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Instituto Tecnológico de Costa Rica Escuela de Física

(Physics School)

Programa de Licenciatura en Ingeniería en Computadores

(Licentiate Degree Program in Computer Engineering)

Curso: FI­4304 Física de Plasmas y sus Aplicaciones I

(Curse: FI­4304 Plasma Physics and its Applications I)

Instituto Tecnológico de Costa Rica Escuela de Física (Physics School) Programa de Licenciatura en Ingeniería en

Avance de Trabajo de Investigación

(Preview of Investigative Work)

Realizado por:

Made by:

Daniel Canessa Valverde, 201137483

Daniel Canessa Valverde

201137483

Alejandro González Alvarado, 201038400

Aleandro González Alvarado

201151903

Mario Monge Huertas, 201038400

Mario Monge Huertas

201038400

Deivid Ugarte Quesada, 201146278

Deivid Ugarte Quesada

Profesor:

(Professor)

201146278

Iván Vargas Blanco Fecha: Cartago, Octubre 1, 2015

(Date: Cartago,October 1, 2015)

Introducción

El siguiente trabajo de investigación pretende introducir el concepto de antenas

Helicon, así como su importancia en el desarrollo de la teoría y aplicaciones de la

Física de Plasmas y sus características con respecto a los plasmas convencionales.

Las antenas helicon corresponden al uso de antenas para polarizar ondas de baja

frecuencia (whistler), las cuales al ser encerradas en un recipiente cilíndrico presentan

principalmente un comportamiento electrostático en comparación con un

comportamiento electromagnético, y se convierten en ondas helicoidales o helicon.

Marco Teórico

Definición Ondas Helicon

Las ondas helicon son ondas electromagnéticas que se propagan en plasmas

magnetizados, cuya frecuencia se encuentra en un rango de ω

ci <<

ω

<<

ω dentro

ce

de una dispersión cilíndrica homogénea la cual está dada por la fórmula:

ω = kkzBo

enoμo

(1)

Este tipo de ondas se polariza circularmente y el campo magnético es transverso y

lineal con el eje z, esto significa que toda la estructura gira alrededor del eje z con una

frecuencia ω.

Las ondas Helicon en el plasma gaseoso fueron observadas por primera vez por

Lehane y Thonemann, y más tarde estudiadas ampliamente por Boswell, quien señaló

que la alta densidad de los plasmas podía ser producida por la excitación de las ondas

de helicon con generadores de radiofrecuencia (RF) en régimen de kilowatts. La razón

de la alta eficiencia de ionización de las descargas helicon aún no es definitivamente

conocida, aunque los mecanismos de colisiones, tales como Landau y amortiguación

de ciclotrón, se han sugerido por Chen y por Harvey y Lashmore­Davies,

respectivamente.

Descargas de Helicón se han sugerido para procesamiento de semiconductores por

Perry, Nakano y Chen, para excitación láser de gas por Zhu y Boswell, para

aceleradores de plasma por Chen y para la inyección de plasma en dispositivos

toroidales de confinamiento por Leowenhardt.

Para verificar que las ondas de helicon están realmente exitadas en RF, diferentes

científicos han medido las ondas de campos con sondas magnéticas. La comparación

con la teoría, sin embargo, fue inexacta, ya que la teoría utilizada estaba orientada para

plasmas uniformes, mientras que estos plasmas varían radialmente sus densidades.

Recientemente, Chen dio un método para calcular los perfiles de onda para perfiles de

densidad arbitrarias con simetría azimutal, y esto permitió que las mediciones pudieran

ser comparadas con las curvas teóricas.

Las ondas de Helicon son ondas de baja frecuencia, conocidas por su polarización de

mano derecha. Sin embargo, cuando son delimitadas por un cilindro, estas ondas

electromagnéticas desarrollan una gran componente electrostática, y esto les permite

tener además polarización con mano derecha o mano izquierda y, por tanto,

polarización plana también.

El helicón por lo tanto es una onda electromagnética de baja frecuencia que puede

existir en plasmas en presencia de un campo magnético. Los primeros helicons

observados fueron los "atmospheric whistlers", pero también existen en conductores

sólidos o cualquier otro plasma electromagnético.

El helicon tiene la propiedad de propagarse a través de los metales puros, dadas las

condiciones de baja temperatura y altos campos magnéticos. La mayoría de las ondas

electromagnéticas en un conductor normal no son capaces de hacer esto, ya que la

alta conductividad de los metales actúa para defender el campo electromagnético. De

hecho, normalmente una onda electromagnética experimentaría una profundidad muy

delgada de corteza en un metal: los campos eléctricos o magnéticos se reflejan

rápidamente al tratar de entrar en el metal (por lo tanto el brillo de los metales). Sin

embargo, la profundidad de corteza depende de una proporcionalidad inversa a la raíz

cuadrada de la frecuencia angular.

Así, una onda electromagnética de baja frecuencia puede ser capaz de superar el

problema de espesor de la corteza, y por lo tanto propagarse por todo el material. Una

descarga helicon es una excitación de plasma por ondas helicon inducidas por

calentamiento de radiofrecuencia, como se mencionó antes. La diferencia entre una

fuente de plasma helicon y un plasma de acoplamiento inductivo es la presencia de un

campo magnético dirigido a lo largo del eje de la antena. La presencia de este campo

magnético crea un modo de operación helicon con una mayor eficiencia de ionización y

una mayor densidad de electrones de un ICP típico.

Plasma cilíndrico con variación radial de densidad

Considerando un plasma cilíndrico con variación radial de densidad, inmerso en

un campo magnético estático B0 en la coordenada z. Haciendo variar las cantidades de

onda de primer orden como exp[i(mθ +kz­ ωt )]. Produce un número m azimutal de +1 o

­1 que corresponde a la rotación global de la mano derecha(+) o izquierda (­) del patrón

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se

encuentra alejada de la frecuencia de ciclotrón tanto del electrón como del ión, el

movimiento de los iones puede ser despreciado y el de los electrones puede ser tratado

como una aproximación de centro guía. La única corriente en el plasma es entonces

llevada por la deriva ExB del electrón. La densidad de corriente por lo tanto tiene la

forma:

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de

(2)

Esta densidad de corriente es deducida por medio de las ecuaciones de Maxwell

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de
de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de
de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de

(3)

(4)

(5)

También se cumple la siguiente dispersión en la componente z de la onda de campo

magnético Bz

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de

Con:

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de

Donde

de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de
de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de
de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de
de onda con respecto al campo magnético estático. Cuando la frecuencia ω se encuentra alejada de

(6)

(7)

(8)

(9)

(10)

(11)

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por:

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el
Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

Sea p(r) el perfil de densidad normalizado, y

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

(12)

(13)

el valor máximo de

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

, a(r = 0), se

tiene:

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

(14)

Integrando (6) para un p(r) dado y un valor propio

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

ajustado al límite Br = 0, donde Br

está dado en términos de Bz por la ecuación (12). El perfil del factor p(r) puede ser una

función analítica o polinomial. Este proceso requiere que el número de onda paralela k,

sea conocido, se puede asumir que es el doble de la longitud de la antena. La Fig. 1

θ

muestra ejemplos de perfiles radiales de Br y B y Bz .

Los otros componentes de la onda de campo magnético están dados por: Sea ​ p(r) el

θ

Fig.1 Ejemplos de perfiles radiales Br (a), B (b) y Bz (c).

La Fig. 2 muestra el patrón de líneas de campo en la sección transversal del plano,

calculada para una densidad de perfil parabólico. Las cantidades de la onda varían

como:

La Fig. 2 ​ muestra el patrón de líneas de campo en la sección transversal del

(15)

los patrones para m=± 1 permanecen sin cambio en el tiempo o espacio y simplemente

rota en la dirección +θ cuando la posición z se mantiene fija y en ­θ cuando la posición

z incrementa en un tiempo dado. Si el modo es m=0, el patrón del campo de la onda

eléctrica va puramente de elegtromagnético a puramente electrostático en cada media

onda.

La Fig. 2 ​ muestra el patrón de líneas de campo en la sección transversal del

Fig.2 Patrón de líneas de campo en la sección transversal del plano.

Ondas helicon en plasmas uniformes

En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el

comportamiento del plasma son las siguientes:

Ecuación de fuerza con respecto al movimiento oscilatorio de los electrones:

Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el

(16)

Cantidades oscilantes con respecto a ecuaciones de Maxwell:

Resistividad:

Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el
Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el
Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el
Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el

(17)

(18)

(19)

(20)

En ondas de forma similares a las no uniformes (variación de densidad), con m = 0:

Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el

(21)

Obteniendo la frecuencia ciclotrónica y la frecuencia del plasma, tenemos que

Ondas helicon en plasmas uniformes En un plasma con densidad uniforme, las ecuaciones que rigen el

(22)

Además, resolviendo la ecuación (21) con (17) y (18) y obteniendo las raíces para el

gradiente

(23) (24) ​ B = B​ 1​ + B​ 2 (25)
(23)
(24)
​ B = B​ 1​ + B​ 2
(25)

Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo

Donde

Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su
Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su
Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su
Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su

(26)

(27)

(28)

(29)

También podemos definir su relación de dispersión

Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su

Fig. 3 Dispersión de un plasma para ondas helicon en un gas de argón con densidad uniforme

Haciendo modificaciones al campo magnético, obtenemos una relación de dispersión

diferente para varios casos. Por ejemplo, para campos magnéticos débiles, tenemos

Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su

que la ecuación de dispersión relacionada con es

Podemos distinguir 2 ondas distintas, ambas satisfaciendo Donde (26) (27) (28) (29) También podemos definir su

(30)

Y para

Y para (31) Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

(31)

Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

resultantes, entonces nos encontramos con 2 casos:

Cuando ambos campos satisfacen la condición de límite

distribución de dispersión

Y para (31) Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

, tenemos una

Y para (31) Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

Fig.4 Relación de dispersión para ondas de helicon con campo magnético radial nulo

Como podemos observar, existe una zona con un campo magnético mínimo desde

donde no existen ondas helicon.

El segundo caso, que es cuando

ciclotrónica

Y para (31) Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

se comporta como una onda electrónica

Y para (31) Cuando hay campo magnético débil, no se pueden ignorar las 2 ondas magnéticas

Fig.5 Relación de dispersión para ondas de helicon ERC

Como se observa, el interés del segundo caso radica en que existen densidades pico a

bajos campos magnéticos y donde ambos efectos de campo afectan al plasma

simultáneamente.

En campos magnéticos altos, observamos una diferencia en la gráfica de dispersión de

densidad

Como se observa, el interés del segundo caso radica en que existen densidades pico a bajos

Fig.6 Relación de dispersión para campos magnéticos altos (polarización de iones)

Estos efectos son explicados en su mayoría por la presencia de efectos de iones

finitos. Como se observa en la gráfica, a altas densidades (y por ende alta eficiencia de

plasma), se pierde el comportamiento resonante.

Antenas

Para el caso de la antena Nagoya Type III, la potencia RF usualmente está

acoplada a las descargas helicon, de una forma u otra.

Figura 7. Esquemático de la antena Nagoya Type III. Las flechas muestran la dirección del flujo

Figura 7. Esquemático de la antena Nagoya Type III. Las flechas muestran la dirección del flujo de la corriente en una fase del ciclo RF. Esta antena cubre una media­onda, antenas más largas tendrían secciones adyacentes con las corrientes en las patillas horizontales revertidas.

Los principales elementos de esta antena, son las dos patillas encargadas de conducir

la corriente a lo largo del campo magnético. Una corriente ascendente en las

direcciones mostradas induciría un campo eléctrico opuesto en el plasma, el cual

provocaría que se formen cargas espaciales. Estas cargas crean un campo

electrostático en dirección vertical, el cual está en la misma dirección que el inducido

por las corrientes verticales, pero es mayor por un factor del orden (L/a)2 , donde L/a es

la relación de aspecto de la antena. Así, la antena Nagoya Type III, no solo convierte el

campo electromagnético de la radiofrecuencia en un campo electrostático, sino que

también lo amplifica. El campo electrostático horizontal se acumula hasta que se

cancela el campo electromagnético horizontal debido a la alta movilidad de electrones

en esa dirección. Sin embargo, en la dirección vertical, el campo electrostático no

puede ser cortocircuitado, porque los electrones son refrenados por el campo

magnético, y ese campo se acopla fuertemente al campo eléctrico vertical en el centro

del modo patrón de la onda helicon. Como se muestra en la Fig. 8.

Figura 8. Patrón de líneas de campo magnético y eléctrico en los modos m = +1

Figura 8. Patrón de líneas de campo magnético y eléctrico en los modos m = +1 y m = ­1 de las ondas helicon en un plasma uniforme en un plano perpendicular a la corriente directa del campo magnético.

Una antena recta como la mostrada en la Fig. 7, excitaría ondas polarizadas en plano.

Aunque helicons puramente polarizados en plano no pueden existir, se pueden añadir

los modos m = ­1 y m = +1 con amplitudes debidamente ajustadas para formar un

modo que es casi plano­polarizado sobre una gran región cerca del eje.

Para excitar helicons circularmente polarizados, se puede modificar la antena Nagoya

Type III haciendo las patillas horizontales helicoidales. Una antena “mano­derecha”

helicoidal se muestra en la Fig. 9. Si k y B están en la misma dirección –por ejemplo,

ambas a la izquierda– entonces el campo eléctrico radial rotará en el sentido de las

manecillas del reloj, mientras el patrón se propaga a la izquierda, visto por un

observador mirando a lo largo de B. Esto es un modo m = +1. Sin embargo, ya que el

campo de la antena es una onda estática en el marco del laboratorio, también puede

excitar ondas con un k en la dirección opuesta. Así, si B apunta a la izquierda y k

apunta a la derecha, el campo ­E rotará en dirección contraria a las manecillas del reloj,

visto a lo largo de B, y simultáneamente una onda m = ­1 es excitada en la dirección

opuesta. Para excitar un modo m = ­1 que se propague a la izquierda, se puede revertir

la dirección de B o usar una antena con una helicidad opuesta, como se muestra en la

Fig. 10. Ésta es una antena “mano­izquierda”, la cual excita un modo m = ­1 si k y B

son paralelos, y un modo m = +1si son antiparalelos.

Figura 8. Patrón de líneas de campo magnético y eléctrico en los modos m = +1

Figura 9. Esquemático de una antena “mano­derecha” helicoidal.

Figura 10. Esquemático de una antena “mano­izquierda” helicoidal. Figura 11. Esquemático de una antena tipo Boswell

Figura 10. Esquemático de una antena “mano­izquierda” helicoidal.

Figura 10. Esquemático de una antena “mano­izquierda” helicoidal. Figura 11. Esquemático de una antena tipo Boswell

Figura 11. Esquemático de una antena tipo Boswell en forma de paleta.

La Fig. 11 muestra una variante de la antena Nagoya Type III en forma de paleta.

Comparando esta con la Fig. 7, se puede observar la misma configuración, excepto

que las patillas horizontales fueron partidas a la mitad y ambas mitades fueron

separadas. Se afirma que la variante de Boswell se acopla de manera más eficiente,

sin embargo, medidas realizadas por Chen y Chevalier no revelaron diferencia alguna

con respecto a la antena Nagoya.

Diseño de antenas

Las antenas que se utilizan comúnmente tienen una longitud de media­onda y

pueden tener diferentes formas, como las mostradas anteriormente.

La longitud de la antena, en conjunto con la frecuencia RF, determinan la fase de la

velocidad que será excitada, elegida para que sea resonante con los electrones

térmicos o los electrones primarios. Sin embargo, una antena de media onda excita un

rango amplio de valores­k, y no hay garantía que la onda mantenga la misma longitud

de onda al abandonar la región de la antena. Debido a que todavía no existe un método

que permita predecir la fiabilidad de estas antenas, hasta el momento se realizan

pruebas empíricas de su rendimiento.

Figura 12. Densidad pico vs campo magnético para antenas Nagoya Type III de diferentes longitudes. Los

Figura 12. Densidad pico vs campo magnético para antenas Nagoya Type III de diferentes longitudes. Los parámetros fueron: a = 2 cm, p = 4 mTorr de argón, Prf = 2.2 kW a 27.12 MHz.

Figura 12. Densidad pico vs campo magnético para antenas Nagoya Type III de diferentes longitudes. Los

Figura 13. Densidad pico vs campo magnético para cuatro antenas de 12 cm de longitud de diferentes tipos. Se utilizaron los mismos parámetros que en la Fig. 12.

Para alcanzar alta densidad, Chen varió la longitud y la forma de la antena. Como se

muestra en las Fig.12 y Fig.13. En este caso, una longitud intermedia de 12 cm,

correspondiente a una energía resonante de 120 eV, fue la que brindó la mayor

densidad. Si una antena es muy larga, la velocidad de fase es muy alta para ser

resonante con más que unos cuantos electrones; si la antena es muy corta, la

eficiencia de acoplado es baja ya que el factor de amplificación en la conversión de

campos ­E inducidos a campos de carga espacial, proporcional a , es relativamente

pequeña. En la Fig. 13, las cuatro antenas de las Fig. 7­11 son comparadas bajo las

mismas condiciones. En este caso, las antena Nagoya Type III y la antena tipo Boswell,

brindaron los mismos resultados, mientras que la antena helicoidal, particularmente la

que fue diseñada para excitar el modo m = +1, brindó el pico más alto de densidades.

Estos resultados pueden variar bajo diferentes condiciones experimentales.

Las antenas utilizadas por Campbell tienen simetría m = 0 y consisten de dos anillos

con direcciones de corrientes opuestas. El espaciado entre los anillos y la colocación

de los cables ha sido optimizado para la uniformidad del plasma. Se encontró que estas

antenas dan perfiles de mayor densidad que las antenas m = 1, aunque el modo m = 0

tiene un pico en Bz en el eje, mientras que el pico del modo m = 1 se da fuera del eje.

El mecanismo de acoplamiento del modo m = 0 todavía no es comprendido. El

acoplamiento capacitivo puede jugar un rol en el incremento de la densidad de borde.

El acoplamiento capacitivo puede ser que haya sido visto por Komori con una antena

m = 1. Allí, se demostró que n saturados con B y Prf a un valor igual al de la densidad

neutral, indicando ionización completa, y que a campos por debajo del umbral, el perfil

de densidad es hueco, indicando ionización por el campo cercano de la antena.

Antenas más largas que las de media­onda no han sido probadas. Hasta el momento,

el proceso de optimización del diseño de antenas ha sido realizado mediante prueba y

error para cada aplicación.

Tipos de Antena

1. Jaula de Aves

Esta configuración es muy conocida en la resonancia nuclear magnética ya que

es utilizada como instrumento de detección y exitacion. La antena está compuesta por

N terminales distribuidas equitativamente en un cilindro de radio R como se muestra en

la Fig.14 , cada terminal está conectado a los dos más cercanos por medio de un

capacitor de capacitancia C, lo que permite la inyección de la radiofrecuencia a través

de un solo capacitor .

Fig.14 Representación de una Jaula de 4 terminales. Si se toman las partes conductoras de la

Fig.14 Representación de una Jaula de 4 terminales.

Si se toman las partes conductoras de la antena como un componente que va a actuar

inductivamente se obtiene un circuito equivalente al de la Fig.15, donde M es la

inductancia de una terminal y L es la inductancia de una porción del anillo.

Fig.14 Representación de una Jaula de 4 terminales. Si se toman las partes conductoras de la

Fig.15 Circuito equivalente de un segmentos de la Jaula.

Si denotamos Jn como la corriente que fluye por la malla acotada por la terminal n y

n+1, se puede utilizar leyes de Kirchhoff para obtener la corriente que fluye por la

terminal n a una frecuencia ω la cual seria:

mA

Fig.14 Representación de una Jaula de 4 terminales. Si se toman las partes conductoras de la

(32)

Un dato interesante acerca de esta configuración es que bajo resonancia la impedancia

es puramente real. Esto reduce considerablemente la pérdida de poder por la

disipación de la parte imaginaria de la impedancia.

2. Antena de alimentación cuadrática

Cuando se tiene una distribución senoidal de corrientes donde mA = 1 se genera

un campo de rf homogéneo,transversal linealmente polarizado. Este campo puede ser

visto como la superposición de los campos magnéticos polarizados circularmente

siguiendo la mano derecha y la mano izquierda, lo que es equivalente a m= 1 y m= ­1,

por lo tanto con esta configuración la mitad de la energía de la antena será utilizada por

la rotación de m = ­1 la cual se sabe que es menos eficiente que m=1 para calentar el

plasma.

siguiendo la mano derecha y la mano izquierda, lo que es equivalente a ​ m= 1

Figura.16 Distribución de los capacitores en una Jaula de 8 terminales

Ahora consideremos la configuración donde el poder de RF sea inyectado a través de

dos capacitores localizados a 90° uno del otro en el mismo anillo capacitivo como es

representado en la Fig.16, esto no afecta las propiedades de resonancia en la antena,

en la misma frecuencia de resonancia cada fuente genera su propia distribución

senoidal de corriente ma=1 en las terminales, esta situación está descrita en la Fig.16,

donde rf1 genera un campo rf polarizado linealmente transversal orientado a lo largo de

e mientras que rf2 genera un campo rf polarizado linealmente transversal orientado a

y

lo largo de e Esta configuración es llamada como fase espacial de alimentación

x

cuadrática de la antena, donde se superponen dos distribuciones senoidales de

corriente desfasadas un cuarto de onda.mientras las dos señales se encuentren en

fase el total del campo rf Btot quedará linealmente polarizado. mientras que si ponemos

un desfase de 90° entre la señal de rf1 y rf2 se tendrán las siguientes componentes:

siguiendo la mano derecha y la mano izquierda, lo que es equivalente a ​ m= 1

(33)

Btot es circular con la mano izquierda si el campo rf está polarizado con m= 1, un

desfase de 90 hará que domine m= 1 por lo que será polarización circular con la mano

derecha. Por lo tanto la alimentación cuadrática de la jaula permite que toda la energía

se concentre en la excitación del modo más eficiente del helicón de calentar el plasma.

3. Antenas Retorcidas

Otra mejora que se le puede realizar a las antenas de helicón es torcer la jaula

como se muestra en la Fig.17. La corriente en las terminales continuará senoidalmente

distribuida. Combinada con la excitación cuadrática descrita anteriormente, el campo

RF generado por la antena retorcida va a rotar en el tiempo a lo largo del eje

longitudinal. La unión entre la antena y la onda elicon de m=1 es casi perfecta, dentro

del límite de un número finito del largo de la antena.

Otra mejora que se le puede realizar a las antenas de helicón es torcer la jaula

Fig.17 Representación de una jaula de 4 terminales torcida.

En general esperamos que la jaula torcida tenga una mejor inductividad de acople con

el plasma que una antena recta. Para demostrar esto se modela la corriente de las

terminales del la jaula como una hoja de superficie continua de corriente en una

superficie cilíndrica de radio Ro y largo L. En coordenadas cilíndricas, con la dirección

de z orientada a lo largo del campo magnético estático, se modela el flujo de densidad

θ

de corriente J(r, ,z)para la jaula recta con mA = 1de la siguiente manera:

Otra mejora que se le puede realizar a las antenas de helicón es torcer la jaula

(34)

Donde I0 es la corriente, Y es la funcion Heaviside y δ es la funcion de Delta Dirac. Se

mostró que la amplitud del campo inducido en el plasma es proporcional a la

componente azimutal por medio de la transformada de Fourier de la distribución de la

corriente de la antena, K (m,kz ), definida como :

θ

Otra mejora que se le puede realizar a las antenas de helicón es torcer la jaula

(35)

Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en

cualquier parte es cero, lo que significa que jay una relación simple entre K (m,kz ) y la

θ

componente en z de la transformada de fourier la cual seria Kz (m,kz ):

Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en cualquier

(36)

Luego K (m,kz ) puede ser deducido de Kz (m,kz ), para la antena recta se obtiene el

θ

siguiente resultado:

Se observa que K (m,k​ z​ ) vale cero para ​m =/ ± 1 θ ecuación
Se observa que K (m,k​ z​ ) vale cero para ​m =/ ± 1
θ
ecuación 6 a la siguiente expresión
:
Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en cualquier

(37)

por lo cual podemos reducir la

(38)

Ahora se revisa el caso de la jaula torcida con un ángulo de ϕ, se toman las

terminales como que están uniformemente torcidas, lo que significa que cualquier punto

de la tangente a una terminal forma un angulo constante de α respecto al eje z.

Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en cualquier

(39)

Luego la componente z de la densidad de corriente de la antena torcida puede

ser representado como:

Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en cualquier

(40)

Como en la antena recta, la transformada de Fourier de Kz (m,kz ) obtenida en la

ecuación 9 tiene un valor de cero cuando m=/ ± 1 , entonces utilizando la ecuación 5,

la ecuación final para K (

θ ± 1 ,kz ) seria:

Hay que notar que por la construcción la divergencia de la distribución de corriente en cualquier

(41)

En la Fig 18 se muestra la gráfica de K2 (kz ), se puede observar que es

θ

proporcional a la potencia de la antena. Y por para cada ángulo de torcido. Se ajustó el

valor de L para obtener el máximo valor de oscilación.

Fig. 18 Espectro de poder para ϕ = 0, − Π/2 , − Π ,− 3Π/2

Fig. 18 Espectro de poder para ϕ = 0, − Π/2 , − Π ,− 3Π/2 y m=1. Con sus respectivos L= 0.15, 0.2, 0.25 y 0.3 m

Para obtener el L que tenga un rendimiento máximo se debe de utilizar la

fórmula 10 la cual se encuentra en función del largo de las terminales el radio y el

ángulo de torcedura.

Fig. 18 Espectro de poder para ϕ = 0, − Π/2 , − Π ,− 3Π/2

(42)

Ventajas de fuentes de plasma de helicon

● Alta densidad: descargas helicoidales en argón con una potencia de

radiofrecuencia de 1 kW presentan una densidad de plasma promedio de 1013

cm­3 y densidades máximas de 1014 cm­3 , 2 órdenes de magnitud por encima de

lo normal en otros plasmas procesados.

● Alta eficiencia: Como las descargas helicon producen más plasma que otros

tipos de descargas, se dice que su eficiencia radica en la aceleración de

electrones a energías ionizantes al “surfear” en la onda, llevando a una

transferencia de energía de onda más rápida a electrones primarios.

● Campo magnético bajo: requiere una menor cantidad de campo magnético para

mantener a los electrones atrapados en un recipiente cilíndrico.

● Ausencia de electrones internos: al encontrarse la antena fuera del vacío que

atrapa a los electrones, se elimina el riesgo de contaminación de los electrones

que producen el plasma.

● Control de energía de electrones: por medio del largo de la antena y su

frecuencia se puede controlar hasta cierto grado la velocidad de las ondas

helicon y por tanto la energía de los electrones.

● Operación remota: el plasma puede ser transportado a regiones con bajo o nulo

campo magnético, sin afectar su procesamiento.

● Buen acceso en los extremos: la antena, que se encuentra ubicada a lo largo del

tubo de vacío de plasma, permite que no existan electrodos que interfieran con

los rayos de partículas o fotones alrededor del tubo.

● Fuentes alta de corriente: se puede llegar a atrapar y acelerar una gran cantidad

de electrones, lo que lleva a una alta densidad de corriente eléctrica.

Referencias Consultadas

[1] F. Chen (January, 1994). Helicon Plasma Sources. [Digital]. Universidad de Los

Angeles,

California.

Versión

[Online]

tomada

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[4] D. Miljak, F. Chen (August, 1997). Helicon wave excitation with rotating antenna

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