Nama : Della Wahyu Margareta

Nim

: 141903102055
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah reraga/struktur peralatan elektro-

mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran
miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping
terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya
adalah silikon.
Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet)
mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah
sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini,
pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "Lab on Chip". Contoh
dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip