' ' j _ i ; " .

;-sJ:r".1

oY6

! : - ! . : - , ; i :

t+ii*!i$:l::

:'- 91_':*.

*1a1e

THESE
o
prsente
iUniversitcte'METZ

992,ooS

par

Etienne

LOSSO

pour lbbtention du grzdede

DOCTEURdeI'UNTVERSITE
DEMETZ
en
ELECTROMQTJE

s/n'l:

a
soutenuele 2l septembre1992 l'amphithetrede
supELEC
devantla commission
d,qramen
:

- G. GIIILLOT
- s. RAVET,ET
-tt[.CERTIER
- G. DEII\IINAY
- trc DMowsKI
- R KLEIM
- B. LEPLEY

Professeur
IINSA deLyon (Rapportzur)
Professeur
luniversitdeNancyI (Rapporteur)
ProfesseurlUniversitdeMetz
ProfesseurlUniversit
deReims
Professeur
luniversitTechnologique
devarsovie
Professeur
lUniversitdeMetz
Professeur
lunivercitdeMetz@irecteurdethse)

AVERTISSEMENT

Cette thse est le fruit d'un long travail approuv par le

jury de soutenance et disponible l'ensemble de la
communaut universitaire largie.
Elle est soumise la proprit intellectuelle de l'auteur au
mme titre que sa version papier. Ceci implique une
obligation de citation, de rfrencement dans la rdaction
de tous vos documents.
D'autre part, toutes contrefaons, plagiats, reproductions
illicites entranent une poursuite pnale. La Bibliothque a
pris soin d'adresser un courrier l'auteur dans lequel elle
l'informait de la mise en ligne de son travail. Celui-ci peut
suspendre la diffusion en prenant contact avec notre
service.

Contact SCD Metz : daniel.michel@scd.univ-metz.fr

Ecrire au doctorant :
Code de la Prorit Intellectuelle. articles L 122. 4
Code de la Prorit Intellectuelle. articles L 335.2- L 335.10
http://www.cfcopies.com/V2/leg/leg_droi.php
http://www.culture.gouv.fr/culture/infos-pratiques/droits/protection.htm

REMERCIEMENTS

Ce travail a et effectu au Laboratoire d'Optolectroniqueet de Mcrolectronique

(LOM faisant partie du Centre Lorrain d'Optique et Electroniquedes Solides (CLOES) de
lUniversit de Metz.
Je tiens exprimer toute ma reconnaissance
Monsieur M. CERTIER, Professeur
lUniversit de Metz et Directeur du CLOES, qui mb acceuilli dansson laboratoire et qui me

fait I'honneurde faire partie de la commissiond'er(amen.

Je remercievivementMonsieur B. LEPLEY, Professeur lUniversit de Met4 qui a
dirig mesrechercheset m'a constammentapportson soutienen me faisant bnficierde ses
largescomptences.

Je tiens galement exprimer ma profonde gratitude Monsieur K. DMOWSKI,

Professeur lUniversit Technologque de Varsovie, avec qui j'ai collabor pour appliquer
avec succslesfonctions de conlation multipoints nosrelevsde transitoires.
Mes remerciementsvont aussi MonsieurG. GLJILLOT,Piofesseur IINSA de Lyon
et Monsieur S. RAVELET, Professar lUniversit Nancy I pour lhonneur qu'ils me font en
acceptantdejuger ce travail.

Que Monsieur G. DELALINAY, Professetr lUniversit de Reims,ainsi que Monsieur

R KLEM Professeur lUniversit de Metz trouvent ici I'expressionde ma profonde
reconnaissance
pour avoir acceptde participer la commissiond'examen.
Ie tiens remercier Monsieur A BATH et lvladameM. LUMBRERAS, tous deux
Professeur lUniversit de Mre4 pour leur aimabilitet leur disponibilitau sein du groupede
recherche.

Merci tous les collgues du CLOES qui ont contribu I'ambianccamicale et

stimulante que j'ai pu y trouver. En partiorlier que A AIIAITOLTF, M. BARRADA
M. EL BOUABDELLATI, M. SOLT.II, A TELIA et P. TIIEVENIN trouvent ici le
tmoignaged'amitiet de qympathiequi leur est d.

Je remercie tous particulirement, Mesdames I. ZAYER et V. DELBECeUE

secrtairesau CLOES, et MonsieurJ.C. PETIT technicierUpour leur dvouemente leur aide.
Quetous ceux qui ont particip la ralisationde ce travail soientvivementremercis.
EnftL je tiens remerciertous mesamispour tous les instantsde bonheurpartags,en
partictrlier L. IIERRI{AMI,
s. FISITE& D. METZINGE& D. KLARA R RENK
L. KILIAN, Batrice,Etienneet Myriam.

o
/n/fuarutrrrt*/ora
/ a *

c?/tz
f/l/ *, r*r/ /t *.

t
SOtr4IUTAIR.E

INTRODT'CTION

CITAPITRE

f.

IITTRODUCION A I"A SPECROSCOPIE DES NIVEAUX PROFOilDS

1) IntroductLon

2, Gtnttque

de capture

et drml.seLon deg nLveaux profonds

o
3 ) Garactrl.gatLon
3.1)

DLTS

Principe

de Ia DLTS

3.21 Dispositifs

exprimentaux

3.2.2)

Mthode de corrlation

18
utilisant

Mthodes dtanalyse

des spectres

Mthode d'analyse

Ie procd

2s

synchrone

3.3.2 ) Mthode de Le BIoa

4'

L7

Mthode de LANG

3.3.1)

11

3.2.1)

de dtection
3.3)

10

DLTS

de LANG

33
33
34

CONCLUSION

35

RBFERENCES

36

I
cI{APITR.E

I'IETHODES ISOTHERUES ET METHODESDB CORRELATION

1 ) Disposltl.fs

de mesure du transitoire

prltninaire

et

traLtement

des donnes

38

o
2 l I{thodes
2.Ll

isothernes

42

Spectroscopie

ITS

44

2.2') Dconvolution

par

2-3') Approximation

du transitoire

nthode

des moindres

transforme

carrs

de Fourier
de capacit

applicable

52
par une

aux modles non

linaires

56

2.41 Conclusion

57

3 ) I'tthodes de corrlatLon

58

3.1) Mthodes de corrIation

3.2 Corrlation

38

3.3)

avec des filtres

Amlioration

Mt.hode cinq

multipoints
de Crowell

de l,exploitation

vitesses

drmission

59
65

des spectres
69

4) CONCLUSTON

7L

REFERENCES

72

a
RESULTATSEXPERIMENTAUX

ETUDE COMPARATIVEDES }IEIHODES DTAIILYSE

DLTS

74

SUR DES STRUCIITRES

Au_Inp

o
A ) Rsultats

r)
o

obtenua avec res systmes de uesure DLTS

Etude antrLeure
uLlLsant

76

sur st{pA4 avec Le systue de uesure

le corrlateur

double boxcar

2, Etude eur St{pA4 avec le eyrtme de Eeaure

DLTS (DLS-82) dtecrion slmchrone

3) Etude de R3L2

76

77

79

o
B) Rsultats

obtenua par lee ntbodeg

nunrl.quee

EO

o
81) GorrlatLons

nuorLques

1 ) M t h o d e s mu l ti p o i n ts

o
1.1 ) Erude de R3L2
I.2)

Erude de SNPA4

o
2l Filtres

de Crowell

2.L)

Erude de R3L2

2.2)

Etude de SNPA4

80
81
81
86
89
90

o
3 ) Conclusion

94
96

B 2) Mthodes Lsothermes

97

1) MthOdES ITS

98

1.1)

Etude du niveau T3 de 1'chantillon

L.2lEtude

du niveau

R3L2

T5 de SNPA4

LO2

2 ) Mthode de Le B10a ou mthode de dconvolution

2.Ll

98

Mthode de lscharmer

10s
106

a
2.21 Mthode de Balcou

LO7

2.3 Conclusion

108

O
3 ) Approximation
des moindres

des transitoires
carrs

par

une nthode

non-linaires

3.1)

Etude

3.2)

Etude du niveau T5 de l,chantlllon

_du

niveau 13 de l'chantillon

3 .3 ) Conclu_sion

108
R3L2

109

SNPA4

r _L 0
111

c) DrscussloNBT col{cl.usroN

112

REFBRENCES

116

I
CONCLTJS

ION

118

L2L

ANNE:<E

CALCULSANALYTIQUESDU SIGNAL DLTS

ET RBCIIERCIIEDES EXTREUT'US
O
POUR DES SPECTRESOETEIruS PAR DBTECTIOI| SYTTGITROITE

ANNE'(T

12 6

o
ALGORITIIIIB DE T,TARQUARI'T

o
A!NE,<T

132

o
C A L C U LD B S V I T B S S E S D T E I { I S S I O i l 3 r l r a 2 , e a ! ,
POUR DES SPECRES DtlS

er+,

gar

OBTENUS PAR I UETHODE 2 POID{TS.

I
NOTATIONS

A : surface

An : amplitude
G ou C(t):

jonction

de la

( - Co Nr /

du transitoire

capaeit

Cr : capacit

( m 2) .
(2 Np) )

de La jonction.

de I'isolant

d'une structure

MIS.

Go = C(t=0)

cn ! coefficient

de capture

des lectrons.

cp : coefficient

de capture

des trous.

ee: vitesse

d'mission

des trous.

a! vitesse

d'mission

des lectrons.

Er : nergie

du niveau

Ec: nergie

de la

bande de conduction.

Ev: nergie

de la

bande de valence.

nergie

Er:

Ea: nergie
fo

d'activation

fr

fonction

constante

Kr

coefficient

(= Ec - Er).

de Boltzmann (k = 8.63

10-s eV/Kl .

dpendant du semiconducteur

Nr

concentration

No

densit

d'tat

Nr

densit

d'tats

6-2 K-2 pour de I'InP

des impurets
du niveau
d'un

donneur.

centre

profond

d'nergie

d'tats

occups par des lectrons

densit

drtats

vides

n : concentration

p : concentration

d'Iectrons

en lectrons.
(1.6

en trous.

de type n).

ionises.

Nro: densit

q : charge de l'lectron

de volume.

de Fermi-Dirac.

(K" -- 2.54 1024 s-r

Nrv:

niveau profond

d'un

= l/Tt

de Fermi.

fOltg

C)

Er.

Er.

au niveau Er.

I
S/B : rapport
S(trT)

signal

: transitoire

sur bruit.
de capacit.

: temps.

trrtz

: instants

des impursions

de Dirac

du corrrateur

boxcar moyenneur.

tp

dure de I'impulsion

temprature.

1.

priode

lors

de mesure du transitoire

des oprations

de la barrire

Vm

tension

excitatrice

Vr

tension

de polarisation

W(t)

: fonction

de corrlation.

(t)

: fonction

de Dirac,

: constante

dilectrique

utilise

de potentiel.

hauteur

de capacit

de corrlation.

Vp

excitatrice.

de remplissage
inverse

des piges.

de la diode.

(t)=1

pour t=0;

(t)=0

pour t diffrent

du semiconducteur.

de 0.

doubre

INTRODUCTION

procds

Les

dtIaboration

conducteurs

ou des composants

lrorigine

des dfauts

raliss

sont

monocristaux

semi-

avec ces matriaux

sont

des perturbations

soit

qui

des

de lrarrangement

rgrulier

du

cri sta l .
soit

des

trangers

Au voisinage

atones

ou

des

les

liaisons

associations

dratomes

au cristal.

des'dfauts,

cristal

sont nodifies,

niveaux

dtnergie

ce qui

situs

entre
par

se traduit

dans

la

bande

les

atomes du

lrapparition

interdite

du

de
semi-

conducteur.
Lorsque

fondamental
suprieure

diffrence

Ia

du dfaut

et

largenent

utilise

niveau

proche

est

ou de dfaut

Transient

Spectroscopy)

L974 pour mesurer avec prcision

depuis

des niveaux

profonds

provenant

de dfauts

des semi-conducteurs.

Ces paramtres

sont

- position
- section

les

suivants

du niveau
efficace

- concentration

profond

de niveau

DLTS (Deep Level

parantres

certains
cristall.ins

Ie

profond.

est

entre

le bord de la bande la plus

on parle

3 kT,

La spectroscopie

drnergie

drnergie

de capture

du niveau

dans la bande interdite

Bien qutil
donns

par

cristal,

il

paramtres
Pour

par

nry

la

ait

spectroscopie
possible

est

obsenrs et
faire

drautres

ces

nthodes

prsentant

ont

par

recherche

drune

plus

possde

LrrnP

1.6 pn) et

recenss

draugrmenter

en utilisant

les

au

techniques

lectrique

de bonnes performances
de thse.

du

a constitu

des

d r indiun

interprtations

a motiv

sur

la

de ces

strrrctures

phosphure

de nonbreuses

grande prcision

des

Certaines

lrtude

L t tude

lieu

fortement

connaissance

avantage
rrr-v

est

des lectrons

part,
son

intressantes

conposants

de lflectronique

drentrainement

perfornances

proprits

des

(pour les

de tlrlle

permettent

les

profonds.

dfauts

ncessaire

obtenus t c gui

de

principal

matriaux

Drautre

entre

du

Ia
des

des dfauts.

rroptorectronique

les

de spectroscopie

Au-rnp.

des rsultats

est

apptiques

physiques

dveroppement

des dfauts

des niveaux

avec

.de non travail

DLTS a donn

paramtres

nature

rsultats

les plus performantes.

Mtar/seni-conducteur:
(fnP)

il

les

des rapprochements

des rsultats

principal

la

entre

physique

de mthodes

profonds

Irobjectif

de faire
rtorigine

de mesure et dranalyse

niveaux

DLTS et

chercheurs,

r,a recherche

direct

rapprochements

maxinum la prcision

aucun lien

Ees

longueurs

de

et des cotts

ltrnp

par

de prsenter
sous

re

uonolithique
intressants.

de

de 1.3

en hlperfrquence.
rapport

arxx autres

une grande

un champ lectrique
optiques

le

domaine

drondes allant

de puissance

proprite

intgration

dans

pour

et

vitesse
lev.

lectroniques

(oErc)

pour

des

Trois

tlpes

peuvent

de structures

tre

- Ies

jonctions

- les

diodes

et

les

analyss

par DLTS :

pN

Schottky
structures

UfS

(Mtat-Isolant-

Seni-conducteur)
Il

existe

drexcitation
(tension,

cvDLTs
pour

(lectrique
courant

voltage

de cette

de capacit

aprs une excitation

Le

premier

niveaux
physiques,

profonds
res

mesure de DLTS.

dcrit

et

la

suivant

Ie

grandeur

mesure

avons

retenu

Transient

drrnp

Mta1/Seni-conducteur)

mthode de mesure est

rsultant

plus

opratoires

en

.
les

de relaxation

de la temprature.

la

dtail

ainsi

mode

dans des

dranalyser

du processus

en fonction

le

type

spectroscopy)

du substrat

dtintroduction

nodes

mesure,

Nous

profonds

lectrilue,

chapitre

de

Deep Lever

(ou jonctions

principe

transitoires

capacit).

des niveaux

Schottky

nodes

ou optique)

ou

(constant,

rrtude

diodes

diffrents

que

spectroscopie
les
res

des

phnomnes
systnes

de

r,e

second

de celles

Une distinction

faite

mthodes

de

avantage

de

assez

Les

est

rduire

puisquton

en

tenpratures.

ont t

mis en apprication

DLTS de

deux

dans

et
et

res

propos
la

systnes

une anrioration

nthode

cinq
plus

des

les

signaux

balayages

mesure

en

rsultats

schottky

u-rnp.

de capacit

ont

du

point

signal

Les

grce

de

crassique

fine

qui

mthodes
pu

ainsi

bnrit.

d|mission

et plus

de mesure

de lranalyse

habituellement

DLTS,

de lranalyse

prcise

inconvnient

dans ce chapitre.

les

du rapport

vitesses

cet

de mesures faites

aux techniques

et

bruit

et

principal

Tous ces procds

mthodes de corrration

spectrale

pour

de transitoires

prsente

de diodes

de

ont

pas

qui est dcrite

conpares

caractrisation

les

en DLTS.

isother:mes

nultiples

partir

chapitre

tlpes

utilises

de

un temps de mesure

prsentent

ne

certaines

dracquisition

mthodes

tudier.

relevs

rsorution

des

un nombre linit

une carte

le

ncessitent

raison

isothetmes

de

nthodes

dernires

elloite

testes

elles

de Irchantillon

isotherres

ces

contre,

Le troisime

les

considrablement

important,

mthodes

principe

re

habituellenent

entre

corrlation.

Par

temprature

donne

mesure' diffrentes

exploiter.

chapitre

tre

utilises
vue

de

la

Nous avons

en dveloppant
permet

de chaque niveau.

une

o
CIAPITRE

1-

o
INTRODUCTION A LA S

o
1 ) INTRODUCTION
DLTS (Deep tevel

La spectroscopie

introduite

en

par

L974

Transient

D.V.

LANG Irf.

caractriser

avec un maximum de prcision

apparaissant

dans des jonctions

dans

des

structures

MIS

Spectroscopy)

les

Isol-ant

profonds

niveaux

PN, dans des diodes

( Mta1

pour

t.tJ,

schottky

Semi-conducleur,I

i,,-1,s
:':::
'

' :':' ::: I'

c e n t r e s p ro fo n d s co rre sp ondent des dfauts du cr istatr - ,, ' , "' ' .','

_- f,l
'

c e s d fa u ts

position

d si g n ent

su b sti tu ti o n n e rl e

en gnr ar

; . l r: ':''1

.1

soit

'

d o n n e n naissance

compris dans Ia bande interdite

appels

niveaux

On distingue

rrs

lectron

un

des nive"gx'

-:'-

du semi-conducteur'1rf.
.

L.zj

. , -,

.'',

'
trois

s'agit

types

d'un

de centres
gui,

centre

(respectivement

lectron)

un

trou),

de capturer
que

de

(respectivement

bande de valence),

de recombinaison.

ayant

vers

la

"'.
uo

une plus

(respectivement

bande
iI

captur

a ensuite

rmettre

ce

trou)

profonds

un trou

(respectivement

centre

soit, "'des
'r
' a;,ir e l e

' t': i:" ti:tii't"l':l::llr':i':

.i

grande probabilit

' "

profonds.

en gnral
S'il

' -' i..'i..1L11 .1;'il.lf:

,des .inpur eti,. ,1n

ou en pos.ition in.teTtiti:f Le- :r :so i t
:ristalLin,

d i s l o c a ti o n s.

':

cet

lectron

de

conduction

porte

le

nom de

o
-

piges

Les

essentierlement

capturent
ou

Iectrons

dans

res

des lectrons

de

la

bande

extrinsgu,

trouve

de

type

des niveaux

conduction

res

I,on

semi-conducteurs

provenant

de

pour

que

du

rmettre

n,

donneurs

semi-conducteur

vers

ra

bande

de

conduction.
- Quant aux piges
provenant

varence

Les

des

niveaux

ils

de

composants

de

peuvent

pour

soit

ou

extrinsques

profonds

intentionnerlement,

se remplissent

accepteurs

des semi-conducteurs

niveaux

commutation

trous,

bande

ra

I rf .

ajouts
vitesse

I .z! ,

rsistivit

contre,

des

niveaux

Irfs.

des

1.5,1.6,L.71,

Irfs.

transistors

effet

1.8,1.9'1.10].

profonds

pourra

,.pour
,
;
1
.
.
,
1'AsGa
1ij11n
'',
.i-,"

pour

chinique

et

juger

profonds

indsirables

composants
et

introduisent

de

champ

.."_._.- ,,i.:

de la

prciser
qualit

ou du composant.

:,les

rinitent

opto- lectr oniques

(FET)

Une dtermination

nous aider

du semi-conducteur

substrat

''i.'

p e r f o r m a n ce s

du

1.3,1.4].

[rfs.
Par

Ia

de

olt'
.

accroitre

de

de type p.

tre

augmenter

rapides

la

de trous

du

bruit

fait

prcise
leur

base

les

d,AsGa

de ces niveaux

origine

du processus

dans

physique

et

de fabrication

a
2I CINETIqUE DE CAPTUREET D'E}IISSION DES NIVEAUX PROFONDS.

Aprs

conducteur,
la

dans

Ia

le

de

retour

par

lrf.
entre

Ia

rgi

1.111 et
Ie

de

aux

recombiner

de

les
par

niveaux
les

et

res

capture

du

bandes
et

sont

exposes par

1.12].

mission

(effet

d'mission

dans

dans

ra

un

bande

sHocKLEy et

READ

des porteurs

cnlcpln;p

oaPturc
d'un trou

Le

liant

caractrises

, .,'

de

Auger)

localiss

Les transitions
sont

entre

semi-conducteur.

1.1.

par

t":

explicits

::'']-,",. :; r,.-,....:l:- ::.;-,--:";i".:,::s;-.,,:.

;'l

anlfrlon
d'un trou

avant

apr 8

avant

aprr

FI
I

Ti

- l

"""'1"'
I
I
I

a v an t

a p r s a va n t

apr s

I
I
I
FI

Vl

i
i

capture
d'un
lectron

ierirrioniti
id'unl
lectron

'

Figure 1.1: Cintique de capture et d'mission

des niveaux profonds.

par

des niveaux

d'nergie

lois

afin

directement

excdentaires

dfauts

EIC r -

ou

bande de valence

intermdiaire

HALL Irf.

centie

sur la figure

semi-

bande de valence

thermodynamique pour des centres

dont

est

coefficients

et

dus

1'quilibre

interdite

interdite

lectron

se

du

thermodynamique du matriau.

,de phonons ou de porteurs

bande

seul

vont

optique

de charges peut se faire

bande de conduction

la

ou

en excs dans la

1'quilibre

recombinaison

photons

lectrique

conduction

retour

ou indirectement

voie

porteurs

les
bande

permettre
Cette

par

excitation

I
Les densits

(Nrv ) ' pour

des centres
le niveau

occups par un lectron

Er de densit

Nr sont

Nro =Nr

fr

Nrv =Nr

( l-fr

(Nro ),

respectivement

vide
:

(1.1)
et

o
La

fonction

de

d'occupation

d'un

Fermi-Dirac
centre

et

fr

reprsente

1a

probabilir

s'crit:

o
fT

,..*o[5=)

(L.2)

o
Pendant

dfauts

le

retour

occups par

des lectrons
quations

1'quilibre,

un lectron

(dnldt)

et

de continuit

Ies

(dNro /d:'l

des trous
[rf.

taux

1.13]

(dpldt)

de

, des
sont

o
dNro /dt

= (ncn

- ep ) Nr

dn/dt

= - ncu Nrv

n Nro

dp/dt

= - pcp Nro

e Nrv

Nro

(nca + es - pcp - ep)

(r.3)

t
un

certain

revient

temps

rrtat

que dn/dt,
dduire

aprs

d'quilibre

dp/dt

les

I'excitation

et

dNro/dt

quations

du

semi-conducteur,

thermodynamique et

on peut

sont

nous permet

suivantes

nurs,

c qui

on

crire
de

o
a

= llCs

Nr v /Nr o

= nca

(L-fr

(1.4)

| /ft

o
e = pcp Nro/Nrv

et

(1.s)

= pcp (ft/(l-fr))

En dveloppant
vitesse

1'quation

d'mission

n,

L.4,

nous obtenons lrexpression

utilise

dans 1'analyse

de Ia

de nos spect,res

DLTS:

o
a = (o T2 o exp(-

La valeur

instantane

oceups

Nro(t)

se

(1.6)

E./kTl

de la

concentration

dduit

facilement

des niveaux

de

I'une

des

profonds
quations

donnes en ( 1.3 ) :

o
dNro (t)/dt

Cette

= (nca - ep ) Nr

quation
-

les

peut subir

dfauts
qui

de type

sont

nous permet

(ncn+ea-pe-p-ep )

simplifications

effectues

n, on peut

des piges

devant cn et en.

plusieurs

mesures tant

base d'rnP

Nto (t)

sur

considrer

lectrons

de ngliger

des

les

(1.7)

:
structures
que les

seurs

(majoritaires),

coefficients

cp et

ce
p

10

Aprs excitation

I'quilibre

thermodynamique,

processus
que

les

d'mission
niveaux

priode

La

solution

sont

de

tous

I'quilibre

du retour

suppose

que

Ie

(ncn

occups

(Nro(t)

1'quation

oo

lors

prpondrant

est

d'excitation

phase Ce retour

du semi-conducteur,

Nr

au

terme

t=0

(dbut

de Ia

nous

donne

de

Ia

)).

diffrentielle

(1.7)

alors:
= Nr xp(-en

Nro (t)

o
Comme nous
que

ainsi

le

verrons

exponentielle

au paragraphe
(1.6),

1'quation
par

dfauts

DLTS.
de Ia

t,)

est

On

suivant,

La base
,donc

remarque-ra

concentration

des niveaux
_

dfauts

techniques

permettant

Ia photocapacit

[rf.

sont

Ia TSC (Thernal

La spectroscopie
caractriser
conducteur

et

ainsi

rpandus.

centres

profonds

que

prsenter
res

de caractriser,,'1ig
suivantes

: '

,,1 :
"

capacitance)
Current)

de

le principe

dispositifs

trf.

1.151

l.t6]

[rf.

dans notre

laboratoire

jonctions

MtaIr/Isolantr/Semi-conducteur

type n. Nous allons

mesure

Stimulated

DLTS a t choisie

1es

les

. :].:1i;;

.::-,.

1.14]

1a TSCAp (Thermal stimulated

1,..:

. .

dans res semi-conducteurs

3I CARACTERISATION DLTS.
Les principales

Mta1/semi_

base

de cette

pour

d' Inp

de

technique

de

exprimentaux

les

plus

11

3 . l. ) Principe

DLTS .

La spectroscopie
vitesse

d'mission

fonction

de la

de

donne par

1a

DLTS permet

des lectrons

temprature

1'quation

L'tude

de

efficace

de

profond.

Pour

en fonction
en DLTS est

= (o

o et

Ia

Ie

dans

DLTS) [rf.

tension

de

courant

d'activation
de la

est

section

Ea du centre
dtmission

mesurable

la

mthode

utilise

CVDLTS ( C o n s t a n t

1.1],
polarisation

dans

Ia

en

dioder

D mode Current

ou

ralises

structures

consistent

de

1'quilibre

M. I. S.

traiter

res

ont

jonction

celle

d'une

diode

Schottky

eapacit

une

: B = g a A2 /

diodes

DLTS

en

inverse

C2 =BNr
2 (Yo + Vr)

(1.e)

schottky,
CVDLTS, t
dans

Ia

revient

excitation

que nous utiliserons

PN porarise

en

celui-ci

en rgime de dpltion:
,

res

contenues

lorsque

thermodynamique aprs
de la

informations

1'chantillon

L'expression

CCDLTS (Constant

1.14],

sur

avec

la

vitesse

Les mesures DLTS que nous effectuons

capacit

nous

en

1.ls1.

lrf

calculer

grandeur

la

Capacitance DLTS) [rf.

de

ltvolution

capacit

Voltage

}es

(en)

soit:

de

de la

T2 o exp(-E.r/kT)

1'nergie

temprature,

la

profond

centre

Lrexpression

permet

nous

dterminer

de Ia

r,vorution

1.6:

f(T)

capture

d'un

T.

d'tudier

rectrique.
en DLTS est

ou celre

d'une

L2

I
Pour exciter
celles-ci

lectriquement

sous

une

tension

Iong de faon

remplir

1'quilibre

se fait

porariser

Ia jonction

nos diodes
Vm pendant

tous les

piges

en appliquant

de type
un

temps

suffisamment

lectrons.

une tension

en rgime de dprtion

on polarise

n,

Le retour

inverse

(fig.

Vr pour

L.2).

o
phorcr

o
Plgo lcctronr
tetrlau 1{

Figure

L.2z Principe

de Ia DLTS

EF,

13

I
Durant

phase

cette

varie

de relaxation,

la

de

En effet

Nr (t)

z c2 = B N

d'o

L'expression

,I
r *

Nr

xp(-en

(r - exP(-en

ND \

de 1a capacit

est

( 1 .1 1 )

'))]

donc Ia suivante

Cette dernire

quation

que Nr

on peut

instant

t=0

si

I'

partie

est

trs

exprimentaux

difficurt

de DLTS sera

transitoire

du

informations

nous intressant

signar r

,))]

"*p(-"

(1.12)

"

infrieure

No, on voit

que la

. o r5_l(r_"*p(,"",))
l.t ,, s 1

beaucoup moins importante

principare

on considre

-cA

.['-)t'

- C
0

on N r e s t

La

sinplifie;

C(t) -

Si Ia concentrati

.))J

d'o:

transitoir

:
'.\

C(t) -

C(t)

peut tre
crire

(1.10)

t))

Nnr
tt
,
c (r) - ,/rulo
r/ lt-nn:(t-e*p(-""r))
IID
ll\

A f

j onction

= No + Nrv

Ia

de manire exponentielle.

= No + Nr(l

capacit

que la

composante continue

de pouvoir

cr

par

rsoudre

c'est

des

extraire
eIle

(Nr et en )

qui

co.

dispositifs

ra

composante

contient

les

l4

I
Le transitoire

de capacit

sera not S(t,T):

- .*p(-e
n

= .,

s(t,r)

( 1 .r 3 )

,))]

[[*](r

o
Dans

Ie

cas

remplissant

S( t,T)

Ia

plusieurs

condition

sous la

forme

niveaux

profonds

(n

par

exemple )

Nr i

on crira

s(t, T ) -

(1.14)

.,,]

['.[*](r-"*p(-",,,

o
Pour obtenir

la

les

nthode

des

performanres

uniquement

utilise
vir(t )

la

Ie

une

carrs

on peut

en

ajugter,s(trT)
:.

utttisant

par

l-:

pour

mais d,aurres ,n.iJui"trii;j

'rJti;i:
dveroppes. ce"trin's

obtenir

temprature.

un

La

produi scalaire
temprature

S, (T)

signal

transfornation

de S(trT)
maintenue

dpendant

gnrIehnt

par ,une for,itir,

constante

durnt

I 'opration.
O

s' (T)

< s(r,1),tJ(r) >

s' (1)

Er S(tr,T)

ou

I{(tr )

(1.ls)
dans le cas dr un
sLgnal chantlllonn.

s ' ( T ) = I:: s(rr,r) r{(rr) dtr pour un sl.gnal

analoglque

, lunlt,,r,rioi$r

priori;
r

S(t,T)

est

onr

de

(Nrrrnr )r

moindres

d'exponenrielles fix

transforment

termes

15

I
Dans Ia majorit

I rfs.

I . 19 et

dsigner
de

cette

Pour

viter

opration

toute

Ie produit

I'intercorrlation
En effet,

est

alors

de DLTS
pour

utiris

apper fonction

auteurs

Irf.

r.zL)

temporel.

nous

utiliserons

re

terme

de

couramment employ.

scalaire

de S(t,T)

par tI(t)

correspond

des deux signaux pour O=0.

le produit

RSW(o)

tant

certains

filtrage

Ie plus

traitant

corrration

hl(t)

confusion,

est

spcialiss

terme

part,

D'autre

qui

En ralit,

Ie

transformation,

cette

corrlation,

1. 20] ,

corrlation.

appellent

des articles

de corrlation

f+o

J__ S(t'T)

W(t-

est

dfini

..

par:

o) dt

Dro:
t+-

R S \ , ( 0 ) - J _ _ S ( t ' T ) W ( t ) d t

- ( s ( t , T ) r ^ I( t ) )

- s'(T)

pratique,

Dans la

+@; nos

signaux

nous ne faisons
tant

priodiques

pas
(de

d I intgration
priode

T, )

de -co
S,(T)

s'crit:

s'(T) -

t*)
ft

s(r,r) w (r) dr

( 1 . 1 7)

16

I
Le schma suivant

pour obtenir

rsume I'ensemble
partir

s'(T)

des oprations

du transitoire

effectuer

de capacit

s(t,T).

S ( t , T ): s i g n a l d e m e s u r e

o
s(t,T)xw(t)
multiplieur

o
w(t)

w(t)

s i g n a ld e
c o r r 6 l a ti o n

a
Figure

Schna de principe

1.3:

Le produit

S(t'T)

sur

le

bruit

1.1]
1'autre

paragraphe

suivant,

puisqu'i1

pr

contre

draugmenter

de ra

la

dtection

L.zzJ.

[rf.

dans Ie signal

positive,

facile,

lors

dtermine

LANG Irf.

permet

bruit

corrlation
contenu

I.20].

Lrintercorrlation

noy dans

Ie maximum

= 1.I(t) [rf.

signar

d,un corrlateur.

de corrlation

des deux fonctions,

s'(t)

qualit

Le

sensibrement
drun

le

signar

choix

de ra

drextraction

rapport

peri'atque
ror,.ttonla.

du slgnal

utile

de mesure.
utilis

deux

ngative).

impursions

comme nous

de
re

Dirac
verrons

(une
au

ra mise en oeuvre de la mthode de LANG est

Ie

rapport

diminue avec la

largeur

signal

sur

bruit

des impulsions

est

mdiocre

utilises.

L7

I
synchrone

La dtection

employant un signal

permet une bien meilleure

de corrlation,

pour

carr

fonction

extraction

du signal

noy dans Ie bruit.

3 . 2 )Disposltifs

principale

La

les

diffrencier

exprimentaux
qui

caractristique

diverses

techniques

permet

nous

de mesure est

Ia

de

fonction

de eorrlation.
Le premier

systme de mesure DLTS est

bas sur

La

fonction

correspond

impulsions

de

Dirac.

corrlateur

double boxcar moyenneur.

de

LANG.

de

corrIation

la

nthode

deux
:.t

Le second

synchrone,

ce

Le

.appareil
qui permet

corrlateur

DLTS utilise

est

couramment
,,1,

le

procd

apprciable

sur bruit

en sortie

du corrlateur.

, , ,: l _ , . r . , . r ,

de ,',dtbclon
l':

'

pour ,iL rapport

'

signal

ltl'

un gain

appel-

t't"

'"

'

I :.''-:,::

_l

-1"-_'-t::''::

' , ' : , r '::",

18

I
3.2.1 )Mthode de LANG

La premire
Irf.
la

1.1],

fonction

technique
utilise

de mesure DLTS, eu'

un corrlateur

de corrlation

est

introduite

D.V. LANG

double boxcar moyenneur dont

donne sur la

figure

suivante:

w(t)

'

Figure

l.4z

Fonction de corrlation
boxcar moyenneur.

du corrlateur

'-:

.r:

doubl

19

D
Les oprations

une temprature
cas de piges
le

cas de I'InP

effectues
T sont

porteurs

pour

I'obtention

schmatises
najoritaires,

sur
et

du signar

ra figure

1.5 dans le

donc d'rectrons

type n.

o
V.

c(t)

F i g u r e 1 . 5 : a : T e n si o n d e p o l a r i s a t i o n
b: Transitoire

DLTS: Y

de eapacit

de 1'chantillon.
donnant le

DLTS

signal

dans

20

I
Comme le

montre

la position

Ia

du pic

figure

1.6,

Ie

choix

(Ynax , Tmax) sur

le

de tr
spectre

et

tz

dternine

DLTS.

a
o

UJ
(E
l

kCE
trJ

UJ

lrj

UJ
CE
UJ
lr
t!

lrJ

E
ul
t
=

UJ
F

UJ
F

----

UJ

o
o

--

UJ
E

o
6

Otl

12

TEMPS( S }

Cltll'Cl12l

o
F i g u r e 1 . 6 : E v o l u t i o n d u slgnal DLTS en fonction de la
tenprature pour des valeurs par ticulir es
de tr

et tz

2L

o
si

on

suppose

c'est

tre
que

dire

d'un

1e mod1e utilis

(C(t)=Am

exponentiel

prsence

en

pour

t)] ),

[1-exp(-en

seur

niveau

profond,

exprimer

1e signal

C(t)

est

DLTS s'crira

simplement:

Les

o
vitesses

spectre

An ( exp(-en

d'mission

DLTS sont

dcomposer de Ia

exp(-eo

correspondant

solutions
faon

tz )

aux

de 1'quation

( r . . 1 7)

tr ) )

extremums
qui

dy/dr=O

d'un

peut

se

suivante

(dYlde" ) (dealdry = e

o
La drive
jamais,

pat

de n

1'quation

La rsolution

rapport

ci-dessus

de cette

Ia
devient:

quation

e n g n ra r

diffrentes
couples
il

vareurs

E ln(tz ltrl

de tr

r er ever

de tr

(enjicrTmax)

sera facile

dy/dea

(tz-tr )

e n_pic cor r espondant aux extr eng.tsF.,.;dr un

s p e c t r e e st d o n c fo n cti o n
consiste

ne

nous donne :

ea_pic

L a v i t , e sse d ' n i ssi o n

temprature

et

tz

et

tz.

L,anar yse aes' sDali ;i ;

ipooi
plusieur s
spectr es DLis
-

afin

que de spectres.

d'observer

la

Ioi

: ,: ,
auant de

d'enreglstrer
A partir

de variation

de ces couples,
de n en fonction

de T.

Nous verrons

prus

en dtail

mthodes d'analyse

Aprs
nous allons
cette

cette

3.2.3

res

diverses

des spectres.

brve

dcrire

mthode.

au paragraphe

le

tude

thorique

de la

montage exprimentar

mthode de Lang,
(fig

L.7l

bas sur

22

A P P A R E I LD E M E S U R ED L T S
O n c r a t c ur
D ' l m p ul r l o n r
p c r l o dl q u o t

Crprolmtrc Ext?rollon
rrpldc
du .lenrl
t rrnal tolr.

gecond

r c e m p l lf l a r t

o
Oryortrt
7 7 eT ( k l e 3 l O

''UI

J-}J;-

T(Klrncr

Sygtme
d'acqulsltlon

F i g u r e I.7 ,

Mo n ta g e e xp rinental

D o ub l o
corralrtrur

( nthode de Lang)

cor r late ur

23

a
Le montage de la

parties

Ie

permettant

cryostat

La temprature

peut

I.7

se dcomposer en trois

essentielles:
-

figure

de

Lt azote

balayage

en

temprature.

minimale que 1,on peut atteindre

liquide,

chauffante

nous

mesure

la

de

1e

c'est

permet

de

soudure

Une

un

celle

rsistance

jusqu'
par

fait

se

Ia

dont

77K.

travailler

temprature

Cuivre/Constantan

dire

est

320K.

La

thermocouple
proximit

chaude est

de I'chantillon.

L'apparel.l

TECHNOLOGTESet
Boulogne).

Eesure

de

I1

1'chantillon
Cet appareit

Ia

fournit

intgre

le

Ia
sYDEc

tension

signal

socit

SUL
.
nrranrrrrgrer.
,,,

appftler

de corrlatlon.

donc:

gnrateur

un

par

commercialis
dIivre

et

(de

DLTS

d, impulsions

de

'

,,',.'..,,',,
,
,,, ,:,r

iensiqnr,',,.,ip"
, : . : . 1 : . - i ; . . .-

frquence
des

impulsions
peut

tension

comprise

varier

un

de
de

300

-13

ns

1.00 ms;' : !.a

V pour

Vr,

Vm-Vr

maximale de 13 V;
rapide

capacimtre
allant.

L Hz et

de

10

MHz possdant

1000 pF avec

des

un temps de

rponse de 10 ps;
un systme d'extraction
de

allant

ayant une amplitude

calibres

entre

5 KHz; ,la iargbur

1a

capacit

- un pramplificateur
capacit

d'un

de la

partie

avant
amplifiant

facteur

allant

transitoire

anplification;
le
de

transitoire
r

de
1000;

24

I
-

un

corrIateur

t - z/ t r

constant

prendre

les

double
et

boxcar

gal

valeurs

11.5,

impulsions

de la

donne par

le

pour

faire

fonction

ms

oD Ia

I'exploitation

tr

pouvant

un

(Ia

largeur

nulle
D L T S) ;

de faire

ou

pas

n,est

spectres

permettant
L,23]

des

considrera

des

DLTS (DDLTS) [rf

double

rapport

de correlation

constructeur,

- un deuxime corrlateur

un

suivantes:

O.02/O.05/0 .r/ . . . /20/50/LOO

ayant

de Ia

d'extraire

un

second spectre.

- Le systEe d'acqulsltLon

qui comprend
'
:

deux
relvent

tension

le

signal

un

peut

tre

nulle.

conmandant

facile

mettre

en oeuvre

de corrlation

En pratique,

de Dirac

On remarque que Ie

rapport

zro

lorsque

1'on

la

car

largeur
travaille

des

synchrone a t introduit

de

et permet

une

effectue

sur

signal
et

faibles

du signal,

en DLTS.

deux
-

ne sont

des impursions

impulsions,

avec

Pour augmenter la qualit

les',
:'.t
" '"

les impulsions
largeur

augmente avec

d'impulsion.

thermocoupl-e' mesurCnt:,.ta

la

(S/B)

dtection

de Lang est

des fonctions

qui

I.E.E.E.

Y en :volt ,et-,'1

'

mesure du transitoire.

jamais

t.

de 1'chantillon;

bonne comprhension de 1'opration

Ia

le

micro-ordinateur

nultimtres

La nthode

de corrlation
par

dlivre

temprature

progranmables

multimtres

sur
tend

ne

bruit
vers

largeurs

le procd de

25

o
o

svnchrone.

* Principe

La
extraire
est

dtection

dtection
le

utile

occuper

z,ro. c'est

ce signal

svnchrone.

synchrone

signar

suppos

frquence
prus

de la

est

un

noy dans du bruit.

une

bande

trs

donc un signal

est.noy

procd

dans du bruit

troite
rs

Le signar
autour

prus

rarge

de

ra
De

bande (fig.

c
Densitspectrale
o
bruit
a

o
signal

f (Hz)

Figure 1.8: Densits spectrales du signal et du bruit.

s(t,T)

basse frquence.

1.8).

pour

utiris

26

I
si

I'on

jusqu'

fait
fo

subir

par

au

signal

moduration,

zone de frquences ) trs

une

Ie

transration

bruit

diminu.

en r/f

( fie.

en

frquence

(dans

sera

cette

1 .9 ) .

Densitspectrale

o
/

signal
modul

Figure 1.9: Densits spectrales du signar nodul et. du bruit.

Ensuite

on

Ie signal

distingue,

d'applications
*

Ia

extrait

en

dtection

mesure

d'une

par

filtrage

synchrone,

autour

de fo.

deux

grands

types

:
grandeur

fixe

ou

trs

lentement

d'un

phnomne

variable,
*

Ia

mesure

physique

est

par

de

Ia

"balayage"

anglo-saxon de "Iock-in".

caractristique
que I'on

dsigne

par

le

terme

27

I
La figure

1.10 rsume Ie principe

de Ia modulation-dmodulation

synchrone.

x(t) : elgnal
de mesure

F i g u r e 1 .1 0 : P ri n ci p e

L a tra n sl a ti o n

signar non bruit

Le filtrage
d'un filtre

par cos(2rfot),

autour de fo est

r su rta t

synchr one.

en multipliant

re

crest la moduration.

raris

passe-bas) re produit

m o y e n n e d u si g n a l

ra fr quenee fo se fait

f o p a r c o s ( Z n f ot + 0 ) ,
Le

d e la nodulation- dnodulation

en intgrant

( I,aide

du signar de mesure nodur

crest Ia duoduration synchrone.

se ra
u ti l e .

d i rectenent

pr opor tionnel

ra

var e ur

2B

- Remarques sur
Le

la mthode de modulation

signal

de

monochromatique;

frquence
Il

peut tre
ans,

sinusoidaux

en oeuvre

Des signaux

grce

employa alors

aux

Ie

pas

n'est

il

tait

difficile

soit

de

rectangulaires,
servaient

de raliser

stables

analogiques

terme de dtection

qu'i1

utilis.

suffisamment

relais,

obtigatoirement

pourvu

signal,

pas de nurtiprieurs

dmoduration.

autre

ou quarante

gnrateurs

disposait

tout

fondamentale fo,

y a trente

des

modulation

et dmodulation:

et

assez prcis
plus

Ia

facires

on

ne

pour

la

nettre

dmodulation;

on

synchrone.
t.

, I

spectroscopie

En DLTS, Ia modulation
en multipliant
priodique

DLTS.

par

celui-ci

(de priode

du signal

d e m e s u r e l g 5 g , ,f a t t

une sinusoide,

mais

'en'le

",en-dant
.
:,
..:.,1.
,._...,11;,

T n= L / f o ) ,

avec

un

dmodulatlon,
signal

elle

rectangulaire

':
1,.
;1r',,.',

est

ralise
de

par

priode

.'a.

nultipli.ction
'(dection
Ta
't':'
'

synchrone ) .

prtode
x(t)Oe
x(t)
de prlode
TT.

o
Figure

1.11:

Schma synoptique
synchrone appliqu

.j,.::a.

i1.,

Quant Ia

pas

r' j r.

du procd de dtection
Ia spectroscopie
DLTS

'
't

29

I
A chaque temprature

du signal
du

DLTS nous

donne,

composante (quation

'.0(

cas

menant

dvelopps dans I'annexe

A.

L'exploitation

des

spectres,

caractristiques

des

synchrone pour la

et

pour

(L.ZZ)
.

sera

spectroscopie
L.24]

date

les

dvoire, r.tau,

'
de ' I dtc,,t+ :,o+

errones

du signal

afin

utillsation

. , .

par
,de

signal
d'annuler

du signal

ra

suire

'i'a

corrlation)

I'influence

de mesure dans Ie carcur

exempre l'allure

DLTS.
pres.rrt

en dtection

subi

des parties

du signal

de corrtation

'':

de corrlation

: i - - '

riE"'.du'

dansnotredispositifexprimenta1(fie.1.12).

Signal

:,.

des nLveaux profonds ,pa'f'.:,L';t;,rl

de Lgt6.

(ou

dnodulation

l.L2:

sont
.:
:

..i,.:

modifications

Figure

une

(L.ZZ,)

dterminer

profonds,

niveaux

L a pr em ir e

quelques

par

err3ic=2.SL/T.
( L.2L )

relations

(1. 21)

['

aux

voici

modIe

'))'

",'

Les

de

d'un

analytique

suivant:

sera obtenu pour:

signar

Ie

Le maximumdu spectre
calculs

donc fonction

1. L4. Le calcul

-"

2NOnTm

KTMMERLTNG
lrf .

DLTS sera

1. 13) , 1e rsultat

p a r a g r a p h e su i va n t.

signal

dans

co Nr
Yr-

le

donn par 1'quation

utile

signal

T,

synchrone.

30

t'tl(t)=0 entre
ne peut

tre

dans le

calcul

tension

est

du signal

T^/2

appliqu

galement trs
L'expression

Tgo pour que re dbut du transitoire,

mesur prcisementr

W(t1=g entre

0 et

et

rr soit

du signal

pris

en

compe

de corrlation.
Tv/2+Tgo car

en DDLTS, Ia

perturbe

pas

eui

cet

si

un deuxime pulse

mesure de Ia

capacit

de
sera

endroit.

de corrlation

est

alors:

coNt

y-a

2NO

enTm

r,n)",.{[:#*)(,.
[".o(-",,
O

..

L e m i n i m u m d u sp e ctre co rrespond une vl- tesse ai' ntlsion,

n - p L c = 2 .2 7 /T t

des caluls).

,:1 ,
, '

: ,,',',

,.,
t'
de ueere , ,donrie':,
_

En pratique,

le

= 2-L7/Tr

de Tgo est

, ,' .,(1.2S

l o re q u e Tgo = T.120

(cf . ANNEXE
A pour Ie dtail

e"jic

2exp(-",,
r*))J] ,i;ti"

concepteur
c qui

suprieure

de

I'appareil

tend montrer

Tr/2O

''

_ 'ttttt

".

que la vrltable
" " f '

31

I
Un schma synoptique

sur la figure

du dispositif

exprimental

1.13.

o
Figure

1.13:

Dispositif

exprimental

par dtection

synchrone.

de DLTS

est

prsent

32

I
L'appareil

de

mesure DLTS (DLS-92)

commercialis

par

Material

gnrateur

un

variable

entre

-20V),

Ia

largeur

vr

allant

des impursions

de Ia capacit

L'acquisition

Les

tant

rapLde

de

tension

(vr minimar tant

de O.2S Hz 2.5
comprise entre

gar

KHz, la

r00 ns et

1 MHz mesurant

des c a p a c i t s

mesure en DLTS.

et

cryostats

entre

re

77

ce

et

bain
450K.

rapport

grce

cryostat

DLTS qui

mthodes

dt azote
La

nous

r.B.M.

fait

via

le

de type x.T.

permettent

tenprature

exprimental
signar

pour

au

compatibre

se

est

de

bus

travailler

mesure

,rn

n"rt

Chromel -Alume I

conmodit

optique

sockage des mesures

dispositif

meilleur

mesure

synchrone.

par un ordinateur

thermocouple

( surssE )

maximales de 1000 pF, avec un temps de rponse de 5 ps.

'..
- Un eystme de conpensat,Lon de Ia
composante continue

r.E.E.E.

corporation

priodiques

yr+zo volts

et

frquence

- Une dtectton

d'Lnpulsions

- Un capacLutre

Development

( H O N G R T E )e t

50 ms.

semitrap

comprend:
-

de

le

sur

balayage

bain

est

et

nous

temprature

d'azote.

progranmabre

spectroscopiques
(ODLTS),,..)

bruit
en

permet

nous

annexes

donne
de

En outre,
r . E. E. E.

pas.

un

plus

de

l'chantirron
r,appareil

nous

( CCDLTS,

que nous ne dcrirons

d'obtenir

offre

de
des

Spectroscopie

33

o
3.3)

Mthodes dranalvse
La

spectroscopie

connatre

de

fonction

de T pour

par

sont

3.3.1)

obtenu

spectre.

donne

de l'analyse

Ia

est

par

d'un spectre
vitesse

dire
o,

couramment

nthodes
rapide

car

Irfs.
elles

la mthode de Lang consiste

DLTS le

d'mission

(e"lricrTmax),

couple

correspondant

la

du spectre.

donne par

(1.18)

l'quation

mthode de Lang

(cf.

3.2.2) .

En relevant

n spectres

pour

diffrents

fonction

de corrlati-on

( les

temps tr

Lang, et

Tn pour le procd de dtection

utilise

A partir

d'Arrhnius : ln( e" /T2 ) = f

pour un spectre

paragraphe

(paragraphe

lorsquron

(e"3icrTmax).

plus

de LANG.

(L.24)

droite

en

de capture

de Lang est

Dfautres

1rquation

n couples

spectres.

seul

Ia

en

est

c'est

efficace

La nthode

les

Tmax drun pic

avec

section

Ia mesure d'un

de chaque pic

temprature

la

analyse

tant

de

de volume

piges,

des

une

Cette vitesse

relation.

Mt.hode d'analvse

en-;pic

de variation

permettent

Le principe
tirer

Ea et

analyser

I.2L,L.25,I.261
ncessitent

loi

profonds

caractristiques

de cette

employe pour

n des piges

d'mission

La

des niveaux

d'activation

tirs

T.

pour

utilise

1.6.

paramtres

1'nergie

de la vitesse

temprature

Ia relation

Les

la

DLTS.

principalement

DLTS est

l'volution

fonction

des spectres

la

3.2.1)

dtection

paramtres
et

tz pour

(L/Tl .

par

synchrone

donns
la nthode

synchrone),

de ces valeurs,

et

la
de

on obtient
oo trace

Ia

34

D'aprs

1'quation

obtenue

sera

valeur

cette

fonction

efficace

de capture

d'Arrhnius

Ia

pente

d'activation

de

Ia

droite
que la

Ea et

nous permettra

de calculer

la

o.

est

un nombre Iev

une droite

que

voit

1'origine

mthode d'analyse

ncessite

on

de l'nergie

de I'ordonne

section

1.6,

dans son principe

donc simple

DLTS pour pouvoir

de spectres

avec un bon coefficient

mais
tracer

de corrIation.

o
3.3.2)

Mthode de Le Bloa [rf.

Cette

mthode

d'Arrhnius.

Elre

corrlateur

contrairement

qu I un seur

ncessite

de

de

boxcar.
ce

I'analyse

DLTS pour

spectre

ne s'apprique

type

DLTS rsultant

1.211.

qu'aux

le

de

trac

spectres

L'expression

type

de
de

est

ne

ra droitepr

obtenus

analytlque

corrlateur

Lang

un

du slgnal

rnodifie

pour

devenir:
- exp(-y)]

Y=Am [exp(-y/xl

a
En normalisant
une f o n c t i o n

avec:

x=

Y par

rapport

e(T)

qui

tT/tL

et

I'amplitude

y=en

maximaler

I
Iv)\ - e x p ( - y ). ' l
lexpl |

[ . J"*\-"[--r))
En

rsolvant

fac ilement
n=

oD obtint

tz

s,crit:

(1.2,5)

f(T)

numriquement
partir

pour tous les

0n arrive

ainsi

racer une droite

des

mesures

points

obtenir

0(T)=f(y)
DLTSI,

te(T)
on

t*,

lyl

tant
peut

obtenu

dterminer

du spectre.
un nombre important

d'Arrhnius.

de points

pour

35

a
mthodes prus

D'autres

Ie

mmeprincipe

d'un

seul

trs

rsultats

bruit

Ce type

important,

plus

venons

des

des

obtient

des

en raison

de prusieurs

d'un

niveaux

plusieurs

anomalies

spectres
sera

pics.

de certains

sIinspirant

pour

spectres

Une

des deux mt.hodes

au parag'r"phe

dveloppe

3 du

4 lcoNcrusloN
nous ont permis

aans

". "tpii i o"

de manlre

de mesurer bon nombre de spectres

chevauchement
temprature.

e xpr imentaux pr esentes

ce p e n d a nt de nonbr eux spectr es n I ont pu' ;:,tr e

- tft' - '
e n ra i so n
de mesur es
br uites
ou' ;6r .;tt

s a t i s f a i sa n te

rsorution

de

plusieurs

Pour augmenter
spectrale,

envisages.

srie

transitoires

de

temprature

exploiter

constante.

avec des fonctions

pics
Ie

d'autres

Les nthodes

consistent

nos rsultats

prsence

donne

on

(L.24)

que

2.

i n t e r p r t s

partir

DLTS, bien

thorique,

1'quation

les

d'|exposer

L es d i sp o si ti fs

utilisent

d'Arrhnius

pratique

lorsqu'en
par

r.26]

du signal

vue

d'enregistrer

facilement

mthode d'anaryse

chapitre

de

ou de Ia

prfrable

est

que nous

d'analyse

mdiocres

non modlisabres

trop

une droite

point

d'un

assez

dtecter

obtenir

L.25 et

Irfs.

rapprochs.
r1

spectre.

attrayante

spectres

pour

rcentes

les
de

dans

rapport

Ia

signal

mme plage
sur

bruit

et

mthodes spectroscopiques
isothermes

informations
capacit

Des techniques

nous permettant

partie;

en font

sont

mesurs

d'accrotre

ont galement t dveloppes.

Ia

Ia

erres

dans

de corrIation

ont

contenues
qui

'de

une

numrique

prcision

de

36

REF-ERENGES

o
1.1:

D.V. LANG, J.

L.2:

A . V A P A I L L E , R . C A S T A G N ED
, ispositifs
intgrs

O
1.3:

LONG, PROC. of the

F. LrrrY,
niveaux

1.5:

et

circuits

( B O R D A S ,P A R I S , 1 9 g O )

c.L.

lst

Conf.

on Semi-Ins.

III-V

N o t t i n g h a m ( 1 9 8 0) .
contribution

profonds

spectroscopie

45, 3OZ3 (I924)

semiconducteurs,

Materials,
1.4:

Phys.

R . Z U C C A , B . M . W E L C H ,P . M . A S B E C K , R . C . E D E N e t
S.I.

Appl.

ra caractrisation

dans I,Arsniure

capacitive,

optique

des

de Gall_ium par
'

THESE, LYON (f982).

MILLER, D.V. LANGet L.C.

K I M M E R L I N G ,A n n . : R e-v i ;
l,

Mater . Sci . 7 , 377 (L977') .

l'",

.,,:.i ,t,...:.

,',

,: .'':.::..,...:..'
,
47, t+O6l (19?6)r,
.

l :

1.6:

C . H . H E N R Ye t

AppI.

phys.
:.

L.7t

D.V LANG, R.L.

ibid , 47 ,

P . D D A P K U S ,J .

1.8:

J.M.

H A R T M A Ne t

4986 ( 1976) .

D U M A S ,c o n t r i b u t i o n

NE. SCHLIT{AKER,
,,
t

, ,

.r.,.,:j.i .:t::.i.

',.,,-,',;1.;r,:,,
' . . , ; :;..' , . ' ::, ;

1'it,ude des mcanismes de,,-,,.,,

dgradation

du transistor

de GaIIium,

THESE, LYON (1985).

effet

de champ sur Arsniure

';' :
'"

1.9:

A. VAN DER ZIEL, Thermal noise

transistors,

1.10:

Proc.

A. vAN DER zrEL,

at moderately

in

field

effect

IRE, 1808 (1962).

Gate noise

in

high frequencies,

fierd
proc.

effect

IEEE, 461 (1963).

1.11: W. SHOCKLEY
et tJ.T. READ, Phys. Rev. Bt,

853 (1953).

(1951) 288i 87,352

1.12:

R.N HALL, Phys. Rev. 83,

1.13:

H. MATHIEU, Physique des semi-conducteurs

L.L4:

transistors

(1952).

et des

composants lectroniques,

( M A S S O N ,P A R I S , 1 9 9 0 ) .

C.T. SAH, L.

R O S I E Re t A . F .

So1id State

F O R B E S ,L . L .
Electronics

13, 759 (1970).

Jr TASH,

"

37

1.15:

C.T.

S A H , W . I / C H A N , H . S .

Appl.

Phys. Lett.

FU et J.l^I. VJALKER,

2O, 193 (L972).

1 . 1 6 : L . R . I ^ J E I S S B E ReGt H . S H A D E ,
J.

AppI.

Phys. 39, 5149 (1968).

1.17:

M . S C H U L Ze t E . K L A U S M A N NA, p p l .

1.18:

P. MrNoNDo, Effets

parasites

semi-isolant.

18, 169 (1979\.

des transistors

champ (T.E.c. ) sur arsniure

phys.

effets

de

de garrium dus au substrat

Thse de 3 cycle,

Toulouse (19g3).

I . . 1 9 : C . R . C R O T , E LeLt S . A L . I P A N A H I ,
Solid

State

Electronics

L.2O: G.L. MILLER, J.V.

J.

Appl.

Phys.

24, ZS (lg8l).

.,.

RAMIREZ,D.A.H. ROBINSON,

46(6),

',,'.'''-':rrr

(1975).

2638

1.21: A. LE BLOA,Mthodes d,analyse des signaux

m u rti e xp o n e n ti e l s

utiliss

' '

en spectr oscopie lectr ique

profonds dans les seml,-cona,r"teui;i,

,'-i'.ij.i:,,
'''
Jrr,.'!';,:i.."1,r.r

des dfauts

,| ,'. ,'

. -:,

A p p ri ca ti o n

silicium.

a u Ga As inplant

en oxygne ou er ,.o*vgn' t

T H E S E D , E T A T , R E N N E S( 1 9 8 6 ) .

t
:' .'

L.222 J.

"'lii

.,, ..,,.1;1.: ', t . ..t li, ';,. i

,,

:: l

MAK, Mthodes et

techniques

de traltement

"

applications

L.24:

L.C.

L.26:

phys.

ri:'l:

''.:,

LZ, 45 (Le77l.

KIMMERLING,
Trans.

Nucl.

Sci.

s u e t J . l d F A R M E R ,J .

C.A.B.

NS_23, L497 (1976).

Appr.

phys. 68 (B),

BALL et A.B. CONIBEAR,

Rec. Sci.

:
,,,;,...r.: .

'

H . L E F E V R Ee t M . S C H U L Z , A p p l .

L.252 z.

''

,,

:'.'.1',1-i1';',:;',

PARIS, 1989.

1.23:

I.E.E.E.

aux mesures physiques,

( M A S S O N4 e d i t i o n ,

Instrum.

62( 11),

283I ( 199f )

'

flu stgs!:.,
i.;

et

'.'fia.-'l';'
::

4068 (1990)

38

GFIAPITR.E

o
METHODES
ISOTHEru1E
METHODES
DE CORREI.A

o
1) prsPoslllFs

DE MESUREpU IRANSTTOrRE ET TRATTE!{ENT

PRBLIUINAIRE DES DONNEES

Afin

de

dvelopper

performantes

que

exprimentaux

La carte
numriser

celles

dcrits

1'acquisition
constante)

des
a t

La

gains

rglables

biporaire
O.244 et
Cette

prcdent,
(

capacit

temprature

tension
par

a t

pour

choisie

analogl-que

sur

Lz

d'entre

switch

maximale est

sont

Ia

par

bits

de

rsolution

de +/-

0. 5,
est

approximatLons

1,

2,

lO V; Ies
5,

10,V en

donc comprise

entre

4.88 nVrzbit.

ilacquisition

de +1oC.

dispositifs

chapitre

de

DLTS prus

(100 kHz)

Ieve
fait

t
d'un

programmSg en
maximum de

La temprature

mesure de transitoire,

Ie

les

E1Ie permet une conversion

ou uniporaire;

carte

capacit.

par

DAS-16F de Mtrabyte

se

Ia

mesures

envisage.

les mesures.

successives;

de

offertes
dans

d'acquisition

conversion

techniques

transitoires

numrique frquence

des

est
la

Turbo-Pascal

1000 points

maintenue

prcision

du

constante

sur

la

pour

permettre

transitoire
durant

temprature

de

chaque
tant

o
39

I
Les principaux

paramtres

La

frquence

1'tendue

le

but

gnral,

est

de

diverses

le

Ia sensibilit

de Ia carte

(gale

(en pF)

au

points

devra

rptes

re

nombre de

rester

carte

n fois

afin

pour

peuvent

tre

sera

stock

les

entre

T./2o

T./2

T-/2o
ces
des

traitement

DLTS de

suLA

Cependant,

sont

fichiers

ceux compris

mesurs.0n
points,

diffrents
de

le

transitoire
Tech.
bruit

est
est

transitoires

produits

par

mesure dans

Iaquelle

on

picofarad).

pas

mesure

points

les

c
et

est

entre

donc

qui

du
T-/2

amen

alourdit

introduit

un

le

facteur

supplmentaire.
1e

contre

ne

des

deux systmes de

transitoire

et

une

un

prsenter.

mesurs sur

0 et

dans

par

trait

de mesure DLS-82,

situs

( en

bruit

par ^/n.

tre

DLTS que nous allons

sur

n moyennant n fois

mesur

ensuite

moyennes, ceci

signal

S/B sera multipli

AScrr

infrieure

d'tre

En effetr

.J-e transitoire

sur

d'acquisition).

rapport

de 100).

10 V)

du capacimtre

I I appareil

Par

( 0.5, I,2,5,

techniques

d' incertitude

le gain

rapport

type

extraporer

mesures DLTS. sur

et

de mesure ( < l0O0 )

voisin

Les transitoires

le nombre de points

de mesure (en ms)

maximale de la

moyennage,

fichier

d'accrotre

les mesures,
Aprs

l'tendue

mesure)

de

Les mesures seront

dans

d'acquisition

100 k}Jz (vitesse

demands par le programme sont:

que

dlivre

reproduit
souvent

travaille

dans

plus

I'appareil

Ie

systme
son

de mesure

intgralit.

important

que

sur

DLs-82 dans

la

plage

de

(autour

du

habituellement

les

40

t
Outre

le

derniers

est

d'appliquer
De

multiples

un

Irf.

pour

est

ont

obtenir

des

1'approximation

bien

testes
filtrage

du transitoire
(8

lev

gnral)

en

2.2].

Irf.

des polynmes orthogonaux

d'utiliser

systmes

ces

avant

points,

Tchebychev d'ordre

indispensable

conditionns

lorsque

Ie

degr

du polynme dpasse 3.
Le

choix

du

degr

du

porynme

constante

de temps du transitoire.

de temps,

re

meilleurs

rsultats,

variable

fait

que

polynmes

en

fonction

Pour de faibles

pour

d'ordre

des

d'ordre

de

la

constantes

rev

constantes

infrieur

donne de
'de'
temps
plus

sont

2.L).

polynne

de

y comprise

de rcurrence

se

des polynnes

alors

des

adquats (fig.
Le

par

lissage

importantes,

lissage

sur

de choisir

de

de

indispensable)

ou des polynmes pseudo-orthogonaux

2.L]
I1

de

parabolique

polynme

Iissage

de mesures DLTS.

techniques

) avant

uo

(voire

souhaitable

(approximation

par

transitoires,

une des techniques

numrique,...

moyennage des

Tchebychev
entre

-1

et

de

degr

+1,

est

n,

pour

dfini

donn par

la

une

reLation

suivante:

To(y)=2yTa-r(y)

t"-z(y)

( 2.1)
Tr(V) = y

To(y) = 1

et

a
Les
variable

valeurs
partir

plus

rapide

d'quations

seront

des instants

obtenues

puisqu'iI

linaires

n'y

par

changement

de

de mesure des transitoires.

des polynmes pseudo-orthogonaux

Le calcur
et

de

pas

ventuellement

est

moins compliqu

rsoudre

des

mal conditionns.

systmes

0 . 1 4r
I
I

0.05

avant lialege

0 . 1 2F
I
i

apra ll.r.g.

o.o4i-

I
I

0.11I

I
^ 0.o8t-

0.03 |

l!i

ci
cLl
o

crl

- 0.06F
I

to.orf
i
I

0.04l-

0.01

0.o2
Degr de polynme ' 3

Degr de Polynme' 3
0

0.16

o.1

0.1

t (s)

t (s)

0.1.1

o
o.t2
0.1

A0.08
IL

g
o o.oe

0.0'l

0.02

Degr de PolYnme'12

0
0'05

0.r5

0.1

t (s)

0.1

0.16

de temPs
ayant une constante
p
o
l
y
n

me de degr
p
a
r
u
n
q
u
i
l
i
s
s

e
s
t
leve
polynne
de
par
un
liss
tiansitoire
mroe
b)
degr L2

F i g u r e 2 . L : a) transitoire

constante de
ayant une faible
transioire
polynme
de
degr 3
par
un
liss
temps
polynne
de
par
un
liss
transit,oire
nn
d)
!
2
degr

c)

0.2

r (s)

4t

a
f(t)

Soit

capacit

polynomiale

forme

Ia

f (t)

S(t,T);

r(t) - boPo(x)*

approximant

1e transitoire

de

s'crit:
'' + !tPt(x)

brPr(x)+...

avec

o
r0

f-

i
(- r)
i=0

Prr(x) -

dt =

et

tr)
("

- ti-t

ti

')

*(
(N - 1) (i)

; n = 0r1r... ,L
N = nombre

de

nointl dy r_r3nsjtoire

x(i) - x (x - 1)... (x - i * 1)

kl

y(k) Pn(k)

L
bn- --fu

L pn2(k)
k-0

Lf
tout

transitoire

du polynne

de Ia
ordre

de

polynmes

Ia

gal

prcision

obtenus
de

sr

par

des

Tchebychev

En pratique,

14

limite

sans
des

pour

constante.

Le degr

oD ne peut

fausser
calculs

les

excder
calculs

sensiblement

numriques.

polynmes pseudo orthogonaux

sont

lisser

au nombre de points

infrieur

dpendent que du degr du polynme.

applicable

frquence

rester

exprimentale.

polynme

de

lissages

bien

est

ci-dessus

chantillonn

doit

courbe

raison

prsent

algorithme

identiques

et
et

un
n
Les
les
ne

42

I
2l ITIETHODESISOTHERI,IES
les

Toutes

qui

consiste

pour

plusieurs

principe
relevs

mthodes

reposent

isothermes

extraire

d'une

tempratures

sur

srie

les

Ie

mme

de transitoires

diffrentes

constantes

de temps.

L'analyse
isotherme
suffit

des

transitoires

de

prsente

lravantage

d'tre

quelques

de

tempratures

mesures

qui

comportera

donc

les

pour

autant

une mthode

En

rapide.

effet,

releves

transitoires

judicieusement

choisies

d'Arrhnius

de

par

capacit

obtenir

de

i1

une

des

droite

points

que

en

temprature

de

transitoires.

On

vite

DLTS

en

effectus

multiples

lorsquton

balayages

travaille

systme.,'de

le

avec

'

'

DLS-82 ou celui

nesures

mesures

les

Si

pour

ncessaires
transitoire

- I

: : j : : : -

constantes

de

longs

les
temps

suivant

cgleuls

,
de

la

'chaque
m"thode

l,
Ie

ncessitant

tenps

de calcul

de Fourier

le

plus

des transitoires

court

sont

de capacit

I rf . 2.3 , 2.4] .
cette

contrepartie,

rsolution

spectrale
d'nergie

niveaux

multiexponentiels
les

utilisant
transforme
prise

de

intervalles

rapidement,

relativement

: -

utilise.

En

des

extraire

les mthodes d'analyse

plus

font

se

sont

Les mthodes

de SULA Tech.

qui
trop

Irf.
FFT

est

de Fourier

-@

+to; or

rapidit

mne

une

assez

mauvaise

ne nous permet pas de dconvoluer

proches
2.3),

dans

La mise

galement
correspond
nos

de dure finie.

Ie

cas

en oeuvre

assez

dlicate

au rsultat

transitoires

de

sont

des

transitoires
des mthodes
puisque

d'une
mesurs

la

intgrale
sur

des

43

I
La spectroscopie

2.5,

[rfs.
la

plus

Le

2.6,

2.71

utilise

Bloa

de Fourier

(Isothermal

est

sans nul

car

e1le

2.8]

[rf.

multiexponentiels

ITS

par

dans le

aux mthodes spectrales

similaires

capacit

de

ou moins

mthode isotherme

rapidit

fait

I'analyse

d'amriorer
habituelles.

Spectroscopy)

prcision.

et
de

I'aide

ra

rsolution

de

signaux

transformes
par

Les spectres

rapport

obtenus

sont

ceux obtenus en ITS.

sont
par

moindres

manire

la

concilie
a

Les mthodes isothermes

carcul

doute

dconvolution

but

Transient

les

mthodes

une expression
carrs

itrative
rapidement

et

non

approximant
analytique

linaires.

convergent
suivant

Ie plus

ncessitant

le

vers
type

les

transitoires

1'aide

Les

calculs

la

solution

d'argorithme

dedpartde1afonctionuti1isepour1'approximation

grand temps de
de

d,argorithmes
se

font

finle
et

Ia

de

:plus
valeur

44

I
2.L,

Spectroscopie

ITS

- Principe:
Les spectres
1'quation

rrs

sont

obtenus facilement

partir

de

2.2:

dc(r)

(2.21

Yr=t

dr
ds(r,,T)

=t

adt
que Ie

sachant
dans le
O

cas

donn par

d'un

transitoire

seul

de capacit
profond

niveau

la

(pige

temprature

lectrons)

T
est

:
= AD (1 - exP(-en t))

S(t'T)

onendduitI|expressionIittra1edusigna1ITs
yr

= A,D ea t exp(-ea

t)
''

= AD x exp(-x)
si
O

x exp(-x)

courbe reprsente
sur cette

figure

En traant

le

Pic

de

vitesse

on trace

ce

figure

spectre

d'mission

en fonction
2.2.

de ln(x),

L'abscisse

du pic

on obtient

la

appralssant

: x = 1.

est

spectre

avec x = ea t

IlS

nous

en fonction
donnera

(e" ) la

du temps,

directement

temprature

T.

l,abscisse

I I inverse

de

du
la

o.4

o
o.3
ID

xI
o

a.
x

o o.z
x
l

o.1
o

-2.5

-5

2.5

In(x)

Figure

2.2

: Reprsentation du signal ITS (Yr )

dex=nt
donn en fonction
maximumest : 1n(1)
I
'
a
b
s
c
i
s
s
e
d
u
dont

45

I
Cette

profonds

niveaux

de mesure a t

technique

d'interface

mais
2.6,

Irfs.

distribution

2.7]

les

dans

d'interface

d'tats

pour

galement

pour

utilise

I'tude

1'tude
des

dfauts

M.I.S.

structures

donne par

est

des

La

relation

la

suivante:

ts

*r, (r*) o

ND

2Ci

(2.3)

Y .r

kr

avec

E* = Ec - kr m(xn o T2 tmax)

et

tmax = abscisse du signal lcTs(tt)

donc qu'il

On voit

dr interface

drtats

est

possible

partir

La distributLon

d'obtenir

d'un

seul

transitoire

de

dveloppes

dans

capacit.

de la

Des variantes
le

de

but

rduire
la

d'amliorer

la

mthode ITS

largeur

rsolution

mi-hauteur

spectrale

Irf.

o
Si on reprsente
ln(t),

le

hauteur

pic

aura

en plus

Par exemple,

La

pour

abscisse

(fig.

Irordre

z Yz = ta

des pics

et

donc

2.91.

d 2 s( r , T )

dt2
t=Z/en et

en fonction
sa largeur

de
ml-

2.3).

de

drivation,

on obtient

des

pics

de

fins.
si

on calu1e

Ys = t3

d 3s ( r , T )
, Ia

largeur

dt3
mi-hauteur

signal

sera rduite

En augmentant
plus

le

ont

ne sera plus

contrepartie

spectrale

que de 1.3.

d'une

sera ttne baisse

teIIe

augmentation

importante

de

du rapport

Ia
S/8.

rsolution

a
o

o.6

o.5

^. o.4

xI

ct
I

*o o.g

x
T

f
o.2

o.1

-2.5

-5

2.5

In(x)

o
/

Figure

2.3

: Reprsentation du signal ITS (Y2)

donn en fonction
de x = n t
dont I'abscisse
d u m a x i m u me s t : l n ( 2 )

o
46

I
Dans le

but

variantes

d'amliorer

tendant

obtenus par
donne par
La

vers

la

le

des spectres,

signal

- S(t

tLt2,Tl
1,

s/B

on obtient

2.4

les

que ceux

mmes spectres

du pic

L,abscisse

un

sera

(2.s)

spectre

ITS

par

obtenu

2.4 avec r = 20 et en considrant

rapport

signal

malheureusement,

la

S(t'T)=(1

-exp(-x))

sur

va

bruit

largeur

at|eCl(=eqt

croitre

mi-hauteur

Rcemrnent, un
lrf . 2.11I.

nouveau

type

Sa formulation

de
est

spectre

augmentera

ITS

' de

fonct:lon

en

t
'

la suLVante i

r,

galement.

:. :.. r.

(2.4,

Ln(r)

, /

1 (r-1)

rt/z

reprsente

ITS diffremment

r-1t2,Tl

mthode ITS classique.

figure

d'autres

t proposes.

formula

tnax = en-1 ln(rl

l'quation

Le

2.10]

= ( S(t

Y +( t , T )

rapport

de la mthode ITS ont

Minondo Irf.

Pour r

le

,,,,1',._i

dvelopp
.' I

'' "

i : ' ' ' . , j . - . - . ' ] ' ' ] , : ! . ' ! j j ' J J : ' ' ' l : : : - . : : - ] 1 ] . . :

..i

Ys - ^ s(,,t*)-

s(t,tz)-

s(r,rr)

(2.6)

l
i

I
'I'F

avec :

-*

'1

tL-

T'

t2

'2
+ J

I
i

,'

0.3

o,25

1 0.2
(U
-:
v

'\

o.15
I

0.1
\
\

o.o5

-5

-2,5

o
In(x)

F i g u r e 2 . 4 : Reprsentation du signal ITs (Yr )

donn eR fonctlon
de x = n t , p o u r

r=20

o
47

D
Les spectres

grce

obtenus

Ys donnent un pic

en

en2

nl

tm

(2.7)

en2 - enl

o:

F(x)

tm

K n o 11 rz

F(x) -

avec

ua

J(r-"TtGr--il
/

ce

cas,

pour obtenir

Une

mthodes ITS est

de lrune

sur

bruit

signal

sur

qualitative

et

ou
la

bruit

Tz )

f(x)

tend
de

droite

fonction

en

vers

1.

rgression
de

1000/T*

des diffrentes

l'autre
largeur
ne

peut

des

chiffre

suivant.

qui

deux facteurs
sont

ca1cul,

des mthodes ITS peut tre

le

influencent
rapport

des pics.

mi-hauteur

tre

diffrentes

mthodes ITS

des nthqdes

dcrotre

fait

I'on

dans Ie paragraphe

De mme quren DLTS, les

choix

comparaison

dveloppe

- Caractristiques

Tr

une

augmente lorsque

spectrale

Tz-Tr .

( t'

faibles,

ITS.

signaux

autres

o.

Ea et

La rsolution
1'cart

que les

calculer

ln

courbe

tttJ

suffisamment

pourra

on

Ia

approximant

Tz-Tr

Pour des carts

Dans

'r)

Ys a la mme allure

Ce spectre

(+

x - !a l l
k
[tt

et

""e( KT

mais

faite.

Le

Ie

signal
rapport

une comparaison

48

* Rsolution

spectrale

En DLTS, la

rsolution

minimal

entre

possible

:
spectrale

deux nergies

de sparer

est

d'activation

deux pics

sur

les

par E:

dfinie

au del duquel

I,cart
iI

est

spectres.

si ^ E - E2 - El

avece n2 = Kn o 2 rt

: vitesse

".o[ I-+)

d'mission relative

E 2 pour une temprature T.

o(
en1 - Kn o,

et

12 expf \

tt)
: vitesse d'mlssion relative

kr )

oz = ol r gq calcule

E n considr[t
^ E - E^ - E'
1L

o
E=k

'['"[

a E - kr
La

(rn("r,r)-ln(",,2))

mi-hauteur

la

ITS

distance

les

vitesse

l'abscisse
pics

des

pics

de

correspondra

spectres

DLTS tracs

1a

en

de

ln(en).
En ITS,

I n ( e n r ) -ln( er,z )

diffrence

spectres
d'mission
du spectre.

sont
n

relevs
ne

varie

On considre

de mme amplitude,
gale Ia largeur

ils

temprature
donc

pas

en

constante

et

fonction

de

que pour diffrencier

doivent

mi-hauteur

tre

spars

des pics.(fig.

deux
d'une
2.5)

o
0.5
signal a+signal b

signal a
signal b

o
0.4

o
F

x
=
(s

0.3

.9
o

0,2

0.1

o
0

-3

-6

ln (t)

-2

Figure

2.5:

Reprsentation de deux signaux ITS (a et b)

dcals de Ia largeur mi-hauteur'
que de la somme de ces deux signaux
ainsi

49

o
La rsolution

Pour

les

=kT

(r"(,, )

=kr

(Iargeu

signaux

dpend pas de la
Voiei

Ies

Yr

la

formule

2.9 z

(2.9)

mi - hauteur des pics ITS)

,Yz

,Yl

cette

largeur

T laquelle

rsolutions

mi-hauteur

se font

spectrales

ne

res mesures.

calcules

yr ) : El -

(signal

ITS "classique"

2.446 kT

d2s(t,T)

Yr = t8

signal

r"(t, ))

temprature

diverses

- mthode

donc galement par

(r" (" ,r, - r"("r,r))

^E-KT

se dfinit

s AB2 = 1.697 kT
dt2

- signal

: - . e 3 l . s ? 7 , h T

dt3
La figure

2.6

prsente

cas particulier.

d ss ( r , T )

Ys = tt

donne

des

fonction

la

de yr ryz

superposition

Le signal

spectres
de

la

Yr(t,T)

dont

ra

rargeur

r.

voici

variable

par

calcul

et yc
la

formule

2.4

varie

en

mi-hauteur

un

tableau

dans':un

donnant

les

rso1utionsspectra1espourdiffrentesva1eursder:

o
r
Er

1.5

2.4C 2.49

La figure

2.7

de Ia formule

10

15

20

2.57

2.65

2.79

2.92

3 .03

3 .27

3 .46

prsente

quatre

2.4 pour plusieurs

spectres
valeurs

rrs

1'aide

de r.

on constate

que les

largeurs

mi-hauteur

que pour

tendant

vers

on se rapproche

spectrale

obtenue avec la mthode classique

1,

calcurs

augmentent avec r et
de

Ia

rsolution

(2.446 kT).

o
Y1

t.2 |

Y2
Y3

a
F

x 0.8
qt

(U
,

ct)
'6
0.6
a

o
0
-4

-1

ln (x)

Figure

2.6

: Reprsentation des 3 signaux IlS:

en fonction
de X=nt

Yr,

Yr

0.4

o
0.3

(ti
t o.z
-l

o
0.1

-5

-2.5

In(x)

Figure 2.7 : Reprsentation

pour

diverses

de 4 signaux
valeurs
de r

ITS (Yr )

50

o
Les spectres
dont

la

de Ia

les

faiblement
vitesses

juger
la

les

, mais galement

d'mission

largeurs

d'mission

diminuent

croissent.

Le

de la

de 1'volution

mi-hauteur

des

rsolution

et

seront

spectres

lorsque

les

permet

de

en fonction

de

suivant

spectrale

entre

lgrement

tableau

S( t, Tz )

et

comprises

elles

variables,

S( t, Tr )

transitoires

vitesses

des

s- I :

100

que

telle

prsentent

Tz-Tr

diffrence

moyenne T*.

temprature
est

des pics

Ys prsentent

du signal

dpend de la

largeur

T*

Si

I'aide

obtenus

Tz-Tr .

diffrence

o
T = T z- T r
E/kT

2.448

2.453

2.460

2.470

2.480

o
* Rapport
I1

Sr/B

2.L2]

Irf.

impossible

est

comme I'a

fait

des

calculer

de

Crowell

figures

pour diverses

de

mrite

techniques

de

corrlation.

Les oprations
drivations;

effectues

sur

1'action

de

or

composantes haute

transitoires

driver

un

au dtriment

contiennent

signal

amplifie

des
les

des composantes basse

frquence.
Le

bruit

Ieve,

frquence

les

bruit

comportant
celles-ci

de frquence

des

seront

composantes
anplifies

relativement

par

basse

a1atoires
rapport

au

frquence
signal

non

51

t
En DLTS, o
pour

effet

bruit
Si

bien

1'on

oD pourra

prsents

dans le

En raison
mesure,

1'opration

Le calcul
ralis

en

drivant

lisss,

ou

en utilisant

Ia

qualit

qualit
Les

la

sur

amliore

quantifier

cet

ITS exprimentaux

ITS et

contenu
dcrite

des spectres
Les signaux

drivation

dans

autre

signal
I

de
est

ITS exploitables.
Yr,

Yz et
des

algorithme

dpendant

le

paragraphe

au

polynomiale

1'expression
tout

conclusLon:

Yt

peut lre

transitoires

de drivatlon;

prioritairement

de

la

du lissage.

signaux

faible
pour

de

du

spectroscopie

ne puisse

mthodes

lissage

pour

des drives

suivant

pour obtenir

indispensable

qu'on

important

de

signal

lorsqu'on

sur des spectres

dee dLverees
du bruit

de la

S/B diminue

Bien

chapitre

qui

frquences

donc un rapport

variantes

rpport

I'observer

- lttLse en oeuvre

diffrentes

speetrale.

hautes

de Ia nthoCe ITS.

celui

compare les

rsolution

effet,

suprieur

drintgrationr

composantes

La DLTS prsente

on remarque que le

ITS,
la

les

d'attnuer

de mesure.

signal

des oprations

effectue

largeur
que les

Yz et

Yr,

bien

mi-hauteur,
spectres

qutils
ont

donnent

des rapports

exprimentaux

soient

des pics
S/B trop

exploitables.

de trs
faibles

a
52

I
par Transforme de Fourier

2.2) Dconvolution

- Principe:
Le

mthode

la

de

but

les

de mesure

mathmatique multiexponentiel

temps

applique

La mthode a t

du signal

d'extraire
de

les

toutes

dconvoluer

de

constantes

diffrentes

des exponentielles.

est

c'est--dire

composantes du transitoire;
O

2.8.l

Irf.

amplitudes

et
pour

un modle

sinple

o
(2.10)
..-

rl

nrest

pas neessaire

pour pouvoir
exprimer

appliquer
S(t,T)

le

de connaitre
cette

sous la

'

r:-

conslse

rrr*."il{-.,

dr ',

I. ' ' ' . .

)

5i.' ..

lL/\

Ie

',.

f o r m e d ' u n produl :de conVolutLon.

i
/
rr

v e c s ( t ) -' 1 f . l -LLAmn i a ( r - t r )
oprer

.-^:r:jii

nrri,.rr,1ft_:it

de co&posantes

d.

On doit

t...

Ie principe

mthode dont

f(t) - J_-et*l e x p l - : L ) I
\

'

nombre

changement de variabla

t'

;,

.-

euivant:

t - ex

rC

re

r:

(x)

"*p(
t

- e x p ( x - < r) ) e x p ( n ) d a
a

tant Ie symbole du

produit de convolution

e(x) =

,^

- rr,(,r)) exp(x)
mi (*

o
h(x):

'
e(e )

exp("*p(-x))

.!

53

I
Les

OT

paramtres
g(x)

fonction

qui

Ami

et

tt

sont

reprsente

1a Transforme

mesure: f(e" ),

r:

H(w)

et

contenus

grce 1'quation

s'obtient

e ( x ) = F - ( F ( w )l H ( v l

F(w)

recherchs

h(x)e-rwx

r(i ,)

La

2.LLz
( 2.11)

de

dans

Fourier

du

signal

de

dx

: fonction

GAI{MA

o
g(x)

La fonction

inverse

Fourier

constitue

t]

rapport

d'appliquer

ces

transitoires

ne

puisque

sont

Fourier

mthodes
peuvent

mesure (de t=0 t=Tr),

et aux extrmits,

mises

au

point

dconvolution.

Les

de

faut

mesures.

qu'en

traitement
pouvoir

tr

de

et

est

et

les

et Arr.
sragit

Premirement.rl

,ro"

1rquatior,'2.10

croissantes

et

non

des

Transformes

de

sur

I'intervalle

de

dehors de cet
f(t)
du

intervalle

gale zro.
transitoire

appliquer

utilises

I(iw),

lorsquril

par

calcul

une fonction

deux plus

le paragraphe suivant.

il

pour

le

Transforme

abscisses

valeurs

numriquement

or ait

techniques

les

exponentielles

faire

sur

les

modliss

part,

la

apparaissent

nos

tre

des

se

F(w)

dont

problmes

Drautres

devant

Dirac

respectivement

plusieurs

ce

du
de

En pratieur

Plusieurs

(TF- )

donneront

dcroissantes.

i1

donc en prenant

raies

de

amplitudes

s'obtient

seront

Ia

ont
mthode

prsentes

t
de
dans

54

I
- Techniques

* Mthode
Pour
produit

un

de TSCHARNER

pouvoir

de Ia

signal

dconvoluer

ngligeable

transitoirer

(note

de f(t)

drive

Ie

aux

par

f'(t))

extrmits

oD
t

calcule

pour obtenir

I'intervalle

de

le

de

mesure.
En

raison

(2.11)
spectre

la

de

donnant
est

multiplication

Ie

spectre

donn par

F'(w)

tant

Une simulation
S(t,T)

= (1

est

f'(t)

exp(-t))

la

t,

Igrenent

= TF-(

F'(w),/f(l+ts)

Ia Transforme de Fourier
d'un

par

formule

modifie.

Ce

:
g(x)

e(x)

de

spectre

nous est

(2.L2,

de t.fr(t).

prsent

figure
;

..
2.8,pour
. .. ,, :,
:
,

0.5

o
0.4

a
0.3

x
o)
0.2

0.1

o
0

-20

-8

x= ln(t)

Figure

2.8

: Simulation d'un spectre de dconvolution

obtenu par la mthode de Tscharner
PourS(t,T)=1-exp(-t)

55

I
* Mthode
La

par

Transforme
rsoudre
f(x),

le

de Nicholson

Fourier

la

de

de la

Cette

Transforme

de

ig(x).

g(x)

sera

ensuite

somme

physique.

sur

I( L+iw) .

Transforme

la
Pour

de Fourier

appele rampe

= 0 aux bornes

sera

de

soustraite
pour

inverse

de
au

obtenLr

(1

- r(x)

prsente

est

( 2.13)

par sinple
sur

Ia

dr ivation

figure

de

2.9 pour

exp(-t))

- Conclusion

une bonne

ayant
soit

la

niveau
donner
drive

rsolution

technique
lourds,

relativement

F(w)

Fourier

obtenu

La mthode de dconvolution

une

prendre

faudra

rampe

= TF-(F(v)/f(l+tv))

Une simulation

S(t,T1=

est

ie(x):

Le spectre

il

+ r(x)

f(x)

avoir

Dirac)

ra1it

une rampe note r(x),

mesure.

de

de

de

reprsente

grande

g(x) ,

du calcul
f(x)

qui

plus

inverse

de manire

tg(x)

de

oD additionne

rsultat

intgrale

problme

I'intervalle

une

de

fonctions

ie(x)

prsentent
f

obtenir

(somme de

intgrale

son

qui

d'chelons

g(x)

fonction

remplace

Pour

de BALCOU

des rsultats.
un

meilleur

pas le

par

d'obtenir

contre,

imprcisions

transitoire

signal

de capacit.

les

peuvent

La mthode de Balcou
rapport

des spectres

( n lt 2.3

spectrale

utilise);
des

permet

sur

doit
bruit

kT

quelque

calculs

tant

apparatre

au

thoriquement
puisqu'on

ne

o
0.4

o
0.3

\/

ol

o.2

0.1

o
-20

x= ln(t)

o
Figure

2.9

: Simulation d'un spectre de dconvolution

obtenu par Ia mthode de Balcou
pourS(t,T;=1-exp(-t)

56

I
2.3)

Approximation

applicables

aux modles non-Iinaires

La

manire

vitesse(s)
mesure

du

pour

par

directe
une

temprature

de

capacit,

modIe

un

d'obtenir

( ou

Ia

partir

st

les )
de

la

d'approximer

mathmatique

en

ce

utilisant

un

des moindres carrs.

modles

exprimer

le

le plus

retenu

transitoire

algorithme
Plusieurs

plus

la

d'mission

transitoire

de capacit

par une mthode des moindres carrs

du transitoire

2.13,

Irfs.

transitoire

simple

2.L4,
de

drentre

2.15]

capacit

ont

proposs

S(t,T).

Nous avons

eux :

o
.Et

s ( r , T 1 - A nu - . I e t
lt.l I r

Le

choix

nombre

du

arbitrairement,
mthode.

est

de

ses

paramtres.

Une

prsentation

dans lrannexe

Les

principal

retenu
pour

problme

ceux-ci

non

linaires

algorithme

:fixe

type

de

diffrents
des

en

retenu

pour nos types

cet

ce

d'ajuster

nous avons

de

de

btr.'

prsent

permettent

doit

donnes

fonction

de

1'algorithme

de mesure.
est

prsente

B.

avantage

s'effectuant
doivent
de

donn par

des paramtres

relativement

qui

2.L6J

performant

initiaux

est

gros

fonctions

dtai1le

calculs

paramtres

qui

Parmi
Ie plus

de Marquardt,

plus

Irf.

des

'
.t,

':

-
. ' . : - . . ".' ,3. " ' l,t l ' f ; i . j ,

Ie

calcul
par

experimentales

'1

d'exponentielles,

Bevington

algorithmes

:':'

(2.1i)

I e x'p\ ( - e n i t )

tendue.

Ia
une

initiaux

manire

de
tre

mthode

choisis
de

convergence
situs

itrative,

arbitrairement.

calcul

que

rapide

de

dans une plage

nous

les
Le
avons

1'algorithme
de valeurs

o
57

I
Par contre,

de nombreux problmes

troncature
a

mesure.

du

signal

de

L'avantage

pouvoir

dtecter
= 2

(enz/e"r

mesure et

d'une

telle

des vitesses
rf.

de prcision

[2.15]

la

nature

mthode

d'mission

sont

est

lis

la

du

bruit

de

avant

tout

de

relativement

voisines

t
2.4)

Conclusion
Les mthodes isothermes

niveau
En

de la

effet,

balayages

on

rapidit
i1

plus

en temprature
les

extrmement

avec laquelle

nrest

distingue

sont

intressantes

on peut faire

ncessaire

de

au

res mesures.
plusieurs

faire

comme en DLTS.

mthodes

spectroscopiques

des

mthodes

purement numriques.
La spectroscopie

d'hypothses

ni

sur

le

ni

sur

des transitoires
est

donc relativement

une analyse
doit

tre

il

de

mthodes doit
outre

trs

la

existe

tre

les

nature

de

calcurs

composantes
du bruit.

et

ne

fait

exponentielles

sa mise en oeuvre

simple.

fine

trs

ou pas

nombre de

Les mthodes numriques

peu

ncessite

sont

des mesures;
bonne

faite

puissantes

trs

qualit

mais
et

re

et permettent

signal

de mesure

l,application

de

ces

avec beaucoup de prcaution.

mthodes d'approximation

des mthodes non itratives

de type
pouvant

moindre
tre

earr,

appliques

,,

en DLTS conme i

- Ia nthode des moments

[rfs.

- Ia mthode de covariance

[rf.

- les

Irfs.

fonctions

modulatrices

2.3,

Z.L7f

2.18]
2.L9,

2.20,

2.2Lf

5B

a
3) METHODESpE CORRELATTON
La

employe

couramment

technique

par

du transitoire

corrlation

pour

un signal

ti( t )

I'analyse

est

la

niveaux

des

par DLTS

profonds

plus

tr'j(t) les

Les deux fonctions

utilises

sont

une sommede deux impulsions

de Dirac

(mthode double boxear) .

DLTS utilisent

Nos systmes

analogique

corrlation

Grce notre
le

quel

type

ont

Schottky

diodes
O

Crowell

de

nouveaux

S( t,T)

iI

est

et

et

font

la

avec

W(t)

n'Lmporte

ainsi

introduites

par

avec

que

les

K.DMOI+ISKI

succs sur

des

InP.

base dr

2.L21

trf.

nombreux
de

dfobtenir

Crest

corrlation.

nultipoints

possible

d'appliquer

mises en application

signaux

numrique

de

Alipanahi

et

comparative

manire

fonction

de

2.22]

transitoire

du

mthodes de corrlation
lrf.

ces deux nthodes

systme d'acquisition,

DLTS de

signal

synchrone).

T.

chaque temprature

(dtection

carr

un signal

corrlateurs

corrlation

men

ont
et'

ont

conme les

une

tude

introduit,

de

que

nous

filtres

avons galement tests.

Pour

pouvoir

mesur, la

supprimer

fonction

hl(t)

la

composante continue

doit

vrifier

du transitoire

la condition

suivante

( T,

[Tt
JO

td

tant

le

(2.rs)

(r) d t - 0

temps durant

lequel

on calcule

le

signal

D L T S) .

59

I
Cette

et

performances
va

multipoints

rapport

S/8.

des

filtres

de

paragraphe

Ie

Dans

des

d'analyse

Crowell

plus

adquat,
rsolution

dt.aiIle

des

mthodes

des

paragraphes

suivants,

des

nthodes

tude.
prsenterons

permettant

spectres

et

fonction

la

la

plupart

nous

3.3,

le

analyse

Ia

cette

de

utiliss:
Une

de

ponctuant

forme

corrlateur

dans les

dveloppe

tre

spectroscopiques

le

le

comparatif

tableau

un

la

sur

principalement

sont

critres

spectrale

Pour choisir

de corrlation.
deux

fortement

influe

condition

une

tude

une
plus

mthode
fine

des

Lang

.;
qui

DLTS.

signaux

Ces

les

nthode

instants

vu le

tr

nthode

diffrence

de
du

transitol-re

plus

de deux chantillons
l-a

d'amliorer

but

rsofution

que Ia mthode de Lang a pris

que les

et

mthodes

3r4,5r...

le

nom de

points

ont

jour.

La fonction

de corrIation

la

2.L5,

relation

du transitoire

u poids

pris

Ym

Lp
1-I

devant,
pl

instant

Pour Ia mthode m points,

Ia

de prendre
le

ainsi

deux points

la

frf . 2.23I

tz.

et

dans

Crest

sur

DLTS par

signal

transitoire

spectrale.

Ie

bases

d e K . D M O W S K I t a i t

L'ide
du

sont

mthodes

dfinissait
entre

ntrltlool.nte

Dtthodes de corrlatLon

3.1)

est

dans tous
affect

les

cas'

vrifier

chaque chantillon

ti.
DLTS s'crira

le signal

i s(ti,r

donc:
(2.16)

60

I
Les coefficients

issue

de Ia

Voici

les

pi devant vrifier

La condition:

aq
= 0
L Pi

i -1

2.I5.

relation
expressions

signaux

des

DLTS pour

quatre

mthodes

multiPoints:
yz = 1 S(tr,T)

-1 S(tz,T)

Ys = 1 S(tr,T)

-2 S(tz,T)

o
+ 1 S(tr,T)
(2.L7 |

ta

= 1 S(tr,T)

Ys = 1S(tr,1)

+ 3 S(ts'1)

1 S(tr'T)

- 4 S(t2,1)

+ 6 S(tr,T)

S(trrT)

+ I S(ts ,T)
Les coefficients

3 S(tz,T)

pr

sont

donns par:

p1 - (-1)(i-1)
[l:l;
- (-1)(i-1) c

i - 1
m-1

( 2 .r 8 )

o
tur- tl t
- ( - 1 ) ( t - 1 )f
- r l t ( m - i ) t ))
[tt

ayec m: le noubre de poLnta de la uthode

et I eooprLs entre

1 et u.

61

I
Pour
en_pic,

formulation

la

simplifier

instants

deux

maintenue

successifs

constante.

premiers

instants

la

au maximum du signal

correspondant

entre

de

note

On

est

facile

alors

d. Ie

rapport

par

la

Les

deux

suite

de

a,

afin

d'exprimer

les

du

le

et
m

nombre
sur

entre

adopts

sont

S/8.

la

de

ces paramtres

sera

spectrale

AE

note

ln(enr )-In(e"z

diffrence

Cette

des

pics

des

et non en fonction
diffrence

dure te

citee
' I.l

galement:

Ia
.'..de I'influn
des

-impulslons
i

entreprise.

soectrale
a dj t
par

B - kT (ln(err)

ln(e")

te

tre

eIles.

Lftirde

dure

paragraphe 2.L de ce mmechapitre

mi-hauteur

q..

de m et

vont

nthodes

rapport

et

o
La

deux

( 2.19 )

en fonction

multipoints

comparaison

de

La rsolution

gale

sera

et pour m = 2,3,

4,

5.

DLTS tracs

Les calculs
ln(e"r ) et

2r
sont

3,

Ia
en

(fig.

dans un premier

pour d = 1.5,

dfinie

l
dans

2.8:

ln(e"z))

correspond

spectres

calcule

zro,

lrquation

de Ia temprature.

numrique pour dterminer

entre

(2.20)

de comparer les

spectrale

* Rsolution

le

en3ic

des mthodes

critres

d'chantillonnage

tn(Z - n + (n - 1)c)
tl (a - 1)

e n_Pie

rsolution

diffrence

d'chantillonnage:

Les caractristiques

DLTS, la

q = 1 2/ t t
II

d'mission

d'ehantillonnage

vitesse

4r

fonction

5,

de

2.10)

temps pour

effectus

ln(enz ).

largeur

8,

10,

une
11.5

de manire

- o.o5

-o.1

ct)
o

T
o

G
c
.9
o

-0.15

-o.2

- o.25

o
- 0.3

40

60

80

In(en)

20

Figure

2.LO: Reprsentation d'une courbe typique

DLTS trac en fonction de ln(e" )

d'un

signal

62

I
Le tableau

prsente

suivant

les valeurs

de

E/kT obtenues:

o
1.5

10

11.5

2.463

2.496

2.573

2 650

2.724

2 92L

3 .034

L.732

1. 785

1 .890

1 985

2.07L

2 289

2.4LO

2.49L

L.426

L.49I

1.609

1 7TL

1.802

2 o26

2.L48

2 .230

1.250

L .323

1.448

I 554

L.646

I 87L

1.995

2.O77

notre

systme

On

peut

double

corrlateur

puisque
La

que

noter

le

pour
boxcar ,

rapport

a est

z.lL

montre

figure

La

DLTS

rsolution

3.11_

utilisant

est

de

le

3.11
'

de 11.5
IIinfluence

de

Ia

dure

kT
',,,, '

....
tr' ldes
i

impulsions

d'chantillonnage

remarque

donc

que

les

valeurs

* Rapport

ni-hateur'-es

rsolution

,'sr,amfi.*

spectrale

nombre m et

lorsquton

de te

. :, . '-.r": ,1,.,,|'.

dlmirrue
r:

::..:;

SIGNAL./BRUIT

Pour
chacune

de a et

Ia

augmente le

normment lorsqu'on

largeur

picsdans1ecasoc=2,m=2ettr=0.1s....
On

sur

La

pouvoir

comparer

des mthodes,

les

uD paramtre

rapports
appel

S/B
"figure

obtenus

pour

de mrite'f

not F a t dfini:

p=

Sra r

(2.2L1
N /te

a
2.57

o
2.55

T 2.53
lX

2.51

o
2.49

o.o2

0.o6

0.08

0.1

o.12

te (s)

o.o4

Figure

2.LLl.

Influence
de la largeur des impulsions de Dirac
l
a
rsolution
s
u
r
spectrale des mthodes
1t" )
multipoints

--,n.-pi;;L!.'k;;:..:).-

63

I
N reprsente

le bruit

normalis,

il

est

donn par

la

relation

2 .222

N - !/ f,' w 2 ( t )
- vitr;
- J 6-;

est

gal

pour S(t,T)

(2.22)

p o u r 1a m t h o d e d e u x p o i n t s

p o u r 1a m t h o d e q u a t r e

points

p o u r la m t h o d e c i n q p o i n t s

I'anplitude

points

P O U r 1a m t h o d e t r o i s

- i-zo"
- vto%
S.a*

at

= (1 - exp(-e"

maximale
t))

du signal

en tenant

DLTS ca1cul

compte du temps,te
'j

te\

tr\\

- n;
- expl .,,;=
smex - -1 |
Ym-&rx
n \ " * p \l
3/ I
. J J| |
\

'

pour lcc u"tot":..."":.,":::

t e Y m-,mrx

;";",-f

le

tant

maximum d'amplitude

Ia mthode m points
Le tableau

fonction

suivant

du slgnal

donn par Irquation

nous

donne les

valeurs

,,'
F..

r
; * $:',:
"u_e

-t'1",i:s.1,rq+f
l'h.t:.{t.lli,l:;,,-tl5r
:\1!r

Y._.'*

i,

L i:.,

._

iir,

:_...

DITS ,obteitu per

2.17

du coefficient

F en

de c et de m.

1.5

10

11.5

0. 105

o.L76

o .272

0. 334

0.378

0.459

0.493

0.511

0.025

0.060

0.117

0.157

0.186

o.24t

o.264

o.277

0.008

0.023

0.053

0.076

0 .093

0. 125

0.138

0. 146

0.003

0.010

0.025

0.037

0 .046

o.072

o.072

0.076

Ia

baisse

On remarque
Iorsque

clairement

m augmente et

lorsque

du rapport

a diminue.

signal

"sur

bruit

64

I
* Conclusion:

possible

mthodes

diffrentes

est

de points

de la

spectres

obtenus.

et

de la

la

par

2 au lieu

gal

o perd

socit

en prcision

pas ngliger

de 11.5 pour

l'On

notre

nombre m

le

au niveau

des

grande
d

du coefficient

d.
coefficient
... ::
de mesu.re OttS {ae

avait

un

systne
pics

de nombreux

SULA Tech. ),

la

d'chantillonnage-

gU si

exemple,

lfaction

de

si

a une trs

entendu

Qui bien

des impulsions

dure te

On remarque

faut

ne

i1

influence,

que

en augmentant

amIiore

mthode,

performances

constate

On

que

fine

aussi

des

multipoints.

nombre de points,

le

tude

une

d'influence

grandement

rsolution

Outre

grandeurs

des

faire

de

tent

avons

Nous

modliss

,Paf,;,.eux
'":l

,l

faible

principal

rapport

d en grande

peut

avoir

recours

pour

filtrer
existe

techniques,

S/B

d,chantillonnage.

II

dvelopps

des

inconvnient

impulsions

permettent

'

, ,t

dconvolus.
Le

thoriquement'

auraient

exponent.ielles

composantes

Pour

dtautres

d,obtenir

des

trouve

par Crowell.

tt

courte

:lt::' i:i-'"

.: l
.t :[e

nultipolnts

la

remdier

t"

dutfe,.des

ce prolne,

de lissage

oo

ou de moyennage

du bruit

galement

on

partie

des teehniques

une partie

nthodes

PU . .tre

- .
,,: . ., ,,',;,'r,1.'

les

de

techniques

spectres

moins

corrlateurs

corrlation

bruits.

utilisant

qul-

Pa-rmi ces
les

filtres

o
65

a
3.21 GorrlatLon
Une

corrlation,
par

tude

assez

de

complte

applicables

Crowell.

Les

filtres

distinguent

se

filtres

de

d'ordre

on amliore
Tous

les

sont

obtenus

1,

2.L2.
la

en DLTS et

filtres

d'obtenir

donne figure

de Growell

permettent

les

avec des filtres

pour

bonnes

ordre.

2 et

3.

La forme

de ces

fonctions

du

2 paragraphes
fix

10

que
est
plus

filtre,
le

et
Ces

Nous n'tudierons

les

T./td

mene

fonctions

c o u r m en o u s a l l o n s

dans

rapport

de

speetrales.

on augmente 1'ordre

prsents

fonctions

ces

rsolutions

spectrale

un

de

leur

Plus

2.12]

en DDLTS avait

par

rsolution

rsultats

plusieurs

partie

font

[rf.

voir.

suivants

de

manire

arbitraire.

* Co4paraison

des rsolutions

spectrales

et

calcul

des vq,leufs

'
,l'
Les

vitesses
maximales

amplitudes

relations

su i va n te s

signal

DLTS aont

d' or dr e

= LO.L I

1r pour

spectrale

des pics

par

donnes

n _p L cz = 5 .6 | T . pour Ie ftltr e

rsolution

aux
Ies

le

des spectres

mthodes.

Les valeurs

suivantes

de

ces

fLltre

d'ordre

fonction

est

obtenus

de

(2.241

2
3
la

largeur

rsolutions

spectrales

sont

dfor dr e

Ez = 2

pour Ie flltre

drordre 2

pour le flltre

d'ordre

kT

par chacune des trois

E r = 2 .66 kT pour le filtr e

Es = 1.6 kT

correspondant

dr or r e I

mi-hauteur

du

n--.:pic

a _p L cr = 2 .3 / T . pour le ftltr e

n-pl.cs
La

dtmission

les

(2.25,

I
lr
tl
tl

a
@

o
Tm-tb= 2(tb-ta)
tb-ta = 2(ta-td)

t
w(r)
Tm-tc = 2(tc-tb)
to-tb - 2(tb-ta)
tb-to = 2(ta-td)

Figure

2. Lzz a) fonction

de orrlation:

fi I tre

d'ordre

b)

fonction

de corrlation:

f i 1t r e

d'ordre

c)

fonction

de corrlation:

fi I tre

d'ordre

66

a
peut

On

pas

dpendent

rsolution
(2.8

de

bien

Tn

ces

valeurs

sont

qu'e1les

et

speetrale

constantes

sont

obtenue

en

et

ne

la

infrieures

dtection

synchrone

kr )

La contrepartie

que

noter

telle

d'une

importante

entendu une baisse

de La rsolution

amlioration

du rapport

est

S/8.

* RaPPort S,/B
O

La relation

2.2L

la

dfinissant

de mthodes multipoints

est

figure

pour

nodifie

Ie nouveau cofficient

de corrlation;

de mrite
les

dans le

autres

fonctions

donn par:

F est

Srr r

p=

cas

(2.261

N/f.
I1 est

de

aLnsi

lramplitude

permettre

une

corrlation.

suivants

Les

du

transitoire

rapport

et

S/B indpenda1pgnt
Ia

de

objective

comparaison
rsultats

obtenus

dure.

fonctions

des

pour

filtres

les

T., ':pour

sont

."1de
Les

f = 0.160

pour le fLltre

drordre

P = 0.048

pour le ftltre

d'ordre

T = 0.014

pour le ftltre

d'ordre

observes

sont

pour

de celles

obtenues

conme par

exemple le

(0.257 ) [rf . 2.23f .

Ie

d'exprimer

Les valeurs

possible

relativement
d'autres

signal

carr

(2.271

faibles

fonctions
(0.208)

de
ou

en conparaison
corrlation
I'exponentielle

67

o
* Conclusion
Les

rsolutions

bonnes

plus

filtres,
filtres

rester
Les

est

la

par

Afin

de

paramtres

la

calculs

et

spectrale

Ie

cas

d'un

des

L'ordre

des
doit

des spectres.
par

faeilement;

trs

de

1'ordre

S/B qui

rapport

font

se

ayant

analogiques

plus

serait

corrlateur

dtection

grande

Ceci

spectres
aux

sera

le

effet

puisque

les

vitesses

des

T-/ta.
une

pour

des

des

valeur

du

valeurs
amliore

ta

d'alourdir

spectres

Rappelons

faiblement

choix

un temps de retard

pour

extremums

10;

dans

aura

pour

faits

choisir

rapport

du

latitude

d,mission
dpendront

que

tous

rapport

le

les
T./ta

infrieures,
et

la

rapport

faible.

titre

indicatif,

corrlateurs:

Tr

rsolution

rsolutions

des

et _gale

par

oD prfre

Tn.

de

ont

pics.

une bonne prcision

une plus

constante

S,/B plus

Ie

augmente

des

de corrlateurs

de mesure,

de

on

largeur

corrlation

correspondant

fois

des spectres

exemple.

Irexploitation
en-pic

la

garder

dans

d'avoir

indpendant

pour

que

Plus

de mme limit

ralisation

difficile
synchrone

diminue

tout

oprations

de calculer

spectrales.

on

suffisant

contre,

permettent

filtres

spectrales

nous
et

prsenterons
les

facteurs

(page

suivante)

F obtenus

pour

les
divers

68

I
Smax
Fonction

^E/kT

de

F=

N ,/T'
corrlation

3.28

o .257

carr

2.8

0. 208

filtre

2.66

0.160

filtre

0.048

filtre

1.6

0.014

exponentielle

signal

les

Pour comparer

le

facteur

tant

pour

ceux trouvs

te

pour

les

les

filtres

/T. ,

de quelques

de

la

pour

S/B obtenus

mthodes nultipoints,

par

soit

de I'ordre

de I'ordre

rapports

solt

niveau

^/te.

dixines

nilliseconder
au

par

du

les

filtres

avec

on doit

nultipller
'''
Les valeuis, de.t T"

de seconde

on constate
rapport

S/B

c"fi{'."
"t
un net,,,vn!,"p,qe
(cf.

t"btarr*

suivants ) .
O
Valeurs

de F^/te obtenues

par

les

mthodes m points

avec c=2

te = 0.5 ns

0 .0039

0.0056

0.0079

0.0013

0.0019

o.oo27

0.00051

0.00073

0.0010

0.00022

0.00032

0 .0004s

te=1ms

te=2ms

69

I
Valeurs

de F^/Tnobtenues par

dt

ordre

Tn = 0.1

les

Tn = 0.3

filtres
Tn = 0.5 ms

fi I tre

0.051

0 .088

0.110

0.0L5

o.026

0.034

0.0044

o.oo77

0.0099

de 1rexplol.tatlon

AnlLoratLon

3.3)

Dthode cLnq vLtegsee

La

spectres
du

1.

principe

mais

pouvoir

tracer

un

cinq

points

cette

nthode
un

ncessite
une

droite

mme nombre

avons choisi

pour

utilise

Afin

d'analyse
nombre

est

Iev

simple
de

d'Arrhnius

ayant

d'accroltre

ce

de spectres,

de chaque pic

de retenir

sur chaque pic

un

nombre

au lieu
(fig.

les

d'un

3.3

dans

spectres

possible

11 est

partieuliers

analyser

au paragraphe

Ia mthode de Lang dcrite

reprsentatifs.

pour

d'oLssLon

habituellement

DLTS est

chapitre

poins

mthode

deg spectres:

on
Oott

nompre, e
d;

points

d'extiaire
seul.

Nous

2.13):

I I extremum

les deux points

mi-hauteur
- Ies deux points

3/4 du maximum
dramplitude

au

70

o
-:,']ax

-max

- Ainax

Figure

En

chacun

de

temprature

Tr

d'mission

choix des cinq points utiliss

des droites
drArrhnius.

2.L3:

ni

corrIation.

Les
O

avantages

vidence
troisime

d'un

lors

i1

vitesse
tre

calculs
diverses

utili3ant

effectus

du calcul

peuvent

pour

corrlateurs

Ia

et

Les

multipoints

points,

ces

les

faut

donc

d'mission

calcules
ont

pour

pour
mens

trac

dterminer

ni.

Les

pour

les

(annexe C).

de d

filtres

de Crowe1l,
chaque cas

les

Ia

vitesses

chaque fonction

valeurs

numriquement pour

le

de

nthodes
Pour

calculs

particulier

les
ont
lors

spectre.
de

cette

nthode

de son application

chapitre.

d'analyse

certains

seront
spectres

mis

en

dans le

7L

I
4l coNcLUsIoN
Les

bruit.

Les

mthode est
En effet,

10 ) ,

pour

nombre assez

ncessite

auteurs

discrets

part,

corrration

de

si

signaux

DLTS, il
de

est

qu'un
donc

nombre
les

nultiples

ncessaires
mesure est
dans le

Aprs

en

temprature.

balayages

DLTS.

La

en

Bien

restent

limites

donnant

lieu

dsire

numrique

lravantage

mesures

un
que

de

relativement

pics

des

les

prtir

des

de bien

lisser

de qualit.
de ne ncessiter

transitoires;

de

aux cas

raliser

temprature

contrepartie

DLTS

on

vite

habituellement

cette

mauvaise

rapidit
du sitnal

de
noy

bruit.
cet

aperu

avantages et

de

une extraction

application

restreint

(environ

corrlateurs

des spectres

Les mthodes ls-othermes prsentent

de

ncessaire

spectres

des

1,on

manire

de mesure pour obtenir

tre

de ce type

rensable
les

peuvent

des mthodes d'analyse

celles-ci

profonds

D'autre

de

en

noy dans

de I'analyse.

prupart

la

dvelopps

spectre,

obtenues

prus

les

du signal

important

balayages

aient

niveaux

DLTS loigns.

pour

de

un seul

restent

inconvnient

une bonne tude

certains

oprations

Le prineipal

faire

quivalent

de

spectrales

des mesures et

nombre

utilisant

qui

lenteur

un

qui

ce

idaux

rsolutions

la

d'enregistrer

corrration,

une bonne extraction

bonnes (lf 2 kT).

trs

de

permettent

usuerres,
1e

mthodes

va

des

nous

diverses

permettre

inconvnients

mthodes
de

DLTS,

souligner

de chacune d'elles.

leur

mise

concrtement

en
Ies

72

I
R.EFERENCES
2.L

'

NOUGIER, Mthodes

J.P.

S.D.

STEARNSand D.A DAVID, Signal

(PRENTICE-HALL, Inc.

J.

Appl.

C.D. l^rANG
and H.C LrN, J.

2.5

: H.OKUSHI and Y. TOKUMARU,

: H.oKUSHr, y.

Appr.

T o K U M A R U ,s .

J. Appl.

2.g

: A. LE BLoA, Mthodes d,analyse

multiexponentiels

2.9

Appl.

utiliss

Phys.,

des signaux

profonds

Application

au GaAs inplant

dans les

1628 (fggi)'.'l
.

.: .
lectrique

semi-conducteurs.
en oxygne ou en oxygne et

T H E S E D ' E T A T , R E N N E S( 1 9 8 6 ) .

: H . O K U S H I a n d Y . T O K L M A R U ,P r o c .

21(11),

en spectroscopie

des dfauts

en silicium.

546 (1981)

5 2 ( 2 1,

2O(7), L54g (fgeril.

Phys.,

: E . Y A I , I A G U S H IJ, p n .

J.

Phys.

yAIvIAsAKr,H. oHEDA

2.7

'

EASTMAN,

L335 (1980).

Phys. 19(6),

and K. TANAKA,Jpn.

New Jersey)

P h y s . 5 2 ( 1 1 ) , 6 4 6 2 ( 1 9 8 1) .

2.4:

2.6

Cliffs,

Algorithms

C H A P P E La n d C . M . R A N S O M ,

Jpn. J. Appl.
o

, Englewood

Processing

P . D . K I R C H N E R ,i ^ I . J . S C H A F F , G . N M A R A C A S ,L . F .

2.3:

T.I.

|D

de calcul

(MASS'N, PARrs 1991)

2.2

O^^

numriques

Devices (1980),

Jpn. J. Appl.

12th Conf . Solid

Phys. 20(Suppl.

State

2O_1),

26L (1980).
2.10:
O

P . M I N O N D O ,E f f e t s

champ (TEC) sur arseniure

semi-isolant.
2.11:

des transistors

de gallium

T H E S Ed e 3 e c y c l e ,

Phys. 69(5),

Toulouse (1983).

3072 (1991).

C . R . C R O I I I E L La n d S . A L I P A N A H I
Solid-State

Electronics

effet

dus au substrat

A. COLA, M.G. LUPOand L. VASANELI,

Appl.

2.L2:

parasites

2 4 , 2 5 ( 1 9 8 0) .

de

73

t
2.L3:

T.R. HANAK, R.K. AHRENKIEL,D.J.

and M.L.

T I M M O N S ,J .

2.15:
O

2.L6:
'

and

T. MIYAKAWA,

Jpn.

J.

Appl.

Phys. 26(10),

1634 (1987).

P . R . B E I I I N G T O N ,D a t a R e d u c t i o n
Sciences

and Error

(Mc Graw Hill,

Analysis

New York,

Phys. 61(1),

F.R. sHAprRo, s.D.

1969).

J.

L82 (1986).

S E N T U R T A ,D . A D L E R ,

P h y s . 5 5 ( 1 0 ) , 3 4 5 3 ( 1 9 8 4) .

L O E B a n d G . C A I I E N , A U O M A T I S M E8 ( 1 2 ) ,

2 . 2 O : C . M . R A N S O M ,T . I

C H A P P E L ,J . L .

M a t . R e s . S o c . S l m p. P r o c .

429 (1963)

F R E E O U FA N d P . D . K I R C H N E R

69 ( 1986) .

2.2L2 T. HEISER, A. MESLI, E. COURCELLE

and P. SIFFERI,
O

J. Appl.

Phys. 64(8),

4031 (1988).

2 . 2 2 2 K . D M O h T S K IK, . B E T H G Ea n d C h . M A U R E R ,
Rev. Sci.
a

2.zg:

Instrum.

G.L. MTLLER, J.v.

J. AppI.

for

K . I K O S S I - A N A S T A S I O Ua n d K . P . R O E N C K E R ?

J. Appl.
2.19:

S. KATOand MYIAKATIA

, . F U D A M O T OK, . T A H I R A , T . K I D A , S . K A T O
J . M O R I M O T OM

J. Appl.
2.18:

4L26 (1990)

Phys. A 39 , L97 ( 1986) .

the Physical
2.L7:

Phys. 67(9),

2 . L 4 2 J . M O R I M O T O ,T . K I D A , Y . M I K I ,
Appl.

Appl.

D U N L A V Y ,A . M . B A K R Y

62(8),

1955 (1991).

R A M T R E zA N D D . A . H R o B r N s o N ,

Phys. 46(6),

2638 (1975).

,.,.

74

I
CI{APITRE

o
RESULTATS EXPERII,IENTAUX
ETUDE COMPARAIVE DES MEHODES D'AI{ALYSE DLS
SUR DES

o
L'analyse

donne

des

profonds

sur

le

les

Crest

causs par

cristal.

(paisseur

la

En raison

mesures

DLTS

sur

oxydes.

systmes

de mesure

des courants
mesure de

de

Ia

( 100) .

Le

de fuite

structures

fuite

de

les

ne donnent

des

type

fournisseur

choisis
n

non

rsultats

sont

raliss

volontairement

SUMITOMO donne

Ies

pour

souvent

d'oxyde

natif

des

diodes

utiliss

dns nos

fiables

que pour

1 UA pour

et

d'isolant

est

1OO pA pour

SULA Tech.

il

raliser

capacimtres

1,tude

importants

couche

pour

A)

(MS)

niveaux

dpt

MS,

mince

infrieurs

socit

InP

substrat:

de courants

En effet,

M.D.C. Les chantillons

ou tout

40

les

prlininaire

passivation

une

infrieure

concernant

une tape

les

d'insrer

Schottky

Mta1/semi-conducteur

intressantes

du substrat.

indispensable

jonetions

DLTS des

informations

des dfauts

STRUCTURESl{S: Au-InP

lrappareil

de

Ie

de

DLS-82

partir

du mme

dop

orient

et

caractristiques

suivantes
de porteurs

concentration

1016 cm-3 (valeur

but

tant

drinventorier

de

tous

infrieure

5 L01s cm-3).

1 0 s c m -2

EPD infrieur
Notre

typique:

strictement

dvelopper

des mthodes

les

de

types

existantes,

nous

nous

chantillons

nots

: R3L2 et

substrats

sommes limits
SNPAA.

de mesure
ou

de

1'tude

et

non

jonctions
de

deux

75

Nanmoins,

nous

physique

nos

certains

tenterons
rsurtats

auteurs

Irf s.

La prparation
deux

types

puisque
quers

de la

3.1 , 3.2

surface

que

erreur
soient

propose est

la

les

interprtation
que

I'origine

,3.4

,3.5

,3.6

donnent

,3.7

,3.8

1is 1'InP.
est

phase

identique
est

pour

trs

ces

importante

des consquences quasi-irrndiables

traitements

suivante

* Nettoyage

,3.3

cette

aura

une

de

de 1'rnp

d'chantillons;

toute

donner

partir

des dfauts

,3.9,3.10,3.111

de

urtrieurs.

La

mthode

de la

face

dpolie

- dcapage chimique par HCl (LzZ) pendant z

puis

minutes,

dsionise
* Formation

et

minutes

polie

face

une solution

L'chantillon

R3L2

Lroxyde

est

par

une source

dehors

natif

de la

de plusieurs

suivi

form

RF

six

13.46 MHz,

zone de dcharge.

de traitement

d'oxycation

minutes

un

dans

"

lectrodes

ciculaires

vaporation

d'or

mais

forming

sur la

de

diodes

lraide

et

l'chantillon

un recuit
"

diamtre

face oxyde.

dans

d'alcool.

schottky

plasma

d'un

Par contre,

Eaz

pendant z

rinages

d'eau dsionise

comporte

de

Au.

dcapage chimique par HCl(1:4)

dreau

ohmique par vaporation

Au-Ge puis
de la

dans une solution

d'aIcool.

du contact

l,eutectique
* Nettoyage

rinages

d'oxygne
tant

SNPA4 n,a
280"c

LO% H2,

mm sont

oxydes.
cr

plac

en

pas subi

pendant deux

gO% N2

).

ralises

Des
par

76

I
Les rsultats
deux

Ces

suivant.

obtenus

par

chapitre

prcdent.

certaines

ces deux chantillons

grce

aux

prsents

dans

le

DLTS

mesure

de

appareils

paragraphe

obtenus sur

sont
seront

derniers

numriques

mthodes

des

compars

ceux

nonces

au

o
obtenus avec les

A) Rsultats

rr

L es co n d i ti o n s

de I'amplitude

Tr,

Trr

Les

Le pic

nergies

efficaces
trouves

Ginq pics

et

Ts.

Un

intermdiaires

tempratures
oxydes.

Trs

de
sont

et

Tr

et

les

0. 25

0.38

(10-tzcm2)

9.4

Nr(10tzcm-3)

11

Ea,

concentrations

dans Ie tableau

Ts

1d"'-bb-rait 'des
'str-9,i-tures
Ts dans le-s

appel

apparentes

Tr
Ea (eV)

. :, . :, , , ,; ,,- ,. !:.:,.rlll..1,
,
..
,,
discrets
ont, r-n1,s :

dans des conditions

d'activation

rassembles

pic

entre

Tr a apparait

capture

obe-quj=",lour
5 ;i': "

DITS typiques.

Tre,

DLTS est

du signal

tp

d'impulsion

une largeur
deux spectres

de repos Co: 130 pF

La saturation

3'19.I

Vr=1V,Vm=0V
Capacit

3.12.

d e mesur e suivantes ont t fixes

double boxcar [rfs.

le corrlateur

utLlLeant

svstDes de megure DLTS

.:

,;;:1

parti-cUll-1es
les
des

sections
dfauts

suivant:

Tts

Ts

o .47

0.38

o .47

99

12 0 0

0.4

0. 66

8.3

1.86

2.5

6.9

Trl

.,,.,

,,

Y(pF)
0.OOr-

sf',
h,,'f1rre,i*q
,.'$q*{*
..:r"I++'
,rAB
tH
11
rs

_0,O6

-0.10

T6
-0.15

-O.2O
-0.25

o
-0.30

JI_-JL;;

50

too

t6o

2oo
T(KT

ao

,
,'.' $o

o
Figure

3.1

: Spectres DLTS typiques obtenus avec le

corrIateur
double boxcar sur 1'chantill.on
SNPA4.

o
77

D
Les pics
qui

dus aux niveaux

dpendaient

avaient

T:,et

Ts avaient

paramtre

du
par

un

multiexponentiel.

En

effet,

chacun

dcompos en

composantes,

dont

prsents

deux

dans le

tableau

des amplitudes
Ces

ti.

anomalies

modle

multiphonon

de

pics

les

ces

et

avait

carctristiques

sont

suivant:

(10tzcm-3 )

Nr

fortement
expliques

Tr,

Er (ev)

Eo (eV)

(cm2 )

o-

Tr Ar

1l

0.04

0.16

Tr Az

0.06

0. 19

3.6

10- I 2

T sA r

5.8

0.05

o.26

2.5

10- r 2

Tr Az

87

0.08

2.5 l_0-20

Ts Ar

0.1

2.5 10-2r

Ts Az

0. 16

o.32

1.1 10- r 2

7 LO-r0

2l

Etude

gur

SNPA4 avec

DLTS (DLS-821

comparer

les

La figure

corrlation.

evnchrone
a

d'chantillon

spectres

de mesure

svstme

dtectlon

Le mme type

le

obtenus
3.2a

par

tudi

dans

diffrentes
quatre

reprsente

le

but

de

mthodes

de

spectres

obtenus

grce au systme de mesure DLS-82.

Les

conditions

pour

polariser

appliquer

amplitude
permettent

polarisation

de

1rchantillon

Vu
le

de

en

inverse

une tension
V

et

remplissage

ont

une

rgime

infrieure
largeur

de niveaux

changes.

En effet,
iI

de dpltion,
ou gale
d'impulsion

Tz, Ta et Ts.

faut

-2 V. Une
de

10

ms

.9 -o.g

lO. I Hz
lO.2Hz
fO.3Hz
lO . 1Hz

o
0.o5

lr
Ct'

-o.2
50

o
Figure

g.2

: a) spectres DLTS typiques obtenus par dtection

SNPA4'
sur 1'chantillon
lynchrone
b)

de spectres DLTS obtenus par

Simulation
des rsultats
synchrone partir
dtection
SNPA4'
1
'

c
h
a
n
t
i
l
l
o
n
trouvs en 1988 sur

78

t
Le pic

Tr prsente

un temps

tp

impossible
Les

dans Ie

= 10 ms, sont

tp

rassembls

Ts

Ea ( eV)

o .22

o .25

0.33

o.4

0. s3

(cm2 )

10-14

9 10-12

2 10-r2

2 LO-rr

3 10-rr
1013

l'apparition

(Tr

amplitudes

des

Ia priode

devrait

voir

niveaux

(fig.

1e

des spectres

dernier

La

pour

tableau
deux pics

apparatre
3.2b).

diffrence

antrieures

peut

chantillons

qui

effet,
exemple,

annes
gu les

et que la capacit

les

tre

du

Tr,

Ts et

de Taa
galement

fonction

modifi
ces

Ts

paragraphe

Tr,

de

la

un

modles
on

chacun de ces
Ts et

Ts ne se

ont

les

et

mesures

vieillissement

nature

mesures).

des niveaux

les

par

constante.

actuels
par

obtenus

prcdent,

pour

distincts

spectres

sparent
densits

la

devant tre

d'amplitude

explique

aurait

Ts ont

de

Or exprimentalenent,

entre

dispalitton

Tr et

paramtres

systme DLS-82 en utilisant

dans

Tr,

la

Tr

une simulation

donns

Tz et

Les pics

dpendant

ici

Si on fait

du niveau

Trs).

correspondant

3 1013

dcomposent pas en deux pics

exprimentales

Ta

le

conditions

Tr

corrlation,

les

dans

Tz

des

a t

Tr

On constate

nous

suivant:

Nt(cm-s;

De mme, il

pour

Tr

-2 Y, Vm = Q V et

tableau

ne cesse de crotre

100 ms.

le niveau

obtenus

: Vr -

10

de

de saturer

suivantes

allant

rsultats

qui

une amplitude

dfauts

(en

remarque,

pr

des
On

des

normment volu,

au repos Co est passe de 130 60 pF.

79

o
partie

Dans la

B)
plus

mthodes d'analyse

pics

3l

o
se

profonds

cet

chantillon

rapprocher

signal

DLTS obtenus

fuite

de

au-del

nous a donn

font

tenter

de

des

dcomposer

les

discrets.

avec le

apparatre

des niveaux

La caractrisation

pour

nous appliquerons

Etude de R3L2

courants
le

chapitre,

fines

Ts en niveaux

Les signaux
sur

T: et

de ce

Tr

importants,

par

la

Les spectres

(fig.

et

Tr

i1

a t

3.3).

semblent

En raison

impossible

de

de mesurer

mthode de Lang de ces deux niveaux

Ea ( eV)

qui

deux niveaux

de 180 K.

Tr

Ts

0.21

o.32

systme de mesure DLS-82

(cm2)

3 10-r3

ont t

relevs

dans les

10-r3

conditions

suivantes

Vr=-1V

Vm=2V
tP=10ms

On note
Ia valeur
En

spectres

galement

variation

de la priode
utilisant
ayant

d'autres

du pic

de I'amplitude

T, de la

une meilleure

dcomposer le pic

la

fonction

corrlateurs,
rsolution,

Tr en niveaux

discrets.

Tr

avec

donnent

des

de corrlation.
gui

nous allons

tenter

de

0
-3--

-0.0 1

E
E

lJ-

o.-

o.02

U)
gt

-l

.P:

o
O

...,!
8

'..4

r-

.gcD

o.o3

.l
a

.:

- o.04

rg
.E

fO r ZHz

- 0.05
a

85

95 105 115 125 135 145 155 165

Temperature(K)

o
Figure

3.3

: Spectre DLTS typique obtenu par dtection

R3L2.
synchrone sur 1'chantillon

80

I
g ) R s ul ta ts

g1t
Pour

Corrlations
1'tude

de

caractris

par

focaliserons

sur

niveaux
nos

o b te n

1z

1'chantillon
les
Ts.

Tr s

et

appareils

mthode numrique

systmes
Quant
pu

ont

mesure

de

pour

spectroscopie

dans

mesure

nous
leur

les

n)

bien

DLTS,

nous

nous

n'appliquerons

tude.

une

Tr et

tude

sturer.

En effet,

que si

tous

niveaux

au

les

porteurs

terme

du

informations

car les

pics

varient

de vitesse

fine
Ia
sont

majoritaires
tenps

tp

de
.

du

qui

aucune

Les niveaux

pas

les

grce

correctement

de les

piges

type

tant

SNPA4, puisque

analyss

DLTS,

Tr

des dfauts
1'tude

fentre

de

niveau

ne se prtent

pour

contre,

anplitudes

tre

DLTS ne s'applique

structures

rernplissage
Par

ces

le

1'chantillon

impossible

est

(d'lectrons

remplis

de

complter

Ts de ce mme chantillon
de DLTS puisqu'il

R3L2,

dfaut

Ts

apparaissant
anormalement

d'mission.

peut

nous

apporter

pour

ce niveau

lorsque

lron

ont

change

des
des
de

81

I
1l Mthodes nultipoints

1.1 ) Etude de R3L2

a ) Acquisitl.on

N o u s n o u s s o u r m e sp l a c s
des

mesures

systme

sur

de

r'appareir

capacit

165 K afin

ceux-ci
dure

dans les

T.

rarise

c'est

avons

chaque

obtenus

500

ms.

temprature

conversion

frquence

de

sur

l'acquisition

entre

du pic

Ts,

60 priodes

d'une

analogique-numrique

KHzr

qui

nous

un

rissage

ce
des

comprise

complte

aprs moyennage sur

La

que lors

d'ailleurs

fait

de mener une tude plus

sont

une

mmes conditions

DLS-82.

de mesure DLTS que nous

transitoires
r25 et

des transitoires

est

permet

de

relever500pointspourchaquetransitoire.

En

plus

du

porynmes

de

d'liminer

une partie

A partir

profonds
figure
f=

sur

Tchebychev

de

60

priodesr

degr

importante

gar

du bruit

des mesures moyennes puis

d'appliquer

moyennage

toutes
que

nous

huit

nous

il

est

Les mthodes numriques d'tude

avons

prsent

au

permet

parasite.

lisses,

3.4 nous montre deux transitoires

155 K.

pr' ,des

chapitre

possible

des niveaux

prcdent.

mesurs f=

La

145 K et

o
0.20

a
0.15

o
G
g
flf

^r

U.It',

6
TL

o
0.05

T-1 45K

0.00

0.1

o.o

0.3
0.2
TEMPS(s)

0'4

0'5

0.20

o
0.15

o
lr

CL

I o.''o
o

o-

o
0.o5

0.00

o.o

Figure

3,4

0.1

0.2
. . 0.3
(S)
TEMPS

0'4

0'5

de capacit mesurs sur

: Exemples de Transitoires
continu
R3L2 (Ia courbe en trait
l'hantillon
reprsente les mesures lisses ) '

82

I
des spectres.

b) Calcul

les

calculer
valeur

qui

valeurs

considration

Les figures

tr

les

points

3.5a,

rts, pour

spectres,

ces derniers

[rf . 3.14].

parabolique
La formule

I
y(Tr )= -(-3y(Tl-z
35

d'viter

Les

de

situs

sont

les

port

sur

prendre

en

entre

prsentent

3.5d

les mthodes 2,3,

spectrale.

contenu
par

5 points.

4 et

dans certains

Tt allant

Le nombre de points
prsentant
rapide
adquat.

de ces
bas sur

rgulirement

espacs.

est

la

, ,',1'"'

suivante

)+12Y(Tr-r )+17Y(Ts)+12Y(Tr+rJ-3Y(Tr.r

))

(3.X)
pour

spectres

un algorithme

5 points

de rcurrence

Ies

250 et

bruits.

lisss

sont

2,

retenues
:aU
ms. Notre choix srest

important

trop

du bruit

fix

a t

ont

et

3.5c

3.5b,

employes pour

rsolution

transitoire

fortement

En raison

I'approximation

du

ont

d= tz/Xt

afin

faibles

de

obtenues pour tr=45

qui

,85r90

sont plus

500 ms qui

bonne

tr

suivantes:30,35,40
des

trs

une

paramtre

du

valeurs

DLTS. Le rapport

signaux
offre

5 points

4 et

Les mthodes 2,3,

et

pas

de

de L27 163 K.
tant
fortes

relativement

relativement

faible

discontinuits,
peu

svre

nous

c
parait

Ia

et
type

courbe
de

tre

ne

lissage
le

plus

o
XX

Xx

IL
CL

lr

-0.1

9 -o.r
n,

CI'

lJ

o
6

.9
o

d
c

-o.15

g-0.15

-o.2

mlhode 2 polnte
tl .46ms
x

mthode 4 polnts
tl .45ms

avant llasage
aprc llssage

-0.26i26

135

x
-

t4E

r oe

-res

, avant llgsage
'aprr llage

(K)
Temperature

>o(

-0.06

-0.06
X

-o.l

lt

|!

-o.t
a

o
o
c

.9
o

cl

a
C

-0.r5

.9
cl

-0.r6

mthodo 3 polnto

tlr46mg

-02

-0.2

x , avant llseagc
,aprg lleeage
-0.26125'-

Temgerature(K)

Figure

3.5

: a) Spectre
pour tr
b) Spectre
points
R3L2.
c) Spectre
points
R3L2.
d) Spectre
points
R3L2.

mthodo 6 polntr
tl .46 mr
x
-

-0.26iE6

,avrnt llltrgc
' aprg llErage
l gO

1.15

r66

Temperature(K)

DLTS obtenu par Ia mthode deux points

= 45 ins sur 1 'chantillon
R3L2.
DLTS obtenu par Ia mthode trois
pour tr = 45 ms sur 1'chantillon
DLTS obtenu par la mthode quatre
pour tr = 45 ms sur I'chantillon
DLTS obtenu par la mthode cinq
pour tr = 45 ms sur l'chantillon

166

o
B3

I
point

chaque

d'itrations

tant

peut

obtenir

I'on

mthodes 2 et

pour

valeurs

163

K,

le

et

qui
pic.

Ea

les

et

le

approxime

par

la
aux

lisser

le

la

temprature

du

dtermine

de

tre

doit

ar

et

temPrature

a2 sont

successifs
valeurs

dtermins

la

cas,
d,un

Trto

suivantes

est

les

que

telle

+ arTrla

constante
facilement

+ ao ) (3.2)
des moindres

du pic.
entre

de temprature

tant

'

technique

voisins

'du

proches'

plus

suivante:

Ia

des 5 points

a2 sont

et

points
est

,
parabole

minimum de.la

grce la

diffrence

spectre

de 0 r al

relations

cinq

le

= ELn (azTzrrn

partir

linaires

Dans notre

en prenant

mathmatique

La formulation

carrs

(ga1e
calculables

deux points

lK),

les

grce

aux

ao = (-3Y(Tl-z )+12Y(Tl-r )+17Y(11)+12Y(T3+r )-3Y(s *zll/35

(3.3)

a r = ( - 2 Y ( T : - z ) - Y ( T : - r ) + Y ( T 5+ r ) + 2 Y ( T :* z ) l l L O

a 2 = ( 2 Y ( T : - z ) - Y ( t - r ) - 2 Y ( T t ) - Y ( 1 5 + r ) + 2 Y ( T 5+ z , l l L 4
Ti

tant

calcul.

que

relatifs

suffisent

itrations

mthode d'analyse,

les

mieux

Y(Trro)

nombre

donns

spectres

de chaque spectre

caIcule

est

valeur

la

0,

pour

maximum de prcision

le

Pour

fois

faon prcise.
Cette

cinq

cette

maximum d'amplitude

Lang.

3 points,

Pour appliquer

par

les

L27

de

de Lang.

c) llthode

entre

nombre

DLTS de manire satisfaisante.

signal

'

certain

dtermin

de

d'analyse

mthode

spectre

du

un

rpt

eSt

algorithme

Cet

la

valeur

minimale

releve

sur

le

signal

DLTS

84

I
Le

En pratigu,
3

pointS

donnent
4

mthodes

seuls

mthodes

que les

tandis

= (3.6

points,

* 1.9)

trouves

obtenues

d'Arrhnius

les

sur

pour

figures

nous

obtenons

les

rsultats

= (3.2

partir

les

reprsentent
de rgression

appareils
est

ux

affectes

incertitudes

en

derniers

ces

compte
de

mesure

difficile

figures
facteurs

les

la mthode 3 points

et

sont:

(3.5)

les

d'estimer.

avec la

exprimentaux

permet. de

nous
( figs .

3 -7a

rsultats

3.6a

et

3.6b.

d'erreurs
Iissages

simulation

confirmer

la

et

3.7b).

Les

( 3. a)

et

dus au calcul

statistiques

carts

traces

par

2, 10-1s cm2

rsultats

des

de

validit

(3.4)

10-15 cnz

0.006 eV

des spectres

La superposition

qu'i1

en

0.005 eV

Ea = 0.272 t
o

valeurs

pas

les

malheureusement

eSt

prsentes

2 eX

mettant

spectres

nous

sont

Ee = O.274 t

faite

des

droites

points

mthode

la

et

qu'il

Les

Cependant,

exploitables.

donnent

pics

mthodes

suivants

points

par les

3.6b.

3.6a et

Pour

rsultats

d'analyser.

impossible

des

d'autres

vidence

les

spectres

I'approximation

empirique-

obtenus

les

et

pour

utilis

de manire

cinq

fix

a t

polynomiale

points

de

nombre

du

choix

Elles

des droites
ne prennent
par

introduits
successifs

(3.5 )

des

les

donnes

(\l

F
c

o
mthode2 Points

o
6.3

rcoo/T(til)

G'

F
.t

o
c

o
mthode3 Points

6.3

6.7

rcoo/T (K-1)

ra
F i g u r e 3 . 6 : a ) D r o i t e . d ' A r r h n ipuasrol ibi t e nau"esp asrpl 'eacnt a
r el ys s e cdaer c u l s p a r
Lang a
R
3
L2'
l'chantillon
mthode deux points sur
de
1
'
a
n
a
l
y
s
e
par
b) Droite A'nr-r-t'nius obtenue calculs par ra
aes spectres
Lang a paJii
R3L2
p
oints sur l'chantillon
mthode trois

-o.o5

l!

-o.1

lJ

cl

c -0.t5
.9
(t)

Signal obtenu par la mthode 2 polnte

.,(!!-'99$!l

145

135

155

Temperature (K)

,-.

.i: i,
I i'".:
',-:l'
il ' ':..

-i

!,

lqxxx
xx

. : ,,i..:j,

il
1.

':-.::.
r',.

$, ,,:r-t1

"* x

E:.-,.'

-0.o5

ii
u

.j

': ..
4.

#1.

i; _ .,i

l!

o -0.1
h

i:i

,
{: ::'.

ji*
+;

o
a
C

.9

-o.16

$imulsfien
Signal obtenu par la

- -r- - ----- r --- n,,

- ' - 1|-2 5--_-_-.135

145

-- .,t!!:99-tslJ
155

165

Temperature(K)

Figure

3.7:

du spectre obtenu par la nthode

a )' S u p e r p o s i t i o n
dur points pour tr = 60 ms sur l'chantillon
calcul pour
ngl2 t du signal DLTS thorique
=
3.6 10-1s cm2
Ea = 0.27 eV et o
du spectre obtenu par la nthode
b) superposition
trois
Points Pour tr = 60 ns sur
R3L2 et du signal DLTS
1'chantillon
calcul Pour
thorique
Ea = O.27 eV et o = 3.2 10-1s cm2

85
)

pour

d,Arrhnius

droite
de

donc

et

avons

nous

donnes,

de

davantage

sur

travailler

la

sur

spectres

de

mme nombre

un

points

de

davantage

d,obtenir

but

le

Dans

galement

appliquIamthoded'analysecinqpointsprsenteau
chapitre

2 (ParagraPhe 3'3)'

obtenus
La

tronons

de droite

n4 et

n5 ne sont

autres

qui

un
la

prsence

ensembles de
obtenus

sont

de
d,un

fuite
pic

points
les

faussant
voisin.

seul

part,

spectre

concordants

Si

dduit

en

des

spectres

les

mesures

n1r

cinq

que

leS

pouvant

les

trois

lie

tre

de capacit,

n3r

drune

lrexistence

uniquement

n2r

relevs

relatifs.

tronons

les

En tenant

relatifs

ou

compte des
rsultats

suivants:

a
Drautre

On

droits

des flancs

que

points

mme alignement

Pas dans le

chevauchent.

se

courant

chacun des cinqs

remarque

on

spectre.

perturbation

relatifs

13

des

On distingue

3'8'

figure

la

sur

reprsente

est

partir

obtenue

d'Arrhnius

droite

spectres

chaque

spectres

qu'aux

mthode

cette

Ia mthode deux points'

nouvelle

sur

par

drmission.

vitesses

appliqu

n'avons

Nous

cinq

d'analyse

d) ltthode

on applique

Irfs.

Ea

= Q.273 eY

= 3.5

cD2

(3.6)

une des mthodes d'analyse

3. 15 ,3 ' 16 ,3 ' 171'

avec ceux trouvs

10- ls

jusqu'ici'

on trouve

un

des rsultats

a
-6

o... F
h

R.

ae\

\'q

y'ti-\
Y\.
\r
R

/n4

"

C{

F
c

-8

o
c

o
,r4:,

nt

o
- 10

6.5

.7

7.5

looo/T (K-1)

o
Figure

3.g

cinq: courbe d'Arrhnius obtenue par I'analyse

par Ia
c
a
l
c
u
l

s
vitesses d'mission des spectres
mthodedeuxpointssurl'chantillonR3L2

86

a
e) Conclusion.
constate

on

la mthode utilise

soit

mme temps,

au poids

sensible

mthode

cette

Ie

faisant

d'mission

de points

davantage

sur

sur

de

spectres

les

est

et

droite
sur

les

dont

Dans Ie
peu

relativement

de

Ia

sur

( e n r e T m a x r) f i g u r a n t
Ia

que

d'mission

deS flancS'

ou lrautre

d'analyse

calcul

quel-le

rapprochs

niveaux

de chaque couple

d,Arrhnius,

droite

de

mthodes

les

cinq vitesses

renseignements

sur I'un

se recouvrent

spegtres

de

prsence

la

savoir

DLTS,

davantage

apport,e

rapport

spectres.

les

pour analyser

Cependant, la mthode d'analyse

nous

mdiocre

mmes rsultats

les

sensiblement

dcnne

multipoints

assez

DLTS par

spectroscopie

la

bruit,

sur

signal

un

QU, malgr

donc

se-

rgresslon

une pLage

de -vitesse

PIus tendue

o
1.2 ) Etude- !C--SNPM-=-

a) AcquLsLtlon.
L a p o l a ri sa ti o n
mesures sur l'appareil

N o u s a vo n s
pour

t o u te s

(fie.

3.9).

fa i t
les

d e I' chantillon

est' Ia

m meque lor s

d es

D L S - 8 2 : V m = ov , Y r = - Z V e t t p = 1 0 m s '

1 'a cq u isition
te mp ratur es

des tr ansitoir es
com pr ises entr e

de

capac i t

140 et

23O K

0.40

I
0.30

a
G
g
llJ
F

n an
r,.,v

6
o-

o
0.10

a
0.00

0.1

0.0

0.2

o-3

0'4

0'5

o.4o

o.go
lt

og

P o:o
6
q.

o
0.10

a
0.00+
0.0

Figure

0.1

3.9

o.2
. . o'3
(s)
IEMPS

o'4

0'5

de capaeit mesurs sur

: Exemples de Transitoires
(
I
a
continu
SNPA4
courbe en trait
1'chantillon
.
reprsente les mesures lisses )

87

I
lors

de 1'tude

' ' ' 500 ms

- temps de mesure

de mesure. . .500

b)

et

Calcul

de degr 8 '

des sPectres.

exPlol-tatLon

spectres

retenues

pour

40,45,50,55,60,65

du transitoire

par des polynmes orthogonaux

Le nombre des
valeurs

60 priodes

- moyennage sur
- lissage

I kHz

d'acquisition

- nombre de Points

les

tant

tr

important'

moins

est

calculs

3.10a,

70 ms. Les figures

et

mmes que

les

sont

filtrage
R3L2 :

de I'chantillon

- frquence

de

et

de mesure

Les conditions

les

Suivantes:
3-.10c et

3.10b,

3.1odreprsententcertainsdecesspectres'obtenuspour1es
mthodes 2,3,4

et

5 points

A,

anplitudes

(autour

Si

l,on

rsultats

fait

Er = 0.486
o

= 1.9

eV

o
Ces
d'Arrhnius

mthode de Lang,

, ,.des

o;'rnarque

220 et

entre

= 2.7

valeurs
traces

ont

pour

la nthode

ol

230 K.
trouve

les

Pour la mthode 3 points

(3.8)

10-13 cn2
t

sur les

2 PoLDtB

(3.7)

10-12 cn2

Ee = Q.452 eY

la

fo,$.t11e de

suivants

par

Ia

fluctuatiOnS

faibles

pic

drun petit

I'analyse

par

pF) de ces spectres.

de 0.36

galement 1'apparition

les

notera

On

3.1.

rccurrence

50 fois

lisss

et

obtenues
figures

3.lla

partir
et

3.llb.

des

droites

@
0.

l!
CL

o
lt
CL

a
e10

220

T (K)

a
Figure

3.10

: a ) Spectres DLTS typiques obtenus par Ia nthode

SNPA4.
deux points sur 1'chantillon
b ) Spectres DLTS typiques obtenus par Ia nthode
SNPA4.
trois points sur 1'chantillon
c ) Spectres DLTS typiques obtenus par la nthode
quatre points sur 1'chantillon
SNPA4.
d ) ppectres DLTS typiques obtenus par Ia nthode
SNPA4.
cinq points sur 1'chantillon

D
-7.7

mthode2 Points

I
-7.9

c,
-8.1

-8.3 r4.9

5.1

looo/T(K-1)

-7.3

mthode3 Points

o
-7.5
{
F
c

o
C

-7.7

a
-7.9
4.8

4.9

looo/T(K-1)
par I'analyse de
F i g u r e 3 . 1 1 : a ) D r o i t e _ d ' A r r h n i u s o b t e n u e par--1-1.nthode
calculs
Lang des ip"tt."
SNPA4'
l'
chantillon
sur
pointl
aui
de
b ) D ro i te d' Ar r hnius obtenue par I' analyse
Lang des spectres- calculs par la-nthode
SNPA4'
points sur 1' chantillon
i td "

88

I
et

du

5 points

(fig.

points

la

sur

vitesses

ens et

des

points

par

la

mthode

tronons

de droite

nous

qui

partir

calcule
les

donne

se
aux

relatifs

ceux

rsultats
'i'

Er = 0.477 eV
o

= 1.1

qui

mthode 3 points,

Ia

relative

des vitesses
prenant

valeurs

points

que

constate

ceux

sont

de Ia

n5 . Le calcul

n4 et

en compte les

donne les

oo

mme alignement

dans Ie

se placent

(3.9)

cr2

l0-rz

3 . 1 2 b , q u i r e p r s e n t e l a d r o i te

Sur la figure

obtenue

Sont

n4

et

On

3.12b.

suivants

n3

rIatifs

vitesses

5
et

de rgression

n4. La droite

droites

3.L2a

mme alignement

Ie

dans

seuls

QU les

mthode

figures

d'Arrhnius

courbe

3.L2a),

situent

les

Les

mesures.

la

reprsentes

sont

d'mission
remarque

grce

obtenues

en raison

satisfaisants

des

S/B

rapport

faible

trop

d'Arrhnius

donne pas de rsultats

ne

gree aux mthodes 4

obtenus

des spectres

L'exploitation

droite
o4

dus aux vitesses

:

suivantes

Ee = 0.475 eV

o
Les
vitesses

rsultats

spectres

partir

o = 1.1

1 0 - 12

des spectres

c r l 2,

grce

Sont plus

Ia

nthode

cohrents

d'analyse

que ceux trouvs

par

classique

des

de Lang.

Ia mthode classique
part,

(3.10)

10-12 c2

obtenus

d'emission

Drautre

= 1.1

si

on fait

des

une reconstruction

valeurs

on observe

exprimentaux

( figs.

suivantes
le

bon fit

E"
des

= O.476
flancs

3 . 1 3 a e t 3 . 1 3 b) .

eV et

gauches

D
-6.8
-,n6

mthode2 points

-7.3

anr/

-7.8

./.""

\ -8.3
o

-8.8

o
-9.3
en,

-9,8
4.7

,[.9

6-1

1000/T (K- l)

6.3

o
-6.8

.z

n6

mthode 3 Points

-7.2
nr

/""

-7.6
F
C

-8

-8.4

-8.8

4.

a
Figure
O

3.L2

52

: a) Courbe d'Arrhnius obtenue par l'analyse

cinq vitesses d'mission des spectres
calCuls par Ia nthode deux points sur
SNPA4.
l'chantillon
b)

,+.8
5
0oo/T (K-l)

Courbe d'Arrhnius obtenue par I'analyse

cinq vitesses d'mission des spectres
caluIs par la mthode trois points sur
SNPA4.
1'chantillon

t
..".)

-o.1

IL

ct
, -o.2

-o.3

mthode 2 points
'
-

Me8ur!
Simulailon

-o.4
r70

t80

190

20,0

210

220

21o

22o

T (K)

o.l

o
o

-o.1
IL
CI

-o.2

o
-0.3

mthode3 points
'

-o.4
1?0

Figure

3.13

Merurr!
Slnulltlon

r8o

tgo

2oo
T (K)

: a) Superposition
d'un spectre exprimental
obtenu par la mthode deux points sur
I'chantillon
S N P A 4e t d ' u n s p e c t r e t h o r i q u e
calcul pour
= O.47 eV et o = 1.1 10-12 cm2.
b) Superposition d'un spectre exprimental
obtenu par la mthode trois points sur
lrchantillon
SNPA et d'un spectre thorique
calcul pour
Ea = 0.47 eV et o = 1.1 10-12 cm2.

89

aucune

explication

jusqu'

Prsent.

parmi

230 K

pas t

possible

ce niveau

Ts pose

technique

tre

pu

du pic

de gros

ce pic

problmes

la

conme on s r est

la mthode

linit

nous

m t h o d e s n u l ti p o i n ts,

nfappliquer ons

ti

que

1 et

obtenus

sont

de

mauvaise

trop

qualit

pour

oprations

,ffftr es '
Les sqestr es
.'''; :,

. :.'.:l::i,li:ir''i '

permettre ,,,'Ieur
,

,- ,

... ,.,

de

lisss

se

corrlation
par

des

polynmes

successivement

les

font

sur

orthogonaux

rsultats

leS ,.:mles
8'

d'ordre

obtenus

pour'les
l

diodes

j:

'l-:'

Nous analyserons

I l.i...r I .,::.,;::a. ..

Les

e x p l o i t ati o n .

transitoires

::

p-9.,11r1es

5 pointo

ca t p o u r des degr s supr ieur st

d,ordre

Les

que soit

utilise.

que

suite

quelle

d'analyse

n'a

iI

cat son

avec prcision
pat

entre

situ

de GroYell.

2l Fl,ltres
Tout

apporte

Malheureusement'

Nous remarquerons

faible.

trop

est

plausible.

de caractriser

amplitude

la

plus

|a

est

22O et

des

de I'influence

celle

spectres'

amplitudes
n'a

satisfaisante

hypothses,

les

des

fluctuations

Igres

aux

et

droits

flancs

des

au niveau

apparaissant

Quant 1'cart

SchottkY

R3L2 et

S N P A 4'

90

t
2 . L I Etude-4e--B-3!2--

1.

d'ordre

a) Filtre

T,

40,55,70

nombres

des

de

entiers

pour

millisecondes

d'obtenir

but

(voir

ta

ta

sorte

de telle

dans le

ceci

de 3;

un multiple

soit

de

valeur

une

choisies

sont

de Tr

po ur

obtenus

25O ms avec

et

,220,235

gale 25 ms. Les valeurs

que (Tn-ta)

ont

spectres

quinze

1,

d'ordre

avec des filtres

des transitoires

Par corrlation

figure

2.L2al .
deS spectres

Le lissage

3 . 1.

de rcurrence

formule
sont

prsents

( f ig.

3.15a)

la

sur

obtenue par

3.14.

figure

droite

La

DLTS

.l-isss

d'Arrhnl-us

propose par'lLang

c t ra s s i q u e

I'analyse
:

suivants

rsultats

nous donne les

ces signaux

de

Quatre

Ia

fois

50

ritrant

en

obtenu

est

'l

,ii

Er = 0.326 eV
= 9.8

obtenus
on

la

qui

l,influence
provoque

droite

augmentation

cart

grand

de

nfaste

de la

du

une auguentation

rgression
valeur

par

et
de E" '

par

aux

rapport

nultipoints.

aux mthodes

grce

note

point

un

observe

On

10- 15 Cnl

point

sur

Ia

haute

assez forte
voie

de

rultts

figure

3'15a,

temprature'
de la

pente

consquence

de
une

- o.o5
o
-o.1

]L

o.

- o.15

-o.2

- o.25
125

135

145

155

T (K)
Figure3.14:spectres.DLTstypiqueslisssobtenuspar filtres
numrique avec des
cbrrlation
R 3 L 2'
1
'

c
h
a
n
t
i
llon
sur

d'ordre

@
-5.5

I
.\,
ol

o -7.5

-9.5

e.5

7.5

1000/T ( K- t)

-5.6

FILTRED'OBDRE1

a
ol

F
t

o -7.6
c

nl

o
-9.5
6.5

7.5

10oo/r(K-1
Figure

3.15

de
: a) Droite d'Arrhnius obtenue par I'analyse
Lang des spectres calcuIs par corrlation
d'ordre I sur 1'chantillon
avec des filtres
R3L2.

b) Courbe d'Arrhnius obtenue par I'analyse

cinq vitesses d'mission des spectres
avec des filtres
calculs par corrlation
R3L2.
d'ordre 1 sur 1rchantillon

91

peut

qui

d'Arrhnius

droite

une

obtient

oo

d,une,

lieu

au

spectre

chaque

de

d'mission

vitesses

En tirant

tre

dcoupeen5tronons(fie.3.15b).onremarquesurcette
pas

sont

n5 ne

n4 et

relatifs

segments

QU les

figurer

danslemmealignementquelestroisautresquiSe

la

de

d'Arrhnius

droite

La

chevauchent.

3'15b

figure

nous

permetdoncdeconstaterlaprsenced'uneperturbationdes

en vidence

n1 r n2r

relatifs

obtenus

uniquement

compte

tenant

En

spectres

les

sur

n3r les

par

Ia nthode

des

ensembles

2 points '
de

points

se rapprochent

obtenus

rsultats

t mise

a dj

perturbation

cette

des spectres.

droits

flancs

deceuxissusdesmthodesmultipoints'l

Er = 0.272 eY

, . : -

Des

( f ig.

donc

d,emission

par:ir

d-es';r,3;Elt"t"

obtenus

Paf

.de

lr analYs e
.

, ., . : : -

Les r vl,leurs

retenir

qui

moins

est

sur

la

mthode d'analyse

sensibre
droite

au

polds

d'Arrhnius,

de rgression

se faisant

sur

davantage

de vitesse

d'mission

plus

tendue'

une plage

permettent

de la

lravantage

(e,,r,Tr ) figurant
droite

3 .16b )

spectres

donnesen(3-L2)audtrimentdecellesfigurant.".,.'13:11).
on note

de

simulatlons

classique

(3.12)

10- 15 CDa

E 3.0

de
le

5'itesses
chaque ouple
calcul

de points

de la
et

sur

-5

t
IL

-ro
T
o

o
h

-ts
qt

.9
a

Filtre d'ordre 1

-20

SpoatroobtsnuPour Tm 'l*i
Slmuhtlon

'
-

ms

-25

l,5

136

126

165

156

(K)
Temperature

o
-5

i;.t::

lr

CI
oa

,:,':,,.'*,:t:;

o -lo

-:.:t t:ilit',

r'r::1i.] ..
'

'l

(t,
t-

'

r::t:'

'"t,

,: :-'

i ,'jt''.r

'..' ::.'

..:: l:: it rr'!.

,::,...:.,N;y;i.-!:.

r .,

=U- 1 6
E

"9
o

:: .:
-20

Flltrc dordre I

'
-

Sgootrrob!.nu Pour Tm'115 ma

Saulrtlon

-25t126

Figure

3.16

drun spectre exprimental

: a) Superposition
d'ordre
avec un filtre
oblenu par corrIation
R3L2 et un spectre
1 sur I'chantillon
thorique calcul Pour
Ea = O.27 eV et o = 3.0 10-15 cm2.
b)

to5

(K)
Temperature

t46

du mme spectre exprimental

Superposition
calcuI
Pour
avec un spectre thorique
E a = 0 . 3 2 e V e t o = 9 . 8 1 0 - l s c m 2.

92

plus

sont

(voir

tu

et

Tn:

Tout

sera

les

lisser

Quatre

de ces

signaux

sont

DLTS lisss
(fie'

d'Arrhnius

3.17 . La droite

ces spectres

sur

50 fois

ritre

3.1

pour

ta

suivantes

de

ProPose

diffrents

des Prcdents

25 ms'

de rcurrence
bien

l-a figure

sur

obtenue Par lfana1Yse

' . i.:.

des'

donne

nous

td

de manire

prsents

3.18a)

Lang

Pat

cLassique

pour

formule

1,la

d'ordre

filtre

le

valeurs

459 ms et

et

.,43L,445

263,277,2g1,...

les

pour

calculs

ont

commepour

de 7

des multiples

sont

2'L2b\ '

figure

Quinze spectres

s/B;

rapport

de urillisecondes

un nombre entier

obtenir

de faon

(T'-ta)

diffrences

les

part,

d'autre

le

d'amliorer

but

dans le

importantes

pour Tn

choisies

valeurs

les

des spectres,

calcul

Pour Ie

2.

d'ordre

b) Filtre

'rsultats

B r = O.2 92 eY
= 1.5

pourtant,
droite

or observe

la

la

mthode 5 vitesses
Ia

OD obtient

faible

de la

figure

d,mission,
courbe

(3.13 )

Clz

un trs

de rgression

et

DLTS,

IO-rr

3.18a'

Si

polnts

on utilise

des mmes signaux

partir

d'Arrhnius

entre,les

eart

reprsente

sur

Ia

figure3.lsb.onremarqueIegrandcartdelinaritentre
l'ensemble

droite

des points

relatifs

n5 et

n4r et

d'Arrhnius.

Enneprenantencompt'equelespointsrelatifsnlrn2et
n3ronobtientdesrsultatsenaccordavecceuxobservs

jusqu'

Prsent

:
Ea = 0.273 eV
o

= g.4

10-ls

coz

(3.14)

le

reste

de la

- o.o5
a

-o.1
o

lL

o.

- 0.15

Filtre d'ordre2
-o.2

Tm ' 291
Tm . 347
Tm . 403

Tm ' 459

- 0.25
125

135

145

155

165

T (K)

io
I

F i g u r e 3 . L T : S p e c t r e s l r ' . T s t y P i q u e s . o b t e n u s p a2r c pour

o r r l a 1'chantilron
tion

lo

;i;;-;;

R3L2.

?;1i';;ia"

(:
-6.9

Filtre d'ordre 2

ol

c
o -7.15
c

o
L

-7.4
.5

6.6

6.55

1000/T (K-r )

(_D

-6

-6.4

'\Y"

Filtre

-6.8
ol

F
c,

9-7-2

-7.6

-8

-8.4
6.2

tl

6.4

.6
-l

rc00/T (K
Figure

3.18

')

obtenue par I'analYse de

: a) Droite d'Arrhnius
par corrlation
Lang des spectres calculs
2
sur 1'chantillon
d'ordre
ave les filtres
R3L2.
b) Courbe d'Arrhnius obtenue par 1'analyse
par
cinq vitesses des spectres ca1culs
2 sur
d
'
o
r
d
r
e
f
i
l
t
r
e
s
avec les
cotilatlon
R3L2
l'chantillon

93
)

Les

3 . 19b,

et

3 . r_9a

f igures

des

reprsentent

gui

simulationsdeSpectresfaitespartirdesrsultats(3.13)

et(3.14),nouspermettentdevaliderlesvaleurstrouvespar
lamthode5vitessesd'missionaudtrimentdecelles
la mthode classique

obtenues par

de Lang'

a
c) Conclusion'
de

L'tude
o

filtres

les

utilisant

corrlation

R3L2

1'chantillon

nthodes

les

par

de crowell

est

plus

de

dlicate

queparlesmthodesmultipoints.Eneffet,suivantlamthode

de

diffrent

rsultats

les

utilise'

d'analyse

faon

significative.L,analyseparlanthodedes5vitesses
d,mission

est

spectres

en dtectant

constate

QU, tout

nthodes

2 et

I,infruence

sur

ceux-ci

colnme pour

3 points,

de mauvaises

les

flane

la

meilleure
les

anomalies'

signaux
droit

conditions

exploitatlo;r,des
En

,ef{ei:

ot

DLTS obe4us Par les

ds spectres
de mesure

fuiteimportants)ouuneperturbationprobableEentlie.un
niveau voisin.

permet

qui

celre

est soumis
:
de
(courants

(0
/

I
I

-o.o5

!""

t"'

t.

,l'
\i

-o.1

]L

/'

,i

\' ' l
'\

-0.15

i'
i.

\i
\i

i
\

-o.2

Filtre d'ordre 2
'
---

-0.25
125

i'

.1

Mau?ea
Simulation
I

145

ti|s

155

t65

T (K)

a)
o

o
,l

filS

l/t6

T (K)

o
Figure

3.19

: a)

io
b)

d'un spectre expr-imental Superposition

d'ordre
avec un filtre
p
a
r
c
o
r
r
lation
obtenu
R3L2 et d'un spectre
2 sur Iichantillon
c
a
l
c
u
l

Pour
thorique
g"-= O.Zg eV et o = 1.5 10-r cm2'
Superposition d'un spectre explimental
d'ordre
avec un filtre
obtenu par corrlatin
s
p
e
c
t
r
e
d
'
u
n
R3L2 et
1-'chantillon
2
n rt i q u e c a l c u l P o u r
t h " o
"

o
94

a
2.2\

Etude de SNPA4

a) Filtre

1.

d'ordre

calculs

Le nombre de spectres
les

l'tude

R3L2,

de

retenues

valeurs

pour

choisies

valeurs

cela

T, = 105, 120,135

figure

signaux
22O et

des pics

DLTS calculs

par

les

la

apereevoir

2 et

mthodes

variation

la
des

des paramtres
pu

T.

du

sui'1""
(entre

points

l'ensemble

de Lang de

nthode

nous donne la

calculs

Iron

sur

moins nettenent.

apparait

par

Les

formule

reprsents

nette

trs

en fonction

que

Lranalyse

eux sont

la

pic

230 K),

S/8.

de la

50 itrations

d'entre

petit

Le

corrlateur.

par

remarque

on

maximales

amplitudes

rapport

de

= 30 ms.

lisss

3.1-. Quatre

3.20;

le

lors

suivantes:

ta

seront

Les 15 spectres

que

leves

285' 300,315 ms,

avec un temPs de retard:

de rcurrence

plus

sont

15, mais

toujours

d'augmenter

afin
les

sont

Tn

s'lve

d'Arrhnius

droite

de la

des

spectres

figure

3.21a

partirde1aque11eonobtient1esrsu1tatssuivants:.
Ee = Q.496 eV

o
La
spectre

simul

que seul

le

partir

flanc

5 vitesses
la

figure

tronons

de droite

(3.15)

nous amne

gauche du

pic

3. 21b) .

on utilise

Sur

Si

peut

on obtient

cette

droite

correctement

Evec

DLTS exprimental

signal

des rsultats

d'mission,

3.22a.

10- 12 C2

d'un

superposition

mthode 3 . 15 ( fig.

= 3.4

Ia
on

aligns

tre
la

constater

approxim

par

la

mthode d'analyse

courbe

d'Arrhnius

remarque que
sont

un

ceux

les

de

seuls

relatifs

o.1

- o.1

lJ.

-o.2

o.
- 0.3

-o,4
o

- o.5
a
- 0.6
170

190

200

210

220

230

T (K)

180

Figure

3.20

: spectres DLfs typiques obtenus par corrlation

avec les filtres
d'ordre 1 pour 1'chantillon
SNPA4.

("-)

-"1

a
-7.8

-8.3
c

\
\

(l)

-8.8

1.7

4.9

rooort(x-t )

5.S

6.5

Q)

o
lt
CI

-o.4 Filtre

.M

-o.5,
170

Figure

2N

T (K)

210

3.2L

: a) Droite d'Arrhnius obtenue par I'anaryse de

Lang des spectres calculs par corrIation
avec les filtres
d'ordre 1 sur I'chantillon
SNPA4.
b) Superposition d'un spectre exprimental
obtenu par corrlation
avec un filtre
d'ordre
I sur 1'chantillon
S N P A 4e t d ' u n s p e c t r e
thorique calcul pour
E a = 0 . 4 9 4 e V e t o = 3 . 4 1 0 - t s c m 2.

)
-6.8
-n5

-7.3

-7.8

enn/

-8.3

a
-8.8

nz

-9.3

Filtre d'ordre 1

-9.8
nt/

- to.3

- to.8
1.7

4.9

5.t

poo/T (K-r)

5.3

5.5

a
-o.2
lr

CI

-0.3

Filtre

'

Mesurer
--- Slmulstlon

-o.5
170

o
3.22

-__-_-

1 . , -. _ _ _

190

__

200

: a) Courbe d'Arrhnius obtenue par I'analyse

cinq vitesses drmission des spectres
calculs par corrlation
avec les filtres
d'ordre 1 sur 1'chantillon
SNPA4.
b)

180

T (K)

Figure

--------

Superposition d'un spectre exprimental

obtenu par corrlation
avec un filtre
d'ordre
1 pour 1'chantillon
S N P A 4e t d ' u n s p e c t r e
thorique calcul pour
Ea = 0.475 eV et o = I 10-12 cm2.

95

a
n1 et

n2.

Si

on utilise

t nz pour calculer

e"r
O

les paramtres

correspondants

Ea et o,

on obtient:

Ea = 0.475 eV
= 1

o
que

Bien

1'ensemble des points

Ies

pics

ces rsultats

mthodes multipoints,

entre

exprience
( fie.

et

(3.16)

10-12 cm2

concordent

avec

observe

toujours

on

simulation

au niveau

ceux

par

trouvs

le

mme cart

du flanc

droit

des

3.22b)

o
b) FLltre

2.

d'ordre

L e s 1 5 va l e u rs
-

'ra sont

-a---

-.--2--t 1l e
ves:

plus

'

g.2g

figure

1'algorithme

quatre

utilis

dans

de

ces

le

paragraphe

spectres

lisssi,par

prcdet;l','on
,,i_ .

remarque que
spectres

obtenus I'aide
par

L'analyse
d'Arrhnius
valeurs

L'amplitude

la

de la

de Ea et

Ts

du filtre
de

3.24a

varie

moins

qui

nous

i r.,::l'

.que sur,. Ies

d'ordrel.
Lang

,!i.-.

,.:-';
::.

donne

:Ia

droite

n o u s p e r m e t d e calculer

les

Br = 0.486 eV

Si

pic

:,:

o :

du

nthode
figure

tns avec

: ta = 30 ms.

prsente

dJ

le par amtr e de cor r lation

^t^
T, = 2
4 O , ^2F5F 5 , 2 6 8 , . . . , 4 0 8 , 4 2 2 ; 4 3 6

le mme temps de retard

La

pour

ch o i sies

obtient

on
la

= 1.9

utilise
courbe

la

(3.12)

10-12 coz
mthode

d'Arrhnius

vitesses
de

Ia

d'mission,
figure

on

3.24b.

0.1

- 0.1

lt

-o.2

o.

\/

- 0.3

a
- 0.4

o
- 0.5
t

- 0.6
170

190

210

220

T (K)

200

Figure

3.23

: spectres DLTS typiques obtenus par corrlation

avec les filtres
d'ordre 2 pour r'chantilron
SNPA4.

("-)
-7

I
-7.6

\t
!

(l,

-8

Filtre d'ordre 2

-8.6' -1.7

4.8

4.95ooorr (x-r)

6.1

52

o
\

-e"c
\
\
(
,\
enr/

tC

i:-a

E-a

l
!

Filtre d'ordre 2

t-

4.86

rcoort (x-t )

Figure

3.24

: a) Droite d'Arrhnius obtenue par l,anaryse

de
Lang des spectres calculs par .orrl.tion
avec des firtres
dfordre 2 Lur r'chantirron
SNPA4.
b) Courbe d'Arrhnius obtenue par I'analyse
cinq vitesses d'mission dei spectrs'
calculs par corrlation
avec 1es filtres
d'ordre 2 sur l'chantillon
SNPA4.

96

L'exploitation
(qui

se

des

chevauchent

nous donne les

pas

prcise

I'aide

son

et

pu

tre
des

de crowell.
amplitude

I'existence

se

droite

trouvent

mmes rsultats.

SNPA4 nra

filtres

segments de

dans

reste

fonction

nr

faon

numriques

temps

n2

mme alignement)

complexe et

du

et

Ts de I'chantillon

de

corrlations

de plusieurs

le

Le niveau

caractris

ce pic

en

reratifs

Tn

suffisamment
utilisant

la

les

variation

laisse

de

supposer

niveaux.

a
3l

Gonclusion.
Nous

fonction

de

accorder

aux

prus

fins,

donc

cette

rsultats

simiLitudes

les
qui

diffrentes

bon

plus

existent

de

I'on
pics

les

la

grce

demeure celre

entre

I'aide

rapport

insuffisante

des

bien

s/8.

La

rsultats
pour

extraire

enchevtrement de plusieurs

obtenus

et

que

comportant

sensibles

fiables

choix

la

peut
les

prsenCe de
:
.ninoaes.
aux

qui

nous

cela

en raison

res

rsultats

j"donn

d"slgrandes
lssu

des

offre

une

mthodes d,analyse.

fiabilit

moins

sont

moins bonne prcision

d'un

les

du

prcision

ra

spectres

technique

La corrlation

Les

rapprochs,

lrimportance

dans

rsultats.

nultipoints.

constater

corrlation

niveaux

les

pu

avons

des filtres

de Crowell

que ces eorrIateurs

raison
provient
le
pics.

principale
d'une

niveau

de

ce

rsolution

profond

pourvus

soient

manque de
spectrale

principal

d,un

97

o
grce

Pourtant,

I'tude

les

de crowell

filtres

par

Toutefois,

malgr

mthodes multipoints,

niveau

prsent
de les

profond

g.2t

tester

SNPA4) vont

tre

En

du

raison

outre

une nergie

capture
2

la

1a

bonne

n'a

pas t

et

voisines
points.

dtection

rsorution
possible

des
cette

des dfauts

spectrale

des

de modliser

le

sNpA4. Le rnodle un unique

le

plus

adquat.

Nous allons

des mthodes isothermes

des techniques

faibre

lisss

(Ts

de

I'aide
rapport

calcurs
par

afin

de corrratl-on.

directe

l'chantirlon

R3L2 et

Ts

de

et

de

de mthodes isothermes.
s/B

seront

des

nthodes

raliss

rrs
partir

des polynmes de Tchebychev d'ordre

des mesures de capacit

multiexponentier

ne ncessite

tudis

res

L'approximation
mono ou

en

performances

mmes niveaux

transitoires

mthodes

semble ne pas tre

les

de

R3L2 avec

UthodeE fsoth

dconvolution,

section

Ts relatif

comparer celles

Les

de trouver

vitesses

DLTS.

ir

comportement du pic

nous a permis

facilite

des pics

T:

l'chantillon

les

flancs

sur les

d'anaryse
de

qu'une

obtenus

mthode d'analyse

mthode

du niveau

ainsi

rsurtats

la

d'mission,

d'activation

pas un lissage

(grce

pralable

I'algorithme

par

des
g.

un modle

de Marquardt)

du transitoire.

98

a
1) Mthodes

ITS

Au chapitre

deux,

nous avons distingu

principalement

cinq

mthodes ITS:
-

Ia

mthode

Tokumaru Irf.

les

Ie

Irf.
Ia

1.1)

Erude

base

3.18]

signaux

signal
-

de

Yz

dveloppe

donnant le

et

ys

par

Okushi
ITS: yr

signal

dcoulant

et

prcdent

du

Yr .
procd

de

1issage

de Minondo

(signal

yc )

3.19] .
mthode la

plus

ses

collaborateurs

Irf.

3.20].

du nivggll_fs

rcente,

celle

donnant

Ie

de l'chantillon

de Cola

et

signal

ys

r:

R3L2.

:,
. ,,, : . . ,
,.'

a)

Galcul

du sLgnal

Aprs
O

Ie

yr

lissage

..-

des transitoires,

facilement

soit

partir

de

I'opration

de

lissage,

soit

drivation.

on

constate

driv

dpend

'en

de drivation.

Le signal

Yr est

ensuite

dc
dr

par

du

drLvation

se' fait

polynomiale'issue

tout
que

ef fet

calcul

re temps r:
Yr=t-

l'expression

essentiellement

procdure

la

autre
la

algorithr'.

qualit

lissage

en multipliant

et

du
non

Ia

de
'd.

signal_
de

la

drive

par

99

a
La

figure

3.25

prsente

Ia

prsence

remarque

correspondant
par

les

compris

reprsentatifs
disparit

de

entre

voisines

de

niveau

]-46 et

d'activation

Ee et

On trouve

Ea = 0.31

En ra i so n

= $

droite

de

les

La

figure

calculs
seuls

les

des

pics

prsentent
3.26a

nous

montre

on ne retiendra
les

les

de

spectres

capture

de

Ia

que ceux

amplitudes

vareurs

on
pF ,

O. Z

pratique,

calcurer

150 K.

restent
l'nergie

partir

de

la

suivants

eV

10-rr cD2 (3.18)

fa i b l e

r g re ssi o n

d ' A r r h n i u s,

du

160

(zone

3.26b).

rsultats

les

En

et

section

(fie.

les

sur

de ces pics;

pour
la

courbe d'Arrhnius

T: .

154 K

pF)

a.2

releve

l-40

obtenu
d' amplitude

corrlation.

entre

du

rrs

pic

d' un

des amplitudes

compris

spectre

1'amplitude

mthodes

spectres

le

coefficient
calcur e

r su rta ts

sont

de cor r lation' ,,,,ile

par tir

de

r elativem ent

1a
ta,it ,u r ue

m oins pr cls

q ue

ceux obtenus pat les mthodes de corrlation.

b) Galcul de Yz et Ys.

Les

Yz

si g n a u x

et

successive du transitoire

Ys

sont

et nultiplication

d2c

obtenus

rapport

S/B

spectres.

3.27a
150

et

K.

devient

Du

par Ie temps t:

etYs=t3
dt2

figures

dr ivation

d3c

Yz=X2
Les

par

obtenus

dt3

3 .27b prsentent
fait
trop

des
faible

Ies

oorations
pour

spectres
de

yz

et

drivation,

I'exploitation

de

Yr
l-e
ces

o.25
T.15OK

o.2
o

o.15
o
..-cl
F

0.1

o.os

o
o

Temps(s)

o.2

0.1

Figure

3.25

: Spectre ITS (yr ) obtenu T = 150 K sur

1'chantillon
R3L2.

0.3

()
o.22
T'146K
*

gT.l54K

o.2

0.r8
IL

c\

- 0.16

o.l4

o.r,
i-

0.,I

l,t0

- l

145

_,

-,_

150

_-

155

T (K)

-6

o
-7
.c.
F

:\

o
c
-8

o
I

-- -

___-,

-,__ _ ,- I

looo/T (K 1)

- _-

6.5

Figure

3.26

: a) Amplitudes des spectres

de la temprature.

--___

7.5

ITS (yr ) en fonction

b) Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres ITS raIiss sur 1'chantillon
R3L2.

(a)
o.2

T - 15OK

o.l

lt

-ct - o . l
ol

-o.2

o
-0.3

-0.4

o.t

0.2

o.3

Temps(s)

G)

.l: ..
t:,

o
^0
lt
CI

,
-2

o
-1

o.l

o.3

Temps(s)

Figure

3.27

: a) Spectre ITS (Yz ) obtenu T=

l'chantillon
R3L2.
b)

o2

Spectre IlS (Yr ) obtenu T=

1'chantillon
R3L2.

150 K sur
150 K sur

100

I
c) I{thode de Minondo.

Le calcul
lissage

celle

polynomial

de

la

d e c o u p l e r u nte
e op
r p:r a tL1i 0 n d e
Toutef ois

drivation.

des mesures

par

calcul

Yr permet

du signal

este

indispensable.

s ui v a n t e |

formule

La svrit
r.

facteur
pour

pics

spectres

La

filtrage

gale

d'amplitude

obtenus

spectres

entre

1'nergie

on

Ea

(ev)

o ( cutz )

des

rsultats

Ies

nthode

ITS

rsultats
corrlation,

se

et

que les

galement

et

il

la

de

est

section

var eur s

que les

se situen
sur'rles
: .. : , :;:-:.
3.29a). {.tarirrdsg
K

(fie.3.29b),

d'activation

r.a

ldroite

. . r _ _... : . , , r . r . . : r . :

pssiUl,

de capture

tr ouves

dlm inuent
.'.

0.295

0.284

o.269

o.257

7.44 10-rs

2 . 2 3 1 0 -1 s

9 10-16

10- r 1

valeurs

de

totalement

retrouve

154

150 K

1.8

Pour

pF

obtenu

Le

tae
du
si

augmente

augmente avee

On constate

LAG et

correspondante

{:

un spectre

de 0.2

l n ((rr))

c(t)

154 K (fie.

L46 et

n i v e a u T s. o n co n sta te

5.

voisine

entre

calculs

drArrhnius
calculer

de r

est

1\

1l:(

'l t: r

du transitoire

(t
Y,

1t

3.28 prsente

figure

une valeur

seuls

du

It_i
is saSe

Le) s s i ggna
r t

Y4 = --\

1e
e

suprieures

aberrants.

rsultats

donns

de

0n

base.

rapprochant
lorsque

le

Lorsque
dans

remarque

de ceux
facteur

le

r est

3n

obtient

tend

paragraphe

que

obtenus

5,

1'on
par

des

vers

1,

on

a)

par

la

retrouve

les

compris entre

des

mthodes
3 et

4.

de

a
0.25

150K
o

lJ.
.--O

s
o

Temps(s)

Figure

3.28

: Spectre ITS (Yr ) obtenu T=150Ksur

1'chantillon
R3L2.

@
o.22
.

T'154K
.*

*'

T'lz[6K

o.2

0.18
l!

+
x.r8

o.t4

0.12

0.1
140

145

x55

150

160

T ( K)

(bJ

o
G|

t-

7.5

|
10oo/T(K- )

Figure

3.29:

a) Amplitudes des spectres ITS (Yt pour

en fonction
de Ia temprature.
b) Droite d'Arrhnius
obtenue partir
spectres ITS (Ya pour r=4) ra1iss
1'chantillon
R3L2.

r=4)
des
sur

101

a
Remarque:
- Ie coefficient

r n'est

- la prcision

des rsultats

d) Mthode de Gola et

Des spectres
]-4O et

ont

calculs

de la

formule

ys = C(trTz )

figure

Les amplitudes

La

courbe

de tous

le
les

dfArrhnius

reprsente

selon

cette

mthode entre

suivante:

G(t,Tr )

prsente

3.30a

mdiocre.

=4K

avecTz-Tr
La

reste

un entier.

de ses collaborateurs.

158 K I'aide

pas forcment

figure

signal
spectres

obtenue

3.30b.

calcul
ont

partir

Lrexploitation

pour

= 150 K.

Tr

normalises
des

spectres:

des valeurs

relative

aux

spectres

les

rsultats

permet d'obtenir

Ee = O.31
o

On retrouve
toutefois,
sensible.

des pics

Ia

les

rsultats

tout

3.30a) .

entre

suivants

146 et

t54

K nous

eV

lQ-1r

prcision

On peut
( fie.

= !

conpris

est

de'cette
!,

courbe

1.

n'a

cn2

(3.19)

obtenus
pas

dans le

de mme noter

paragraphe

anliore
la

forme plus

de

),

manire

rgulire

.3
1.2

Tl . 15OK

a
-

G
j

ro

0.6

o
o.2

____

o.l

__'

o.2

___

o.3

Tempc(s)

a)

-6

o
-7
CI

o
c

-8

o
-9

1 0 o o / T( K - r )

Figure

3.30

: a) spectre rrs (ys)

sur 1'chantillon

obtenu pour Tr = r5o K

R3L2.

b) Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres ITS (Ys ) raliss sur l'chantillon
R3L2.

LO2

Ts de SNPA4

L.2 ) Etude du niveau

pour

calculs

pour

pics

de

3.32a

chaque

spectre

Ea

2O3

1933Ts

et

et

Ia

de

des
Pour

droite

obtenus

pour

sont

les

plcs

des

rsultats

Les

figure

K.

zLO

pics

les

seuls

obtenu

amplitudes

partir

utiliss.

seront

I92

entre

2LO K

la

sur

des

1'volution

3.32b,

donne figure

d'Arrhnius

reprsent

est

obtenu

de

valeurs

les

clculer

montre

figure

La

2OO K,

de

ceux

L92 et

spectres,

Un de ces

significatifs.

une temprature

3.31.

des pics

prsentent

seuls

dC/dt,

entre

comprises

tempratures

des

Yr = t

pour

obtenus

spectres

les

Parmi

Yr rYz et Yg.

a) GaLcul des signaux

suivants:
Ea = O.44

spectres

trace

autour

dispersion
sur

des
la

fluctuation

Ia

notera

On

10- 13 CDe

= 1,4

eV

O.g7

de

pat

points
figure

pF

ces rsultats.

Les

calculs

des spectres

totalement

des

amplitudes

des
(fig.

rapport

3.32b qui

(3,20)

3.32al

explique

des signaux

inexploitables.

la

et

faible

Yz et

importante

de rgression

droite
la

prcision

Yr nous

de

donnent

o.4
T.2OOK

o
0.3

.h

- o.2

0.1

o
o

o.2

0.1

0.3

Temps(s)

o
Figure

3.31

: Spectre ITS (Yr) obtenu pour T = 200 K sur

1'chantillon
SNPAA.

(e)

T.193K
*

*
T.2O3K

CL

f o.s

0.2 L
190

f95

200

205

2lo

T (K)

a
4.5

1000/T( K- r )

Figure

3.32

: a) Amplitudes des spectres

de la temprature.

ITS (yr ) en fonction

b) Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres ITS (Yr ) raliss sur I I chantilton
SNPA4.

103

o
b) I!{thode de Minondo
Grce

des

Ia

spectres

mthode de Minondo,
lisss,

exploitables.

La

figure

2OO K pour un facteur

on

comprises

sur

la

dpendent
tableau
cerles
pour

entre

3.34b

celle
trs

d'obtenir

plus

facirement

prsente

le

I'on

aboutit

pour

variabre
2o2 K.

spectre

La droite

trace

les

r proche

figure
du

3.32b.

tempratures

r.

rsultats

3 points

plus

obtenus

On constate

de E" et o 1es plus

mthodes 2 ex

trace

de corrlation
Les

pics

des

de rgression

coefficient

valeurs

calcul

des

possde un coefficient

par

un facteur

possible

3.33

que

que les

fournies

est
seront

3.34a )

fortement

suivant

il

qui

4.

195 et

y+

spectres

r gal

faiblement

figure
que

lev

( fig.

constate

d'amplitude

- Galcul_ du signal

sur

le

proches

de

sont

obtenues

de 4:

o
r
Ea (ev1

o (10-rrcm2)

tl

o .447

0.508

0.480

0.453

o.402

200

683

130

27

1.4

a
Aucun critre
il

est

autre.

nfayant

difficile

de

pu tre

fix

retenir

un

pour

Ie

rsultat

choix
eu

du facteur
dtriment

r,
d,un

o.4
'2OOK
o

o.3
O

-o.

ll

o.e
a

0.1

o
o

o.1

o.3

Temps(s)

o.2

Figure

3.33

: Spectre ITS (Yr) obtenu pour T = 2OOK sur

1'chantillon
SNPA4.

lJ-

cI

Is o.s

(D

a-8
F

o
c

4.5

Figure

3.34

: a) Amplitudes des spectres ITS (Yt pour r=4)

de Ia temPrature.
en fonction
obtenue partir
b) Droite d'Arrhnius
(
Y
a
p
o
ur r=4) raliss
spectres ITS
SNPA4.
1'chantillon

des
sur

104
)

c) Mthode de Cola et

193 K

2O3 K ont

prsent

figure
Ys

signal

celui

Ceci

K.

un certain

la

de

Tr

droite

allant

=
que

196

ce pic

avec

forme du
un

plus

est

plus

rgulire.

gain

au niveau

de

du rapport

des points
nous

celle-ci

large

que

a)

que

et

la

de

donne

cart

S/B et

autour

de

d'Arrhnius

3.35b nous montre la

Ti

les

donc

droite

rsultats

suivants

Er = 0.70
= 4

mthodes

mdiocre

et

se rapprochent

points,

raison

en

eV

10-rt cD2 (3.21)

que ces rsultats

Bien
les

trac

fluctuation

L'tude

d'Arrhnius.

tempratures

de Ys

mthode ITS de base (paragraphe

Ia

grande

une moins

pour

lgrement

permet

le

On remargue

par

obtenu

des

La figure

3.35a.

sa forme est

permis

calcul

Tz -Tr =

T=

pour

relevs

Onze spectres

- Calcul

de ses collaborateurs

d'une

de

prcision

la

est

importante

assez

,ceux 'bt!.1r,'11$,.
enoie 1,.Ssez

fluctuationiides
, , , . -"

pointsautourde1adroited'Arrhnius(fie.3.35a).

..:..

1.3 ) Gonclusion
Les

mthodes

d'avantages
La

par rapport
ITS

spectroscopie

rapport

qui

ITS

S/8.

mthodes sont

Les

Pour
profonds,
bruites

les

puisqu'on

modestes

ces

trs

de
bien

en raison

spectrales
ne peut

de rcuprer

mesures

ou alors

prsentent

testes

demeure peu fiable

rsolutions

appliquer

peu

aux mthodes de corrlation.

de 2.4 kT sans risquer

ont

capacit
lisses.

descendre

ces

en-dessous

inexploitable.

d'analyse
doivent

faible

par

offertes

un signal

techniques

du

des
tre

niveaux
trs

peu

(a)
-7

-7.5
*T.2O3K

-8

ol
F

\,

c.

\
-8.5

\ t'tggx
.rF

o
-9

-9.5
4.5

5.5

t
rooo/T(r- )

(o)

1.2
Tl .196K

o.8
c
j

i o..
/

o.2

I
I

0.3

o-2

TemPs(s)

Figure

3.35

d'Arrhnius obtenue parti-r- d":

rTs ii' I raliss sur 1'chantillon
;;;;.;
SNPA4.

: a) Droite

b)
,

-- ----

o"l

pour
Spectre ITS (Ys ) obtgntl
'
S
N
P
A
4
sttt I'chantillon

ft

= 196 K

105
)

polynomiale
!

2) Mthode

de Lebloa

principe

consiste

exprimer

produit

de

Pour calculer

on

vu

des

bornes

qu'il

permettent

de mesure.

d'effectuer

cette

et

Fourier
le

pratique,

rapide

de

de

du transl-tolre,
et

dehors

en

aux

Prlncipales
mthodes

les

ce sont

problmes

nombreux

de

cal-cul

permettre

variable

du pas en x que l'on

a fix

signaux

Ie

filtrage
avant

les
cette

la

valeurs
division

des

fonction
]eves

le

une valeur
la

tant

11r, des

apparaissent.

Transforme

x et

variable

de

issus

une
de

de 2561.

arbitrairement

I( l+iw)
de

par

calcul

Transforme

Ia

d'oprer

par une gaussienne.

en un nombre gal

du transitoire

(on a retenu

passage de la

En ef fet,

des

de capacit

Deux technLques

oPration;

d'un

oprer

des mesures

signal

2)

chapitre

de Balcou.

de 2 pour

1'(l+iw)

K).

apparaissent:

puissance

tl

partir

de Fourier

Ie

annuler

1rchantillonnage

partir

Transforme

fallait

niveau

Au

la

de

Transformes

des

calculer

et

au

doit

oD

cela,

intervalles

de Tscharner

( environ

de capacit

Pour

inverses

et

de

variations

des

(prsente

transitoire

variable

C(t).
a

Ie

types

de dconvolution.

mthode

cette

nos

mieux

d principalement

convolution.

directes

Fourier

le

s'adapte

ou nthode

de

de

I'approximation

utilises,

la mesure des transitoires

durant

changements

est

bruit

temprature

Le

Le

mesures.

qui

celle

est

lissage

de

techniques

les

Parmi

le

cholx

Ln(L/2562\

toute

division

de Fourier
voisine

oscillations

Par

inverse.

de z.ro pour
causes

par

Le Bloa a propos un filtrage

a
106

D
Tout

Ia

explique

cela

relative

de

complexit

Ia

mthode de

dconvolution.

a
2.1)

Mthode de ISCHARNER.
qui

Lropration

bornes

de t par

rendre
f

de

ngligeable

le

signal

intervalle

de

mesure

: dC(xl/dt.

Ia drive

gaussienne (exp(-w2/vto2)l filtrant

dC(x=In(t) )
TF(t
) sur f(l+iw)
le signal issu du rapport
dt
suffisant.
a t fix J2, valeur qui permet un filtrage
La pulsation

C o m m el e

aux

au produit

correspond

de

et

dehors

en

mesur

permet

figures

les

montrent

des

dicontinuit

sans

trac

wo de la

et

3.36a

pour

obtenus

signaux

oD remarque le

3.36b,

1rtude
'

nos deux chantillons

La

figure

l'tude

signaux

obtenus

Ceci

rend

amplitudes
retient

Ia

son

= Z

lQ-ts

du

niveau

plage

pour exploiter

Ea = O.47

Ts

on obtient

(3.221
de

davantage bruite.
plus

d'autant

comprise

(3.23 )

que

3.38b).
193 et

entre

on obtient

eV

= 10-12 Cm2

est

normment (fig.

d'Arrhnius,

SNPA4, 18

1'chantillon

3.38a)

temprature

la droite

cD2

fluctuent

de

les

uniquement

de temprature'

difficile,

exploitation

de pics

exploite

eV

obtenue (fie.

d'Arrhnius

droite

l.

1'tude

on

Er = O.27

Dans

si

intervalle

cet

dans

de

R3L2. On observe.(fig.
'spectres
peu pour les
fluctue

154 K;

suivants

rsultats

rsultant

d'Arrhnius

droite

des pics

L46 et

entre

Ia

,l

de I'chantillon

Tr

du niveau

calculs

les

prsente

que I'amplitude

3.37b)

3.37a

de

Si

les
on

L97 K

)
o.25
T.15OK

o.2
lr
CL

E o.ts

o
I

o.l

o
o

CI
6

o.i

02

0.3

o.4

o.5

Tempe(s)

o
lr
o
o
E
o

o
2
o
o
o
o

(r,

o.1

Figure

3.36

: a)

b)

o.3
Temps (s)

o.2

Spectre isotherme obtenu par Ia nthode

i-scnarner T = 150 K sur l'chantillon

de
R 3 L 2.

Spectre isotherme obtenu pour la mthode de

SNPA4
ischarner T = 200 K sur l'chantillon

-o

)
. gT'154K

-7
l

o
c

r.T.146K

-8

-9

7.5

t o o o / T( K - t )

I
o.24
o.22

I
o.2
lt

o
>o.r8

a
o.16
0.1.1

o.t2

o.l
140

145

I
Figure

3.37

: a) Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres ea1culs par la mthode de Tscharner
sur l'chantillon
R3L2.
b) Amplitudes des pics des spectres calculs
par Ia mthode de Tscharner sur l'chantillon
R3L2.

a-8
F

c.

o
c

.tT-1e7K
-8.5

o
T'193t'

@)

o.4
T'193K
*.

*
T.l97K
'.,.4,

IL

-
!o.s

a
Figure

3.38

: a) Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres calculs par la mthode de Tscharner
sur 1'chantillon
SNPA4.
b) Amplitudes des pics des spectres calculs
par Ia mthode de Tscharner sur l'chantillon
SNPA4.

107

t
on
ceux
'

remarque que les

prcision

2.2)

reste

les

Les

du

prsente

diffrent

niveau

un

Ts

spectre
qui

de

1'chantillon

obtenu

Er = O.275

La plage
rsultats

rsultats
prcdent.

toutefois

la

150

K,

La

gale

la

valeurs

pour

figure

que

ainsi
les

reste

prcdents

des
R3L2.

de trouver

3.39
droite

suivantes

pour

utilise

lrobtentlon

:,:
de ces

de L46 153 K.

d'Arrhnius

on

le

rsultant

spectre

de l'tude

obtenu

reprsents
de ceux

exploite

193 et

la

sur

figure

Ia

prsents
mme

= 7.4

dans

prage

eV
10-13 coz

du niveau

2OO K grce

L97 K, on trouve:

Ee = 0.465
o

'

(g.24)

cqa

temprature

se rapprochent
si

eV

lg-rs

d' an-a_lyse sont

eomprise entre

sur

'

= g

que

SNPA4, ainsi
nthode

de

srtend

La droite

gaussienne

la

rgrement

nous permet

eorrIation,

centrs

E" et o z

pour

w0 retenue

rsurtats

d'Arrhnius

de

davantage

Mthode de BALCOU.

1rtude

pour

mthodes

sont

encore mdiocre.

La pulsation
J2.

par

obtenus

rsultats

(3.25 )

de

le

Ts de
cette

3 . 40 .

Les

paragraphe
temprature

G)

o.25

0.15

l
I
I
I
l

l.L
CL

0.1

D
o.o5

(D
D

-6r

.':t-.; I

r:'-l_::", l

-7

,:it t. .:
''.
r.'
l
|
.jl-

F'
B

GI

F
\
o

tn

:i.
1

':.:".,.
.
,:: ...::|
f., :..,;.r!:

F,,

fil

s.
\i,

:ii,.
..i
:'
:l:::" '.'

!:
t:

I
-9

_t

.._.._.-___.___- _

6.5

I __

7.5

')
1000/T (K
-

t
Figure

''
.r11, r

i',.

3.39

-l-

: a) Spectre isotherme obtenu par la mthode de

Balcou T = 150 K sur 1'chantillon
R3L2.
b)

Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
spectres calculs par Ia mthode de Balcou
sur I'chantillon
R3L2.

o
T.20O K

II

lJ.

o
o.2

F
\

o
-c

-8

l!.

-:

.r

lr'
F.

i,
-8.5

5
i:
:l
;t;

- .

..
.
' : t ,,r.,.
:

r;"'"

.N.
t:

..

I
ij

,'

ir'

Figure

3.40

: a) Spectre isotherme obtenu par Ia mthode de

Balcou T = 200 K sur l'chantillon
SNPA4.
b) Droite d'Arrhnius obtenue partir
des
spectres calculs par Ia nthode de Balcou
sur l'chantillon
SNPA4.

108

t
2.3 ) Conclusion.
1gre

La

et

Tscharner

proches

pics

aussi
sont

rsultats

les

sur

tempratures
toujours

Tous les

vitesses

davantage

centrs

des

Ceci

aux

correspondant

de

sur

ceux

hautes

une prcision

Malgr
tout

transLtoLres

mme que

les

par

les

obtenus

par

des uolndres

une !thode

de Ia

nthode

approximer

de

transitoire

niveau

un

contenant

les

la plus

isotherme

lment.aLre
par

mesurs

transitoires

qui

un modle

cas d'une

Dans le

capacit
profond

par

dlivr
unique

peut

un

se

chantillon

formuler

de

la

suivante

faon

C(t,T)

= B -Ar exP(-eat)

(3.25)

composante continue

nulIe,

An (Ar

B vaut

Co Nr
est

l'amplitude

La formule
nodle

3.25
2

donne par:

)-

An=

du signal

transitoire

constitue

donc le modIe 1 exponentielle,

2Np

exponentielles

tant

donn

par

Ia

C(t,T) = ! - A.rexp(-enrt)

- zexp(-enzt)

le

relation

suivante:

les

explique

mathnatique
Le

(t=0).

constate

oo

la

I'origine

d'Arrhnius.

droites

par

obtenus

non-lLnaLres.

carrB

consiste

points

des

plus

de

spectres

perturbs.

mdiocre,

des

11 sf agit

donc

de

mthodes de corrIation.

3t AoproxLuetLon

sont

position

de

carts

de

mthode

par

cause

correspondants

I'origine,

de

leves,

d'mission

les

la

entre

est

voisinage

au

BaIcou

Balcou
sur

oscillations

importantes
mthode de

de

celle

rsultats

de

diffrence

(3.26)

109

I
Deux programmes bass
t

conus pour faire

ueux-ci

de

La

Ia

I'approximation

par

autour

stable

de

f(1000/T) )

modle

un

A'

lramplitude

une

permet

L49 K,

O.2

pF)

pour

une

et

nous

donne

l-es

dmontrer
pas

eV

= 10- r 6 c4t
de Ea et

valeurs

Les
tend

de

suivants:

rsultats

L46 K et

entre

comprise

Ee = O.23

qurun

(3 .271
trouves

tous

d'expliquer

des rsultats

droite

plus

aberrants.

faibles;

une

composante

ne

par

}e

phnonnes

les

uesurs

ceci

3.42

ne Permet pourtant

pas d'obtenir

Preis.

prsente

d'Arrhnius

deuxime

trs

de capacit.

transitoire

La figure

sont

nodle

sinple

Le modle 2 exponentielles

sont

obtenus

(ln(en /T2l

d'Arrhnius

est

A,

temprature

des polynmes

exponentielle.
L'amplitude

1rvolution

reprsente

droite

pour

obtenue

carte

R3L2.

Tr de 1'chantillon

3.41

figure
que

ainsi

rsultats

Ies

la

identiques.

3.1 ) Etude du niveau

par

donnes lisses
8;

d'ordre

Tchebychev

grce

aux mesures faites

qu'aux

ainsi

d'acquisition,

ont

Marquardt

de nos deux niveaux.

I'tude

appliqus

ont

de

1'algorithme

sur

composante

1'volution

relative
donnant

la
des

de I'amplitude
premire
rsultats

A.r

et

composante'

la
la

conpltement

@
o.25

o-2

o.t5

l|.
CL

o.l

o.o5

o '___-

125

r __

130

,1--___

135

l.

._

140

t45

__

l__L

f50

155

T (K)

@)
o

-7

a
Figure

3.41

: a) Evolution
de 1'amplitude
A. de la composante
exponentielle
en fonction de la temprature.
b)

Droite d'Arrhnius obtenue pour

1'approximation par un modIe une
exponentielle
des transitoires
mesurs sur
1'chantillon
R3L2.

@
o.25

o.2

T.154K
,*

*'
T.146K
o.15

l!
ct

o.l

a
0.05

o r.140

t45

r50

155

180

T (K)

'o

G'

o
c,

t
Figure

3,42

Ar de Ia composante
de I'amplitude
: a) Evolution
de la
f
o
n
c
t
ion
1
e
n
n
o
exponentielle
L
temprature.
b)

obtenue Pour
Droite d'Arrhnius
p
a
r
un modIe deux
1'approximation
mesurs sur
t
r
ansitoires
d
e
s
expnetttielles
R
3
L
2
.
1'chantillon

110

D
pente

La

calcule

rgression

partir

Ea = O.25

obtenus

prcis

3.2)

que ces

les

tous

exploite

les

relatifs

un

points

de

plage
les

la

de

courbe

pour

obtenus

pour

valeurs

d'Arrhnius

(figure

s'tendant

suivantes

,de

pour Ea et

Si

.on
:3.43b)
195

o :

eV

lo-rt

deux composantes

rsultats

plus

Eodliser

par

satisfaisants.
les

exponentielle.

une

temprature

Le nodle

caractriser

= !

nodle

Ee = 0.45
o

peu

simplistes

rsultats

les

rsume

par

la

trop

restent

SNPA4.

de I'chantillon

3.43

2O2 K, on obtient

ceux-ci

de ceux

Phnomnes.

Etude du niveau-lc
figure

lgrement

rapprochent

modIes proposs paraissent

1'approximation

se

rsultats

les

La

(3.28)

10-16 cnz

aux mthodes de corrlation,

et

154 K nous

eV

grce

expliquer

= 5

o
Bien

L46 K et

3.42b

E" et o:

permet de calculer

de

droite

figure

la

de

entre

comprises

aux tempratures

relatifs

points

des

la

de

I'origine

1'ordonne

et

modles

cu2

(3.29)

ne nous pernet
Le niveau

de donner

des

Ts semble difficile

habituellement

les niveaux profonds.

pas

utiliss

pour

f.2O2K
".*

. T,195K

.|

___

200

_l_

2o:,

T (K)

(b)
-7

-7.6

-8
G|

t-

o -8.5
c

-9

o
1000/T (K-t )

a
Figure

3.43

: a) Evolution
de I'amplitude
AD de Ia composante
exponentielle
en fonction de la temprature.
b)

Droite d'Arrhnius obtenue partir

des
rsultats
de lrapproximation
par une
composante exponentielle
de transitoires
mesurs sur 1'chantillon
SNPA4.

111

a
3.3 ) Conclusion.
par

L'approximation

Ia

ncessite

des modles
Ia

et

connaissance

de nos mesures

thoriques

prise

en

compte de

tous

les

phnomnes.

des

gaussienr
Le

dernier

dure
une

or

inconvnient

de

gui

peut

des

calculs,

srie

de

mesures

les

parantres

initialiser

nombre d'itrations.

condition

que

suppose

carrs

n'est

mthode

cette

Ia
de

rduire

une

bruit

un

remplie.

d'analyse

ncessit

faon

ait

plusieurs

atteindre

et

bass sur

I'on

pas toujours

d'origine

ou

complexes
d'algorithmes

1'utilisation

moindres
cette

restent

ceux-ci

En outre,

inconnue.
mthode

de

certains

Or,

est

heures

de

la
pour

correctement
au

maximum Ie

tt2
)

C } D I S C U S S I O NE T C O
Dans
avantages

nous

ce

chapitre,

et

inconvnients

pu

avons

mettre

en

vidence

des mthodes de corrlation

les

et

des

mthodes isothermes.
En

ce

qui
f

souligner
fonctions

c paramtre

que

R3L2,

E = 1.8 kT si

et

des

variations

d'mission).

D'autre

part,

des rsultats

trouver

(8"

mesures,

(en
Ia

nthode

3 points

reproductibles
(pas

de Ia

fentre

(nthode

de

des spectres

Lrapplication

de

numrique

corrlation
1 et

de

a permis

2,

o) en accord avec ceux obtenus

de
par

nous ont

qui

ont pour

donns des rsultats

avantage
mdiocres

la

rapidit

pour

des

2 raisons

principales:
- la

premire

ITS et

et

d'ordre

kT

de

les mthodes 2 ex 3 points.

Les mthodes isothermes,

filtres

avec des

des transitoires

Ts

on utilise

des flancs

par

DLTS obtenus

des signaux

celle-ci

si

2.A

facilement

laboratoire.

notre

de

des spectres

d'analyse

obtenir

niveau

des rsultats

en fonction

niveaux

nos mesures ont

du

Or,

de

dsire

spectrale

permet 1'tude

dans

dveloppe

des pics

qui

I'on

interprts

tre

une nthode

d'mission)

vitesses

si

peut

des diverses

cas

a=21 ou la

kT si

q.=21, o obtient

vitesse

le

insuffisante.

tait

d'amplitudes

dans

analyse

rsolution

pouvant

spectres

spectrale

Par exemple,

bonne

une

une

corrlateurs,

optimiser

E = 2.5

mthode 2 points

faire

synchrone)

dtection

effet,

des rsultats.

pour

I'chantillon

est

de

rsolution

En

corrlation.

une bonne prcision

montr

de la

importance
de

proches,

l'utilisation

concerne

par

les

est

Ie faible

rapport

S/B des spectres

mthodes de dconvolution,

obtenus

en

o
113

I
-

points
cet

puisque

Le

les

suivant
des

reproductibilit.

par

corrlation

tracs

extraction

tableau

pour

important

spectres

avant

lisss

moins

est

les
les

courbes d'Arrhnius'

des diverses

effet

produit

des mesures sur

I'acquisition

1 K durant

de t

fluctuations

que

perturbateur

I'effet

est

seconde

la

rapport

les

mthodes de corrlation

en fonction

de la

temprature

met

en

rsultats

de la

Tmax du pic.
la

vidence
obtenus

sont

temprature

par

les

plus

grande

mthodes

de

aux mthodes isothermes:

Nom de 1'chantill

o
Ea (eV)

Mthodes

o.27

3.5 10-r s

o.47

1:1,

mthode 3 Points

0.27

3.2 10- r 5

o.47

1.I

o.27

3.0 10-1s

o.47

1.0

filtre

avec Ie

d'ordre

corrlation
filtre

d'ordre

2,0

2
5 10-11

o .44

1.4 10-13

Yr
avec
r=4

0.27

2.2 10- r 5

0.48

1.3

10- 12

Ys

0.31

3.0 10- I 4

o .47

4.0

10- 12

Mthode de Tscharne

o.27

2.O 10- 1s

o .47

1.0

10- 12

Mthode de Balcou

o .27

5.0

10- 1s

0.46

7.4

10-13

5.0

10- I 6

3.0

10- 13

Yz
MthOdES ITS

Yr

Approximation Par
une mthode des
moindres carrs

3.4 10- r 5

0.31

':

avec Ie

Yr

Ea (ev)

mthode 2 points

corrlation

o (cnz )

LI4
)

En

raison
et

echantillons

prineipales

Ie

qui

ce

ayant

nergie

le
,

pas

nront

dfaut

donnant

composante

(cot

mesuresr

on

constate

celui-ci

est

situ

Pour

3 .2L,

thses

mises

par

site

responsables

du

blocage

du

permet

les plus

3.44a

ou
niveau

Or
pic

de

trouv

sur

ce
une

gauche

la

dfaprs
annexe,

nos
lnais

pourrons

nous
qui

associait

des
de

sur le

rsultats

proches

lacunes

Fermi

ce
de

Irfs.

ainsi

trouves

phosphure d'indium:

(E" = 0.43 eV et

(8" = O.44 eV et

3.1]

o = 5.8 10-rs

- le niveau A [rf.

TELIA,

nos

- Ie niveau E [rf.
,

et

3. 231 .

ceux de TELIA aux signatures

littrature

eV

principal.

indium,

comparer

figure

galenent

prdominant,

en

principale

multiphonon

d'un

du pic

phosphore

3 .22,

ce

de 10-12 cm2. Les

prlncipal.

de

La
,

droite

Ies

phosphore

des

Vm),

0.47

DLTS situ

I'existence

bien

pics

des

entre

de l'ordre

pic

du

niveau

du

les

corrneun

mme composante

un pic

lieu

sur la

de

discuter

impulsions:

1'mission

du

des

comprise

I'interprtation

donc reprendre
dfaut

1a

vrifier

temprature)

basse

difficile

allons

position

la

menes. TELIA avait

nos

de nos mesures.

de capture

de

est

se comportait

I'amplitude

d'activation

permettant

mesures

de

possde

une section

nous

de TELIA

partir

niveau

Cependant,
une

Ts

de

il

entre

observes.

(dalage

pas vrifi

n'est

0.5 eV et

niveau

fonction

en

spectres

comportement

nanmoins

caracxristiques

d'interface

dfaut

de

ceux de TELIA lrf .3.L2'J,

En ef fet,
,

carts

rsultats,

nos

comparer

des

c m z)

3.9].

o = 2.6 10-12 cmz)

que

dans la

@
-2

\-8
o
C

-2

o
-1

a-6

t-

o
g-8

t.\..L....r..r\
-to

.13

-12

T3Al de TELIA
P7
E2

-t4

Figure

3.44

t'trooor,

(r-')z

: a ) Conparaison de la signature
cell-es des niveaux E, A et

7.5

du niveau s
TSA2 de lelia

avec

du niveau Ts avec
b ) Comparaison de Ia signature
celles des niveaux P7, E2 et T3A1 de Telia

115

I
La comparaison

R3L2 avec

celui

en raison

de la

par

relev

pourtant

trouve

par TELIA et

TELIA est

une forte

Ts peut

Ts tudi

ra

diode

schottky

trs

dlicate

galement

similitude

nos rsultats

tre

sur

de prparation

diffrence

On note

Le dfaut

du niveau

des chantillons.

entre

(fie.

la

composante T:ar

3.44b).

compar:
au niveau

P7 [rf.

3.5]

(E" = 0.33 eV et o = 5 10-11 cmz)

et au niveau E2 [rf.

= 0 . 3 5 e V e t o > 4 1 0 - 1 2 c m z)

(8"

D'aprs

Mc AFEE et

E2 provient
du phosphore

site

peut

des

conducteur

le

d'analyse,
profonds

le

peut

rl

interstitielle

constater,

dfauts

compos

connaissance

d'indium.

3.11],

Irf.

le

galement
ou

de

dfaut

tre

f indium

en

impuret,

physique

pour

collaborateurs

position

en

Comme on

ses

lacunes

de

3.11].

reste

dont

des niveaux

silicium.
une
serait

En

tude

les

LfInP

applieations

de

approfondie

poursuivre.

discussion

ouverte.

profonds
plus

Ia

n'est

sur
tant

sont
pas autant

I'optimisation
sur

1'origine

lrorigine
un

rcentes,

semila

avance que
des
des

nthodes
niveaux

t -1 6
)

R.EFERENCTS

Appl.

J.

A.A.

3.2

Appl.

CHOUDHRY'

A-N.M.M.

423 (1980).

Phys. 51(1)'

S.C. LAIH et E.A. IiLARTIN,

ILIADIS,

54(l-5)'

Phys. Lett.

L436 (1989).

3.3

, HESEINSA LYON (1981).

G . B R E M O N DT

3.1

P.R. TAPSTER,J.

Phys. C: Solid

State

Phys. 16,4L73

(1e83).

H . L I M , G . S A G N E S ,G . B A S T I D E e t M . R O U Z E Y R E '

3.5:

J.

MAJERFELD, et

O . I I A D A ,A .

3.1:

Appl.

P h y s . 5 3 , 3 3 1 7 ( 1 9 8 2) .

G. HOLLINGER'J.

3.6:

J O S E P H , Y . R O B A C H 'E - B E R G I G N A T '

, . V I K T O R O V I T C He t M . F R O M E N I '
B . C O M M E R EP
J.

85 ( 4 ) '

Technol.

Vac. Sci.

1 1 0 8 ( 1 9 8 7) .

Y . Y A I { Z O E , Y . S A S A I , T . N I S H O N Oe t Y . Y A M A K A h I A ,

3.72

Jpn.

Phys. 20, 347 (1981).

J. Appl.

A. hIIIITE, A.J.

3.8:

Lett.

Electron.

G R A N Te t B . D A Y '
14, 409 (1978)

, hin Solid
M . I N U I S H I e t B . h r . L T E S S E LT

3.9:

Filns

103'

141 (1983).
M . O G U R A ,M . M I Z U T A , N . H A S E e t H . K K I M O T O '

3.10:

Jpn. J.
3.11:

Appl.

PhYs. 22, 658 (1983).

et
S . R . M A C A F E E , F . C A P A S S O ,D . V . L A N G ' A . H U T C H I N S O N

h l . A . B O N N E R ,J . A p p l .

3.L2:

A.TELIA,

Phys. 52'

6158 (1981)

Etude par spectroscopie

de capacit

sur les

interfaces

DLTS des transitoires

oxyde natif-(n)InP,

THESE,

Y(etz ( 1990 )

3.13:

A. TELIA, B. LEPLEY, C. MICHEL' J. Appl.

7L59 (1991).

Phvs- 69(10)'

LT7

( 1991)

Paris

A. LE BLOA, Mthodes d'analyse

3.15:

profonds

dfauts

Ga As implant

des signaux

en spectrcscopie

utiliss

multiexponentiels

numrique (MASSON),

N O U G I E R ,M t h o d e d e c a l c u l

J.P.

3.L4:

dans les

lectrique

semi-conducteurs.

en oxygne ou en oxygne et

des

Application

au

en silicium;

T H E S ED ' E T A T , R e n n e s ( 1 9 8 6 ) .
3,L62 Z. SU and J.hr. FARMER, J. Appl.

4068 (1990).

62(LL),2831

ApI1.

J.

3.20:
J.
3.2L:
I.
3.22:
J.
3.23:

P h y s . 1 9 ( 6 ) , L 3 3 5 ( 1 9 8 0) .
parasites

J.

des transistors

de gallium

champ (TEC) sur arsniure

Toulouse

THESEde 3e Cycle,

isolant.

(1991).

P . M I N O N D O ,E f f e t s

3.19:

Instrum.

3 . lE : H. OKUSHI and Y . TOKUI'IARU,

Jpn.

C O N I B E A R ,R e v . S c i .

C.A.B. BALL and A.B.

3.L7:

Phys. 68(8),

effet

dus au substrat
(1983).

A. COLA, M.G. LUPO and L. VASANELI,

Appt.

Phys. 69(5) '

3072 (1991).

h r . E . S P I C E R , P . W . C H Y E , P . R . S K E A T H' C . Y . S U e t
LINDAU, J.

Vac. Sci.

t'I.E. SPICER, I.
Vac. Sci.
J.A.

Technol.

L422 (1979).

L I N D A U , P . R . S K E A T He t

Technol.

16(5),

V A N V E C H T E Ne t J . F .

Appl.

16(5),

L422 (1979).

lilAGER,

P h y s . 5 7 , 1 9 5 6 ( 1 9 8 4)

C.Y. SU,

de
semi-

118

I
CONCLI,'S

I ON

o
ce

travail

mthodes

thse

mesure

de

i stinction

de

a t

et

permis

de

comparer

diffrentes

d'analyse

des

entre

mthodes isothermes

faite

les

niveaux

profonds.

Une

et

les

mthodes de corrlation.
Les

mthodes

de corrlation

o deux paramtres

principaux

la

rsolution

le

rapport

se

diffrencient

en fonction

spectrale.

signal

sur bruit.

o
Ces
corrlation

bruit

paramtres

deux

choisie,

Exprimentalement,
la

nthode

nthode

de

mesure

qualit

grce aux multiples

entre

calculs

oprations

signaux

ainsi

prcision

errons

qu'il
des

par I'analyse

a t

sur

exploitables.

un

spectres

par

fonction

de

de 1.78 kT.

de spectres

cette

de bonne

de lissage.
avec plus

de

facilit

DLTS exprimentaux

de modIes thoriques,

C'est

meilleure

rsultats

lrobtention

afl-n de dtecter
des

utilise

de

signal

des

spectrare

appele nthode cinq

de spectres,

une

permis

pics

les

partir

dveloppe.

part,

rapport

un

enregistrer

une rsolution

fonction

spectres

mthode qui

donnant

carts

points,

des

Ia

de

gardant

pu

nous avons

trois

Drautre

en

obtenir

corrlation

tout

pour

suffisant

dpendent

une nthode

vitesses

de Lang.

ceux

dranalyse

drmission,

a t

d'exploiter

avec

possible

spectres

er

les

qui

donnaient

des

119

a
partir

numriquement

eapacit
les

u lieu

On conomise ainsi

ce but.

Elles

partir

d'un

de f

permet

ncessaires

d'viter
lorsqu'on

stabiliser

la

une infinit,

pour

ceci

tout

ont

galement

de caractriser

dveloppes

des niveaux

de transitoires

profonds

de capacit.

provient

de nthodes

dans

essentiellement

sur Ia mesure de temprature.

balayage

systmes de DLTS classiques,

de

temprature

acquisitions

des

de mesure et

de

pouvoir

isothermes

dans les
en

pour un balayage en

spectre

un temps de mesure important.

nombre restreint

incertitude

travailler

qu'un

calculer

de ce type

En effet

en

permettent

La linitation

qui

de

de corrIation.

de fonction

Les mthodes

temprature

de n'avoir

on peut

temprature,

en

balayages

effectues

des transitoires

tempratures,

nos systmes de mesures.

En effet,

type

ont

corrlation

des enregistrements

diffrentes

multiples

utilise

de

oprations

Les

bnficier

transitoires.
rgulation

temprature,

mieux

il

qurun

est
degr

Une optimisation
de temprature

des performances

est

conus pour
difficile
durant
des

de
les

procds

ncessaire

pour

de ces mthodes d'analyse.

L20

t
L'objectif

de

mesure DLTS est

Ie choix

de donner

sera

S/B) des signaux

points

Dans

cas

plus

qui

ne permettent

de

la

du

pic

prcis.

signaux
d'autres
de

il

des

(rapport

de capacit

pour

spectres

les

sont

nthodes

ayant

si

prfrable

est

nthode

I'analyse

de

vitesses

intressants

s I cartant

de

bonnes

points

des spectres,

drmission

les

(boxcar)

si

la

rapidit

i1

est

de

mne

mesure est

conseirl

ou

Lang donne des rsultats

en trettant

du modre,

d'utiliser

I'utLlisatLon

peut

dgnner..,,des

en vidence

des

ra

prtie
t,plus

rsultate
'''

champ

domaines;

secteurs

mesures.

d'utilisation

le

d'employer

de

multi-exponentiels

susceptibles

quarit

'

tt':

principal'avantage
une

des

mthodes

isothermes.
Le

d'opter

pas un bon ,,fit,,

mthode

recherch,

de la

transitoires

donnent

classiques:

synchrone.

renseignements

fonction
les

Si

facilitant

adquate.

possible

contraire,

les

dtection

qui

mthodes de

un ensemble de critres

tout

est

de diverses

spectrales.

le

mthodes

iI

4 points

ou

rsolutions

avant

mesurs.

peu bruits

trs

comparaison

de la mthode la plus

Le choix

cette

de

d'autre
recheche

d'tre

peut
part

mthodes

videmment

des nthodes

Ioigns

dveloppes

ces

du
pour

ntre

d'analyse

de

srtendre

numriques
sont

r'exploitation

issues

galement
de

nos

L2T

t
A

ANNE'<E

CALCULS ANALYTIQUES DU STGNAL DLTS

ET RECHERCHE DES BXTREI,IT'I{S
POUR DES SPECTRES OBTENUS PAR DETECTION SYI{CHRONE

a
1 l F o n ctl o n d e co rr l a tl o n

de base ( sknal

car r l( flq.

A.11.

o
Figure
Le

signal

capacit

yo

Al:

FonctLon
de

de corrlation.

corrlation

et de tJ(t)

obtenu

s'exprime

partir

de

ainsi:

z"*e(-",'T)+ x p ( - "

Tm

o
n Tm

transitoire

(r
r))
(r
r))
u,
it#
"*p(-",,
"*e(-en
!t#
+[t*

du

l-o I-r [, 2No

-"
"*o(.
\

"?))'

r, t*))

o
t22

a
La

en_pic

d'mission

vitesse

minimums

aux

correspondant

de 1'quation

Spectre DLTS mesur Tu Sera solution

du

suivante:

o
. rv
u

'+

dt

d Y

d en

den

d T

G+
#['-..e[

"" T))

- ".e[-
=o
nT))]
?["",[-"
"T)['
*

(?
#[t

'

c 1-

- (, * n rm )""o[-'"?))
((t -

",'

- o

r.)exp(- n t'))

/ -- \
( 2 + x ) e x p' l\ - - | + ( t + x ) e x p ( - x )
2 )
s\/ec

- 0

La rsolution
x = 2.5L3,
La valeur

par dichotomie
d,o:

minimale

en-pic

du signal

nous donne:

DLTS sera alors:

_1 coNr/-

- -0.203

quation

= /.513/T.

Ymin- tr*
o

de cette

r*i[r-exn[co Nt
-2No

2.s13\\2

r JJ

o
L23

2)Fonction

de corrlation

introduisant

un temps de retard(Tgo)

rrones

transitoire

'

les

Pour

liminer

les

brusques

1'chantillon

changements

impulsions

des

Tgo (get

de corrlation

s'annule

du

polarit

de

nots

temps de retard
fonction

zones

de

tension,

off

time)

(fig.

causes

lorsqu'on

lesquels

A.21 .

o
Tnl2

Tgo

t
Figure

A.2:

Fonction

de corrlation

du systme

de mesure DLS-82.

Dans notre

appareil

de mesure , le

temps de retard

vaut:

Tgo=tp+Tn/Zo=Ts/20
(tp

correspondant

la

largeur

soumet

oD introduit
durant

des impulsions

excitatrices)

par

des
la

L24

Le signal

DLTS sera donn par:

o
Y

'
o

toNt/,
i-[. ,lno

t'L Jr;

co Nt
nTm

2NO

1
nTm

"*o(-e

t ro)

".o(-""?) ".n(",, t)].*,.j

, [."n(-" r, t rn)

t
i:

:&

- .*o(-.
"?
o

,)) at -

'[""o[-""?

- exp(-" r, r r) *

coNr

- exp(-"r,

- e*p(-n
tr,.,1
l#.,*?ol;t(,
2NO

2No

)['

".o(-Gn * ) ) - " * o ( - n * ) ]

I25

a
La

spectre

du

de:

solution

sera

minimum

au

correspondant

en_pic

d'mission

vitesse

9-L-o

dT

c+_gJ_=o
den

o
) exp(-x)

".0(-;

)('.

"*o(

*))

xexp(-x) (; .
;) "*o( ;X,.

-:*p(*)

".o(_ *))
avQC

, "*o( *)

=0

x - n Tm

de cette

d'o 3

= 2.27 /T.

n-pic

La valeur

quation

La rsolution

vI

min

minimale

- -coNr

du signal

nous donne: x = 2'27,

DLTS sera alors:

2J?

'+))
'+X'.".o(
-""0(
ffi)
["*o(-z.z7r-"*n(
- - o.,r, 9--o-t.I
2No

r 26

ANNE'<E

ALGORTTH!{E DE }IARQUARDT

o
Cet
gradient

est

mthodes

ces

de la

la

ncessaire

du
qui

fonction

description

de

comprhension

de

Une brve

donnes exprimentales.

les

approxime

1a mthode

de

avantages

rnthode de linarisation

de la

et

les

concilie

algorithme

1'algorithme.

o
1l Dlthode du gradlent
y(x)

Notons
O

y(x)

donnes

est

les

une

o
x2,(",

La

mthode

donn par

Ia
. t a. :;..

fonction

formule
!,:,-,

81:

"-Wj:u;-s.r

(El) r

les

y(x)

11

itrative'

nthode

fonction

1'cart

sera

proportionnalit
de I

chaque itration,

quadratique

paramtres

m).

ces

tous

I'initialisation,

simultanment

la

entre

et

est

donc de fixer

les

recherchs

paramtres

Lr2r....eu.

Aprs

la

peramtres

des

linaire

. .

une

tant

pour

initiales

valeurs

gradient

du

nos

approximer

quadratique

,i.,ii

d'initialiser

ncessalre

non

fonction

de mesure Yr ; X2 est

Points

pour

choisie

fonction

On note Xz ltcart

8L r42r. . . ,r.
y et

la

Ie

de manire

L'incrment

X2.

proportionnel
tant

paramtres

au gradient

pas de gradient

de

seront
faire

dcrotre

chacun

de X2 ( le
:

changs

aj

de
facteur

pour

ces
de

allant

]-27

a
le

crot

il

est

plus

la

indique

de x2

Le gradient

en

rapidement

X2

dans laquelle

direction

de chaque paramtre

fonction

aj,

not:

x(":*r":)-*'("5)

ax2

(v *')i

t"j

(82)

,oaj

a
pour j

Le principe
O

mthode est

de cette

. j - a j - (v *'):

"

(83)

on considre
y(x)

fonction
Le

long.

souvent
En

par
les

une

qui

approxime

trs

Le
large

paramtres

I'algorithme.

obtenu

outre,

difficile.

les

avoir

important,
choix

Ie

principal
plage

les

paramtres

ce qui
du

de valeurs

initiaux

sans

une

bonne

de

dans
qu'iI

nthode

cette
laqueIle
y

approximation
de'calcul

l.AJ . St

optimal

ait

.,r: lr :.

de la
;:
' .:' :'

un tenPs

lnplique

pas

avantage

optimaux

(aj )

de mesure yi '

points

ncessaire

d,itrations

nombre

est

de 1 tn
.' ::- ' ,.' - - ".:' ,Ta' |. i
.
q
uadratigue X2,
chuter 1'cart

PourJ ellrnt
, :
- ..r
Lorsque 1'on ne peut plus faire

de X2:

chaque

donc d'ajuster

du gradient

en fonction

paramtres

les

itration

f = 0'01

de 1 m et avec un facteur

allant

est

on peut

souvent
donn
choisir

divergence

de

128

I
2l

principe

Le

comme fonction
que

incrments

fonction.

de Gauss-Nertton

ou mthode

de la

de linarisation

!{thode

de

linaire

(-

aj

y(x)

exprimer

chaque

de

aprs

aj

consiste

incrments

des

note

I'on

mthode

cette

paramtre,

une itration

moins

itration).

aj

avant

Si

on dveloppe

y(x)

de Taylor

en une srie

du ler

ordre,

on

obtient:

o
y(x)-yg(x)*

(84)

$ ft"o r",lr l
-J

.
J. Il a a
L

Y g (x ) correspondant la fonctlon y(x)

Gn dbut d'Itretion
-..

Cette
O

fonction

diffrents
dtermines

aj.
par

est
Les
la

donc

bien

valeurs
mthode

linaire
de

des

aj

moindres

eri

carrs

o
It
a x_
' o
ttt-

-K,

foiicttoU'-

peuvent

c ' e s t - . d i r e e n c h e r c h a n t 1 e s s o 1 u t i o n s d e s q u a 't- ii ,o nr .si -:r . * .

pourkallantdelu

.!!{i,:+:}J+i.rl+a"f,__.

a"

donc "'tre
llnl,res,

t29

pk-

.i
L
j-1
pour

peut

m inconnues

Ce systme de m quations

(Bs)

k ailant de

I a X2

Pk

1m.

("i

Zak

vo(",)

- Yo(.,))

3ak

3 Yo(" t)l
("0("i)
s
js
ri--)
"
k [_-r.,__

lt'
'; i -r:l

du

matricielle

Une formulation

des

Les valeurs

Cette

grce
nthode

paramtres
doivent

incrments
cette

"1'4r,a;-r"

-(85 |. . et

choisis
1'on

aj

une

En contre
dans

utilise

sont

donc obtenues

(86)

pgur

chaque

relation

permet

optimaux.

tre

que lorsque

iv''os

commode:

itration

"a

d'quatlons

systue

p = a.c

1;'":-1.

.':

plus

s'crire:

o jk

o
avec

aussi

la

convergence
partie,

des plages

les

rapide

vers

parantres

de valeurs

rnthode du gradient.

plus

.,,
"les

initiaux
troites

o
130

I
3) Mthode de Marquardt.
de la mthode du sradient.

ou extension

offerte

initiales

avec
cr

i.

cas o l, est

matrice

d. sont

s'crire:

pour

aj

prdominants

relation

la

les

mthodes

de linarisation

les

lments

diagonaux

se confond

Si

1'cart

carcule

cet

les

Fr - -i("

Xz

peut

alors

est

nouveaux

pour lritraCion

paramtres
suivante.

cette

les

divise
aj

mthode

de

0.0001.

pour

on recalcule

diminue,

^T I o/!

du gradient.

initialis

augmente

tott
-=.*"9,,?i,,

la

Ieve,

donc avec la nthode

par 10 et

cart

incrments

les

puisque

quadratique

L ,on multiplie
Si

que

coefficient

le

B7

relation

suffisamment

valeur

a une

la

Ia

de

oJJ

aux gradients,

Marquardt

et

alors

constate

proportionnels

utilise

important,

,
FJ- rseJ

1'on

tt

oD retrouve

de zro,

voisin

est

Dans Ie

86

fonction.

En pratiQu,

pour

incrments

les

Lorsque

lorsque

de la

et

rel ation

L&

donnant

La

valeurs

Pourj=k

lcJt

Ainsi,

r)

[o1*(t.

de

= a.c'

et devient

est modifie

plage

la

la

de

convergence

mthode du gradient.

la

Par

rapide
avec

fonction

la

de

linarisation

1a

concilie

mthode

Cette

= aj

valeur

valeurs

par
+

ai

de

de aj.
10 et
que

on
1'on

131

I
nous a donn satisfaction

Cet algorithme
grande

moyenne un
lorsqu'on

nombre
utilise

des paramtres

galement
rsultats

des calculs.

rapidit

d'itration

tant

environ

la

deux

moins prcis.

deux

indicatif,
fois

moins

on

de la

compte en

important

que

Ia

preision

mme. La mthode du gradient

ncessite

mthode

Ia

A titre

en raison

fois

de

plus

1inarisation,

d'itrations

et

donne des

L32

I
C

ANNE'<E

CALCUL DES VITESSES DIE!{ISSION

o11a21n3r44

n5

POUR DES SPECTRES DLTS OBTENUS PAR I"A I{ETHODE 2 POII{TS.

o
du

L'expression

points

= 2

dans le cas o c = tz /-!t

1) Galcul

= S( tr ,T)

la

mthode

Ia suivante

est

par

DLTS calcul

signal

(cl)

S(tz rT)
- exp(-e"tr))

= AD (exp(-ertz)

o
La

est

d'amplitude

n3

d'mission

vitesse

solution

de

correspondant

l'quation

au

maliqrn

d Y / d T = 0 (ou Y/d""

0).
Cette

donne par

est

vitesse

C2:

Ia relaion

ss = In ( tz l trl | ( tz - tr )

de

Avant

calculer

Amax =

autres

les

vitesses ,

noug

1",:,"
du,pl-,,-0G.**t*'il.=-*

d.e l'anplitude.pex{FA1e

, ., )''1
|-e x p (l rn(t,z,, ))l - e x p l ( - - lrn(t,
ll
ll

Amax=lo.'

calculer

la valeur

(c?)

Pour 6 = t;2ft;t

= 0.693/tr

l^

1-tr/'z)

,"
[".'[

tn(a ) \

1-o=t1

""e[

t2/tL-'J]l

#tl

(cs)

a
133

I
d.=2, on obtient:

Pour un rapport

A m a x = A m /4 .

n1 e t n 5 s o n t a l o r s

Les vitesses

=-Amax/2

x.2 -x+L/E

de 1'quation

=-A/8

C4:

(C4)

=0

de cette

Les deux solutions

solutions

avec

quation

x=xp(-entl)

sont:

n1 = 0.15E/tr
n5 = L.921/tt

Les

d'mission

vitesses

1'quation

n2

n4

et

sont

= -

x2 -x
Les solutions

314 Amax = - 3/L6

+glL6

=o

(G5)

A.

avecx=exp(-eutr)

sont:

t''.

nr = 1 . 3 8 6 / t r
1'ensemble

rsum,

obtenues
al

= 0.1587tr

o2 = Q.288/tt
eos = 0.693/tr
O

ar = 1.386/tr
r5 = L.92l-ltl

. ::
, ,,

a 2 = Q . 2 8 8 ; , 1' ; l -

de

C5:
f

Voici

solutions

,', ,
des

cinq

vitesses

d'mission
.:
.

"
'

134

suivante

a quelconoue.

un rapport
de

valeur

toute

Pour

pour

de calcul

2l Mthode

c t , n3

donn par

est

la

relation

:
1

In(c)
n3 = _
c:-l

(c6)

tr

o
L'amplitude

maximale

n3 dans la

relation

en

calcule

Amax est

remplaant

par

on obtient:

Cl'

-..n(

A max' Am[".n( i5i)

c-1

)l

n5

sont

ln(c )

Les

vitesses

1'quaion

Cg :

= ---

n1

d'mission

1
Amax

= + -

et

At.
pul.sque

soLutions

p<0

xc -x-912

=Q

avec x = exP( - er tr )

{C8)

de

t35

I
pour

les

de

valeurs

C8 peuvent

n5 de l'quation

obtenues

mme,

De

orcnotomie.

d. suprieures

la

en utilisant

les

n2

mme mthode pour

par

dtermines
peuvent

n4

et

rsoudre

et

nI

solutions

facilement

tre

valeurs

Ies

2,

tre

1'quation

C9:

33

f =

Auax
3

xa -x--p

(ce)

=+-AE.F

=0

4
les

valeurs

n1 rn2rn3 rn4 et n5 pour plusieurs

rapports

suivant

tableau

Le

prsente

pour

obtenues
c:

o
2

0. 25

0.38

o .47

0. s3

0.58

o.62

0.65

n1 t1l 0. 158

0.L27

0.101

0.086

0.075

0.067

0.060

n2 tr

0. 288

o.224

0.185

0.159

0. 139

o.L24

0. rl3

n3 tr

0. 693

0.549

o .462

o.402

0.358

o.324

o.297

tr

1.386

1. 133

0.986

0.883

0.811

0.755

0.711

I ens tr

L.921

1.607

L.429

1.313

L.232

1.171

1.123

CI

-elI

."0
|

t,!

EESIE@
La comparaison
de drf-erentes
mthodes
de meslreset d'analyse
desnivearxercfodt
a.rpli's desstnrcturer.Ao-InP
principal
lehr
tait
decefraraildt thse.
Aprsun brer reppl de.eprincipesptrysiquesncessaires
lr, comprhirn dGtl
p'.rfonds(DI-,TS)ct destechniquasde mezureles plrr ttiliscf
;cPctroscoPie
des nivearu<
.'!+Jb.':iic','.|'ig:tit,i,lr1l.rvjf."jr,:iill,il,.r.Pi^..'*].',i'|.'"..';e.atlii:tj.r.ldtununeiii.,

ftans'rui,.esa t faite, Ces dernircsltoutdassesda,ns.i u grandesfanilles: ;esnlndcr dc

,,prrlationet les mthoJesizuthennes
Is princ{pax cites utitiss porr diffreacier tes fone,tlons:!e corrlatirn roc: h
rsolution sptrale et le raprportsignal nr bruit. .{fi,r d'anrriii.0re.r
la ralu dcr fcana
obterug des oprationqCe liss ge ont t utilibes.n rrrtra, pout' un,) analysct'tfl f"G dcf
spestresune mthodeappelemthodc dnq vitessd'rnssiona t misnarupoiiil .
Ies mthodesisotherme.rperme,ttentde r I,rt.e les te,rrps de mesure ltuiquc rcul un
;ioinbre restreint ele transitoires de eaparft $ulr trcs$afu'es,
par c/rntr.e la, p:cirion der
rsrltats csi assezmdiocre.
{'tr retientlra que plusieurs mthcdcs (srrort panrii les nrettrorles de rretion)
appliquer l'rdede structures.fur-InP,qpcrtent ibnantrge de prcision qi,,(;ler m&hodcr
(b<l;;.'aret detection synchrone).
class!.ques

4Es:.rtsg
',ii,r
topi{ eiftt.is thesiswasto cor' Gd,,ileiient
measurer,,ent
m.ethods
to andpc dccp
I, rr mP.li*,cles.
en:tfs
nfter a brid$mrury of ttie physicalpinciple;,.,
neeessary
to understsodthe dcq) bvd
tnnsientspoc.troscopl'1DLTS)
atrrithc con,mnlyusednre:surenrent
modes(boxcrrroa fctio rytstegts),
a 5' cscntationol .rrrer,rcalmcodsus{dfor e transientanalysisis doof. 1ro
lc.n('.::
-; rl.'rq,.darg.dijir.i ,r(( ti , *ondrtior arrdtheisothernral
methods.
T. ffio i-n,rii.fucf , , iis.,': ri i,;sur,ite
thr i.e$lts gvcn by the correlatiorifilitirr I1.:
&,(:r3o1tt1rcx*-rhltion
and the s.igral'urpn
tc nniseratio. In order to improvethe quelityof c
sp9t14,enoothirng
priocedures
irave
wed. In anotherway, to obtain a flrt ?rirc
snalFis of the sp(';,f,a,a methrd nrnrerlfive ernissionrare mahod has beenAifrccf.
Isothrnslmethodsrcducethe rneasrqi..rd tneowiqgto thelimitedmrmberof crfilcc
trnnsicntsuscd;on.tlleotherband,ihe anur ofthe resultsis not sogood.
Td srmunarir,
wc can s{ythrt scveratnrmericatmethods(especiallymrii tb
c,cinelation
metrods)appliedio Au-td'diodes giveus morepreciserd tnanomvqfiml
rnetlrodqlike box.caror lock-in systenu.