Scanning Electron Microscopy (SEM)

Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm
sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil
gambar mikroskop cahaya dengan elektron.
Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna
untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu
pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti pada gambar dibawah ini.

Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
1. Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh
medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang lain elektron yang
berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan
molekul udara menjadi sangat penting.
Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:
1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan diterima oleh
detektor dan dikirim ke monitor (CRT).
Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:
(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal elektron
sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered electron.
Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar dibawah ini.
Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut: elektron
sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi berwarna lebih cerah dari
permukaan rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan perbedaan berat molekul dari atom atom
yang menyusun permukaan, atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan
berat molekul rendah. Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.

Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini. Permukaan yang tinggi akan
lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang
rendah atau datar.

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah ini yang secara
prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron
sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan
jenis atom.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti lebih banyak
mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan
kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan
menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi
yang diinginkan maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan memberikan warna
berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk menganalisa
secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen. Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada
diagram dibawah ini.
Aplikasi dari teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut:
1. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan kualitatif.
Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:
1. Memerlukan kondisi vakum
2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas.

FungsimikroskopelektronscanningatauSEMadalahdenganmemindaiterfokusbalokhalus
elektron ke sampel.Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari
elektron menuju ke sampel secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang
dihasilkandarisampel.Serangkaianenergielektronterukurdapatdihasilkanyangdianalisis
oleh sebuah mikroprosesor yang canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau
spektrumelemenyangunikyangadadalamsampeldianalisis.Iniadalahrangkaianelektron
yangdibelokkanolehtumbukandenganelektronsampel.Sebelummenjelajahijeniselektron
dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi
diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan.Sepanjang sejarah banyak fisikawan,
matematikawan,danahlikimiamempelajariunsurunsurdibumi.Beberapanama

IniadalahkaryaProustyangterinspirasiJohnDalton(17661844)untukmengembangkan
hipotesisnyake"Hukumperbandinganberganda":
Ketika dua unsur membentuk suatu rangkaian senyawa, rasio massa dari elemen
kedua yang menggabungkan dengan 1 gram dari elemen pertama selalu bisa direduksi
menjadibilanganbulatkecil.
SeorangahlikimiaRusiabernamaDmitriMendeleev(18341907)menyusun63unsuryang
dikenalketabelberdasarkanmassaatommereka.Susunanelemenakhirnyaberubahmenjadi
tabel periodik modern unsur digunakan di seluruh dunia.
Melaluikerjakerasorangoranginidansejumlahoranglain,sejumlahbesarinformasiyang
disusundandiujiuntukmenetapkanprinsipdasardigunakansaatinidalampengembangan
mikroskop elektron scanning modern. Sebelum menjelajahi lebih lanjut ke teori dan
fungsionalitasdariEDX/mikroskopSEM,ituadalahlayakdisebutdualitaselektrondanx
ray.Awal percobaan dengan elektron dan karakteristik fisik telah menyebabkan ilmuwan
untukmemodifikasipemahamandasarfisika.Sebelumkemajuanteknologimodern,banyak
ilmuwanharusmenjelaskanperilakufisikberdasarkaninteraksikimiayangdilihatdengan

matatelanjang.Ketikaprinsipprinsipradiasielektromagnetikpertamakalidiperkenalkan,
konsep ini paling mudah dijelaskan sebagai gelombang yang berjalan di panjang dan
frekuensi tertentu.Kemudian eksperimen menunjukkan bahwa cahaya dan xrays partikel
aktual yang dapat dideteksi.Singkatnya, rontgen dianggap baik sebagai gelombang dan
partikel.Lebih khusus, mereka adalah paket kecil dari gelombang elektromagnetik yang
disebutkuantaataupartikelyangdisebutfoton.
Tergantungpadajenisinformasianalisyangtertarikpadajeniselektronsatustudi.Setiap
elektron yang dihasilkan dari berkas elektron primer yang dihasilkan oleh SEM ketika
melanggar sampel yang diberikan menghasilkan elektron energi tertentu yang dapat
diukur.Jenisjeniselektronyangdihasilkanuntuksetiapcontohyangdiberikanperluterlebih
dahuludieksplorasi.Elektronyangdihasilkandarikomposisimolekulsampeldiklasifikasikan
sebagai

baik

dan

elektron

inelastis

elastis.

Elektroninelastikadalahelektronenergirendahdibelokkandarisampel.Kebanyakandiserap
oleh spesimen, tetapi mereka yang melarikan diri dekat permukaan.Elektron ini disebut
elektron sekunder, yaitu energi elektron muncul kurang dari 50eV, 90% dari elektron
sekundermemilikienergikurangdari10eV,sebagianbesardari2sampai5eV.Elektron
sekundermemberikaninformasitopografipermukaandanputih,tigadimensigambarhitam
sampel.Ini adalah gambar paling umum kebanyakan orang mengasosiasikan dengan
SEM.Elektronelastisadalahsetiapelektronyangberinteraksidenganberkaselektronutama
untuk menghasilkan energi spesifik dari tabrakan dan menahan sebagian besar
energinya.Elektroninidikategorikansebagai:
Elektron Backscatteredmenghasilkan komposisi dan crystallographical informasi
permukaan,topologi.
Diserap saat ini yang memungkinkan studi struktur internal semikonduktor atau
(EBIC).
Cathodluminescencemenunjukkandanenergitingkatdistribusidifosfor.
elektronAugerberisiinformasidankimiaunsurdarilapisanpermukaan.
Karakteristik Xray radiasihasil Mikroanalisis dan distribusi unsurunsur sampel
yangdiberikan.
Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk menganalisa suatu sampel tertentu
menggunakansalahsatumetodeyangdisebutkandiatas.Sayangnya,setiapjenisanalisis
dianggapmerupakantambahanperangkataksesoriuntukSEM.Yangpalingumumaksesori
dilengkapidenganSEMadalahdispersifenergixraydetektoratauEDX(kadangkadang
disebutsebagaiEDS).Jenis detektormemungkinkanpenggunauntukmenganalisis sampel
komposisi

molekul.
DenganbiayabiayadariScanningElectronMicroscopes(SEM)yangturundalambeberapa
tahunterakhir,SEMberubahmelebihipusatbursayangberkisarpadapusatpusatpenelitian,
universitas,pusatpusatanalisis,dansebagainyamenjadisuatualatyangaplikasinyalebih
luas yang mencakup sekolahsekolah tinggi dan divisi pengendalian mutu dari banyak
industri. Demikian juga dengan munculnya kebutuhan untuk memahami komposisi dan
distribusidariunsurunsurdisampinguntukmengamatibentukmaterial,sekarangtelahlazim
untukbisnisdanorganisasiorganisasimemperkenalkanalatanalisaEnergyDispersiveX
Ray (EDX) pada waktu yang bersamaan dengan pembelian SEM.
SEMdanEDXtelahdirancangsecarakonvensionaluntukpenggunaannyaolehahliteknologi

analitis.Akantetapi,denganperkembanganbursadariSEM/EDXyangcepat,dibutuhkan
perkembanganuntukmeningkatkankemampuandarialatalatinisehinggadapatdigunakan
denganmudaholehahlimesinyangbekerjadalamPengendalianmutu.
Jugadengankemajuandalambidangelektronik,operasiSEM/EDXtelahberubahdarianalog
menjadi operasi digital, dengan pengatur alat dan pengolahan data yang dilakukan oleh
computer. Biasanya, suatu sistem operasi WindowsTMdan aplikasi Windows digunakan,
membuatlingkungansystemyanghampirsetiaporangdapatmenggunakandenganmudah.
Berdasarkan pada kebutuhan dan perubahan bursa dalam lingkungan teknologi, maka
dibuatlahSEMEDXyangmerupakansuatusystemanalisisyangmenggabungkanSEMdan
EDX

menjadi

satu

unit.

BAB11
TINJAUANPUSTAKA

A.Pengertian
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu jenis mikroscop electron yang
menggunakanberkaselectronuntukmenggambarkanbentukpermukaandarimaterialyang
dianalisis.PrinsipkerjadariSEMiniadalahdenganmenggambarkanpermukaanbendaatau
materialdenganberkaselectronyangdipantulkandenganenergytinggi.Permukaanmaterial
yangdisinariatauterkenaberkarelectronakanmemantulkankembaliberkaselectronatau
dinamakanberkaselectronsekunderkesegalaarah.Tetapidarisemuaberkaselectronyang
dipantulkan terdapat satu berkas electron yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi.
Detector yang terdapat di dalam SEM akan mendeteksi berkas electron berintensitas
tertinggiyangdipantulkanolehbendaataumaterialyangdianalisis.Selainitujugadapat
menentukanlokasiberkaselectronyangberintensitastertinggiitu.
Ketikadilakukanpengamatan terhadapmaterial,lokasi permukaan benda yangditembak
denganberkaselektronyangberintensitastertinggidiscankeseluruhpermukaanmaterial
pengamatan.Karenaluasnyadaerahpengamatankitadapatmembatasilokasipengamatan
yang kitalakukandengan melakukanzoonin atau zoonout.Denganmemanfaatkan
berkaspantulandaribendatersebutmakainformasidapatdiketahuidenganmenggunakan
programpengolahancitrayangterdapatdalamcomputer.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada
mikroskopoptic.HalinidisebabkanolehpanjanggelombangdeBroglieyangmemiliki
electronlebihpendekdekdaripadagelombangoptic.Karenamakinkecilpanjanggelombang
yangdigunakanmakamakintinggiresolusimikroskop.
(GambarSEM)

SEMmempunyaidepthoffieldyangbesar,yangdapatmemfokuskanjumlahsampelyang
lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga
dimensi.SEMjugamenghasilkanbayangandenganresolusitinggi,yangberartimendekati
bayanganyangdapatdiujidenganperbesarantinggi.
Kombinasiperbesaranyanglebihtinggi,darkfield,resolusiyanglebihbesar,dankomposisiserta
informasikristallografimembuatSEMmerupakansatudariperalatanyangpalingbanyak
digunakandalampenelitian,R&Dindustrikhususnyaindustrisemikonductor
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu
mencapai200nmsedangkanelektronbisamencapairesolusisampai0,10,2nm.Dibawah
inidiberikanperbandinganhasilgambarmikroskopcahayaDenganelektron
Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis
pantulanyangbergunauntukkeperluankarakterisasi.Jikaelektronmengenaisuatubenda
makaakantimbulduajenispantulanyaitupantulanelastisdanpantulannonelastisseperti
padagambardibawahini.
1.Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas
elektronmisaltungsten.
2.Lensauntukelektron,berupalensamagnetiskarenaelektronyangbermuatannegatifdapat
dibelokkanolehmedanmagnet.
3.Sistemvakum,karenaelektronsangatkecildanringanmakajikaadamolekuludarayang
lainelektronyangberjalanmenujusasaranakanterpencarolehtumbukansebelummengenai
sasaransehinggamenghilangkanmolekuludaramenjadisangatpenting.
SEMtersusundaribeberapabagianyangdapatdibuatsuatuskemasepertiberikut
a.PenembakElektron(ElektronGun)
AdaduatipedarielektronGun,yaitu:
1.Termal
Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan ialah dalam bentuk
energipanas.Olehelektronenergipanasinidiubahmenjadienergikinetik.Semakinbesar
panasyangditerimaolehbahanmakaakansemakinbesarpulakenaikanenergykinetikyang
terjadipadaelektron,dengansemakinbesarnyakenaikanenergikineticdarielektronmaka
gerakanelektronmenjadisemakincepatdansemakintidakmenentu.Padasituasiinilahakan
terdapatelektronyangpadaahirnyaterlepaskeluarmelaluipermukaanbahan.Padaproses
emisi thermionic dan juga pada proses emisilainnya, bahan yang digunakan sebagai asal
ataupun sumber elektron disebut sebagai"emiter" atau lebih sering disebut "katoda"
(cathode),sedangkanbahanyangmenerimaelektrondisebutsebagaianoda.Dalamkonteks
tabunghampa(vacuumtube)anodalebihseringdisebutsebagai"plate".Dalamprosesemisi
thermionic dikenal dua macam jenis katoda yaitu :
a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)

b) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)

Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arusheater
(pemanas).Materialyangdigunakanuntukmembuatkatodadiantaranyaadalah:
TungstenFilamen
Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk membuatkatode.
Tungstenmemilikiduakelebihanuntukdigunakansebagaikatodayaitumemilikiketahanan
mekanikdanjugatitikleburyangtinggi(sekitar3400derajatCelcius),sehinggatungsten
banyakdigunakanuntukaplikasikhasyaitutabungXRayyangbekerjapadategangansekitar
5000Vdantemperaturetinggi.Akantetapiuntukaplikasiyangumumterutamauntukaplikasi
Tabung Audio dimana tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten
bukan material yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang
tinggi(4,52eV)danjugatemperaturekerjaoptimalyangcukuptinggi(sekitar2200derajat
celcius).
2.Fieldemission
Padaemisijenisiniyangmenjadipenyebablepasnyaelektrondaribahanialahadanyagaya
tarikmedanlistrikluaryangdiberikanpadabahan.Padakatodayangdigunakanpadaproses
emisiinidikenakanmedanlistrikyangcukupbesarsehinggatarikanyangterjadidarimedan
listrikpadaelektronmenyebabkanelektronmemilikienergiyangcukupuntuklompatkeluar
daripermukaankatoda.Emisimedanlistrikadalahsalahsatuemisiutamayangterjadipada
vacuumtubeselainemisithermionic.
Jeniskatodayangdigunakanadalah:
ColdFieldEmission
SchottkyFieldEmissionGun

b.lensaMagnet
c.secondaryElektronDetector
d.BackcatteredElectronDetector
Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyekbenda
berukuran nano meter.Meskipun demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkanuntuk scan
dalamarahhorizontal,sedangkanscansecaravertikal(tinggirendahnyastruktur)resolusinya
rendah.Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahuipemecahannya. Namun
demikian,sejaksekitartahun1970an,telahdikembangkanmikroskopbaruyangmempunyai
resolusitinggibaiksecarahorizontalmaupunsecaravertikal,yangdikenaldengan"scanning
probemicroscopy(SPM)"(Oktaviana,2010).DibawahinidisajikanhasilpengamatanSEM
denganberbagaibatasdankemungkinanpembesarannya.
B.PrinsipKerjaAlat
1.Prinsip

kerja

dari

SEM

adalah

sebagai

berikut:
Sebuahpistolelektronmemproduksisinarelektrondandipercepatdengananoda.
2.Lensamagnetikmemfokuskanelektronmenujukesampel.
3.Sinarelektronyangterfokusmemindai(scan)keseluruhansampeldengandiarahkanoleh
koilpemindai.

4.Ketikaelektronmengenaisampelmakasampelakanmengeluarkanelektronbaruyangakan
diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT).
SecaralengkapskemaSEMdijelaskanolehgambardibawahini:
(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkansinyalelektronsekunderdankarakteristiksinarXsedangkandaripantulanelastis
didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal sinyal tersebut dijelaskan pada gambar
dibawahini.
Perbedaangambardarisinyalelektronsekunderdenganbackscatteredadalahsebagaiberikut:
elektronsekundermenghasilkantopografidaribendayangdianalisa,permukaanyangtinggi
berwarnalebihcerahdaripermukaanrendah.Sedangkanbackscatteredelektronmemberikan
perbedaanberatmolekuldariatomatomyangmenyusunpermukaan,atomdenganberat
molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah.
Contohperbandingangambardarikeduasinyalinidisajikanpadagambardibawahini.
Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini.
Permukaanyangtinggiakanlebihbanyakmelepaskanelektrondanmenghasilkangambar
yanglebihcerahdibandingkanpermukaanyangrendahataudatar.
Sedangkanmekasimekontrasdaribackscatteredelektrondijelaskandengangambardibawah
iniyangsecaraprinsipatomatomdengandensitasatauberatmolekullebihbesarakan
memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas
rendah.Makateknikinisangatbergunauntukmembedakanjenisatom.
Namununtukmengenalijenisatomdipermukaanyangmengandungmultiatomparapeneliti
lebihbanyakmengunakanteknikEDS(EnergyDispersiveSpectroscopy).Sebagianbesaralat
SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS
dihasilkandariSinarXkarakteristik,yaitudenganmenembakkansinarXpadaposisiyang
ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan
makaakanmunculpuncakpuncaktertentuyangmewakilisuatuunsuryangterkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan
memberikanwarnaberbedabedadarimasingmasingelemendipermukaanbahan.EDS
bisadigunakanuntukmenganalisasecarakunatitatifdaripersentasemasingmasingelemen.
ContohdariaplikasiEDSdigambarkanpadadiagramdibawahini.

(sumber:umich.edu)
C.PrinsipOperasi
Insiden elektron sinar membangkitkan elektron dalam keadaan energi yang lebih rendah,
mendorongejeksimerekadanmengakibatkanpembentukanlubangelektrondalamstruktur
elektronikatom.Elektrondarikulit,energiluaryanglebihtinggikemudianmengisilubang,

dankelebihanenergielektrontersebutdilepaskandalambentukfotonsinarX.Pelepasanini
sinarXmenciptakangarisspektrumyangsangatspesifikuntuksetiapelemen.Dengancara
ini data Xray emisi dapat dianalisis untuk karakterisasi sampel di pertanyaan. Sebagai
contoh,kehadirantembagaditunjukkanolehduaK puncakdisebutdemikian(K danK
)padasekitar8,0dan8,9keVdanpuncakLpada0,85eV.Dalamunsurunsurberatseperti
tungsten, sebuah ot transisi yang berbeda yang mungkin dan banyak puncak karena itu
hadir(

Irawan,

2010

).
PadaSEMsampeltidakditembusolehelektronsehinggahanyapendaranhasildaritumbukan
elektrondengansampelyangditangkapolehdetektordandiolah(Oktoviawan,2009).
D.Instrumentasi

KonfigurasiSistem
Dengansystemkonvensional,EDXyangberdirisendiridikombinasikandenganSEMyang
terpisah,sehinggaoperatorharusbelajarmenggunakankeduasystem,danmasingmasing
systemharusdioperasikansecaraterpisah.MelaluiSEMEDX,SEMdanEDXdigabungkan
menjadisatuunit,mengurangikebutuhanakanOperasiyangkomplek/rumit.
FungsidarisuatuSEMdanEDXdigabungkanmenjadisatuunit,sehinggakonfigurasidapat
dibagimenjadiunitSEMdanunitEDX.UnitSEMterdiridaridetektorEDX,danpanel
operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard dan mouse. Untaian pengendali EDX, 2
komputerdandiskdriveMOditempatkandalamsuaturakpadatterletakdisebelahpanel
operasi. Gambar 2 menunjukkan bagian luar dari gabungan SEMEDX dan gambar 3
menunjukkankonfigurasi/susunansystem
UntukmenggabungkanfungsiSEMdanEDXdalamsuatualatSEMEDX,computerdari
tiapunitdihubungkandengansuatuEthernetuntukpembagiandata,dansoftwareHiMouse
yangdikembangkanmemberikanpengoperasianyangmudah.DenganEthernetdansoftware
HiMouse,satukeyboard,satumouse,danduamonitordapatdigunakanmenjalankandengan
lembut

fungsi

dari

SEM

maupun

EDX.
HubunganuserpadaunitSEMberdedikasipadajendelaEDXyangdapatdigunakanuntuk
mengontrolunitEDX.Folderfolderwindowsdapatdiaturmenjadishared,mengizinkan
datadibagiantara2komputer.Carakerjajauhlebihsederhana,danmenampilkangambar
lebihmudah,melaluipengaturansalahsatumonitoruntukmenampilkangambarpengamatan
danmonitoryangMonitoryanglaimenampilkandataanalisis.Karenamasingmasingsystem
harusdioperasikansecaraterpisah,makaperludipelajarioperasidariSEMdanEDXsecara
tersendiri.
E.Aplikasi
SEMEDX adalah namadispersive Xray spektroskopi energianalisis yang dilakukan
dengan menggunakanSEM.Alatdipakai umumnyauntuk aplikasi yangcukupbervariasi
padapermasalahaneksplorasidanproduksimigas,termasukdidalamnya:Evaluasikualitas
batuanreservoirmelaluistudidiagnosayangmeliputiidentifikasidaninterpretasikeberadaan
mineraldandistribusinyapadasistemporositasbatuan.Investigasipermasalahanproduksi
migassepertiefekdariclayminerals,steamfloodsdanchemicaltreatmentsyangterjadipada

peralatan

pemboran,

gravelpacks

dan

pada

reservoir
Identifikasi dari mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan pengendapan Taufik,
2008).
Instrumen ini sangat cocok untuk berbagai jenis investigasi. Hal ini mungkin untuk
menyelidiki misalnya struktur serat kayu dan kertas, logam.permukaan fraktur, produksi
cacatdikaretdanplastic.DetailterkecilyangdapatdilihatpadagambarSEMadalah45nm
(45 sepersejuta milimeter). Detail terkecil yang dapat dianalisis adalah pM 23 (23
seperseribumilimeter).
AplikasidariteknikSEMEDSdirangkumsebagaiberikut:
1.Topografi:Menganalisapermukaandanteksture(kekerasan,reflektivitasdsb)
2.Morfologi:Menganalisabentukdanukurandaribendasampel
3.Komposisi:Menganalisakomposisidaripermukaanbendasecarakuantitatifdan
kualitatif.
SedangkankelemahandariteknikSEMantaralain:
1.Memerlukankondisivakum
2.Hanyamenganalisapermukaan
3.ResolusilebihrendahdariTEM
4.Sampelharusbahanyangkonduktif,jikatidakkonduktormakaperludilapislogamseperti
emas.

BAB111

PENUTUP
A.KESIMPULAN
HampirsamadenganSEMhanyasajapadaSEMEDXmerupakanduaperangkatanalisis
yangdigabungkanmenjadisatupanelanalitissehinggamempermudahprosesanalitisdan
lebihefisien.PadadasarnyaSEMEDXmerupakanpengembanganSEM.AnalisaSEMEDX
dilakukanuntukmemprolehgambaranpermukaanataufiturmaterialdenganresolusiyang
sangattinggihinggamemperolehsuatutampilandaripermukaansampelyangkemudiandi
komputasikan dengan software untuk menganalisis komponen materialnya baik dari
kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya.Daftar berikut ini merangkum fungsi yang
berkontribusipadaoperabilitasluarbiasadariSEMEDX.
1.MenuFungsiinidigunakanuntukmengatursecarabersamaan,menyimpan,danmengingat
parameteruntukanalisisSEMdanEDX.
2.Kondisi pengukuran EDX dapat diatur dari Unit SEM (Spektral pengukuran, multititik
pengukuran,pemetaan,tampilanmenganalisiselemenpadaSEMmonitor).
3.ImagedatayangdiperolehdenganSEMdapatdigunakansebagaidatadasaruntukEDX.
4. MenetapkankondisiuntukunitSEMsecaraotomatisdipindahkankeunitEDX(Rahmat,
2010).
Untukmengetahuimorfologisenyawapadatatandankomposisiunsuryangterdapatdalam
suatusenyawadapatdigunakanalatscanningelectronmicroscope(SEM).ScanningElectron
Microscopeadalahsuatutipemikroskopelectronyangmenggambarkanpermukaansampel
melaluiprosesscandenganmenggunakanpancaranenergyyangtinggidarielectrondalam
suatupolascanraster.Elektronberinteraksidenganatomatomyangakanmembuatsampel
menghasilkansinyaldanmemberikaninformasimengenaipermukaantopografisampel,
komposisidansifatsifatlainnyasepertikonduktivitaslistrik.
TipesinyalyangdihasilkanolehSEMdapatmeliputielektronsekunder,sinarX
karakteristikdancahaya(katodaluminisens).Sinyaltersebutdatangdarihamburanelektron
permukaanunsuryangberintaraksidenganspecimen.Semmenghasilkangambardengan
resolusiyangtinggidarisuatupermukaansampel,menangkapsecaralengkapdenganukuran
sekitar15nm.SEMdapatmenghasilkankarakteristikbentuk3dimensisehinggamampu
memberikandatayanglebihmudahtentangsampleyangdianalisa.Agarmenghasilkan
gambaryangdiinginkanmakaSEMmempunyasebuahlebarfocus25250.000kali.
Cara kerja SEM yaitu sebuah elektron diemisikan dari katoda tungsten dan diarahkan kesuatu
anoda. Tungsten digunakan karena mempunyai titik lebur yang paling tinggi dan tekanan uap
paling rendah dari semua jenis logam, sehingga dapat dipanaskan untuk keperluan
pemancaran elektron. Berkas elektron yang memiliki beberapa ratus eV dipusatkan oleh satu
atau dua lensa kondeser kedalam suatu berkas cahaya dengan spot 1 nm sampai 5 nm. Berkas
cahaya dipancarkan melalui sepasang coil scan pada lensa obyektif yang dapat membelokkan
berkas cahaya secara horizontal dan vertikal sehingga membentuk daerah permukaan sampel
persegi empat.
Ketika berkas elektron utama saling berinteraksi dengan sampel, maka elektron kehilangan
energi oleh penyebaran berulang dan penyerapan dengan setetes volume spesimen yang
dikenal sebagai volume interaksi yang meluas kurang dari 100 nm sampai sekitar 5 nm pada

permukaan. Ukuran dari volume interaksi tergantung pada berkas cahaya yang mempercepat
tegangan, nomor atom spesimen dan kepadata spesimen. Energi berubah diantara berkas
elektron dan hasil sampel hasil pada emisi elektron dan sampel hasil pada emisi elektron dan
radiasi elektromagnet yang dapat dideteksi untuk menghasilkan suatu gambar.

SEM dapat Mengamati struktur maupun bentuk permukaan yang berskalah lebih halus,
Dilengkapi Dengan EDS (Electron Dispersive X ray Spectroscopy) dan Dapat mendeteksi
unsure-unsur dalam material. Pada pengambilan data dengan alat SEM-EDX, sampel bubuk
yang telah diletakkan di atas specimen holder dimasukkan kedalam specimen
chamberdengantingkatkevakumanyangtinggiyaitusekitar2x106Trorr. kemudian
dimasukkan dalam alat SEM-EDX dan alat siap untuk dioperasikan.
Dalam pengukuran SEMEDX untuk setiap sampel dianalisis dengan menggunakan
analisis area. Sinar electron yang di hasilkan dari area gun dialirkan hingga mengenai sampel.
Aliran sinar electron ini selanjutnya di fokuskan menggunakan electron optic columb
sebelum sinar electron tersebut membentuk atau mengenai sampel. Setelah sinar electron
membentuk sampel, akan terjadi beberapa interaksi pada sampel yang disinari. Interaksi
interaksi pada sampel yang disinari. Interaksi interaksi yang terjadi tersebut selanjutnya
akan dideteksi dan di ubah ke dalam sebuah gambar oleh analisis SEM dan juga dalam
bentuk grafik oleh analisis EDX.

Mikroskop elektron scanning (SEM) menggunakan sinar terfokus elektron berenergi

tinggi untuk menghasilkan berbagai sinyal pada permukaan spesimen padat. Sinyal
yang berasal dari interaksi elektron-sampel mengungkapkan informasi tentang
sampel termasuk morfologi eksternal (tekstur), komposisi kimia, dan struktur kristal
dan orientasi bahan penyusun sampel. Dalam sebagian besar aplikasi, data
dikumpulkan melalui area tertentu dari permukaan sampel, dan gambar 2 dimensi
yang dihasilkan yang menampilkan variasi spasial di properti ini. Bidang mulai dari
sekitar 1 cm sampai 5 mikron lebar dapat dicitrakan dalam mode pemindaian
menggunakan teknik SEM konvensional (perbesaran mulai dari 20X sekitar 30,000X,
resolusi spasial 50 sampai 100 nm). SEM juga mampu melakukan analisis lokasi yang
dipilih titik pada sampel; Pendekatan ini sangat berguna dalam kualitatif atau semikuantitatif menentukan komposisi kimia (menggunakan EDS), struktur kristal, dan
orientasi kristal (menggunakan EBSD). Desain dan fungsi dari SEM sangat mirip
dengan EPMA dan tumpang tindih dalam kemampuan ada antara dua instrumen.

Prinsip dasar dari Scanning Electron

Microscopy (SEM)
Elektron dipercepat dalam SEM membawa sejumlah besar energi kinetik, dan energi
ini hilang sebagai berbagai sinyal yang dihasilkan olehinteraksi elektronsampel ketika elektron insiden yang melambat dalam sampel padat. Sinyal-sinyal ini
termasuk elektron sekunder (yang menghasilkan gambar SEM), elektron
backscattered (BSE), elektron backscattered difraksi (EBSD yang digunakan untuk
menentukan struktur kristal dan orientasi dari mineral), foton (sinar Xkarakteristik yang digunakan untuk analisis unsur dan kontinum sinar-X), cahaya
tampak(cathodoluminescence-CL), dan panas. Elektron sekunder dan elektron
backscattered biasanya digunakan untuk sampel pencitraan: elektron sekunder yang
paling berharga bagi menunjukkan morfologi dan topografi pada sampel dan
elektron backscattered yang paling berharga bagi menggambarkan kontras dalam
komposisi dalam sampel multiphase (yaitu diskriminasi fase cepat). Generasi Xray diproduksi oleh tabrakan inelastis elektron insiden dengan elektron dalam ortitals
diskrit (kerang) atom dalam sampel. Sebagai elektron bersemangat kembali untuk
menurunkan energi negara, mereka menghasilkan sinar-X yang dari panjang
gelombang tetap (yang berhubungan dengan perbedaan tingkat energi elektron
pada kulit yang berbeda untuk elemen tertentu). Dengan demikian, sinar Xkarakteristik yang diproduksi untuk setiap elemen dalam mineral yang "gembira"
dengan berkas elektron. Analisis SEM dianggap "non-destruktif"; yaitu, x-ray yang
dihasilkan oleh interaksi elektron tidak menyebabkan hilangnya volume sampel,
sehingga memungkinkan untuk menganalisis bahan yang sama berulang-ulang.

Scanning Electron Microscopy (SEM)

Instrumentasi - Bagaimana Apakah Ini
Bekerja?

Komponen penting dari semua SEM meliputi berikut ini:

Sumber elektron ("Gun")

Lensa elektron

Sampel Tahap

Detektor untuk semua sinyal dari bunga

Tampilan / Data perangkat output

Persyaratan infrastruktur:
o

Sumber Daya listrik

Vacuum Sistem

Sistem pendingin

Lantai bebas getaran

Bebas ruang medan magnet dan listrik ambien

SEM selalu memiliki setidaknya satu detektor (biasanya detektor elektron sekunder),
dan sebagian besar memiliki detektor tambahan.Kemampuan spesifik dari instrumen
tertentu sangat tergantung pada yang detektor mengakomodasi.

Aplikasi

SEM secara rutin digunakan untuk menghasilkan gambar resolusi tinggi dari bentuk
benda (SEI) dan menunjukkan variasi spasial dalam komposisi kimia: 1)
memperoleh peta unsur atau bahan kimia tempat analisis menggunakan EDS, 2)
diskriminasi fase berdasarkan nomor atom rata-rata ( umumnya terkait dengan
kepadatan relatif) menggunakan BSE, dan 3) peta komposisi berdasarkan perbedaan
unsur jejak "activitors" (biasanya transisi logam dan elemen Bumi Langka)
menggunakan CL. SEM juga banyak digunakan untuk mengidentifikasi fase
berdasarkan analisis kimia kualitatif dan / atau struktur kristal. Pengukuran yang
tepat dari fitur yang sangat kecil dan objek ke 50 nm dalam ukuran juga dilakukan
dengan menggunakan SEM. Backescattered gambar elektron (BSE) dapat digunakan
untuk diskriminasi cepat fase dalam sampel multifase. SEM dilengkapi dengan
difraksi detektor elektron backscattered (EBSD) dapat digunakan untuk memeriksa
microfabric dan orientasi kristalografi dalam banyak bahan.

Kekuatan dan Keterbatasan Scanning

Electron Microscopy (SEM)?
Kekuatan
Ada bisa dibilang tidak ada instrumen lain dengan luasnya aplikasi dalam studi
bahan padat yang membandingkan dengan SEM. SEM sangat penting dalam semua
bidang yang membutuhkan karakterisasi material padat. Sementara kontribusi ini
adalah yang paling peduli dengan aplikasi geologi, penting untuk dicatat bahwa
aplikasi ini adalah subset sangat kecil dari aplikasi ilmiah dan industri yang ada
untuk instrumentasi ini. Kebanyakan SEM ini relatif mudah dioperasikan, dengan
user-friendly "intuitif" interface. Banyak aplikasi membutuhkan persiapan sampel
minimal. Untuk banyak aplikasi, akuisisi data cepat (kurang dari 5 menit / gambar
untuk SEI, BSE, tempat EDS analisis.) SEM modern menghasilkan data dalam format
digital, yang sangat portabel.

Keterbatasan
Sampel harus solid dan mereka harus masuk ke dalam ruang mikroskop. Ukuran
maksimum dalam dimensi horisontal biasanya di urutan 10 cm, dimensi vertikal
umumnya jauh lebih terbatas dan jarang melebihi 40 mm. Untuk kebanyakan
instrumen sampel harus stabil dalam ruang hampa pada urutan 10
6

-5

- 10

torr. Sampel cenderung outgas pada tekanan rendah (batuan jenuh dengan

hidrokarbon, "basah" sampel seperti batu bara, bahan organik atau pembengkakan
lempung, dan sampel cenderung membakar sampai pecah pada tekanan rendah)
tidak cocok untuk pemeriksaan di konvensional SEM ini. Namun, "vakum rendah"
dan "lingkungan" SEM juga ada, dan banyak jenis sampel dapat berhasil diperiksa
dalam instrumen khusus. EDS detektor pada SEM tidak dapat mendeteksi unsur
sangat ringan (H, He, dan Li), dan banyak instrumen tidak dapat mendeteksi unsur
dengan nomor atom kurang dari 11 (Na). Kebanyakan SEM menggunakan solid state
detektor x-ray (EDS), dan sementara detektor ini mudah untuk memanfaatkan
sangat cepat dan, mereka memiliki resolusi energi yang relatif miskin dan kepekaan
terhadap elemen hadir dalam kelimpahan yang rendah bila dibandingkan dengan
panjang gelombang dispersif detektor x-ray ( WDS) pada kebanyakan probe elektron
microanalyzers (EPMA). Lapisan elektrik konduktif harus diterapkan untuk isolasi
elektrik sampel untuk studi di konvensional SEM ini, kecuali instrumen yang mampu
beroperasi dalam mode vakum rendah.

Panduan Pengguna - Pengumpulan Sampel

dan Persiapan
Persiapan sampel dapat minimal atau rumit untuk analisis SEM, tergantung pada
sifat dari sampel dan data yang dibutuhkan. Persiapan minim termasuk akuisisi
sampel yang akan masuk ke ruang SEM dan beberapa akomodasi untuk mencegah
biaya build-up di isolasi listrik sampel.Kebanyakan elektrik isolasi sampel yang
dilapisi dengan lapisan tipis melakukan materi, karbon biasa, emas, atau logam
lainnya atau paduan.Pilihan bahan untuk lapisan konduktif tergantung pada data
yang akan diperoleh: karbon adalah yang paling diinginkan jika analisis unsur adalah
prioritas, sementara lapisan logam yang paling efektif untuk resolusi tinggi aplikasi
pencitraan elektron. Atau, sampel elektrik isolasi dapat diperiksa tanpa lapisan
konduktif di instrumen yang mampu "vakum rendah" operasi.