Anda di halaman 1dari 25

BAB I

PENDAHULUAN
Berbicara tentang teknologi nano, maka tidak akan bisa lepas dari mikroskop
yaitu alat pembesar untuk melihat struktur benda kecil tersebut. (Teknologi nano :
teknologi yang berbasis pada struktur benda berukuran nano meter. Satu nano meter =
sepermilyar meter). Tentu yang dimaksud di sini bukanlah mikroskop biasa, tetapi
mikroskop yang mempunyai tingkat ketelitian (resolusi) tinggi untuk melihat struktur
berukuran nano meter.
Untuk melihat benda berukuran di bawah 200 nanometer, diperlukan mikroskop
dengan panjang gelombang pendek. Dari ide inilah, di tahun 1932 lahir mikroskop
elektron. Sebagaimana namanya, mikroskop elektron menggunakan sinar elektron yang
panjang gelombangnya lebih pendek dari cahaya. Karena itu, mikroskop elektron
mempunyai kemampuan pembesaran obyek (resolusi) yang lebih tinggi dibanding
mikroskop optik. Sebenarnya, dalam fungsi pembesaran obyek, mikroskop elektron juga
menggunakan lensa, namun bukan berasal dari jenis gelas sebagaimana pada mikroskop
optik, tetapi dari jenis magnet. Sifat medan magnet ini bisa mengontrol dan mempengaruhi
elektron yang melaluinya, sehingga bisa berfungsi menggantikan sifat lensa pada
mikroskop optik. Kekhususan lain dari mikroskop elektron ini adalah pengamatan obyek
dalam kondisi hampa udara (vacuum). Hal ini dilakukan karena sinar elektron akan
terhambat alirannya bilamenumbuk molekul-molekul yang ada di udara normal. Dengan
membuat ruang pengamatan obyek berkondisi vacum, tumbukan elektron-molekul bisa
terhindarkan.
Konsep awal yang melibatkan teori scanning mikroskop elektron pertama kali
diperkenalkan di Jerman (1935) oleh M. Knoll. Konsep standar dari SEM modern
dibangun oleh von Ardenne pada tahun 1938 yang ditambahkan scan kumparan ke
mikroskop elektron transmisi. Scanning electron microscope (SEM) pertama kali
dikomersilkan oleh Von Ardenne pada tahun 1965 dengan fungsi me-scanning

dari

sinar elektron melewati sampel. Scanning Electron Microscope (SEM) merupakan


instrumen unggul dan mudah digunakan, dibandingkan dengan
mampu mendeteksi

instrumen

lain, SEM

berbagai sinyal dari spesimen serta dapat digunakan untuk

menganalisis skala mikro.

Desain SEM dimodifikasi oleh Zworykinpada tahun 1942 ketika bekerja untuk
RCA Laboratories di Amerika Serikat. Desain kembali direkayasa oleh CW pada tahun
1948 seorang profesor di Universitas Cambridge. Sejak itu, semakin banyak bermunculan
kontribusi signifikan yang mengoptimalkan perkembangan modern mikroskop elektron.
Di dalam SEM terdapat rangkaian elektron yang dibelokkan oleh tumbukan
dengan elektron sampel. Sebelum menjelajahi jenis elektron dihasilkan oleh SEM khas,
pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi diklasifikasikan tabel periodik perlu
disebutkan. Sepanjang sejarah banyak fisikawan, matematikawan, dan ahli kimia
mempelajari unsur-unsur di bumi.
Melalui kerja keras para ahli tersebut dan sejumlah orang lain, maka sejumlah
besar informasi yang disusun dan diuji oleh mereka untuk menetapkan prinsip dasar
digunakan saat ini dalam pengembangan mikroskop elektron scanning modern.

BAB II
PEMBAHASAN
A. PENGERTIAN
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu jenis mikroscop electron
yang menggunakan berkas electron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari
material yang dianalisis. Prinsip kerja dari SEM ini adalah dengan menggambarkan
permukaan benda atau material dengan berkas elektron yang dipantulkan dengan energy
tinggi. Permukaan material yang disinari atau terkena berkar electron akan memantulkan
kembali berkas electron atau dinamakan berkas electron sekunder ke segala arah. Tetapi
dari semua berkas electron yang dipantulkan terdapat satu berkas electron yang
dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Detector yang terdapat di dalam SEM akan
mendeteksi berkas electron berintensitas tertinggi yang dipantulkan oleh benda atau
material yang dianalisis. Selain itu juga dapat menentukan lokasi berkas electron yang
berintensitas tertinggi itu.
Ketika dilakukan pengamatan terhadap material, lokasi permukaan benda yang
ditembak dengan berkas elektron yang berintensitas tertinggi discan keseluruh permukaan
material pengamatan. Karena luasnya daerah pengamatan kita dapat membatasi lokasi
pengamatan yang kita lakukan dengan melakukan zoon - in atau zoon - out. Dengan
memanfaatkan berkas pantulan dari benda tersebut maka informasi dapat diketahui dengan
menggunakan program pengolahan citra yang terdapat dalam computer.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada
mikroskop optic. Hal ini di sebabkan oleh panjang gelombang de Broglie yang memiliki
electron lebih pendekdek dari pada gelombang optic. Karena makin kecil panjang
gelombang yang digunakan maka makin tinggi resolusi mikroskop. SEM mempunyai
depthoffield yang besar, yang dapat memfokuskan jumlah sampel yang lebih banyak pada
satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga
menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, yang berarti mendekati bayangan yang
dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, darkfield, resolusi yang lebih besar dan
komposisi serta informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari peralatan yang
paling banyak digunakan dalam penelitian, R& D industri khususnya industri
3

semikonductor. Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya
hanya mampu mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1
0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya dengan
elektron. Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan
beberapa jenis pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi.
B. PRINSIP KERJA
SEM adalah instrumen yang menghasilkan gambar sangat diperbesar dengan
menggunakan elektron sebagai pengganti cahaya untuk membentuk sebuah gambar.
Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron
bernergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai berkas akan memantulkan kembali berkas
tersebut atau menghasilkan elektron sekunder ke segala arah. Tetapi ada satu arah di mana
berkas dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Detektor di dalam SEM mendeteksi
elektron yang dipantulkan dan menentukan lokasi berkas yang dipantulkan dengan
intensitas tertinggi. Arah tersebut memberi informasi profil permukaan benda seperti
seberapa landai dan ke mana arah kemiringan.
Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder)
atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel
tersebut dipindai dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul yang
terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan
dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT
inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya,
SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat
obyek dari sudut pandang 3 dimensi.
SEM dapat menghasilkan citra yang tajam adalah permukaan benda harus bersifat
sebagai pemantul elektron atau dapat melepaskan elektron sekunder ketika ditembak
dengan berkas elektron.

Materi yang memiliki sifat demikian adalah logam.

Jika

permukaan logam diamati di bawah SEM maka profil permukaan akan tampak dengan
jelas. Agar profil permukaan bukan logam dapat diamati dengan jelas dengan SEM maka
permukaan material tersebut harus dilapisi dengan logam. Film tipis logam dibuat pada
permukaan material tersebut sehingga dapat memantulkan berkas elektron. Metode
pelapisan yang umumnya dilakukan adalah evaporasi dan sputtering.

Dalam interaksi electron dengan sebuah specimen kita dapat melihat sebuah
specimen pejal energi elektron-elektron yang datang didisipasi, menyebabkan terjadinya
berbagai emisi sekunder dari spesimen dan bahwa beberapa elektron yang dihamburkan
secara tidak elastis akan dihamburkan balik oleh spesimen.
Satu fitur utama dari SEM adalah bahwa pada prinsipnya, setiap radiasi spesimen
atau setiap perubahan yang dapat diukur di dalam spesimen, dapat digunakan untuk
menghasilkan sinyal untuk memodulasi CRT, dan oleh sebab itu memberika kontras di
dalam gambar bayangan. Tiap sinyal adalah hasil dari beberapa interaksi tertentu antara
elektron-elektron datang dan spesimen serta dapat memberikan kepada kita informasi
berbeda tentang spesimen. Gambar berikut menunjukkan secara skematis, beberapa sinyal
yang dapat digunakan di dalam SEM.

Detektor mengumpulkan sinar-X, elektron backscattered, dan elektron sekunder


dan mengubahnya menjadi sinyal yang dikirim ke layar yang mirip dengan layar televisi.
Ini menghasilkan gambar akhir. Elektron Auger cukup rendah energinya dan begitu mudah
5

untuk di-absorb (diserap) sehingga diperlukan system vakum ultra dan peralatan khusus
untuk dapat menggunakannya secara efisien. Ketika berbicara resolusi SEM, kita akan
menemukan bahwa hal ini sangat berhubungan dengan volume penyampelan dari sinyal
yang digunakan. Elektron-elektron sekunder memiliki volume penyampelan paling kecil,
oleh karena itu, memiliki kapabilitas untuk memberikan resolusi spasial yang lebih baik
daripada sinyal-sinyal lain. Jumlah dari elektron-elektron sekunder dan terhambur balik
yang terpancar dari spesimen untuk tiap-tiap elektron datang dikenal sebagai koefisien
elektron sekunder d atau koefisien elektron terhambur balik h.

Resolusi dan Ketajaman Bayangan


Kualitas bayangan ditentukan oleh kekuatan mikroskop yang dapat dilihat dari
cara kerjan yang ditentukan dari parameter instrumen. Kekuatan

miksroskop dimaknai

sebagai jarak terpendek antara dua poin yang dapat menentukan perbedaan jarak
bayangan. Untk mengukur kekuatan
mengukur

jarak terpendek

mikroskop yang diperolah oleh

antara dua poin pada

termasuk aberration dalam lensa (aberration


dapat mengatur

mikrograf adalah

mikrograf. Mikrokskop

optikal,

geometri/ aberration kromatis atau bola)

sinar masuk, selanjutnya kekuatan mikroskop ditentukan aberration

difraksi.
Prinsip

kerjanya

SEM

berbeda

dengan

pembentukan

bayangan

mikroskop optikal yang kekuatannya ditentukan oleh pembesaran bayangan

pada
lensa.

Sedangkan pada SEM, permukaan spesimen disken secara fokus pada ketelitian tinggi
sesuai dengan kecepatan sumber sinar elektron dan sinyal dari spesimen yang dapat
dilihat dari tayangan Cathoda Ray Tube (CRT) sesuai dengan kekuatan sumber sinar
elektron.

Artinya informasi spesimen lebih detail lagi dengan menggunakan

probe

elektron, tetapi dengan pengurangan laju arus elektron dan kekuatan mikroskop( kekuatan
mikroskop ditentukan oleh diameter sumber sinar elektron dan kualitas sinar dari
spesimen).
Resolusi adalah kemampuan untuk menyelesaikan dua poin yang tidak
fokus, misalnya dengan mengurangi ukuran objek. Persamaan berikut memberikan
persamaan matematik dari kemampuan memberikan resolusi

Persamaan disederhanakan pada kondisi aliran arus rendah. Pada arus rendah:

Jc = kerapatan sumber arus ,


= gelombang electron
Cs = spherical aberration,
i = arus ,
T =suhu
Resolusi memungkinkan ada pengaruh komponen lain yang menambah
ketajaman gambar, diantaranya kekuatan lensa kondenser, yang berfungsi untuk
merefleksikan aliran sinar elektron, mengurangi jarak objek dengan lensa, berbeda
dengan ini ada pengaruh mengurangi objective aperture.

Prinsip Lensa Elektron dan Aberrasi


Hal esensial pada SEM adalah bagaimana memperoleh fokus menggunakan
sumber sinar elektron untuk mensken permukaan spisimen, secara umum lensa
elektron dikelompokkan ke dalam jenis elektrostatik dan magnetik. Umumnya
medan magnetik

banyak

digunakan sebab

aberasinya

rendah

dan

jenis
mudah

dioperasikan, oleh karena itu kami lebih senang menggunakan lensa jenis magnetik.
Ketika elektron bergerak dalam medan magnet, dimana tidak ada gaya luar
pada gerak paralel, kecuali gerak perpendicular. Gaya eksternal menyebabkan elektron
sepanjang perpendicular mengikuti arah elektron dan garis gaya magnetik. Jika kerapatan
flux magnetik konstan, elektron bergerak pada jalur perpendicular, melingkar dengan
jari-jari r yang ditentukan dengan gaya sentrifugal, mv2/r dan gaya elektromagnetik evB,
dengan persamaan sebagai berikut:

Dimana :
e
= muatan
B
= kerapatan flux magnetik
n
= muatan spesifik electron
r

= jari-jari

= massa

= kecepatan
Persamaan di atas menegaskan bahwa jari-jari elektron berbanding lurus

dengan kecepatan elektron serta berbanding terbalik dengan kerapatan flux magnetik
dan muatan spesifik elektron.

Interaksi Sinar Elektron dan Spesimen


Sejak elektron memiliki sifat

partikel, interaksi elektron begitu kuat dengan

specimen (hukum Coloumb), ketika elektron menumbuk spesimen, terjadi hamburan


elektron di atas permukaan spesimen, hasilnya adalah perubahan arah gerak elektron b dan
pengurangan energi elektron akibat interaksi tersebut di atas.
Primery Electron menumbuk spesimen, arah gerak dipengaruhi oleh beragam
hamburan sinar dan diikuti dengan pergerakan sinar dari berbagai arah. Pada saat elektron
dengan energi sama menumbuk spesimen, porsi elektron mengalami refleksi dengan arah
berlawanan (back scattered) dan sebagian diataranya diserap oleh specimen (eksitasi sinar
X). Jika spesimen terlalu tipis, maka elektron menembus keseluruh specimen (transmited
electron).
Secondary electron, back scattered electron, sinar X dan lain-lain memberikan
informasi yang mampu

menjelaskan sifat spesimen (nomor atom, distribusi unsur,

topografi, potensial permukaan, kemagnetan, karakteristik kimia dan kristalografi)


informasi ini dikonversi ke dalam sinyal vidio dan layar CRT.
Tabel berikut mengurutkan hubungan jenis bayangan dan informasi yang diterima
detektor. Secondary electron umumnya menunjukkan permukaan spesimen, sehingga
secondary electron tidak menembus spesimen, mereka hanya mengobservasi struktur halus
permukaan spesimen. Oleh karena itu pergeseran bayangan dapat diperkirakan dari
secondary electron.

Pembentukan dan Mekanisme Kontras Bayangan Secunder Electron


Verifikasi adanya zat dan pergeserannya, serta kontras bayangan harus
didefinisikan, dengan kata lain pada saat sistem memerlukan resulusi tinggi, kontras
bayangan

sangat rendah sehingga akan menyulitkan

untuk menentukan

eksistensi

menjadi sulit ditentukan.


Kontras bayangan pada mikroskop optikal didasarkan pada absopsi cahaya di
tiap bagian spesimen. Itu juga dipengaruhi oleh cahaya reflekasi dan perbedaan fase
mikroskop. Sedangkan TEM, kontras bayangan ditentukan oleh absobsi secendary
electron. Untuk

spesimen

kristal,

kontras

difraksi memmegang

peran

penting,

yang

berbeda

terutama pada penajaman bayangan.


Mikroskop

skening

memberikan

sinar

monokromatik

komposisinya yang dapat diindentifikasi dengan perbedaan derajat pencahayaan


(brightness). Topografi permukaan spesimen juga ditentukan dengan mengidentifikasi
derajat pencahayaan (brightness) bayangan. Hal ini menunjukkan bahwa secondary
electron dan difusi elektron ditentukan oleh sudut sinar datang.

Perbandingan SEM dan OM


Scanning Electron Microscope (SEM) dan Optical Microscope (OM) memiliki
fungsi dasar sama yakni merekam objek tampak yang begitu kecil untuk dilihat dengan
mata terbuka. Perbedaan substansial terletak pada cahaya penyinaran. SEM berasal
dari sinar elektron, sedangkan

OM berasal dari sinar alami (termasuk UV). Berikut

perbedaan Scanning Electron Microscope(SEM) dan Optical Microscope (OM) :

SEM

membatasi pada dua hal , yakni

sistem operasi dan aplikasinya pada

sumber sinar (elektron) dan medium operasi (vokum). Sumber sinar

dan medium

efektif untuk berbagai informasi dari specimen. disamping itu ada juga spektrometer
sinar X, elektron detektor, dan holder specimen membererikan kontribusi pada sistem
informasi.
Transmission electron microscope (TEM) adalah mikroskop electron yang
dikembangkan menggunakan sinar untuk menerobos spesimen, dikembangkan oleh
Max Knoll dan Ernst Ruska in Germany pada tahun 1931. Transmisi elektron mikroskop
(TEM) memberikan resolusi tinggi, hingga mencapai kisi 1, ketajamannya sangat
tinggi, mempengaruhi kepada

kekuatan meneliti struktur molekul, walaupun pada

spesimen sangat tipis (seratus angstrom). Jika spesimen relatif tipis, transmisi
elektron sangat sulit, hasilnya resaolusi substansi banyak yang tidak terdeteksi( hanya
lapisan atas saja yang tergambar). Dengan kata lain miksroskop elektron ini hanya berguna
pada spesimen yang amat tipis. Disamping

itu persiapan sampel sangat lama dan

membutuhkan kompetensi khusus, sebelemnya perlu observasi untuk menghindari


kehilangan kondisi observasi.
Permasalahan lain timbul dari parameter mekanisme observasi, seperti
absopsi hamburan, difraksi dan perbedaan fase. Dimana parameter ini efektif menentukan
sifat

fisik spesimen.

SEM mengaitkan

konsep mikroskop

yang memungkinkan

mempertajam analisis dan memerlukan pengetahuan khusus untuk menganalisisnya.


Karakterisasi SEM memiliki kemampuan dalam hal Topograpi, yakni kemampuan SEM
dalam mengobservasi permukaan yang menggambarkan

tekstur dan sifat material;

Morphologi, mengidentifikasi bentuk dan jenis penyusun objek, kemampuannya


dalam mengkaitkan sifat fisik dan kimia yaikni, berhubungan dengan struktur dan sifat
material; Komposisi, mengukur kemampuan untuk menentukan unsur dan senyawa
objek dan menghitung jumlah serta komposisi senyawa dan sifat material; Kristalografi,
menjawab pertanyaan bagaimana atom tersusun berhubungan dengan sifat material.

10

Gambar 2. Pembentukan Bayangan OM,TEM dan SEM


Dengan kata lain SEM tidak

hanya

mengobservasi sangat

detail(resolusi

tinggi) tetapi juga fokus pada daerah permukaan luas, bayangan yang dihasilkan jelas
pada sepuluh angstrom. Bayangan tersebut memberikan informasi berharga dari
spesimen. Tambahan bahwa pengoperasian SEM sama dengan kombinasi kamera dan
monitor TV, perbedaanya terletak pada letak spesimen di bawah vakum tinggi.

11

C. KEGUNAAN SEM
SEM banyak digunakan untuk :
1. Mengamati struktur maupun bentuk permukaan yang berskala lebih halus.
2. Dilengkapi Dengan EDS (Electron Dispersive X ray Spectroscopy) sehingga dapat
mengamati fitur material dengan resolusi yang sangat tinggi.
3. Dapat mendeteksi unsur-unsur dalam material.
4. Mengukur ketebalan sampel.
5. Studi detil arsitektur permukaan sel (atau struktur jasad renik lainnya), dan obyek
diamati secara tiga dimensi.
Aplikasi untuk analisa sampel :
1. Sampel padat: Logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, Ceramic, fosil,
butiran, karbon, Campuran partikel logam, Sampel Arkeologi.
2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan cacing.
Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: Contoh Profesi dokter gigi, Tulang, Fosil dan Sampel
Arkeologi.
Penelitian- penelitan yang telah dilakukan mengguanakan SEM, diantaranya:
1. Studi Kasus Analisa karakterisasi lumpur sidoarjo
Lumpur sidoarjo dicirikan oleh kandungan napal dan batu lempung napalan,
berwarna abuabu kehijauan, kuning kecoklatan dengan sisipan batu gamping bioklastik
yang keras. Kandungan biota umumnya foraminifera besar dan ganggang. Bagian atas
formasi Kujung berubah menjadi batu gamping bioklastik dan reef. Batuan napal abuabu
dari formasi Kujung dicirikan oleh kandungan fosil foraminifera kecil, plankton, maupun
benthon yang melimpah. Hal ini menunjukkan batuan diendapkan pada lingkungan laut
terbuka dengan kedalaman berkisar antara 200 500 meter.
Beberapa uji yang dilakukan terkait dengan sifat fisika lumpur antara lain adalah
pengujian densitas lumpur, analisa keseragaman butir, pengujian gambaran susunan
partikel secara mikro dari lumpur. Salah satu pengujian sifat fisikanya adalah
menggunakan foto Scanning Electron Microscope (SEM). Hal ini dilakukan untuk
memperoleh gambaran

susunan partikel lumpur secara mikro. Pengujian dilakukan

dengan perbesaran 150, 600, 1.000, 2.500, 5000, 10.000, dan 20.000 kali.

12

Penampang lumpur dengan perbesaran 1.000 kali mulai menunjukkan gambaran


bahwa struktur kristalnya merupakan lempeng dalam satuan 10 m dan mulai kelihatan
adanya poros. Perbesaran penampang partikel sampai 2.500 kali memperlihatkan bahwa
partikel lumpur mempunyai bentuk kristal berupa lempeng. Pada perbesaran ini belum
dapat diukur tebal lempengnya, tetapi sudah jelas adanya poros di antara lempeng.

13

Perbesaran 5.000 kali memperlihatkan dengan jelas bentuk struktur partikel


lumpur. Diperkirakan ketebalan lempeng partikel kurang dari 1 m dan lebar lempeng
kristal dapat mencapai lebih dari 5 m. Rongga antar lempeng terlihat cukup besar
dibandingkan dengan ketebalan lempeng. Berdasarkan data ini dapat diperkirakan bahwa
pergerakan antar lempeng dapat terjadi bila ada energi, minimal 50 kali lebih besar dari
energi yang dibutuhkan apabila kristalnya berbentuk kubus. Perbesaran 10.000 kali
menunjukkan bahwa ketebalan lempeng kurang dari 1 m dan lebarnya ada yang mencapai
lebih dari 5 m. Perbesaran 20.000 kali menunjukkan bahwa ketebalan lempeng
partikelberkisar antara 0,01 0,05 m dan lebar lempeng dapat mencapai 5 m. Hal
inimenunjukkan bahwa gaya tarik antar partikel sangat besar.

Dari hasil analisis menggunkan SEM tersebut dapat dikehui yang menyebabkan
lumpur susah dipindahkan yaitu karena besarnya densitas dan lebarnya lempeng partikel.
Melihat susunan partikel lumpur sampai dengan perbesaran 20.000 kali, dapat diperoleh
informasi bahwa antar partikel lumpur tidak melekat atau masih ada rongga yang
memungkinkan dilewati cairan. Bentuk kristal yang pipih dan luas menyulitkan untuk
terjadinya pergeseran posisi antar lempeng kristal karena adanya gaya tarikmenarik antar
lempeng partikel. Bentuk lempeng yang tipis dan luas membutuhkan energi yang besar
untuk memisahkan antar lempengnya dan apabila tidak ada energi, maka antar lempeng
akan merapat.
2. Analisa Karakterisasi dan bioavailabilitas nanokalsium cangkang udang Vannamei
(litopenaeus vannamei).
3. Preparasi Nanokomposit ZnO/ TiO2 dengan sonokimia serta uji aktivitasnya untuk
fotodegradasi fenol.
4. Preparasi dan karakterisasi polimorfisme Obat anti malaria Artesunate.
14

5. Analisa SEM (Scanning Electron Microscopy) dalam pemantauan proses oksidasi


magnetite menjadi hematite.
6. Analisis strukturmikro baja corten sebagai penukar panas pembangkit listrik tenaga uap.
7. Conventional Scanning Electron Microscopy of bacteria.
D. PREPARASI SAMPEL

Penyiapan
spesimen untuk pengamatan menggunakan SEM, tentunya tidak terlalu sulit kecuali
pada beberapa membran biologi, persiapan spesimen akan mempengaruhi kualitan
fotografi,kualitas

fotografi rendah disebabkan olh persiapan kurang optimal. Berikut

beberapa tatacara singkat mempersiapkan spesimen secara optimal:


1. Spesimen dalam bentuk padatan
2. Spesimen memiliki sifat konduktor
15

3. Spesimen dalam bentuk batangan atau holder


4. Spesimen besar dapat dipotong-potong menjadi bagian kecil sehingga mudah masuk
ke dalam tabung (stab), jika spesipen bukan konduktor maka penguapan selaput
pelindung menjadi penting.
5. Spesimen tanah diatomis perlu

ada perlakuan

awal dengan mortal untuk

menggerus menjadi bagian-bagian kecil selanjutnya masukkan ke dalam tabung


reaksi bersih. Spesimen dimasukkan

ke

dalam

tabung

reaksi, selanjutnya

larutannya dipipet, secara perlahan diteteskan ke dalam holder.


6. Hindari semua air, larutan atau material-material lain yang mudah menguap dalam
vakum.
7. Logam dan samples konduktivitas dapat diletakan langsung kedalam SEM. Karena
permukaan benda logam bersifat sebagai pemantul elektron atau dapat melepaskan
elektron sekunder ketika ditembak dengan berkas elektron.
8. Samples Non-logam, seperti bahan bangunan, tanaman, dan keramik harus dilapisi
agar konduktivitas listriknya baik. Pelapisan dapat menggunakan logam mulia
seperti emas dan platina.
E. INSTRUMEN SEM
SEM tersusun dari beberapa bagian yang dapat dibuat suatu skema seperti berikut
:

Scanning Electron Microscope (SEM)


Keterangan Gambar :
1. Elektron meriam di bagian atas kolom (di sini disebut lapangan emisi sumber).
2. Electro-magnetik lensa untuk mengarahkan dan fokus berkas elektron di dalam
kolom.

16

3. Vacum pompa sistem. Ketika SEM digunakan, kolom harus selalu berada di ruang
hampa. Jika sampel berada dalam lingkungan gas penuh, berkas elektron tidak
dapat dihasilkan atau dipertahankan karena ketidakstabilan yang tinggi dalam
berkas. Gas dapat bereaksi dengan sumber elektron , menyebabkan ia terbakar, atau
menyebabkan elektron dalam berkas untuk mengionisasi, yang menghasilkan debit
acak dan menyebabkan ketidakstabilan di balok. Para transmisi sinar melalui kolom
optik elektron juga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya. Molekulmolekul lain ini, yang bisa datang dari sampel atau mikroskop itu sendiri, bisa
membentuk senyawa dan memadatkan sampel sehingga akan menurunkan kontras
dan membuat gambar menjadi kabur.
4. Tempat sampel (membuka untuk memasukkan objek ke dalam ruang vakum tinggiobservasi dalam modus SEM konvensional).
5. Operasi panel dengan fokus, keselarasan dan alat-alat pembesaran dan joystick
untuk posisi sampel.
6. Layar untuk menu dan menampilkan gambar.
7. Cryo-unit untuk mempersiapkan (istirahat, mantel dan menghaluskan) bahan beku
sebelum penyisipan dalam ruang pengamatan di Cryo-SEM modus.
8. Elektronik disimpan dalam lemari di bawah meja.
9. Teknisi Mieke Wolters-Seni dan Geert-Jan Janssen membahas tampilan.
Hal terpenting dari sumber elektron SEM adalah derajat pencahayaan
(brightness). luas sumber cahaya kecil, stabilitas tinggi, khususnya kecepatan emisi
elektron. Sesungguhnya yang terpenting adalah pertemuan dengan beberapa sumber
penembak electron (Electron gun, minimal memiliki tiga elektroda sebagai sumber
penembak elektron.

17

Berikut bagian-bagian dari alat Scanning Electron Microscope dengan penjelasan


secara detail, dapat dilihat seperti gambar di bawah ini :

1. Penembak elektron
a. Elektron Gun
Proses instrumentasi jenis SEM di atas dimulai dari sumber elektron yakni
penembak elektron yang terbuat dari katode berfilamen wolfram. Filamen ini banyak
digunakan sebagai penembak elektron disebabkan oleh titik didihnya tinggi dan
tekanan uapnya rendah dibandingkan dari semua logam sehingga mampu memanaskan
untuk melepaskan elektron. Serta harganya murah. Jenis elektroda lain adalah lanthanum
hexaboride (LaB6).
Kolom Optik elektron terdiri dari: sumber elektron yang menghasilkan
elektron, Lensa magnetik

untuk mende-magnetikan

sinar, magnetik

koil

untuk

mengontrol sinar. Sistem Vakum terdiri dari: kamar vokum holds vacuum, mempompa
hingga mengontrol vakum, Deteksi sinar dan Displai terdiri dari: detektor yang

18

mengumpulkan signal elektronik yang menghasilkan gambar dari signal. Sinar elektron
yang memiliki energi berkisar 0,5 keV - 40 keV difokuskan oleh satu atau dua lensa
kondenser untuk melewati diameter ruang 0,4 nm - 5 n. Dan melalui pasangan koil
atau pasangan plat deflektor dalam kolom elektron, lensa yang membelokkan sinar dari
sumbu X dan Y menjadi skaener yang membaca permukaan sampel. Ketika sumber sinar
primer berinteraksi dengan sampel, energi elektron berkurang secara acak berulangulang dan menyerap disekitar volume daerah permukaan sampel, tidak kurang 100 nm - 5
m diserap sekitar permukaan. Jenis interaksi tergantung pada kemampuan energi
yang tersedia, jumlah atom, dan kerapatan spesimen. Perubahan energi diatara sinar
elektron dan sampel menghasilkan pembelokan elektron berenergi tinggi dengan elastric
scattering, emisition secunday electron dengan inelatic scattering dan emisi radiasi
eletromagnetik masing-masing dapat dideteksi dengan detector.
Penguatan elektronik (Electronic amplifiers) dari berbagai jenis dapat digunakan
untuk penguatan sinyal yang akan ditayangkan dengan berbagai derajat pencahayaan pada
tabung sinar katoda, bayangan didistribusikan dalam bentuk fotografi dari tabung
katode resulusi tinggi, tetapi dalam mesin modern dapat ditayangkan dalam monitor
komputer dan dapat disimpan di dalam hard disk.
b. Elektron Beam

Sebuah sinar elektron dihasilkan dalam elektron gun, yang terletak di bagian atas
kolom, di gambarkan di sebelah kiri. Balok ini tertarik melalui anoda, kental dengan lensa
kondensor, dan terfokus sebagai titik yang sangat baik pada sampel oleh lensa objektif.
Kumparan scan energi (dengan memvariasikan tegangan yang dihasilkan oleh generator
memindai) dan menciptakan medan magnet yang mengalihkan bolak-balik dalam pola
terkontrol. Tegangan bervariasi juga diterapkan pada kumparan di sekitar leher tabung
19

sinar-katoda (CRT) yang menghasilkan pola cahaya dibelokkan bolak-balik pada


permukaan CRT. Pola defleksi dari berkas elektron adalah sama dengan pola defleksi titik
cahaya pada CRT.

c. Lensa Magnet

Lensa yang memfokuskan berkas elektron terhadap sampel di pusat gambar.


Bagian ke kanan sampel adalah detektor yang berbeda. Salah satunya adalah untuk
mendeteksi elektron sekunder dan yang lainnya adalah untuk mendeteksi elektron
backscattered. Operator memiliki kekuatan untuk memilih dan beralih detektor untuk
digunakan pada setiap sampel. Menggunakan detektor elektron sekunder menghasilkan
gambar topografi yang jelas dan fokus sampel. Para elektron backscatter detektor
menghasilkan gambar yang berguna ketika menentukan make-up sampel. Setiap elemen
dalam sampel muncul sebagai warna yang berbeda, dari hampir putih ke hitam.
d. Elektron-elektron sekunder

20

Sejauh ini, sinyal-sinyal yang paling banyak digunakan di dalam mikroskop


pemindaian elektron adalah sinyal yang datang dari elektron-elektron sekunder. Elektronelektron sekunder dideteksi dengan sistem skintilator photomiultiplier yang dikenal
sebagai detektor Everhart-Thornley.
Elektron-elektron sekunder mengenai sebuah skintilator, misalnya Phospor, yang
kemudian memancarkan cahaya. Cahaya ditransmisikan melalui pipa cahaya ke dalam
photomultiplier yang mengkonversi foton-foton menjadi pulsa-pulsa elektron, yang
kemudian dapat diperkuat dan digunakan untuk memodulasi intensitas CRT.
Energi elektron-elektron sekunder (10 50 eV) terlalu kecil untuk
mengeksitasiskintilator, dan oleh sebab itu, elektron-elektron tersebut mula-mula harus
dipercepat dengan memberikan tegangan bias ~ +10 keV terhadap film Aluminium tipis
yangmembungkus skintilator. Grid logam (metal grid), atau kolektor, dengan
teganganbeberapa ratus volt, melingkupi skintilator dengan dua tujuan. Pertama adalah
untuk mencegah skintilator tegangan tinggi mempengaruhi berkas elektron yang masuk,
dankedua untuk meningkatkan efisiensi pengumpulan dengan menarik elektron-elektron
sekunder, dan oleh sebab itu, mengumpulkan bahkan yang tadinya tidak bergerak menuju
detektor.
e. Elektron-elektron terhambur balik
Elektron-elektron terhambur balik yang berjalan dalam arah yang sesuai sudah
barang tentu akan menumbuk skintilator detektor Everhart-Thornley dan akan terdeteksi.
Olehsebab itu, kita perlu mencatat bahwa sinyal yang didiskusikan di dalam bagian
sebelumnya tidak murni karena elektron-elektron sekunder, karena sinyal ini mengandung
komponen kecil hamburan balik. Jika bias skintilator dimatikan, ataukolektor memberikan
tegangan negatif kecil, maka elektron-elektron sekunder akanditolak dari detektor, dan
21

akan didapatkan sinyal terhambur balik. Namun, hanya elektron-elektron yang berjalan
melalui garis lurus langsung menuju detektor yang akan dikumpulkan, dan oleh sebab itu,
efisiensi geometrinya sangat rendah.
f. Cathodoluminescence
Cathodoluminescence ini paling sering dialami dalam kehidupan sehari-hari
sebagai emisi cahaya dari permukaan bagian dalam dari tabung sinar katoda di televisi dan
CRT monitor komputer. Dalam SEM, detektor CL sangat baik dalam mengumpulkan
semua cahaya yang dipancarkan oleh spesimen, atau bisa menganalisis panjang gelombang
yang dipancarkan oleh spesimen dan menampilkan emisi spektrum atau gambar dari
distribusi cathodoluminescence dipancarkan oleh spesimen dalam warna nyata.
g. X-ray Mikroanalisis
X-ray yang juga diproduksi oleh interaksi elektron dengan sampel, juga dapat
dideteksi pada SEM dilengkapi untuk energi-dispersif spektroskopi sinar-X atau panjang
gelombang dispersif spektroskopi sinar-X.

22

BAB III
PENUTUP
A. KESIMPULAN
Berdasarkan pembahasan pada makalah ini, maka dapat disimpulkan sebagai
berikut :
1.

SEM adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang menggunakan berkas
elektron untuk menggambar profil permukaan benda.

2.

Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron
bernergi tinggi, dari interaksi tersebut dapat ditentukan diameter partikel penyusun
suatu benda.

3.

Intrumentasi SEM terdiri dari penembak elektron, lensa magnet, elektron-elektron


sekunder, elektron-elektron terhambur balik, cathodoluminescence, dan sinar-X.

4.

Sampel yang dianalisis dapat berupa logam dan non-logam yang dilapisi dengan
logam mulia.

5.

Aplikasi dan studi kasus SEM dilakukan pada analisis karakterisasi lumpur
sidoarjo.

6.

Pengolahan data SEM terdiri dari beberapa tahap yaitu Spesifikasi model (model
specification), Identifikasi (identification), Estimasi (estimation), Uji Kecocokan
(testing fit), dan Respesifikasi (respecification).

7.

Kelebihan SEM yaitu menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, sedangkan


kekurangannya yaitu SEM tidak sanggup mengamati ukuran partikel dalam orde
beberapa nanometer.

23

DAFTAR PUSTAKA
Abdullah, M., 2008. Karakterisasi nanomaterial. Fakultas Matematika dan Ilmu
Pengetahuan Alam, ITB.
Angraini Desi., 2008, Analisa SEM (Scanning Electron Microscopy) Dalam Pemantauan
Proses Oksidasi Magnetite Menjadi Hematite, Fakultas Teknologi Industri ITN,
Bandung.
Anonim, 2008, C4 Mikroskop,
Anonim, 2009, Mikroskop dan Penggunaannya,
Departemen Metalurgi dan Material Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2008,
Microstucture Analysis.
Http://wikipedia.org (Mikroskop Elektron)
Kontr. AHR Infra, 2007, Karakteristik Lumpur Sidoarjo, Basic Design PLS.
Lestari Diah,Wisnu Sunarto, Eko Budi Susatyo., 2012, Preparasi Nanokomposit Zno/
Tio2 Dengan Sonokimia Serta Uji Aktivitasnya Untuk Fotodegradasi Fenol,
FMIPA UNS, Semarang.
Lubis, MY., 2009, Pembuatan Komposit Kayu Plastik dari Serat Kayu Kelapa Sawit dan
Polopropilena dengan Menggunakan Polipropilena yang Dimodifikasi dengan Asam
Arkilat sebagai Bahan Penghubung, Universitas Sumatera Utara, Medan.

Partogi H, Sundani N. Soewandhi, Jessie S. Pamudji danWikarsa Saleh., 2014, Preparasi


Dan Karakterisasi Polimorfisme Obat Anti Malaria Artesunate, Vol.15 No.2,
Jurnal Sains Materi Indonesia, Bandung.
Saptono, R., 2004, Mikroskopi dan Analisa Electron, Departemen Metalurgi dan Material
FTUI.

Septina, W., 2007. Pembuatan Prototipe Solar Cell Murah Dengan Bahan OrganikInorganik (Dye Sensitized Solar Cell). ITB. Bandung.
Suptijah Pipih, Agoes M. Jacoeb, dan Nani Deviyanti., 2012, Karakterisasi Dan
Bioavailabilitas Nanokalsium Cangkang Udang Vannamei (Litopenaeus
Vannamei), Vol. III No. 1, IPB. Bogor.
Warsito, Suciati, SW., Harnani S., dan Dzakwan A., 2005, Pencitraan 2D dan 3D Optcal
Beam Induced Voltage Menggunakan Sensor Fotoresistor, Makara, Teknologi,
Vol. 9 No. 1.

24

Wijaya, K., 2008. Preparasi Dan Karakterisasi Komposit Kromium OksidaMontmorillonit. UGM. Jogjakarta.

25