Tth Jzsef
MTA ATOMKI, Debrecen
vagy nhnyszor 10 meV-os fononvesztesggel (rcsrezgsek) s magmeglksi vesztesggel (kvzi rugalmas szrs: HR-EPES)) replnek ki, de nagyon sok
olyan is lesz, amelyek nagyobb energiavesztesget
(nhny vagy nhnyszor 10 eV) szenvednek el. Az
elbbiek nagy cscsokknt jelennek meg a spektrumban, az utbbiak pedig kisebb cscsokknt (vesztesgi cscsok: valenciaelektronok, plazmonok s bels
hj elektronok okozta cscsok) s folytonos httrknt. A szban forg fizikai jelensgeken alapul
mdszer a rugalmatlanul visszaszrt elektronok energiavesztesgi spektroszkpija (REELS: reflexion
electron energy loss spectroscopy).
b) Auger-jelensg
EA(Z ) ~
= EK(Z ) EL2(Z ) EL3(Z +1)
Auger-elektron
fotoelektron
rntgensugrzs
vkuumszint
vezetsi sv
vezetsi sv
Fermi-szint
vegyrtksv
vegyrtksv
F
Ektsi
2p3/2
L3
2p1/2
L2
2s
L1
1s
K
atommag: Si
Z = 14+
49
termszetes vonalszlessg karakterisztikus rntgensugrzst alkalmazunk gerjeszt sugrzsknt (pldul Al K), akkor az atomban a kttt elektronokra
jellemz diszkrt energiallapotok (1.a bra ), a karakterisztikus atomi ktsi energik meghatrozhatk,
ha megmrjk a fotoelektronok mozgsi energijt.
Az atomi bels hjak ktsi energija j kzeltssel a
fotoelektromos egyenlettel adhat meg:
F
E ktsi
= hf
E mozgsi
flgmbk
detektor
(1)
W,
EL (Z
1),
(2)
ahol EA az Auger-elektron energija (az Auger-elektron mrt mozgsi energijt jl kzelti), az EK(Z) s a EL (Z )
a K s az L2 atomi hjak ktsi energii a Z rendszm
atomra vonatkozan, az EL pedig az L3 atomi bels
hj ktsi energija a Z +1 rendszm atomra vonatkozan (a Z +1 rendszm atomra vonatkoz ktsi
energia hasznlatval jobb kzeltst kapunk az EA ksrleti rtkre mintha a Z rendszm atomra vonatkoz L3 ktsi energit hasznlnnk). A rntgengerjesztses Auger-elektronspektroszkpia az XAES (X-ray
excited Auger electron spectroscopy), az elektron
gerjesztses Auger-elektronspekroszkpia pedig az
AES (Auger electron spectroscopy).
2
Fellet analitika
Az XPS felletrzkeny analitikai mdszer [3]. A fent
emltett 1486,67 eV energij Al K1,2 gerjeszt rntgensugrzs krlbell 0,1 mm (100 m) mlysgig is
behatol a vizsglt szilrdtestminta belsejbe. A fotoelektronok s az Auger-elektronok a minta fellettl
mrve csupn nhny nanomter (1 nm = 109 m)
mlysgbl lpnek ki. Ez arra utal, hogy a szilrd
50
n
tro
ele
k
iongy
nc
EL (Z )
ge
nt
E A (Z ) = E K (Z )
gy
lencse
vkuumszivattyk
anyagban az elektronokra tbb nagysgrenddel nagyobb a gyengtsi tnyez, mint a rntgensugrzsra, azaz az elektron- s az elektromgneses sugrzs
klcsnhatsa az anyaggal nagyon klnbz.
A HR-EPES a 0,55 keV primerelektron-energiatartomnyban szintn j felletrzkenysgnek tekinthet, azaz felletanalzist vgezhetnk az elektrongerjesztses technikval is.
Az XPS-XAES-AES s REELS-EPES-(HR-EPES) mdszer egyttesek kombinlsval felletkmiai (pldul
a klasszikus nanotudomnyok terlethez tartoz katalitikus, kolloidikai s elektrokmiai), valamint felletfizikai (pldul a rugalmas elektronszrsi cscsok
magmeglks okozta finom szerkezetnek a feldertsvel) jelensgeket tanulmnyozhatunk.
Az ESA-31 elektronspektromter
Az ATOMKI-ban fejlesztett spektromterek [2, 47]
segtsgvel tbbfle alkalmazsi terleten (korrzi,
flvezetk, napelemek, polimerek, tvzetek stb.)
rtnk el tudomnyos eredmnyeket [4, 712] az elmlt 30 v sorn. Az egyik legbonyolultabb elektronspektromternk (2. bra ) az ESA-31 (gerjeszt forrsai: 2 rntgencs (4 rntgenand, 2 elektrongy);
elektronoptikja: flgmb-analiztor s lencserendszer; mrsi tartomnya: 0,0110 keV; energiafeloldsa: 3 105; a vkuum nagysga: 5 1010 mbar), amelyet elssorban az XPS-re s az XAES-re hasznljuk,
de jelents eredmnyek szlettek a HR-EPES-sel is. A
maguk idejben a 0,55 keV primerenergia-tartomnyban igen jnak szmtott az ltalunk mrt rugalmas elektroncscs rszleteinek feloldsa [9] (HRFIZIKAI SZEMLE
2011 / 2
EPES). A precz s megbzhat, zembiztosan mkd ESA-31 nagymszernk segtsgvel az ipar szmra is tudunk vizsglatokat vgezni (pldul az
atomerm rozsdamentes aclbl kszlt egyes alkatrszeinek tanulmnyozsa is fontos feladatunk [13]).
rntgensugrzst kristly- vagy multirteg-monokromtor alkalmazsval, azaz az Al K1,2 0,9 eV termszetes szlessggel rendelkez vonalbl rdemes kivgni 0,6 eV szlessgt, vagy mg finomabb rszletek feloldsra akr 0,20,3 eV is elrhet, st a szinkrotronoknl krlbell 10 meV-os szlessg gerjesztssel is lehet dolgozni. Ekkor mr az is termszetes,
hogy az XPS-nl krlbell 3 105 relatv energiafeloldssal rdemes dolgozni, hogy a teljes instrumentlis vonalszlest hats elhanyagolhat legyen a termszetes vonalkiszlesedshez kpest.
Az elektronspektrumban lv vonalak (cscsok)
terleteinek meghatrozsval az XPS mennyisgi
analzisre is felhasznlhat (kvantitatv XPS). Az XPS
ksrletek sorn nyert fotoelektron-vonalak terleteibl egy adott minta, pldul a napelemek ablakaknt
ismert ZnO(Al) atomi koncentrci arnyai a (3) formulval adhatk meg (vgtelen vastagnak tekintett s
homogn minta, a felleti fed s szennyez rteg
elhanyagolsval, Al s Zn arnyra konkretizlva):
1,75
nAl
IAl2s Zn3s (E rntgen) E mozg (Zn3s )
=
, (3)
nZn
IZn3s Al2s (E rntgen) E mozg(Al2s )
ahol n az atomi koncentrci; I a mrt fotoelektron
cscs terlete egy adott atomhjra; (Erntgen) a fotoionizcis hatskeresztmetszet, amely a gerjeszt
rntgensugrzs energijtl, az elem fajtjtl s az
atomhjtl fgg; Emozg a fotoelektron mozgsi energija; az elektronspektromter hatsfoka (az ltalunk
hasznlt FRR, azaz lland fkezsi arny zemmdban) a fotoelektron mozgsi energijnak lineris
fggvnye, a rugalmatlan szrsi kzepes szabad
thossz (IMFP) pedig az Emozg 0,75-os hatvnyval
kzelthet. A kpletben az Emozg 1,75-os hatvnya a
spektromter-hatsfok lineris fggvnybl (1-es
kitev) s az IMFP 0,75-os hatvnyfggsbl tevdik
ssze. Jelen pldban a detektor hatsfoknak energia szerinti vltozsa elhanyagolhat. A (3) formula
tetszleges elemprra alkalmazhat.
Az MTA MFA-val egyttmkdsben, NKTH s
OTKA projektek keretben, a CIGS (Cu-In-Ga-Se2)
vkonyrteg napelemek fejlesztshez jrult hozz
kutatcsoportunk a ZnO(Al) rtegek felleti kmia
llapotnak s atomi sszettelnek vizsglatval. A
CIGS napelem ablakrtegnek j vezetnek kell lennie, a szles tiltott sv (3,34 eV) ZnO flvezett Almal igen nagymrtkben adalkolva (sokkal nagyobb
mrtk az adalkols, mint amit a flvezetiparban
az ersen adalkolt kifejezs alatt rtenek) ez elrhet, kzben az ablak nagyon j tltszsga, fnytereszt kpessge (8590%) is megmarad. Az Al-mal
ersen adalkolt ZnO minta ksztsnl Zn95,3Al4,7
tvzetbl indultak ki. DC magnetronnal Ar+ plazmban O2 gz adagolssal, reaktv porlasztssal vgeztk
a minta ksztst Na-veg szubsztrtra [10]. A fotoelektron-spektrum (3. bra ) az Al-oxid llapotra
jellemz, amit XAES-sel, az Al K L2 L3 Auger-vonal mrsvel is igazoltunk. A ksrletileg meghatrozott Zn
3s s Al 2s fotoelektroncscsok terleteinek arny-
51
Zn 3s
(Al Ka3,4)
4000
-
Al 2s
3000
150
140
130
120
110
ktsi energia (eV)
3. bra. ZnO(Al) vkonyrteg Zn 3s s Al 2s XPS spektruma.
4 m E0 sin2(0 /2)
=
,
M
(4)
4. bra. A LiF egykristly minta 5 keV primer energinl HR-EPESsel mrt kvzi-rugalmas cscsa [5].
-
LiF egykristly
40000
-
30000
-
20000
-
10000
F
-
Li
0
4998
4999
5000
mozgsi energia (eV)
FIZIKAI SZEMLE
5000
betsszm (1/s)
6000
7000
Zn 3s
betsszm (1/s)
8000
5001
2011 / 2
sszefoglals helyett
Valloms: az ATOMKI-ban az elektronspektroszkpinak tbb vtizedes hagyomnya vannak [2, 4]. Szmomra nagy rmet jelentett, hogy a sznes, nagy
fantzit s sok intucit ignyl fejlesztsi s tudomnyos kutatsi munkk ba bekapcsoldhattam az
1980-as vek elejtl. Varga Dezstl, mint az ltalam
1. Szepes L.: A kmiai kts tanulmnyozsa gzfzis fotoelektron-spektroszkpival. Fizikai Szemle 60 (2010) 365.
2. Kvr .: Elektrosztatikus elektron-spektromterek fejlesztse
az ATOMKI-ban. Fizikai Szemle 60 (2010) 339.
3. Kvr L.: Elektronspektroszkpia s felletkutats. Fizikai
Szemle 54 (2004) 120.
4. Varga D.: -spektroszkpitl az atomfizikig. Fizikai Szemle
54 (2004) 117.
5. Varga D., Kdr I., Kvr ., Kvr L., Mrik Gy.: An electron
spectrometer of double-pass cylindrical mirror type for nuclear
spectroscopy and atomic physics. Nuclear Instruments and
Methods 154 (1978) 477.
6. Varga D., Kdr I., Kvr ., Cserny I., Mrik Gy., Brabec V.,
Dragoun O., Kovalik A., Adam J.: Electrostatic spectrometer for
measurement of internal conversion electrons in the 0.120 keV
region. Nuclear Instruments and Methods 192 (1982) 277.
7. Kvr L., Varga D., Cserny I., Tth J., Tksi K.: Some applications of high-energy, high-resolution Auger electron spectroscopy using bremsstrahlung radiation. Surface and Interface Analysis 19 (1992) 9.
8. Spalek A., Dragoun O., Kovalik A., Yakushev E. A., Rysavy M.,
Frna J., Brabec V., Novgorodov A. F., Cserny I., Tth J., Varga
D., Kvr L.: Study of the conversion electron and XPS spectra
of radioactive 57Co sources. Nuclear Instruments and Methods
in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials
and Atoms 196 (2002) 35.
9. Gergely G., Menyhrd M., Benedek Zs., Sulyok A., Kvr L., Tth
J., Varga D., Bernyi Z., Tksi K.: Recoil broadening of the elastic peak in electron spectroscopy. Vacuum 61 (2001) 107111.
10. Nmeth A., Tth A. L., Horvth E., Kvr L., Tth J., Volk J.,
Mizsei J., Lbadi Z.: Study of the effect of different plasma density areas on the properties of ZnO thin films deposited by DC
reactive sputtering. Proceedings of the 20th European Photovoltaic Solar Energy Conference. Barcelona, Spain, 610 June,
2005. Eds: W. Palz, H. Ossenbrink, P. Helm. Mnchen, WIPRenewable Energies (2005) 18471850.
11. Gergely G., Konkol A., Menyhrd M., Lesiak B., Jablonski A.,
Varga D., Tth J.: Determination of the inelastic mean free path
(IMFP) of electrons in germanium and silicon by elastic peak
electron spectroscopy (EPES) using an analyser of high resolution. Vacuum 48 (1997) 621624.
12. Orosz G. T., Gergely G., Menyhrd M., Tth J., Varga D., Lesiak
B., Jablonski A.: Hydrogen and surface excitation in electron
spectra of polyethylene. Surface Science 566 (2004) 544548.
13. Baja B., Nmeth Z., Kdr P., Varga K., Nagyn Szab A., Oravetz
D., Homonnay Z., Kuzmann E., Kvr L., Varga D., Cserny I.,
Tth J., Schunk J., Patek G.: Korrzis-erzis tendencik a Paksi
Atomerm gzfejlesztiben. Korrzis Figyel 47 (2007) 6271.
HIVATKOZS
Az 2010/12 s 2011/1 szmban megjelent Hogyan is
mozog egy tmeges rug? cikkem msodik rsznek
vglegestse utn tudtam meg, hogy korbban Wiedemann Lszl az azta a Fizikai Szeml be olvadt
Magyar Fizikai Folyirat ban hasonl trgy cikket
jelentetett meg A mergterhelt rugalmas szl rezgse
(XXXV. ktet, (198788.) 6. fzet 499. old.) cmmel.
Ebben egy vges tmeg, fggleges, rugalmas szlbl s egy r akasztott slybl ll rendszer esett vizsglja, rszletesen elemzi a mozgsegyenleteket, a norml mdusokat s egy specilis kezdeti felttel mellett
megvalsul mozgst is. A munkt tisztelettel ajnlom
az rdekldk figyelmbe.
Woynarovich Ferenc
53