A.

Scanning Electron Microscopy ( SEM )

SEM dikembangkan pertama kali tahun 1938 oleh
Manfred von Ardenne (ilmuwan Jerman). Konsep dari SEM ini
sebenarnya disampaikan oleh Max Knoll (salah satu penemu
TEM) pada tahun 1935. SEM bekerja berdasarkan prinsip scan
sinar elektron pada permukaan spesimen, selanjutnya
informasi yang didapatkan diubah menjadi gambar. Imajinasi
mudahnya gambar yang didapat mirip sebagaimana gambar
pada televisi. Instrumen SEM diampakkan dalam gamabr
berikut :

Gambar 1. Alat Scanning Elektron Microscopy (SEM )

Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan
apa yang terjadi pada microskop optic dan TEM. Pada SEM,
gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron
sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan
spesimen ketika permukaan spesimen tersebut discan
dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul
yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian
besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap=terang
pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah
gambar struktur objek yang sudah diperbesar bisa dilihat.
Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan spesimen
yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat objek
dari sudut pandang 3 dimensi.
Ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat
dianalogikan dengan mikroskop optik metalurgi, sedangkan
TEM analog dengan mikroskop optik biologi. SEM dan
mikroskop optik metalurgi menggunakan prinsip reflrksi,
dalam arti permukaan spesimen memantukan berkas media.
 Teknik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan
dan analisis permukaan. Data atau tampilan yang diperoleh
adalah data dari permukaan atau dari lapisan yang tebalnya
m
sekitar 20 dari permukaan. Gambar permukaan yang
diperoleh merupakan gambar topografi dengan segala
tonjolan dan lekukan permukaan. Gamabr topografi diperoleh
dari penangkapan pengolahan elektron sekunder yang
dipanarkan oleh spesimen. Kata kunci dari prinsip kerja SEM
adalah sacnning yang berrti bahwa berkas elektron menyapu
permukaan spesimen, titik demi titik dengan spuan
membentuk garis demi garis, mirp seperti gerakan mata yang
membaca. Sinyal elektron sekunder yang dihasilkan adalah
dari titik pada permukaan, yang selanjutnya ditangkap oleh
SE detector dan kemudian diolah dan ditampilkan pada layar
CRT (TV). Scanning coil yang mengarahkan berkas elektron
bekerja secara sinkron dengan pengaruh berkas elektron
pada tabung layar TV, sehingga didapatkan gambar
permukaan spesimen pada layar TV.
Sinyal lain yang tak kalah penting adalah back scattered
electron yang intensitasnya tergantung pada nomor atom
unsur yang ada pada permukaan spesimen. Dengan cara ini
akan diperoleh gambar yang menyatakan perbedaan unsur
kimia. Warna terang menunjukkan adanya unsur kimia yang
lebih tinggi nomor atomnya.
Cara kerja dari SEM adalah sinar dari lampu dipancarkan
pada lensa kondensor, sebelum masuk pada lensa kondensor
ada pengatur dari pencaran sinar elektron yang ditembakkan.
Sinar yang melewati lensa kondensor diteruskan lensa
objektif yang dapat diatur maju mundurnya. Sinar melewati
lensa objektif diteruskan pada spesimen yang diatur miring
pada pencekamnya, spesimen ini disinari oleh deteksi x-ray
yang menghasilkan sebuah gambar yang diteruskan pada
layar monitor
Pada Scanning Electron Microscopy (SEM) mempunyai
bagian-bagian seperti pada skema yang tergambar pada
gambar :
 Gambar 2.2 Scanning Electron Microscopy
(SEM)
(sumber : Khan, E.B)
1. Penembak elektron ( elektron gun )
ada dua jenis atau tipe dari electron gun yaitu :
a. Termal
Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke
bahan ialah dalam bentuk energi panas. Oleh elektron
energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin
besar panas yang diterima oleh bahan maka akan
semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi
pada elektron, dengan semakin besarnya kenaikan
 energi kinetik dari elktron maka gerakan elektron
menjadi semakin cepat dan semakin tidak menentu.
Pada situasi inilah akan terdapat elektron yang pada
akhirnya terlepas keluar melalui bahan. Pada proses
emisi thermionic dan juga pada proses emisi lainnya,
bahan yang digunakan sebagai asal ataupun sumber
elektron disebut emiter atau lebih sering disebut
katoda, sedangkan bahan yang menerima elektron
disebut sebagai anoda. Dalam konteks tabung hampa
(vacum tube) anoda sering disebut sebgai plate. Dalam
proses emisi thermionic dikenal dua macam jenis
katoda yaitu :
a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode,
disingkat DHC)
b) Katoda panas tak langsung ( Indirect Heated
Cathode, disingkat IHC). Pada katoda jenis ini
katoda selain sebagai sumber elektron juga
dialiri oleh arus panas (heater)
Material yang digunkan utuk membuat katoda
diantaranya adalah :
a) Tungsten Filamen
Material ini adalah material yang
pertama kali digunkan orang untuk membuat
katode. Tungsten memiliki dua kelebihan untuk
digunkan sebagai katoda yaitu memiliki
ketahanan mekanik dan juga titik lebur yang
tinggi ( sekitar 3400 derajat celcius), sehingga
tungsten banyak digunakan untuk aplikasi khas
yaitu tabung X-Ray yang bekerja pada
tegangan sekitar 5000 V dan temperatur tinggi.
Akan tetapi untuk aplikasi yang umum
terutama untuk aplikasi tabung audio dimana
tegangan kerja dan tempertur tidak terlalu
tinggi maka tungsten bukan material yang idel,
hal ini disebabkan karena tungsten memiliki
fungsi kerja yang tinggi (4,52 Ev) dan juga
tempertur kerja optimal yang cukup tinggi
(sekitar 2200 derajat celcius).
b) LaB6 Filamen

b. Field Emission
 Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab
lepasnya elektron dari bahan adalah adanya gaya tarik
medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada
katoda yang digunakan pada proses emisi ini dikenakan
medan listrik yang cukup besar sehingga tarikan yang
terjadi pada medan listrik pada elktron menyebabkan
elektron memiliki energi yang cukup untuk lompat
keluar dari permukaan katoda. Emisi medan listrik
adalah salah satu emisi tama yang terjadi pada vacum
tube selain emisi thermionic. Jenis katoda yang
digunkan diantaranya adalah : cold field Emision dan
Schottky Field Emissin Gun.

Gambar 2. Jenis jenis elektron gun

 Tabel 1. Karakteristik dari sumber electron gun

2. Lensa magnet

3. Secondary elektron detector

4. Backscattered elektron detektor

Perbedaan kenampakan dari penggunann detektor

elektron dapat dilihat dari perbandingan sebgai beriut :
 Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan
familiar untuk mengamati objek benda berukuran nano
meter. Meskipun demiian, resolusi tinggi tersebut
didapatkan untuk scan arah horizontal, sedangkan secara
vertikal( tinggi rendahnya struktur) resolusinya rendah. Ini
merupakan kelemahan SEM yang belum diketahui
pemecahannya. Namun demikian, sejak sekitar tahun
1970-an, telah dikembangkan mikrosop baru yang
mempunyai resolusi tinggi baik secara horizontal maupun
secara vertikal, yang dikenal dengan scanning probe
microscopy (SPM). SPM mempunyai prinsip kerja yang
berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan genarasi
baru dari tipe mikroskop scan. Mikroskop yang sekarang
dikenal mempunyai tipe ini adalah scanning tunneling
microscopy (STM), atomic force microscopy (AFM) dan
scanning near-field optical microscope (SNOM)