Anda di halaman 1dari 5

RNTGEN- S ELEKTRONGERJESZTSES ELEKTRONSPEKTROMETRIAI MDSZEREK S ALKALMAZSAIK

Tth Jzsef
MTA ATOMKI, Debrecen

Jelen munka Varga Dezs 70. szletsnapja alkalmbl kszlt az


Atomfizikai Fosztly 2010. jnius 30-i szeminriuma keretben elhangzott elads alapjn, ATOMKI, Debrecen.

vagy nhnyszor 10 meV-os fononvesztesggel (rcsrezgsek) s magmeglksi vesztesggel (kvzi rugalmas szrs: HR-EPES)) replnek ki, de nagyon sok
olyan is lesz, amelyek nagyobb energiavesztesget
(nhny vagy nhnyszor 10 eV) szenvednek el. Az
elbbiek nagy cscsokknt jelennek meg a spektrumban, az utbbiak pedig kisebb cscsokknt (vesztesgi cscsok: valenciaelektronok, plazmonok s bels
hj elektronok okozta cscsok) s folytonos httrknt. A szban forg fizikai jelensgeken alapul
mdszer a rugalmatlanul visszaszrt elektronok energiavesztesgi spektroszkpija (REELS: reflexion
electron energy loss spectroscopy).

A rntgen fotoelektromos s az Auger-jelensg


Az XPS mdszer fizikai alapja a fotoelektromos jelensg. Amennyiben az atomok bels hjn lev elektronok ktsi energijnl nagyobb a gerjeszt rntgensugrzs energija, a fotoeffektus (fnyelektromos
jelensg) bekvetkezhet, azaz egy fotoelektron repl
ki a gerjesztett atomhjrl, az 1.a br n szerepl
pldban az 1s (K) hjrl. A rntgensugrzs hatsra
vgbemen fotoelektromos jelensg segtsgvel az
atommag kzeli (ez energetikai szempontbl rtend) atomi bels hjak tanulmnyozhatk. A fotoeffektusban a gerjesztsi energia egyrszt az atomi
bels hjon kttt elektron kiszaktsra fordtdik,
msrszt az atombl kirepl fotoelektron mozgsi
energijra. Amennyiben ismert energij s keskeny
1. bra. A fotoelektromos s az Auger-jelensg sorn az atomban
lejtszd gerjesztsi s lyukelbomlsi folyamatok egyszerstett
vzlata. Az atomhjak jellse az brn ktfle, az XPS-ben (a) s az
XAES, AES-ben (b) leginkbb elterjedt jellst kveti.
a) fotoelektromos jelensg
mrt
hf = E1sF kt + Emozg
+ Wspm

b) Auger-jelensg
EA(Z ) ~
= EK(Z ) EL2(Z ) EL3(Z +1)
Auger-elektron

fotoelektron
rntgensugrzs
vkuumszint

vezetsi sv

vezetsi sv
Fermi-szint

vegyrtksv

vegyrtksv
F
Ektsi

Az elektron-spektrometria a klnbz atomfizikai,


szilrdtest-fizikai, felletfizikai s felletkmiai (korrzi, katalzis, elektrokmia, ) alkalmazsok szmra korszer, informatv, sok esetben egyedlll
minsgi s mennyisgi kmiai elemzsi mdszer. Az
utbbi vekben eltrbe kerlt nanotudomnyok stratgiai jelentsg mdszere lett a rntgenfoto-elektronspektroszkpia (XPS: X-ray photoelectron spectroscopy), gy vrhat, hogy a nanoszerkezetek (belertve a
nhny nanomter vastagsg ultravkony-rtegeket)
s a bio-nanoszerkezetek tanulmnyozsban fnyes
jv eltt ll az XPS technika. A jelen munka ttekinti
az XPS (ESCA) [1] mdszer legalapvetbb kmiai analitikai jellemzit egy a napelem technolgihoz kapcsold alkalmazsi pldn keresztl (Al-mal nagyon ersen adalkolt doppolt ZnO kmiai analzise). A nagy felolds rugalmas cscs elektronspektroszkpia (HR-EPES: high resolution elastic peak electron spectroscopy) elemanalzisre trtn alkalmazst
a LiF tanulmnyozsval mutatjuk be. A gyakorlati
szempontbl is fontos alkalmazsi pldkon kvl egy
rvid ttekintst adunk a sajt nagymszer fejlesztsekrl, amelyek a szilrdtest felletanalitikai munkk
megvalstshoz nlklzhetetlenek.
Az elektron-spektrometria elektromgneses sugrzs (fny), elektron, pozitron, atom, ion s ms rszecskenyalb hatsra a cltrgy atomjain szrdott,
vagy azok atomhjaibl keltett elektronok minsgi
s mennyisgi elemzsvel (krlbell 0,1 atomszzalkos kimutathatsgi hatrral) foglalkoz tudomnyterlet. Az elektronspektrum a kirepl elektronok
darabszmnak mozgsi energijuk szerinti eloszlsfggvnye. A mozgsi energia mrse elektrosztatikus
(vagy mgneses) analiztorok segtsgvel trtnik
[2]. A cikk tovbbi rszben az ilyen tpus spektrumok (sznkpek) elemzsrl lesz sz. Mivel elemzsrl van sz, ezrt beszlnk spektrometrirl (sznkpelemzsrl), s nem csupn spektroszkpirl
(sznkpnzsrl, vagy sznkpfelvtelrl), br sokan
mr ezen utbbi kifejezs alatt is elemzst rtenek.
Amikor rntgen- vagy elektrongerjesztst alkalmazunk az atomhj ionizcijra, akkor a vletlenszeren bekvetkez folyamatban (elmletileg a kvantummechanika rja le), pldul egy szilrdtestminta
atomjainak klnbz atomhjairl, eltr valsznsggel lpnek ki az elektronok s sokfle irnyba
replnek. A szilrdtestmintk esetben lesznek olyan
elektronok, amelyek kis energiavesztesggel (nhny

2p3/2

L3

2p1/2

L2

2s

L1

1s

K
atommag: Si
Z = 14+

TTH JZSEF: RNTGEN- S ELEKTRONGERJESZTSES ELEKTRONSPEKTROMETRIAI MDSZEREK S ALKALMAZSAIK

49

termszetes vonalszlessg karakterisztikus rntgensugrzst alkalmazunk gerjeszt sugrzsknt (pldul Al K), akkor az atomban a kttt elektronokra
jellemz diszkrt energiallapotok (1.a bra ), a karakterisztikus atomi ktsi energik meghatrozhatk,
ha megmrjk a fotoelektronok mozgsi energijt.
Az atomi bels hjak ktsi energija j kzeltssel a
fotoelektromos egyenlettel adhat meg:
F
E ktsi
= hf

E mozgsi

flgmbk

detektor

(1)

W,

EL (Z

1),

(2)

ahol EA az Auger-elektron energija (az Auger-elektron mrt mozgsi energijt jl kzelti), az EK(Z) s a EL (Z )
a K s az L2 atomi hjak ktsi energii a Z rendszm
atomra vonatkozan, az EL pedig az L3 atomi bels
hj ktsi energija a Z +1 rendszm atomra vonatkozan (a Z +1 rendszm atomra vonatkoz ktsi
energia hasznlatval jobb kzeltst kapunk az EA ksrleti rtkre mintha a Z rendszm atomra vonatkoz L3 ktsi energit hasznlnnk). A rntgengerjesztses Auger-elektronspektroszkpia az XAES (X-ray
excited Auger electron spectroscopy), az elektron
gerjesztses Auger-elektronspekroszkpia pedig az
AES (Auger electron spectroscopy).
2

Fellet analitika
Az XPS felletrzkeny analitikai mdszer [3]. A fent
emltett 1486,67 eV energij Al K1,2 gerjeszt rntgensugrzs krlbell 0,1 mm (100 m) mlysgig is
behatol a vizsglt szilrdtestminta belsejbe. A fotoelektronok s az Auger-elektronok a minta fellettl
mrve csupn nhny nanomter (1 nm = 109 m)
mlysgbl lpnek ki. Ez arra utal, hogy a szilrd
50

n
tro
ele
k

iongy

nc

EL (Z )

ge
nt

E A (Z ) = E K (Z )

ahol f a gerjeszt rntgensugrzs frekvencija, h a


Planck-lland, azaz h f a rntgensugrzs energija;
Emozgsi a fotoelektronok mrt mozgsi energija (azaz a
F
spektromterbeli mozgsi energia); Ektsi
az adott atomhj ktsi energija a Fermi-szintre vonatkoztatva s W
a spektromter kilpsi munkja. A fotoelektron kireplse utn visszamaradt lyuk bomlsbl szrmaz
elektronokat Auger-elektronoknak nevezzk (1.b bra ). A fotoeffektust kvet spontn bekvetkez msodlagos folyamatok egyike az Auger-jelensg, a msik
a karakterisztikus rntgensugrzs kibocstsa (emiszszija), a kt folyamat egymssal verseng, a Z < 25
rendszmtartomnyban az Auger-folyamat sokkal nagyobb valsznsggel megy vgbe, mint a rntgensugrzs emisszija. Az 1.b br n vzlatosan bemutatott K L2 L3 Auger-folyamatban hrom klnbz atomhj vesz rszt, a K (1s ) hj, amelyikrl a fotoelektron
kireplt, az L2 (2p1/2) hj, amelyikrl a lyuk betltdtt
s az L3 (2p3/2) hj, amelyikrl az Auger-elektron kireplt. A Z rendszm atom K L2 L3 Auger-elektron energija j kzeltssel az emltett hrom atomhj ktsi
energiibl a (2) formulval megbecslhet,

gy

lencse

vkuumszivattyk

2. bra. Az ATOMKI ESA-31 elektron-spektromternek vzlata,


paramtereit lsd a szvegben.

anyagban az elektronokra tbb nagysgrenddel nagyobb a gyengtsi tnyez, mint a rntgensugrzsra, azaz az elektron- s az elektromgneses sugrzs
klcsnhatsa az anyaggal nagyon klnbz.
A HR-EPES a 0,55 keV primerelektron-energiatartomnyban szintn j felletrzkenysgnek tekinthet, azaz felletanalzist vgezhetnk az elektrongerjesztses technikval is.
Az XPS-XAES-AES s REELS-EPES-(HR-EPES) mdszer egyttesek kombinlsval felletkmiai (pldul
a klasszikus nanotudomnyok terlethez tartoz katalitikus, kolloidikai s elektrokmiai), valamint felletfizikai (pldul a rugalmas elektronszrsi cscsok
magmeglks okozta finom szerkezetnek a feldertsvel) jelensgeket tanulmnyozhatunk.

Az ESA-31 elektronspektromter
Az ATOMKI-ban fejlesztett spektromterek [2, 47]
segtsgvel tbbfle alkalmazsi terleten (korrzi,
flvezetk, napelemek, polimerek, tvzetek stb.)
rtnk el tudomnyos eredmnyeket [4, 712] az elmlt 30 v sorn. Az egyik legbonyolultabb elektronspektromternk (2. bra ) az ESA-31 (gerjeszt forrsai: 2 rntgencs (4 rntgenand, 2 elektrongy);
elektronoptikja: flgmb-analiztor s lencserendszer; mrsi tartomnya: 0,0110 keV; energiafeloldsa: 3 105; a vkuum nagysga: 5 1010 mbar), amelyet elssorban az XPS-re s az XAES-re hasznljuk,
de jelents eredmnyek szlettek a HR-EPES-sel is. A
maguk idejben a 0,55 keV primerenergia-tartomnyban igen jnak szmtott az ltalunk mrt rugalmas elektroncscs rszleteinek feloldsa [9] (HRFIZIKAI SZEMLE

2011 / 2

EPES). A precz s megbzhat, zembiztosan mkd ESA-31 nagymszernk segtsgvel az ipar szmra is tudunk vizsglatokat vgezni (pldul az
atomerm rozsdamentes aclbl kszlt egyes alkatrszeinek tanulmnyozsa is fontos feladatunk [13]).

ZnO(Al) kmiai analzise XPS-XAES-sel


A fotoelektronok s az Auger-elektronok nagy hnyada (a rugalmasan szrdottak, pontosabban a kvzi
rugalmasan szrdottak) egyarnt diszkrt cscsokknt jelennek meg az elektronspektrumokban. A cscsok megfelelnek az atomi hjaknak, ktsi energijuk az illet atomra jellemz, amely alapjn minsgi
kmiai elemzs vgezhet. Az elemek s az atomhjak szerint a szelektivits nagyon j a rntgenfotoelektronspektroszkpia esetben, azaz az atomi bels
hjak ktsi energii jl elklnlnek s a kmiai krnyezet (a vegyrtk) fggvnyben is vltoznak (kmiai eltolds). A kmiai eltoldsok a bels atomhjak esetben krlbell a 0,110 eV nagysgak.
Az XPS-ben gerjesztsre leggyakrabban az 1486,67 eV
energij, 0,9 eV szlessg (a cscsmagassg felnl) Al K1,2 karakterisztikus rntgensugrzs hasznlatos. Az ESA-31 elektronspektromter relatv energiafeloldsa definci szerint a spektromter ltal okozott vonalkiszleseds (E ) osztva az elektron mozgsi energijval (E ) a mrsek sorn vltoztathat.
Kt tipikus rtket emltek: E /E = 4 104 (XPS) s
3 105 (HR-EPES). Ezek a feloldsrtkek megfelelek (1000 eV-os mozgsi energij, teljesen monokromatikus, Dirac-delta fggvnnyel brzolhat elektronok esetn 0,40,03 eV kiszlesedst okoz a spektromter) ahhoz, hogy az atomi bels elektronhjak
egymstl jl klnvl termszetes, vonalas spektrumt ne mossk ssze, hanem meghagyjk vonalasnak, s a HR-EPES-sel mrhet rugalmas elektronszrsi cscs finom rszleteit is feloldhassuk. A matematika nyelvn megfogalmazva: a gerjeszt rntgensugrzs, a spektromter s a valamilyen termszetes
szlessggel rendelkez fotoelektron vonalfggvnyeinek konvolcis szorzataknt elll fggvny,
azaz a mrt spektrum vonalas marad, ilyen mdon a
finom kmiai rszletek feloldhatk. A fotoelektronvonalaknak megfelel ktsi energia a spektrumban
a vonalak (cscsok) helyzete , amely a kmiai llapotra jellemz, 0,10,2 eV pontossggal meghatrozhat. Gyakran elfordul, hogy nemcsak a vonal helyzete, hanem a vonal szlessge is hordoz kmiai informcit. Klnsen akkor fontos ez, amikor a klnbz kmiai llapotok olyan kis kmiai eltoldsokat eredmnyeznek, amelyeket a fent emltett igen
j 0,40,5 eV energiafelolds ellenre sem tudunk
sztvlasztani (mert a rntgengerjeszts ltal okozott
kiszlesedssel egytt rtend a teljes instrumentlis
kiszleseds). Ilyen esetekben a fotoelektron-vonalalak (cscsalak) elemzsvel is finom kmiai rszletekre lehet kvetkeztetni. Amennyiben lehetsg van
r, rdemes monokromatikusabb tenni a gerjeszt

rntgensugrzst kristly- vagy multirteg-monokromtor alkalmazsval, azaz az Al K1,2 0,9 eV termszetes szlessggel rendelkez vonalbl rdemes kivgni 0,6 eV szlessgt, vagy mg finomabb rszletek feloldsra akr 0,20,3 eV is elrhet, st a szinkrotronoknl krlbell 10 meV-os szlessg gerjesztssel is lehet dolgozni. Ekkor mr az is termszetes,
hogy az XPS-nl krlbell 3 105 relatv energiafeloldssal rdemes dolgozni, hogy a teljes instrumentlis vonalszlest hats elhanyagolhat legyen a termszetes vonalkiszlesedshez kpest.
Az elektronspektrumban lv vonalak (cscsok)
terleteinek meghatrozsval az XPS mennyisgi
analzisre is felhasznlhat (kvantitatv XPS). Az XPS
ksrletek sorn nyert fotoelektron-vonalak terleteibl egy adott minta, pldul a napelemek ablakaknt
ismert ZnO(Al) atomi koncentrci arnyai a (3) formulval adhatk meg (vgtelen vastagnak tekintett s
homogn minta, a felleti fed s szennyez rteg
elhanyagolsval, Al s Zn arnyra konkretizlva):
1,75
nAl
IAl2s Zn3s (E rntgen) E mozg (Zn3s )
=
, (3)
nZn
IZn3s Al2s (E rntgen) E mozg(Al2s )
ahol n az atomi koncentrci; I a mrt fotoelektron
cscs terlete egy adott atomhjra; (Erntgen) a fotoionizcis hatskeresztmetszet, amely a gerjeszt
rntgensugrzs energijtl, az elem fajtjtl s az
atomhjtl fgg; Emozg a fotoelektron mozgsi energija; az elektronspektromter hatsfoka (az ltalunk
hasznlt FRR, azaz lland fkezsi arny zemmdban) a fotoelektron mozgsi energijnak lineris
fggvnye, a rugalmatlan szrsi kzepes szabad
thossz (IMFP) pedig az Emozg 0,75-os hatvnyval
kzelthet. A kpletben az Emozg 1,75-os hatvnya a
spektromter-hatsfok lineris fggvnybl (1-es
kitev) s az IMFP 0,75-os hatvnyfggsbl tevdik
ssze. Jelen pldban a detektor hatsfoknak energia szerinti vltozsa elhanyagolhat. A (3) formula
tetszleges elemprra alkalmazhat.
Az MTA MFA-val egyttmkdsben, NKTH s
OTKA projektek keretben, a CIGS (Cu-In-Ga-Se2)
vkonyrteg napelemek fejlesztshez jrult hozz
kutatcsoportunk a ZnO(Al) rtegek felleti kmia
llapotnak s atomi sszettelnek vizsglatval. A
CIGS napelem ablakrtegnek j vezetnek kell lennie, a szles tiltott sv (3,34 eV) ZnO flvezett Almal igen nagymrtkben adalkolva (sokkal nagyobb
mrtk az adalkols, mint amit a flvezetiparban
az ersen adalkolt kifejezs alatt rtenek) ez elrhet, kzben az ablak nagyon j tltszsga, fnytereszt kpessge (8590%) is megmarad. Az Al-mal
ersen adalkolt ZnO minta ksztsnl Zn95,3Al4,7
tvzetbl indultak ki. DC magnetronnal Ar+ plazmban O2 gz adagolssal, reaktv porlasztssal vgeztk
a minta ksztst Na-veg szubsztrtra [10]. A fotoelektron-spektrum (3. bra ) az Al-oxid llapotra
jellemz, amit XAES-sel, az Al K L2 L3 Auger-vonal mrsvel is igazoltunk. A ksrletileg meghatrozott Zn
3s s Al 2s fotoelektroncscsok terleteinek arny-

TTH JZSEF: RNTGEN- S ELEKTRONGERJESZTSES ELEKTRONSPEKTROMETRIAI MDSZEREK S ALKALMAZSAIK

51

Zn 3s
(Al Ka3,4)

4000
-

Al 2s

3000
150

140
130
120
110
ktsi energia (eV)
3. bra. ZnO(Al) vkonyrteg Zn 3s s Al 2s XPS spektruma.

bl, a szban forg atomhjak fotoionizcis hatskeresztmetszeteinek, a fotoelektronok rugalmatlan


elektronszrsi szabad thosszainak (a mintban) s
a spektromter detektlsi hatsfoknak ismeretben
az atomi koncentrci arnyok meghatrozhatk
(lsd (3) formula). Az eredeti tvzet sszettelt (4,7
atom%) jl kveti az oxid keverk sszettele. Az XPS
mrssel az oxid formban jelenlev Al koncentrcijt 35 atom% kzttinek talltuk.

A LiF tanulmnyozsa HR-EPES-sel


Abban az esetben, ha a gerjeszts elektronokkal trtnik, a teljes energiaspektrum-tartomnyban mrjk
azokat az elektronokat, amelyek rugalmas szrst
kveten lpnek ki a mintbl (HR-EPES), s mrjk
azokat is, amelyek rugalmatlan szrst kveten karakterisztikus energiavesztesggel lpnek ki (REELS).
A vesztesgi spektrum tartomnyban pldul grafit
esetben a ketts ktsre jellemz * tmenet
energiavesztesgi cscsa, vagy Al, Si, GaAs stb. esetben a plazmon energiavesztesgi cscsok s termszetesen a szekunder folyamatokbl ered Augercscsok is karakterisztikus jellemzi egy adott kmiai anyagnak. A HR-EPES mrsekben a rugalmas
cscsok energiahelyzetei fggnek a gerjeszt primer
elektron energijtl s a minta atomjainak tmegtl. A vonaleltolds elemenknt ms s ms lesz. A
rugalmas cscs energia eltoldsa (Er0) a szrt elektron s a szr atommag tmegarnyn s a primer
elektron energijn (E0) kvl fgg a mrsi geometritl is, pontosabban az gynevezett szrsi szg
fggvnye (a 0 szrsi szg az elektron detektlsi
irnya a primer elektronnyalb irnyhoz kpest),
lsd a (4) formult:
Er 0

4 m E0 sin2(0 /2)
=
,
M

(4)

ahol Er 0 a primer elektron energiaeltoldsa, m az


elektron tmege, M az elektron ltal meglktt atommag tmege, E0 a primer elektronenergia, 0 pedig a
szrsi szg.
52

4. bra. A LiF egykristly minta 5 keV primer energinl HR-EPESsel mrt kvzi-rugalmas cscsa [5].
-

LiF egykristly

40000
-

30000
-

20000
-

10000
F
-

Li
0

4998

4999
5000
mozgsi energia (eV)

FIZIKAI SZEMLE

5000

betsszm (1/s)

6000

XPS-XAES (Al Ka1,2)

7000

Az elektronszrsi ksrletben a nagyon j energia


felolds (E /E = 3 105) ESA-31 spektromternk
segtsgvel [7] mrt rugalmas cscs (pldul 5 keV
primer energinl s 130 szrsi szgnl) mennyisgi
elemzst tesz lehetv tbbkomponens anyagokon. A
magmeglksi folyamat miatt az elektron energija egy
adott primer energinl s egy adott szrsi szgnl
annak fggvnyben vltozik, hogy mekkora tmeg
atomon szrdott. Az elektron rugalmas szrsi hatskeresztmetszete az atom rendszmval vltozik, ez
teszi lehetv a mennyisgi elemzst. Ilyen anyag tbbek kztt a LiF, ennek segtsgvel vizsgltuk a rugalmas szrs jelensgt s bizonytottuk a HR-EPES analitikai eszkzknt val alkalmazhatsgt.
A LiF rugalmas (pontosabban kvzi rugalmas) cscsban (4. bra ) a klnll cscsok a Li s a F. A magmeglks miatt a F-nl kisebb tmeg Li atomon trtnt
szrds sorn az elektron nagyobb energit veszt,
mint a F-rl visszaszrt elektron. A (4) formula az energia s az impulzus megmarads trvnynek alkalmazsval elemi szmolssal levezethet, klasszikus tkzst
felttelezve. A (4) formula 5 keV energij primer elektronra, 130 szrsi szgnl 1,3 eV energiaeltoldst ad
a Li rugalmas cscsra, 0,5 eV-ot a F-ra, a klnbsg
0,8 eV. Ezeket az rtkeket ksrleti eredmnyknt is
megkaphatjuk az sszetett rugalmas elektroncscs komponenseinek illesztsvel. A cscsterletek arnybl
(egyszeres szrst felttelezve), figyelembe vve a Li-ra,
s a F-ra egy adott primer energinl (pldul 5 keVnl) a rugalmas elektronszrsi hatskeresztmetszeteket, a Li s a F atomok szmnak egy az egyhez arnya j kzeltssel visszakaphat [9].
Az EPES mdszert fleg a rugalmatlan elektronszrs kzepes szabad thosszak (IMFP: inelastic mean
free path) meghatrozsra hasznltuk [11]. A (3) formulban implicite jelen van az IMFP, azaz a kvantitatv XPS szmra nlklzhetetlen paramter, ami
nemcsak a primer elektron energijtl, hanem a szilrd minta anyagi minsgtl is fgg. Fentebb mr

Zn 3s

betsszm (1/s)

8000

5001

2011 / 2

hasznlt elektron-spektromterek fejlesztjtl, a kzs


munkk sorn sokfle mhelytitkot sikerlt tanulnom.
volt tbbek kztt az els hazai XPS rntgenforrs
(1970-es vek els fele) fejlesztje. Szmomra ez trtnelem, pontosabban tovbbl hagyomny ez derlt
ki az XPS rntgencsvek fejlesztse sorn. Nemcsak a
mszerek alkotsban volt nagy hatssal rm ez az iskola, hanem a spektroszkpiai alapok s ltalban a tudomnyos kutatsi mdszerek megismersben is.
Irodalom

5. bra. Az ESA-31 krli elektronspektroszkposok barti kre:


(balrl-jobbra) Kvr Lszl, Ricz Sndor, Cserny Istvn, Varga
Dezs, Bernyi Zoltn, Tth Jzsef, Kvr kos.

emltettem, hogy a HR-EPES-sel jelents eredmnyeket rtnk el az ESA-31 spektromter segtsgvel


vgzett ksrleti munkinkban. A fellettudomnyban, egyes specilis esetekben, klnleges informci
nyerhet a HR-EPES-sel. A kzepes primer elektronenergia tartomnyban, pldul 25 keV-ig, a H direkt
kimutatst elsk kztt valstottuk meg [12].
A HR-EPES ltalnossgban nem alkalmazhat
kvantitatv analzis cljra (pldul a szban forg kis
s kzepes primer elektronenergiknl, 0,55 keV, a
kzepes rendszmtartomnyban a szomszdos vagy
egymshoz kzeli rendszmok nem szeparlhatk),
de specilis esetekben igen, pldul egy kis rendszm elem mellett egy nagy rendszm elem igen kis
koncentrciban (az elektronspektroszkpiban nem
szokvnyos 0,01%-os koncentrcikat kell ez alatt
rteni) is meghatrozhat (nhny perces mrsi idvel), ami nemcsak tudomnyos szempontbl rdekes,
hanem az alkalmazsok (orvos-biolgiai, ipari stb.)
szmra is nagyon fontos lehet.

sszefoglals helyett
Valloms: az ATOMKI-ban az elektronspektroszkpinak tbb vtizedes hagyomnya vannak [2, 4]. Szmomra nagy rmet jelentett, hogy a sznes, nagy
fantzit s sok intucit ignyl fejlesztsi s tudomnyos kutatsi munkk ba bekapcsoldhattam az
1980-as vek elejtl. Varga Dezstl, mint az ltalam

1. Szepes L.: A kmiai kts tanulmnyozsa gzfzis fotoelektron-spektroszkpival. Fizikai Szemle 60 (2010) 365.
2. Kvr .: Elektrosztatikus elektron-spektromterek fejlesztse
az ATOMKI-ban. Fizikai Szemle 60 (2010) 339.
3. Kvr L.: Elektronspektroszkpia s felletkutats. Fizikai
Szemle 54 (2004) 120.
4. Varga D.: -spektroszkpitl az atomfizikig. Fizikai Szemle
54 (2004) 117.
5. Varga D., Kdr I., Kvr ., Kvr L., Mrik Gy.: An electron
spectrometer of double-pass cylindrical mirror type for nuclear
spectroscopy and atomic physics. Nuclear Instruments and
Methods 154 (1978) 477.
6. Varga D., Kdr I., Kvr ., Cserny I., Mrik Gy., Brabec V.,
Dragoun O., Kovalik A., Adam J.: Electrostatic spectrometer for
measurement of internal conversion electrons in the 0.120 keV
region. Nuclear Instruments and Methods 192 (1982) 277.
7. Kvr L., Varga D., Cserny I., Tth J., Tksi K.: Some applications of high-energy, high-resolution Auger electron spectroscopy using bremsstrahlung radiation. Surface and Interface Analysis 19 (1992) 9.
8. Spalek A., Dragoun O., Kovalik A., Yakushev E. A., Rysavy M.,
Frna J., Brabec V., Novgorodov A. F., Cserny I., Tth J., Varga
D., Kvr L.: Study of the conversion electron and XPS spectra
of radioactive 57Co sources. Nuclear Instruments and Methods
in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials
and Atoms 196 (2002) 35.
9. Gergely G., Menyhrd M., Benedek Zs., Sulyok A., Kvr L., Tth
J., Varga D., Bernyi Z., Tksi K.: Recoil broadening of the elastic peak in electron spectroscopy. Vacuum 61 (2001) 107111.
10. Nmeth A., Tth A. L., Horvth E., Kvr L., Tth J., Volk J.,
Mizsei J., Lbadi Z.: Study of the effect of different plasma density areas on the properties of ZnO thin films deposited by DC
reactive sputtering. Proceedings of the 20th European Photovoltaic Solar Energy Conference. Barcelona, Spain, 610 June,
2005. Eds: W. Palz, H. Ossenbrink, P. Helm. Mnchen, WIPRenewable Energies (2005) 18471850.
11. Gergely G., Konkol A., Menyhrd M., Lesiak B., Jablonski A.,
Varga D., Tth J.: Determination of the inelastic mean free path
(IMFP) of electrons in germanium and silicon by elastic peak
electron spectroscopy (EPES) using an analyser of high resolution. Vacuum 48 (1997) 621624.
12. Orosz G. T., Gergely G., Menyhrd M., Tth J., Varga D., Lesiak
B., Jablonski A.: Hydrogen and surface excitation in electron
spectra of polyethylene. Surface Science 566 (2004) 544548.
13. Baja B., Nmeth Z., Kdr P., Varga K., Nagyn Szab A., Oravetz
D., Homonnay Z., Kuzmann E., Kvr L., Varga D., Cserny I.,
Tth J., Schunk J., Patek G.: Korrzis-erzis tendencik a Paksi
Atomerm gzfejlesztiben. Korrzis Figyel 47 (2007) 6271.

HIVATKOZS
Az 2010/12 s 2011/1 szmban megjelent Hogyan is
mozog egy tmeges rug? cikkem msodik rsznek
vglegestse utn tudtam meg, hogy korbban Wiedemann Lszl az azta a Fizikai Szeml be olvadt
Magyar Fizikai Folyirat ban hasonl trgy cikket
jelentetett meg A mergterhelt rugalmas szl rezgse
(XXXV. ktet, (198788.) 6. fzet 499. old.) cmmel.

Ebben egy vges tmeg, fggleges, rugalmas szlbl s egy r akasztott slybl ll rendszer esett vizsglja, rszletesen elemzi a mozgsegyenleteket, a norml mdusokat s egy specilis kezdeti felttel mellett
megvalsul mozgst is. A munkt tisztelettel ajnlom
az rdekldk figyelmbe.
Woynarovich Ferenc

TTH JZSEF: RNTGEN- S ELEKTRONGERJESZTSES ELEKTRONSPEKTROMETRIAI MDSZEREK S ALKALMAZSAIK

53

Anda mungkin juga menyukai