n3mero aleatCrio estiver
contido no intervalo F;3 P
:;;
G: ou
2"4 tiver 4 )i7i@os dos ,uais: +$lo #$os !# est
localizado na superfcie e se o n3mero aleatCrio est
no intervalo F;3 P
::;
G5
M % A c1lula localizada na superfcie pode ser removida
se tem 4 )i7i@os dos ,uais: $@!# esto
localizados na superfcie e se o n3mero aleatCrio
est contido no intervalo F;3 P
:::
G5
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

'eras;
K % $e a c1lula no cumpre a %$/%a : e nem a %$/%a 5:
a c1lula pode ser removida5
6 % $e a c1lula estiver liada a . )i7i@os: ou se#a: se
no estiver numa superfcie: ela no 1 removida5
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

E9emplos;

! tomo tem 5 )i7i@os e o fator aleatCrio com o


valor ;32;4 2> T >:S>K T P
:;;
4 cumpre a rera =:
portanto: o tomo ser removido

! tomo tem 4 )i7i@os e todos eles so tomos de


su"strato e o fator aleatCrio tem o valor de ;3;;5
2> T >:>>M T P
:::
4 cumpre a rera M: portanto o
tomo ser removido
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!
Cosi-$%a-o as +%o>a>ili-a-$s P
:;;
H ;3I52 $ P
:::
H ;3;;I

*3mero de estados usados U M

! estado 1 associado a uma esp1cie de


DmassaE do tomo5
E9emplos 2Considerando a fai9a V>: =>>W4
% Ntomo 29
>
: X
>
: z
>
4 com o estado S>
% Ntomo 29
=
: X
=
: z
=
4 com o estado M>

Considera os =
os
e M
os
vizin7os dos tomos
de silcio
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Ntomo de $ilcio com as suas 6 lia-es
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Ntomo de $ilcio A =
os
Gizin7os
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!
Ntomo de $ilcio
=
os
e M
os
Gizin7os

NJ#$%o -$
li/a,0$s -o (to#o
NJ#$%o -$ li/a,0$s co# os (to#os )i7i@os
:K Vi7i@o 5K Vi7i@o 4K Vi7i@o .K Vi7i@o TaLa
1 1 - - - 100
1 2 - - - 40
1 3 - - - 20
1 4 - - - 0
2 1 1 - - 80
2 1 2 - - 80
2 1 3 - - 80
2 1 4 - - 80
2 2 2 - - 100
2 2 3 - - 100
2 2 4 - - 100
2 3 3 - - 100
2 3 4 - - 20
2 4 4 - - 100
3 1 1 1 - 100
... ... ... ... ... ...
4 4 4 4 4 0
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!
'eras 2QY Possi"ilidades4

Ntomo com 5 )ia-es: das ,uais;
% +m tomo vizin7o possui 4 lia-es
% !utro tomo vizin7o possui . lia-es
(a9a de Corroso 2e9emplo4; M>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!
TaLa -$ Co%%os8o

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
Estado depois de M itera-es; Z> A M> P Q>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
Estado depois de M itera-es; Z> A M> P Q>
Estado depois de K itera-es; Q> A M> P 6>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
Estado depois de M itera-es; Z> A M> P Q>
Estado depois de K itera-es; Q> A M> P 6>
Estado depois de 6 itera-es; 6> A M> P M>
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
Estado depois de M itera-es; Z> A M> P Q>
Estado depois de K itera-es; Q> A M> P 6>
Estado depois de 6 itera-es; 6> A M> P M>
Estado depois de S itera-es; M> A M> P >
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Estado Inicial; =>> 2DmassaE m9ima4
Estado depois de = iterao; =>> A M> P Z>
Estado depois de M itera-es; Z> A M> P Q>
Estado depois de K itera-es; Q> A M> P 6>
Estado depois de 6 itera-es; 6> A M> P M>
Estado depois de S itera-es; M> A M> P >
E9emplo; 'era DMK6E
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!
1to#o
R$#o)i-o

E9emplo; 'era DK666E
Ntomo com 4 )ia-es: das ,uais;
% +m tomo vizin7o possui . lia-es
% !utro tomo vizin7o possui . lia-es
% !utro tomo vizin7o possui . lia-es
(a9a de Corroso 2e9emplo4; S>
Desenvolvimento do $imulador
A+(H&A(! C!*(0*+!

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

'elacionando a R$-$ C%istalia -o Sil*cio com
o A!t"#ato C$l!la%
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!
R$-$ C%istalia -o Si Mat%i7 -$ Cl!las -o
A!t"#ato C$l!la%

Cl!la
Uit(%ia
Mat%i7 -$
Cl!las
It$%%$la,8o
M
H
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!
'elacionando a R$-$ C%istalia -o Sil*cio com
o A!t"#ato C$l!la%
It$%%$la,8o !sa-a os 4 Mo-$los -$ A!t"#atos B

! $imulador de Corroso considera o c7anfro da
l8mina de silcio 2+lao 9::;<4 alin7ado com a
"ase da matriz de estados5
C@a&%o -a lN#ia
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

! simulador tam"1m considera a superfcie da
matriz de estados 2"ase superior4 e,uivalente ao
+lao 9:;;< de uma l8mina de silcio
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

Cada cl!la !it(%ia -o sil*cio possui
. ca#a-as ,ue se repetem periodicamente
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

Cl!la !it(%ia -o sil*cio
'ede Cristalina
do $lcio
&atriz de C1lulas
do Autmato
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

:D Ca#a-a
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

:D Ca#a-a
2 (to#os +o% cl!la !it(%ia
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

5D Ca#a-a
5 (to#os +o% cl!la !it(%ia
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

4D Ca#a-a
. (to#os +o% cl!la !it(%ia
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

.D Ca#a-a
5 (to#os +o% cl!la !it(%ia
Desenvolvimento do $imulador
I*(E''E)AJB!

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

I
Bi"lioteca
autosim
Interface
.rfica
Auto&E&$
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Oi>liot$ca a!tosi#
% /ornece classes necessrias para e9ecutar
simula-es de corroso e construo de
autmatos celulares
% Implementa tr@s modelos de simulao de corroso
2Autmato Convencional: Estocstico e Contnuo4
% Escrito em CII
% &ais de MS mil lin7as de cCdio
% &ultiplataforma 2\indows: )inu9: etc4
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Bi"lioteca a!tosi# 2&Cdulos4
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Interface .rfica A!toMEMS
% Escrito em CII e usa as "i"liotecas w9\idets e
!pen.)
% Am"iente Interado completo para fazer simula-es
% /erramentas para erao de mascaras
2em ar,uivos pn]s4
% Permite visualizao rfica MD R KD dos resultados
das simula-es
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

/erramenta de .erao de &ascaras
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

&enu de Confiurao das $imula-es
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

/erramentas de Gisualizao
Po%A!$ -$s$)ol)$% &$%%a#$tas -$
)is!ali7a,8o P

A simulao da corroso por autmato celular


era uma #at%i7 t%i-i#$sioal -$ cl!las

A compreenso da matriz de c1lulas por a(lis$


-i%$ta se torna uma tarefa muito rdua: -i&*cil -$
$t$-$%5
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Q!al cocl!s8o o>t$#os -$ss$ %$s!lta-o P
Mat%i7 -$ cl!las
-o a!t"#ato
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Pa%a isso3 +%$cisa?s$ -$s$)ol)$% &$%%a#$tas
-$ )is!ali7a,8o c!Ros o>R$ti)os )isaS

Facilita% a a(lis$ do resultado erado pelo


autmato celular5

Eli#ia% os -a-os redundantes ou


desnecessrios do resultado do autmato

Sit$ti7a% -a-os ,ue possuam alum tipo de


relao 2E9; Pontos alin7ados formando
praticamente uma 'eta4
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A
/erramentas de Gisualizao

EL$#+los -$ F$%%a#$tas -$ Vis!ali7a,8o
Contornos de
Ntomos
)ia-es dos
Ntomos
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

EL$#+los -$ F$%%a#$tas -$ Vis!ali7a,8o
C1lulas +nitrias
do Cristal
(etraedro dos
Ntomos
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

EL$#+los -$ F$%%a#$tas -$ Vis!ali7a,8o
[uadrados Coloridos
Ntomos com M )ia-es
Ntomos com = )iao
Ntomos com K )ia-es
Ntomo do filme
de mascaramento
L$/$-a
Ntomos com 6 )ia-es
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Co#>ia-o Di)$%sas F$%%a#$tas
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Vis!ali7a,8o 4D
Gisualizao dos tomos
atrav1s de Dcu"in7osE
Contorno de Ntomos
Desenvolvimento do $imulador
A'[+I(E(+'A

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
Aparecimento de cavidades
contendo +laos 9:::< $ 9:;;<

Aparecimento de paredes verticais
contendo o +lao 9:;;<
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Aparecimento de catos )i)os
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

/ormao de +otas -$ sil*cio
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;;; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;:; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;5; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;4; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;.; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;2; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;I; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;6; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;T; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
;U; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:;; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
::; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:5; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:4; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:.; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:2; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:I; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:6; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:T; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
:U; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
5;; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -$ Co%%os8o -$ !#a
'$o#$t%ia Ci%c!la%
5:; It$%a,0$s
O!%aco Il@a
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>>> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>=> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>M> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>K> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>6> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>S> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>Q> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>^> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>Z> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
>Y> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

Si#!la,8o -a #ic%o&a>%ica,8o -$ !#a +ota
=>> itera-es
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

EL+$%i#$tal
Si#!la-o
VMat%i7 -$ #ic%o+otasW
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
;; It$%a,0$s
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

:; It$%a,0$s
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

5; It$%a,0$s
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
4; It$%a,0$s
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

.; It$%a,0$s
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
2; It$%a,0$s
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

I; It$%a,0$s
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
6; It$%a,0$s
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

T; It$%a,0$s
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
U; It$%a,0$s
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

EL+$%i#$tal Si#!la-o
LADO DA
FRENTE
LADO DAS
COSTAS
$imulao de &icrofa"ricao de Cantilever
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

A eometria D\aon \7eelE 1 um padro


muito utilizado na corroso do silcio para
determinar a taLa -$ co%%os8o -o Si em
-i&$%$t$s -i%$,0$s

Esse padro 1 um $Lc$l$t$ t$st$ para o


simulador de corroso

*o,ue ,ue pe,uenos passos de 8nulos


2em torno de !# /%a!4 produz +$A!$os
-$tal@$s dentro dos resultados5 Isso
re,uer !#a /%a-$ %$sol!,8o para
o"servar esses detal7es

Para uma alta %$sol!,8o: 1 necessrio o


uso de uma /%a-$ #at%i7 -$ cl!las
Masca%a
Pa-%8o
R$s!lta-o
-a
Co%%os8o
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

;2 It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
:; It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
:2 It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
5; It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
52 It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
4; It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
42 It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
.; It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)
$imulao de Corroso de uma D\aon \7eelE
.2 It$%a,0$s

.rande matriz de c1lulas


.;;; L .;;; L :;; c1lulas

(empo de simulao
_ :5 @o%as 2= ,uadrante4

EL+$%i#$tal Si#!la-o
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
;; It$%a,0$s
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

5; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

.; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

I; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

T; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

:;; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

EL+$%i#$tal
:;; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i

:;; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! C!*GE*CI!*A)

$u"stratos com -i&$%$t$s &o%#as

&atriz de c1lulas; 2;; L 2;; L 2;; cl!las


Corroe em to-as
as -i%$,0$s ao
mesmo tempo

*o tem
material de
mascaramento
$imulao de Corroso de uma Esfera de $i
EL+$%i#$tal

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :I;3 :;; $ :
;4; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :I;3 :;; $ :
;I; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :I;3 :;; $ :
;U; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :I;3 :;; $ :
:5; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :;;3 :I; $ :
;4; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :;;3 :I; $ :
;I; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :;;3 :I; $ :
;U; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W?; :;;3 :I; $ :
:5; It$%a,0$s
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

(a9as de Corroso <Planos V::;W: V:;;W e V:::W? A :5; Itera-es
TaLas V:I;3 :;;3 :W
TaLas V:;;3 :I;3 :W
TaLas V:I;3 :3 :;;W
TaLas V:3 :I;3 :;;W
'esultados
A+(H&A(! E$(!CN$(IC!

R$/%a X54.Y
R$/%a X444.Y
R$/%a X5..Y
R$/%a X44..Y
'esultados
A+(H&A(! C!*(0*+!

R$/%a X54.Y
R$/%a X444.Y
R$/%a X5..Y
R$/%a X44..Y
'esultados
A+(H&A(! C!*(0*+!

EL+$%i#$tal VMEVW
AZ Estoc(stico V:52 it$%a,0$sW
AZ Co)$cioal V:.; it$%a,0$sW
AZ Cot*!o V5T; it$%a,0$sW
'esultados
C!&PA'AJB! E*('E !$ &!DE)!$

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio

! prorama desenvolvido permite prever a evoluo temporal


da corroso usando mscaras contendo /$o#$t%ias co#
co#+l$Li-a-$ a%>it%(%iaZ

! prorama permite simular a corroso do silcio em a#>os


os la-os -o s!>st%ato de maneira si#!ltN$aZ

(oda as simula-es so eradas dentro da interface rfica:


sem necessitar de um prorama e9terno5

! prorama implementa 4 #o-$los -$ si#!la,8o -a


co%%os8o dos ,uais: o Autmato Convencional 1 o mais rpido
e simples: Ctimo para protCtipos: o Estocstico e Contnuo
possi"ilitam a#ustar mais par8metros para refinar a simulao5
Conclus-es

A+$%&$i,oa#$to -o so&t[a%$ 2otimizao e correo de


fal7as4 para disponi"ilizao F comunidade cientfica

Estudo sistemtico e aprofundado dos K modelos


2principalmente do A!t"#ato Cot*!o4 para a compreenso
mais profunda do modelo e a#uste para ,ue a simula-es
se#am o mais realista possvel

Desenvolvimento de ferramentas para a(lis$ A!atitati)a


dos resultados das simula-es: como por e9emplo a
determinao de 8nulos: dist8ncias e planos cristalorficos
associados Fs paredes das cavidades e estruturas resultantes
da corroso

Precisa incorporar de +a%N#$t%os &*sicos?A!*#icos como


temperatura: eneria das lia-es: tipo e concentrao de
soluo corrosiva: dopaem do su"strato: etc
Conclus-es

O>%i/a-o BBB

Introduo

*o pro#etos de sistemas microeletromec8nicos


2&E&$4 podem aparecer processos de corroso
anisotrCpica do silcio usando mscara com
/$o#$t%ias co#+l$Las

Aluns desen7os de eometrias podem resultar


num perfil de corroso difcil de )is!ali7a% $
+%$)$%5

Introduo % !"#etivos
A $imulao da Corroso AnisotrCpica do $ilcio
permite;

Vis!ali7a% $ +%$)$% o %$s!lta-o sem precisar


usar o la"oratCrio

O A!L*lio no pro#eto de dispositivos &E&$: pois


os mesmos podem atinir alto /%a! -$
co#+l$Li-a-$5

!"ter /a@os &iac$i%os e economia de t$#+o

! uso no ensino da t1cnica de #ic%o&a>%ica,8o


-$ s!>st%ato

'esultados
/ormao de um catil$)$% usado na
fa"ricao de um acelermetro
$imulao da Corroso Corroso do $ilcio

'esultados
/ormao de um catil$)$% usado na
fa"ricao de um acelermetro
$imulao da Corroso Corroso do $ilcio

Desenvolvimento do $imulador
% Cristalorafia do $ilcio
% Corroso do $ilcio
% Autmato Celular
% &odelos de $imulao

A!t"#ato Co)$cioal

A!t"#ato Estoc(stico

A!t"#ato Cot*!o
% Interrelao
'EDE C'I$(A)I*A $i A+(!&A(! CE)+)A'
% Ar,uitetura

'esultados

Conclus-es
$umrio