See

discussions, stats, and author profiles for this publication at: https://www.researchgate.net/publication/282734117

Teknologi Plasma dan Ozon (Kuliah #6):

Teknologi Plasma dalam Industri Manufaktur
Semikonduktor dan Divais Elektronik...
Chapter October 2015
DOI: 10.13140/RG.2.1.4762.6967

CITATIONS

READS

239

1 author:
Setijo Bismo
University of Indonesia
147 PUBLICATIONS 47 CITATIONS
SEE PROFILE

Available from: Setijo Bismo

Retrieved on: 05 November 2016

Teknologi Plasma
dalam
Industri Manufaktur
Semikonduktor dan Divais Elektronik
(Bagian I)

Prof. Dr. Ir. Setijo Bismo, DEA.

Departemen Teknik Kimia
Fakultas Teknik Universitas Indonesia
Monday, 12 October 2015

Alur Aplikasi dan Pemanfaatan Teknologi Plasma

di

Industri Manufaktur Elektronik (Panel Surya)

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#1)

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#2)

Wujud Fisika Plasma didefinisikan oleh Sir
William Crookes (seorang ilmuan Inggris) pada tahun
1879: pemanasan zat padat menjadi cair, pemanasan
zat cair menjadi gas dan pemanasan gas menjadi
plasma.
Pada tahun 1929, Dr. Irving Langmuir (seorang ahli
Fisika dan Kimia dari Amerika), mempopulerkan
terminologi plasma untuk menjelaskan sifat fisika
gas yang terionisasi.
Sebenarnya plasma sendiri bukanlah hal yang baru
bagi jagad raya ini, karena diperkirakan jagad raya ini
tersusun dari 99% plasma yang terbentuk dari proses
ionisasi gas atmosfir oleh partikel-partikel kosmis.

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#3)

Dewasa ini Teknologi Plasma sudah semakin banyak
digunakan dalam berbagai aplikasi, seperti: teknologi
plasma dalam AC (Plasma Cluster, nanoeG, dlsb),
teknologi plasma pada TV dan teknologi plasma pada
pengolahan sampah. Keuntungan dari plasma yang
terkenal yaitu dapat menghasilkan spesies reaktif
berkonsentrasi tinggi, yang dapat melakukan etching
dan deposit material thin film (lapisan tipis) dengan
kecepatan sampai 10 m/menit. Selain itu teknologi
plasma juga dimanfaatkan untuk modifikasi permukaan
material yang dapat digunakan sebagai metode
immobilisasi dan fungsionalisasi material.

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#4)

Panjang Debye adalah jarak di mana pemisahan muatan yang

signifikan dapat terjadi.

Bola Debye adalah suatu volume tertentu yang memiliki radius panjang
Debye, di mana di dalamnya terdapat lingkup pengaruh bola tersebut,
sedangkan di luarnya tidak ada kecuali hanya muatan (elektron) yang
tertentu/terpilih.

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#5)

Panjang Debye adalah jarak di mana pemisahan muatan yang

signifikan dapat terjadi.

Bola Debye adalah suatu volume tertentu yang memiliki radius panjang
Debye, di mana di dalamnya terdapat lingkup pengaruh bola tersebut,
sedangkan di luarnya tidak ada kecuali hanya muatan (elektron) yang
tertentu/terpilih.

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#6)

Dasar-Dasar Fisika Plasma (#7)

Peralatan (#1)

Pengaruh Tekanan pada Proses Etsa Kering

Peralatan (#2)

Deposisi Material dengan Teknologi Plasma

Deposisi Material dengan Teknologi Plasma:

Plasma Enhanced Deposition PECVD

PROSES dan INTERAKSI PERALATAN

Modifikasi Wafer dengan Plasma

Nitridasi dengan Plasma

Pengendalian Proses dan Mutu

Modul Sel Fotovoltaik (PV)

Teknologi Panel Surya

Teknologi Panel Surya Kristalin Silikon (#1)

Panel silikon KRITALIN dibuat secara tersusun
dengan terlebih dahulu meletakan sepotong
kristal silikon tunggal melalui serangkaian
langkah-langkah
pengolahan,
sehingga
terbentuk suatu susunan sel surya yang utuh.
Sel-sel ini kemudian berkumpul di dalam
kelipatan untuk membuat panel surya. Kristal
silikon, juga disebut wafer silikon. Teknologi ini
merupakan yang tertua dan saat ini merupakan
Panel Surya yang paling banyak digunakan
secara komersial.

Teknologi Panel Surya Kristalin Silikon (#2)

Teknologi Panel Surya Kristalin Silikon (#3)

Teknologi Panel Surya LAPISAN TIPIS (#1)

Dibuat dengan menempatkan lapisan tipis (FILM)
dari bahan semikonduktor (Si, Ge, Ga, dlsb) pada
berbagai permukaan (substrat atau WAFER),
biasanya dari bahan kaca. Film tipis merujuk pada
jumlah semikonduktor bahan yang digunakan. Hal ini
diterapkan dalam film tipis dengan struktur
permukaan, seperti selembar kaca. Berlawanan
dengan kepercayaan populer, film panel yang paling
tipis ternyata tidak fleksibel. Secara keseluruhan,
film tipis panel surya menawarkan biaya produksi
terrendah, dan menjadi lebih lazim di industri.

Teknologi Panel Surya LAPISAN TIPIS (#2)

Teknologi Panel Surya LAPISAN TIPIS (#3)

Teknologi Panel Surya LAPISAN TIPIS (#4)

Perbandingan Efisiensi Teknologi Panel Surya

Perbandingan Efisiensi dari Fabrikan