BAB I

PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Perkembangan

ilmu pengetahuan memberikan dampak yang positif terhadap

perkembangan teknologi. Kemajuan ilmu pengetahuan yang berorientasi pada pengembangan

teknologi dan informasi merupakan bagian dari kehidupan masyarakat dunia saat ini
khususnya kalangan akademisi, Banyak cara yang dapat dilakukan untuk memanfaatkan
perkembangan teknologi yang sedang terjadi saat ini dalam memperoleh informasi, Salah
satunya adalah dengan memanfaatkan kemajuan teknologi dalam mendeteksi struktur
permukaan berbagai jenis sample atau contoh bahan yang dibutuhkan di dalam suatu
penelitian.
Pendeteksian jenis sampel yang dideteksi dengan alat FESEM ini terjadi dalam skala
mikro, sadar atau tidak telah membantu perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi serta
pola hidup manusia, terutama sejak ditemukan adanya makhluk hidup sangat kecil yang tidak
dapat terlihat dengan mata manusia biasa pada abad ke-17.
Orientasi perkembangan iptek mulai terpengaruh oleh pemahaman akan fenomena
yang terjadi dalam skala renik seperti itu. Dewasa ini hampir semua bidang iptek, serta
jaminan kualitas mutu produksi dalam dunia industri, terutama industri berbasis teknologi
tinggi, tidak dapat lepas dari pemantauan apa yang terjadi pada skala mikro (sepermiliar
milimeter) atau bahkan pemantauan pada skala yang jauh lebih kecil hingga beberapa puluh
nanometer.
Pemantauan ini menggunakan apa yang kini kita kenal sebagai mikroskop. Dan salah
satu mikroskop yang digunakan sebagai alat bantu dalam pendeteksian permukaan sample
atau contoh bahan dalam suatu penelitian di lingkungan adalah Field Emission Scanning
Elektron Microscpe yang selanjutnya disingkat dengan nama FESEM.
FESEM merupakan singkatan dari kata Bidang Emisi Scanning Electron mikroskop.
Transmisi dan scanning electron microscopes digunakan sebagai sumber untuk gambar
1

formasi elektron (partikel dengan biaya yang negatif). Peneliti di biologi, kimia dan fisika
menerapkan teknik ini untuk melihat struktur yang mungkin sebagian kecil sebagai 1
nanometer (miliar dari milimeter). Alat FESEM ini terdapat di Bandung lebih tepatnya
terdapat di Departemen Umum instrumentasi dari Radboud Universitas Nijmegen. FESEM
ini dapat digunakan misalnya dalam belajar DNA dan meneliti organn suatu sel bahan,
FESEM juga telah berkembang dalam dunia pendidikan.
Berdasarkan latar belakang yang telah diuraikan di atas, penulis tertarik untuk
membuat makalah yang berjudul: Field Emmision Scanning Electron Microscope (FESEM)
.
1.2 Rumusan Masalah
1. Mengetahui bagaimana pendektesian karakterisasi permukaan pada sebuah sampel
menggunakan FESEM
2. Mengetahui perekaman karakterisasi permukaan pada sebuah sampel menggunakan
FESEM
3.
1.3 Manfaat Penulisan
Manfaat dari penulisan makalah ini adalah sebagai berikut :
1. Menambah pengetahuan tentang Field Emmision Scanning Electron Microscope
(FESEM).
2. Mengetahui prinsip fisis yang terdapat pada FESEM
3. Mengetahui cara kerja dari FESEM

BAB II
2

TEORI DASAR

Field Emission Scanning Elektron Microscope yang biasanya disingkat dengan nama
FE SEM. FESEM merupakan singkatan dari kata Bidang Emisi Scanning Electron
mikroskop. FESEM digunakan untuk memvisualisasikan rincian topografi yang sangat kecil
di permukaan atau seluruh objek dari benda. SEM dikembangkan pertama kali tahun 1938
oleh Manfred von Ardenne (ilmuwan Jerman). Konsep dasar dari SEM ini sebenarnya
disampaikan oleh Max Knoll (penemu TEM) pada tahun 1935. SEM bekerja berdasarkan
prinsip scan sinar elektron pada permukaan sampel, yang selanjutnya informasi yang
didapatkan diubah menjadi gambar. Imajinasi mudahnya gambar yang didapat mirip
sebagaimana gambar pada televisi.
Cara terbentuknya gambar pada FESEM berbeda dengan apa yang terjadi pada
mikroskop optic dan TEM. Pada FESEM gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru
(elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika
permukaan sampel tersebut discan dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron
pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya
ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar
CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses
operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk
melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi. Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan
familiar untuk mengamati obyek benda berukuran nano meter. Meskipun demikian, resolusi
tinggi tersebut didapatkan untuk scan dalam arah horizontal, sedangkan scan secara vertikal
(tinggi rendahnya struktur) resolusinya rendah. Ini merupakan kelemahan SEM yang belum
diketahui pemecahannya. Namun demikian, sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkan
mikroskop baru yang mempunyai resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secara
vertikal, yang dikenal dengan "scanning probe microscopy (SPM)". SPM mempunyai prinsip
kerja yang berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan generasi baru dari tipe
mikroskop scan. Mikroskop yang sekarang dikenal mempunyai tipe ini adalah scanning
tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) dan scanning near-field
optical microscope (SNOM). Mikroskop tipe ini banyak digunakan dalam riset teknologi
nano. Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang mampu untuk melakukan
pembesaran objek sampai 2 juta kali, yang menggunakan elektrostatik dan elektromagnetik
3

untuk mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan pembesaran
objek serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron
ini menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek
dibandingkan mikroskop cahaya..
Mikroskop Pemindai Elektron ( FESEM)
Mikroskop pemindai elektron (FESEM) yang digunakan untuk studi detail arsitektur
permukaan sel (atau struktur jasad renik lainnya), dan obyek diamati secara tiga dimensi.
Sejarah Penemuan FESEM
Tidak diketahui secara pasti siapa sebenarnya penemu mikroskop pemindai elektron
(Scanning Electron Microscope) ini. Publikasi pertama kali yang mendiskripsikan teori SEM
dilakukan oleh fisikawan Jerman dR. Max Knoll pada 1935, meskipun fisikawan Jerman
lainnya Dr. Manfred von Ardenne mengklaim dirinya telah melakukan penelitian suatu
fenomena yang kemudian disebut SEM hingga tahun 1937. Mungkin karena itu, tidak satu
pun dari keduanya mendapatkan hadiah nobel untuk penemuan itu.
Pada 1942 tiga orang ilmuwan Amerika yaitu Dr. Vladimir Kosma Zworykin, Dr.
James Hillier, dan Dr. Snijder, benar-benar membangun sebuah mikroskop elektron metode
pemindaian (SEM) dengan resolusi hingga 50 nm atau magnifikasi 8.000 kali. Sebagai
perbandingan SEM modern sekarang ini mempunyai resolusi hingga 1 nm atau pembesaran
400.000 kali. Mikroskop elektron cara ini memfokuskan sinar elektron (electron beam) di
permukaan obyek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang muncul dari
permukaan obyek.
Preparasi Sediaan FESEM
Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan
dengan tahap sebagai berikut : 1. melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel
tanpa mengubah struktur sel yang akan diamati. fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan
senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida. 2. dehidrasi, yang bertujuan untuk
memperendah kadar air dalam sayatan sehingga tidak mengganggu proses pengamatan. 3.
Pelapisan atau pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras antara preparat yang akan
diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan atau pewarnaan dapat menggunakan logam
mulia seperti emas dan platina.

Teknik Pembuatan Preparat yang Digunakan Pada Mikroskop Elektron

Materi yang akan dijadikan objek pemantauan dengan menggunakan mikroskop
elektron ini harus diproses sedemikian rupa sehingga menghasilkan suatu sampel yang
memenuhi syarat untuk dapat digunakan sebagai preparat pada mikroskop elektron.
Teknik yang digunakan dalam pembuatan preparat ada berbagai macam tergantung pada
spesimen dan penelitian yang dibutuhkan, antara lain :
Kriofiksasi yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan teknik pembekuan
spesimen dengan cepat yang menggunakan nitrogen cair ataupun helium cair, dimana
air yang ada akan membentuk kristal-kristal yang menyerupai kaca. Suatu bidang
ilmu yang disebut mikroskopi cryo-elektron (cryo-electron microscopy) telah
dikembangkan berdasarkan teknik ini. Dengan pengembangan dari Mikroskopi cryoelektron dari potongan menyerupai kaca (vitreous) atau disebut cryo-electron
microscopy of vitreous sections (CEMOVIS), maka sekarang telah dimungkinkan
untuk melakukan penelitian secara virtual terhadap specimen biologi dalam keadaan
aslinya.
Fiksasi yaitu suatu metode persiapan untuk menyiapkan suatu sampel agar tampak
realistik (seperti kenyataannya ) dengan menggunakan glutaraldehid dan osmium
tetroksida.
Dehidrasi yaitu suatu metode persiapan dengan cara menggantikan air dengan bahan
pelarut organik seperti misalnya ethanol atau aceton.
Penanaman (Embedding) yaitu suatu metode persiapan dengan cara menginfiltrasi
jaringan dengan resin seperti misalnya araldit atau epoksi untuk pemisahan bagian.
Pembelahan (Sectioning) yaitu suatu metode persiapan untuk mendapatkan potongan
tipis dari spesimen sehingga menjadikannya semi transparan terhadap elektron.
Pemotongan ini bisa dilakukan dengan ultramicrotome dengan menggunakan pisau
berlian untuk menghasilkan potongan yang tipis sekali. Pisau kaca juga biasa
digunakan oleh karena harganya lebih murah.
Pewarnaan (Staining) yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan metal berat
seperti timah, uranium, atau tungsten untuk menguraikan elektron gambar sehingga
menghasilkan kontras antara struktur yang berlainan di mana khususnya materi
biologikal banyak yang warnanya nyaris transparan terhadap elektron (objek fase
lemah).
5

 Pembekuan fraktur (Freeze-fracture) yaitu suatu metode persiapan yang biasanya

digunakan untuk menguji membran lipid. Jaringan atau sel segar didinginkan dengan
cepat (cryofixed) kemudian dipatah-patahkan atau dengan menggunakan microtome
sewaktu masih berada dalam keadaan suhu nitrogen ( hingga mencapai -100%
Celsius).
Patahan beku tersebut lalu diuapi dengan uap platinum atau emas dengan sudut 45
derajat pada sebuah alat evaporator en:evaporator tekanan tinggi.
Ion Beam Milling yaitu suatu metode mempersiapkan sebuah sampel hingga menjadi
transparan terhadap elektron dengan menggunakan cara pembakaran ion (biasanya
digunakan argon) pada permukaan dari suatu sudut hingga memercikkan material dari
permukaannya. Kategori yang lebih rendah dari metode Ion Beam Milling ini adalah
metode berikutnya adalah metode Focused ion beam milling, dimana galium ion
digunakan untuk menghasilkan selaput elektron transparan pada suatu bagian spesifik
pada sampel.
Pelapisan konduktif (Conductive Coating) yaitu suatu metode mempersiapkan lapisan
ultra tipis dari suatu material electrically-conducting. Ini dilakukan untuk mencegah
terjadinya akumulasi dari medan elektrik statis pada spesimen sehubungan dengan
elektron irradiasi sewaktu proses penggambaran sampel.

BAB III
FIELD EMISSION SCANING ELECTRON MIKROSKOP

(FESEM)

3.1 Pengertian FESEM

FESEM merupakan singkatan dari Field Emission Scanning Electron mikroskop.
Transmisi dan scanning electron microscopes (SEM dan BANDUNG) digunakan sebagai
sumber untuk gambar formasi elektron (partikel dengan biaya yang negatif), dalam kontras
cahaya microscopes (AY). Electrons ini diproduksi oleh Bidang sumber emisi dalam FESEM.
Sampel (objek) dipindai dalam jenis pola zig-zag oleh electron beam. Pada diagram balok
dari pola dalam mikroskop cahaya (LM), sebuah transmisi elektron mikroskop (BANDUNG)
dan scanning electron mikroskop (SEM) . FESEM digunakan untuk memvisualisasikan
sangat kecil rincian topografi di permukaan atau seluruh atau fractioned benda. Peneliti di
biologi, kimia dan fisika menerapkan teknik ini untuk melihat struktur yang mungkin sebagai
kecil sebagai 1 nanometer (miliar dari milimeter). FESEM yang dapat digunakan misalnya
untuk belajar DNA dan sel bahan organelles,Yang memiliki mikroskop yang menjabat
sebagai contoh untuk virtual FESEM adalah Jeol 6330 yang digabungkan khusus untuk
membekukan-fracturing perangkat (Oxford Ato).
3.2 Nama Alat
Field Emission Scanning Electron Microscope atau Alat Pemindai Elektron (FESEM)
3.3 Fungsi
Elektron yang liberated dari bidang sumber emisi dan akselerasi yang tinggi dalam bidang
listrik lereng. Pakum tinggi dalam kolom ini disebut elektron utama adalah memfokuskan
dan elektronik yang dibelokkan oleh lensa untuk menghasilkan sempit scan beam yang
bombards objek. Akibatnya "elektron sekunder adalah Tulang dari setiap titik pada objek.
Yang lebih kecil di sudut dari insiden yang electron beam adalah sehubungan dengan
sampel permukaan yang tinggi dan titik tertentu dalam sampel, semakin banyak elektron
sekunder dapat mencapai detektor dan ringan titik ini akan muncul dalam gambar berikut
amplifikasi sinyal elektronik dan digitalization. Juga komposisi sampel memiliki efek
pada jumlah elektron yg dibelokkan terlalu sehingga pada 'nilai abu-abu' yang sesuai the
piksel dalam gambar. (Tentu saja posisi masing-masing titik sampel relatif ke detektor
yang sangat berpengaruh pada kekuatan sinyal, namun ini adalah faktor jarak diambil ke
account dan kompensasi). Deteksi dari kedua elektron hasil dalam bentuk tiga dimensi
7

bayangan-cased permukaan keterwakilan sampel. Untuk mencegah agar elektron yang

tidak diambil oleh detektor akan menggantung seperti awan masking sekitar sampel,
sehingga masking foto, SEM adalah contoh di muka dilapisi oleh lapisan yang sangat
tipis dari bahan konduktif, misalnya emas atau proteksi karbon atau platinum, merambah

ke elektron tak berguna.

3.4 Foto Alat
Keterangan Gambar :
1. Bagian atas yang electron gun, dan di berbagai tingkatan di bawah elektro-magnetik
lensa untuk menyesuaikan dengan electron beam.Tabung dan pompa yang terlibat
dalam mempertahankan kekosongan di dalam instrumen ini adalah kuat dan
pendinginan unit untuk menjaga suhu di cryo-unit jauh di bawah nol.
2. Bagian yang terletak di meja merupakan Mikroskop yang dioperasikan dari panel
steering J menutup salinan panel ini telah digunakan untuk simulasi.
3. The cryo-unit dengan berkenaan dgn teropong yang terletak di kolom kiri.

4.

Ketika konvensional (tidak cryo) mikroskopi diterapkan pertukaran di ruang tamu, di

bawah kolom digunakan untuk memperkenalkan objek ke dalam wilayah pakum

tinggi.
5. Objek dapat dilihat pada layar besar ketika sedang dipindai.
6. Layar kecil berfungsi untuk melihat objek ruang.
7. Komputer untuk pengarsipan dan pengolahan gambar terletak kanan .
8. Lemari yang di bawah meja berisi (LOT OF) elektronik. Di latar belakang suara (wav
atau mp3 suara) dari pompa yang mempertahankan kekosongan dalam kolom dapat
didengar serta sissing dari perebusan nitrogen untuk membekukan-unit dan
pendinginan pada kolom (penyadapan suara ketika nitrogen cair masuk ke dalam
kontainer wav (388KB) atau mp3 (87KB).

3.5 Skema alat

Gambar 2. Skema SEM secara umum

(Scanning Electron Microscope--Theory.mht)
Gambar di atas menunjukkan suatu bagan atau skema FESEM secara umum. Elektron
dari suatu kawat pijar diletakkan di dalam suatu tabung elektron yang berbentuk bertiang
untuk

specimen atau sampel di dalam suatu ruang hampa. Berkas cahaya akan

membentuk satu baris secara terus-menerus memindai ke seberang sampel pada

kecepatan tinggi. Berkas cahaya ini akan menyinari sample yang mana pada gilirannya

menghasilkan suatu isyarat peta elektronik dalam wujud berupa fluorescence sinar x,
elektron backscattered atau sekunder.
FESEM mempunyai suatu detektor elektron sekunder. Isyarat yang diproduksi
oleh elektron sekunder dideteksi dan dikirim untuk dijadikan suatu gambaran pada CRT.
Memindai suatu nilai tingkat berkas cahaya pada elektron dapat ditingkatkan atau diatur
sedemikian rupa

sehingga suatu gambar 3D dapat dilihat pada sample yang telah

discanning.
3.6 Input dan Output
Input : Berupa sayatan, jasad renik dll
Output : Berupa gambar
Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan
dengan tahap sebagai berikut :
1. Melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur sel
yang akan diamati. Fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan senyawa
glutaraldehida atau osmium tetroksida. Fiksasi yaitu suatu metoda persiapan untuk
menyiapkan suatu sampel agar tampak realistik (seperti kenyataanya) dengan
menggunakan glutaraldehid dan osmium tetroksida.
2. Dehidrasi, yang bertujuan untuk memperendah kadar air dalam sayatan sehingga tidak
mengganggu proses pengamatan. Dehidrasi yaitu suatu metode persiapan dengan cara
menggantikan air dengan bahan pelarut organik seperti ethanol atau aceton.
3. Pelapisan atau pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras preparat yang akan
diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan atau pewarnaan dapat menggunakan
logam mulia seperti emas dan platina. Pewarnaan (Staining) yaitu suatu metode
persiapan dengan menggunakan metal berat seperti timah, uranium atau tungsten
untuk menguraikan elektron gambar sehingga menghasilkan kontras antara struktur
yang berlainan dimana khususnya materi biologikal banyak yang warnanya nyaris
transparan terhadap elektron (objek fase lemah).
3.7 Contoh Hasil Sampel
Contoh sampel yang dideteksi dengan alat FESEM ini adalah sel kulit makhluk hidup
dan berbagai serangga. Dimana dapat dilihat contoh gambar sampelnya sebagai
berikut :

10

1. Contoh sampel Cat Flea (kutu kucing) dengan perbesaran 350 kali. Tidak
sama dengan mata campuran kebanyakan serangga, kutu mempunyai mata
sederhana.

2. Contoh sampel dengan ukuran 100nm, potensial 20kv dengan perbesaran

50.000 kali. Ini sudah merupakan jenis preparat yang baik karena tidak
terdapat cacat.

3. Contoh sampel lalat kuning dengan perbesaran berjuta kali sehingga

memperlihatkan detail gambar yang sedikit menyeramkan dalam bentuk
3D.

11

4. Contoh sampel lebah yang diperbesar berjuta kali sehingga

memperlihatkan detail gambar yang agak menyeramkan dalam bentuk 3D.

BAB IV
PENUTUP

12

4.1 Kesimpulan
Dari pembahasan di atas maka dapat diambil kesimpulan yaitu sebagai berikut :
1. FESEM digunakan untuk memvisualisasikan rincian topografi yang sangat kecil di
permukaan atau seluruh atau fractioned benda. Peneliti di biologi, kimia dan fisika
menerapkan teknik ini untuk melihat struktur yang mungkin sebagian kecil sebagai 1
nanometer (miliar dari milimeter). FESEM yang dapat digunakan misalnya untuk
belajar DNA dan sel bahan organelles.
2. FESEM bekerja dengan menscan terlebih dahulu sampel yang akan diuji, kemudian
informasi tentang komposisi struktur dalam sampel tersebut dapat terdeteksi dari
analisis sifat tumbukan, pantulan maupun fase sinar elektron yang menembus lapisan
tipis tersebut. Dari sifat pantulan sinar elektron tersebut juga bisa diketahui struktur
kristal maupun arah dari struktur kristal tersebut. Bahkan dengan analisa yang lebih
detail kita dapat mengetahui deretan struktur atom dan ada tidaknya cacat (defect)
pada struktur kristal tersebut..

13