Esteban Garzon
Febrero 2016
Intoduccion
En este reporte se calcula los parametros fsicos, electricos y tecnologicos para una tecnologa de 130nm (NMOS y PMOS). Se toma en conside las siguientes contantes y caractersticas:
racion
Constantes
Valor
Si
1,036x1012 F/cm
ox
0,35x1012 F/cm
q
1,602x1019 C
Vt
25,9x103 V
niSi [1]
9,65x109 cm3
Caractersticas
Valor
Na
1x1016 cm3
Nd
1x1016 cm3
0
Nit
5x1012 cm2
Nox
1x1011 cm2
msn [1]
0,9V
msp [1]
0,8V
Tox
3x107 cm
W
270nm
L
90nm
Vs
0V
Vds
20mV
Tabla 1: Constantes fsicas y caractersticas del dispositivo
de Umbral Vth
Pregunta 1: Tension
al bulto, Vsub , de |1V |, |2V | y |4V |. Ademas, se
Se considera una tension
(1)
Ecuacion
Valor
Cox = ox /Tox
1,667uF/cm2
f = Vt ln(
Na
)
ni
0,3587V
s = 2f
0,7175V
dNit
Nit =
ds
6,968x1012 V 1 cm2
qNox
2Cox
0,0069V
2qNa Si
Cox
0,0494
Vq =
2qNit f
Cox
PMOS
+ Vq 0,2203V 0,1066V
Vth [V ]
Vsub = |1V |
Vsub = |2V |
Vsub = |4V |
NMOS
0,5619
0,5786
0,6045
PMOS
0,6756
0,6923
0,7182
(2)
cm2
V s
Ids =
cm2
y 471
respectivamente. [2] El resto de incognitas se las calculo anteV s
riormente
(3)
donde podemos darnos cuenta que para dicho caso nos encontramos en
de deplecion
tomando en cuenta la capacitancia del oxido
la region
y la
Para la solucion
de esta ecuacion
se
capacitancia debido a la deplecion.
considera lo siguiente:
Cdep = si
(4)
Wdep
Vg = Vf b + s + Vox
5
(5)
Donde:
s =
Vox =
2
qNa Wdep
2si
qNa Wdep
Cox
de deplecion.
Ahora, resolviendo la ecuacion
Cox
2
2Cox
1+
(V Vf b )
qsi Na g
Figura 4: C vs Vg - NMOS
6
Referencias
[1] Sze, M.(2007). Physics of Semiconductor Devices. Canada: John Wiley
and Sons. PDF
[2] Hu, C.(2009). Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits.
Prentice Hall, First Edition. PDF
[3] Software - MatLab
Anexos
Calculo de Vq
Vq =
1
Vq =
Cox
Tox
x
(x)dx
Tox
Vg = Vf b +
2
qNa Wdep
qNa Wdep
2si
Cox
cuadratica:
Reescribiedo en forma de una ecuacion
2
qNa Wdep
2si
qNa Wdep
Cox
(Vf b + Vg ) = 0
!2
2
si
+ si (Vg Vf b )
Cox
qNa
r
1
2
+ si
+
(V Vf b )
2
qsi Na g
Cox
Wdep = si +
Cox
Wdep =
si
Cox
de Wdep en:
Reemplazando esta solucion
1
1
1
=
+
C Cox Cdep
Wdep
1
1
=
+
C Cox
si
r
!
1
2
1
1
1
=
+
+
+
(V Vf b )
2
C Cox
Cox
qsi Na g
Cox
Finalmente, tenemos:
1
=
C
1
2
+
(Vg Vf b )
2
Cox qsi Na
C=s
1+
2
2Cox
(V Vf b )
qsi Na g
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