1..

Apakah Yang Dimaksud Dengan Teknologi Nano?

Teknologi Nano adalah teknologi yang telah teruji mampu memecah atom hingga ke
ukuran yang lebih kecil / halus pada skala nano. Wujud nano itu sendiri terletak di
dalam dimensi 1/10.000.000 meter hingga 1/1.000.000.000 meter. Berbagai bidang
saat ini telah menggunakan teknologi nano, misalnya bidang ilmu pengetahuan,
teknologi, kesehatan / pengobatan dan lain-lain.

Perbandingan Skala Nano

1 nanometer = 1/1.000.000.000 meter, ketebalan selembar kertas sama dengan

100.000 nano meter. Perbandingan lain ialah sel gen DNA manusia sama dengan
2.5 nanometer. Sementara sel darah merah kita sama dengan 2.5 mikrometer.

Hasil Penelitian Nanotech

Teknologi Nano telah diuji dan meliputi berbagai bidang, kami sendiri menggunakan
teknologi ini pada produk kami, diantaranya: Nano Series dan Jilbab Binchotan serta
Series Binchotan.

Penelitian lain yang menggunakan Nanotech ialah:

Enamel gigi buatan.
Bahan bakar dari air.
Pengobatan untuk penyakit AIDS & Kanker.
Pengobatan untuk kardiovaskular dalam menanggulangi kolesterol.

Nanotech Dalam Kehidupan Manusia

Teknologi Nano telah banyak dikenal memiliki nilai positif yang sangat berguna bagi
manusia, seperti melalui hasil penelitian maupun dari hasil-hasil yang telah teruji,
dan telah diproduksi secara masal seperti yang terdapat pada produk Nano Water
Can ini.

Melalui produk-produk yang menggunakan teknologi nano ini diharapkan dapat

memberikan manfaat lebih kepada konsumen yang peduli pada kesehatan.
 Maka, mulailah dari diri anda untuk meningkatkan kesehatan dan mengajak teman-
teman anda untuk ikut bergabung bersama-sama menuju kehidupan yang lebih
sehat.

2.

BAB 1
PENDAHULUAN
A. Latar Belakang
Berbicara tentang teknologi nano, maka tidak akan bisa lepas dari mikroskop, yaitu alat
pembesar untuk melihat struktur benda kecil tersebut. (Teknologi nano : teknologi yang
berbasis pada struktur benda berukuran nano meter. Satu nano meter = sepermilyar
meter).Tentu yang dimaksud di sini bukanlah mikroskop biasa, tetapi mikroskop yang
mempunyai tingkat ketelitian (resolusi) tinggi untuk Melihat struktur berukuran nano meter
Untuk melihat benda berukuran di bawah 200 nanometer, diperlukan mikroskopdengan
panjang gelombang pendek.Dari ide inilah, di tahun 1932 lahir mikroskop
elektron.Sebagaimana namanya, mikroskop elektron menggunakan sinar elektron yang
panjanggelombangnya lebih pendek dari cahaya.Karena itu, mikroskop elektron
mempunyaikemampuan pembesaran obyek (resolusi) yang lebih tinggi dibanding mikroskop
optik.Sebenarnya, dalam fungsi pembesaran obyek, mikroskop elektron juga menggunakan
lensa,namun bukan berasal dari jenis gelas sebagaimana pada mikroskop optik, tetapi dari
jenismagnet. Sifat medan magnet ini bisa mengontrol dan mempengaruhi elektron
yangmelaluinya, sehingga bisa berfungsi menggantikan sifat lensa pada mikroskop optik.
Kekhususan lain dari mikroskop elektron ini adalah pengamatan obyek dalam kondisi
hampaudara (vacuum). Hal ini dilakukan karena sinar elektron akan terhambat alirannya
bilamenumbuk molekul-molekul yang ada di udara normal. Dengan membuat ruang
pengamatan obyek berkondisi vacum, tumbukan elektron-molekul bisa terhindarkan (
Oktaviana, 2009 ).
Konsep awal yang melibatkan teori scanning mikroskop elektron pertama kali diperkenalkan
di Jerman (1935) oleh M. Knoll.Konsep standar dari SEM modern dibangun oleh von
Ardenne pada tahun 1938 yang ditambahkan scan kumparan ke mikroskop elektron
transmisi.Desain SEM dimodifikasi oleh Zworykinpada tahun 1942 ketika bekerja untuk
RCA Laboratories di Amerika Serikat.Desain kembali direkayasa oleh CW pada tahun 1948
seorang profesor di Universitas Cambridge.Sejak itu,semakin banyak bermunculan kontribusi
signifikan yang mengoptimalkan perkembangan modern mikroskop elektron.

Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai terfokus balok halus
elektron ke sampel.Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari
elektron menuju ke sampel secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang
dihasilkan dari sampel. Serangkaian energi elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis
oleh sebuah mikroprosesor yang canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau
spektrum elemen yang unik yang ada dalam sampel dianalisis.Ini adalah rangkaian elektron
yang dibelokkan oleh tumbukan dengan elektron sampel.Sebelum menjelajahi jenis elektron
dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi
 diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan.Sepanjang sejarah banyak fisikawan,
matematikawan, dan ahli kimia mempelajari unsur-unsur di bumi. Beberapa nama

Ini adalah karya Proust yang terinspirasi John Dalton (1766-1844) untuk mengembangkan
hipotesis-nya ke "Hukum perbandingan berganda":
Ketika dua unsur membentuk suatu rangkaian senyawa, rasio massa dari elemen kedua yang
menggabungkan dengan 1 gram dari elemen pertama selalu bisa direduksi menjadi bilangan
bulat kecil.
Seorang ahli kimia Rusia bernama Dmitri Mendeleev (1834-1907) menyusun 63 unsur yang
dikenal ke tabel berdasarkan massa atom mereka.Susunan elemen akhirnya berubah menjadi
tabel periodik modern unsur digunakan di seluruh dunia.

Melalui kerja keras orang-orang ini dan sejumlah orang lain, sejumlah besar informasi yang
disusun dan diuji untuk menetapkan prinsip dasar digunakan saat ini dalam pengembangan
mikroskop elektron scanning modern. Sebelum menjelajahi lebih lanjut ke teori dan
fungsionalitas dari EDX / mikroskop SEM, itu adalah layak disebut dualitas elektron dan x-
ray.Awal percobaan dengan elektron dan karakteristik fisik telah menyebabkan ilmuwan
untuk memodifikasi pemahaman dasar fisika.Sebelum kemajuan teknologi modern, banyak
ilmuwan harus menjelaskan perilaku fisik berdasarkan interaksi kimia yang dilihat dengan
mata telanjang.Ketika prinsip-prinsip radiasi elektro magnetik pertama kali diperkenalkan,
konsep ini paling mudah dijelaskan sebagai gelombang yang berjalan di panjang dan
frekuensi tertentu.Kemudian eksperimen menunjukkan bahwa cahaya dan x-rays partikel
aktual yang dapat dideteksi.Singkatnya, rontgen dianggap baik sebagai gelombang dan
partikel.Lebih khusus, mereka adalah paket kecil dari gelombang elektromagnetik yang
disebut kuanta atau partikel yang disebut foton.

Tergantung pada jenis informasi analis yang tertarik pada jenis elektron satu studi. Setiap
elektron yang dihasilkan dari berkas elektron primer yang dihasilkan oleh SEM ketika
melanggar sampel yang diberikan menghasilkan elektron energi tertentu yang dapat
diukur.Jenis-jenis elektron yang dihasilkan untuk setiap contoh yang diberikan perlu terlebih
dahulu dieksplorasi.Elektron yang dihasilkan dari komposisi molekul sampel diklasifikasikan
sebagai baik dan elektron inelastis elastis.

Elektron inelastik adalah elektron energi rendah dibelokkan dari sampel.Kebanyakan diserap
oleh spesimen, tetapi mereka yang melarikan diri dekat permukaan.Elektron ini disebut
elektron sekunder, yaitu energi elektron muncul kurang dari 50eV, 90% dari elektron
sekunder memiliki energi kurang dari 10 eV, sebagian besar dari 2 sampai 5 eV.Elektron
sekunder memberikan informasi topografi permukaan dan putih, tiga dimensi gambar hitam
sampel.Ini adalah gambar paling umum kebanyakan orang mengasosiasikan dengan
SEM.Elektron elastis adalah setiap elektron yang berinteraksi dengan berkas elektron utama
untuk menghasilkan energi spesifik dari tabrakan dan menahan sebagian besar
energinya.Elektron ini dikategorikan sebagai:
Elektron Backscattered-menghasilkan komposisi dan crystallographical informasi
permukaan, topologi.
Diserap saat ini yang memungkinkan studi struktur internal semi-konduktor atau (EBIC).
Cathodluminescence-menunjukkan dan energi tingkat distribusi di fosfor.
elektron Auger-berisi informasi dan kimia unsur dari lapisan permukaan.
Karakteristik X-ray radiasi-hasil Mikroanalisis dan distribusi unsur-unsur sampel yang
diberikan.
Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk menganalisa suatu sampel tertentu
menggunakan salah satu metode yang disebutkan di atas. Sayangnya, setiap jenis analisis
dianggap merupakan tambahan perangkat aksesori untuk SEM.Yang paling umum aksesori
dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi x-ray detektor atau EDX (kadang-kadang
disebut sebagai EDS).Jenis detektor memungkinkan pengguna untuk menganalisis sampel
komposisi molekul.

Dengan biaya-biaya dari Scanning Electron Microscopes (SEM) yang turun dalam beberapa
tahun terakhir, SEM berubah melebihi pusat bursa yang berkisar pada pusat-pusat penelitian,
universitas, pusat-pusat analisis, dan sebagainya menjadi suatu alat yang aplikasinya lebih
luas yang mencakup sekolah-sekolah tinggi dan divisi pengendalian mutu dari banyak
industri. Demikian juga dengan munculnya kebutuhan untuk memahami komposisi dan
distribusi dari unsur-unsur disamping untuk mengamati bentuk material, sekarang telah lazim
untuk bisnis dan organisasi-organisasi memperkenalkan alat analisa Energy Dispersive X-
Ray (EDX) pada waktu yang bersamaan dengan pembelian SEM.

SEM dan EDX telah dirancang secara konvensional untuk penggunaannya oleh ahli teknologi
analitis. Akan tetapi, dengan perkembangan bursa dari SEM/EDX yang cepat, dibutuhkan
perkembangan untuk meningkatkan kemampuan dari alat-alat ini sehingga dapat digunakan
dengan mudah oleh ahli mesin yang bekerja dalam Pengendalian mutu.

Juga dengan kemajuan dalam bidang elektronik, operasi SEM/EDX telah berubah dari analog
menjadi operasi digital, dengan pengatur alat dan pengolahan data yang dilakukan oleh
computer. Biasanya, suatu sistem operasi WindowsTM dan aplikasi Windows digunakan,
membuat lingkungan system yang hampir setiap orang dapat menggunakan dengan mudah.

Berdasarkan pada kebutuhan dan perubahan bursa dalam lingkungan teknologi, maka
dibuatlah SEM-EDX yang merupakan suatu system analisis yang menggabungkan SEM dan
EDX menjadi satu unit.

BAB 11
TINJAUAN PUSTAKA
A. Pengertian
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu jenis mikroscop electron yang
menggunakan berkas electron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material yang
dianalisis. Prinsip kerja dari SEM ini adalah dengan menggambarkan permukaan benda atau
material dengan berkas electron yang dipantulkan dengan energy tinggi. Permukaan material
yang disinari atau terkena berkar electron akan memantulkan kembali berkas electron atau
dinamakan berkas electron sekunder ke segala arah. Tetapi dari semua berkas electron yang
dipantulkan terdapat satu berkas electron yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi.
 Detector yang terdapat di dalam SEM akan mendeteksi berkas electron
berintensitas tertinggi yang dipantulkan oleh benda atau material yang dianalisis. Selain itu
juga dapat menentukan lokasi berkas electron yang berintensitas tertinggi itu.
Ketika dilakukan pengamatan terhadap material, lokasi permukaan benda yang ditembak
dengan berkas elektron yang ber intensitas tertinggi di scan keseluruh permukaan material
pengamatan. Karena luasnya daerah pengamatan kita dapat membatasi lokasi pengamatan
yang kita lakukan dengan melakukan zoon in atau zoon out. Dengan memanfaatkan
berkas pantulan dari benda tersebut maka informasi dapat di ketahui dengan menggunakan
program pengolahan citra yang terdapat dalam computer.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada
mikroskop optic. Hal ini di sebabkan oleh panjang gelombang de Broglie yang memiliki
electron lebih pendekdek daripada gelombang optic. Karena makin kecil panjang gelombang
yang digunakan maka makin tinggi resolusi mikroskop.
(Gambar SEM)
SEM mempunyai depthoffield yang besar, yang dapat memfokuskan jumlah sampel yang
lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga
dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, yang berarti mendekati
bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasiperbesaranyanglebihtinggi,darkfield,resolusi yang lebih besar,dankomposisi serta
informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari peralatan yang paling banyak
digunakan dalam penelitian, R& D industri khususnya industri semikonductor
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu
mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibawah
ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya Dengan elektron

Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis
pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda
maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti
pada gambar dibawah ini.

1. Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas
elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat
dibelokkan oleh medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang
lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai
sasaran sehingga menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting.

SEM tersusun dari beberapa bagian yang dapat dibuat suatu skema seperti berikut

a. Penembak Elektron (Elektron Gun)

Ada dua tipe dari elektron Gun, yaitu:

1.Termal

Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan ialah dalam bentuk

energi panas. Oleh elektron energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakinbesar
panas yang diterima oleh bahan maka akan semakin besar pula kenaikan energy kinetik yang
terjadi pada elektron, dengan semakin besarnya kenaikan energi kinetic dari elektron maka
gerakan elektron menjadi semakin cepat dan semakin tidakmenentu. Pada situasi inilah akan
terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluarmelalui permukaan bahan. Pada proses
emisi thermionic dan juga pada proses emisilainnya, bahan yang digunakan sebagai asal
ataupun sumber elektron disebut sebagai"emiter" atau lebih sering disebut "katoda"
(cathode), sedangkan bahan yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks
tabung hampa (vacuumtube) anoda lebih sering disebut sebagai "plate". Dalam proses emisi
thermionic dikenal dua macam jenis katoda yaitu :

a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)

b) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)

Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arusheater
(pemanas).Material yang digunakan untuk membuat katoda diantaranya adalah :

Tungsten Filamen
Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk membuatkatode.
Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai katoda yaitumemiliki ketahanan
mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 derajatCelcius), sehingga tungsten
banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung XRayyang bekerja pada tegangan sekitar
5000V dan temperature tinggi. Akan tetapiuntuk aplikasi yang umum terutama untuk aplikasi
Tabung Audio dimana tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten
bukan material yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang
tinggi( 4,52 eV) danjuga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar 2200 derajat
celcius).
2. Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan ialahadanya gaya
tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada katoda yangdigunakan pada proses
emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besarsehingga tarikan yang terjadi dari medan
listrik pada elektron menyebabkanelektron memiliki energi yang cukup untuk lompat keluar
dari permukaan katoda.Emisi medan listrik adalah salah satu emisi utama yang terjadi pada
vacuum tubeselain emisi thermionic.

Jenis katoda yang digunakan adalah :

Cold Field Emission
Schottky Field Emission Gun

b. lensa Magnet
c. secondary Elektron Detector
d. Backcattered Electron Detector
Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyekbenda
berukuran nano meter.Meskipun demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkanuntuk scan
dalam arah horizontal, sedangkan scan secara vertikal (tinggi rendahnyastruktur) resolusinya
rendah.Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahuipemecahannya. Namun
demikian, sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkanmikroskop baru yang mempunyai
resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secaravertikal, yang dikenal dengan "scanning
 probe microscopy (SPM)"( Oktaviana, 2010 ). Di bawah ini disajikan hasil pengamatan SEM
dengan berbagai batasdan kemungkinan pembesarannya.

B. Prinsip Kerja Alat

1. Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:
Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan
diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT).

Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis
didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar
dibawah ini.

Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut:
elektron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi
berwarna lebih cerah dari permukaan rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan
perbedaan berat molekul dari atom atom yang menyusun permukaan, atom dengan berat
molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah.
Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.

Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini.
Permukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar
yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah atau datar.

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah
ini yang secara prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan
memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas
rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis atom.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti
lebih banyak mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat
SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS
dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan menembakkan sinar X pada posisi yang
ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan
maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan
memberikan warna berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS
bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen.
Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagram dibawah ini.
 (sumber: umich.edu)

C. Prinsip Operasi
Insiden elektron sinar membangkitkan elektron dalam keadaan energi yang lebih rendah,
mendorong ejeksi mereka dan mengakibatkan pembentukan lubang elektron dalam struktur
elektronik atom.Elektron dari kulit, energi luar yang lebih tinggi kemudian mengisi lubang,
dan kelebihan energi elektron tersebut dilepaskan dalam bentuk foton sinar-X. Pelepasan ini
sinar-X menciptakan garis spektrum yang sangat spesifik untuk setiap elemen. Dengan cara
ini data X-ray emisi dapat dianalisis untuk karakterisasi sampel di pertanyaan. Sebagai
contoh, kehadiran tembaga ditunjukkan oleh dua K puncak disebut demikian (K dan K
) pada sekitar 8,0 dan 8,9 keV dan puncak L pada 0,85 eV. Dalam unsur-unsur berat seperti
tungsten, sebuah ot transisi yang berbeda yang mungkin dan banyak puncak karena itu hadir(
Irawan, 2010 ).

Pada SEM sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari tumbukan
elektron dengan sampel yang ditangkap oleh detektor dan diolah( Oktoviawan, 2009 ).
D. Instrumentasi

Konfigurasi Sistem

Dengan system konvensional, EDX yang berdiri sendiri dikombinasikan dengan SEM yang
terpisah, sehingga operator harus belajar menggunakan kedua system, dan masing-masing
system harus dioperasikan secara terpisah. Melalui SEM-EDX, SEM dan EDX digabungkan
menjadi satu unit, mengurangi kebutuhan akan Operasi yang komplek/ rumit.
Fungsi dari suatu SEM dan EDX digabungkan menjadi satu unit, sehingga konfigurasi dapat
dibagi menjadi unit SEM dan unit EDX. Unit SEM terdiri dari detektor EDX, dan panel
operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard dan mouse. Untaian pengendali EDX, 2
komputer dan disk drive MO ditempatkan dalam suatu rak padat terletak di sebelah panel
operasi. Gambar 2 menunjukkan bagian luar dari gabungan SEM-EDX dan gambar 3
menunjukkan konfigurasi/susunan system
Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam suatu alat SEM-EDX, computer dari
tiap unit dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian data, dan software Hi-Mouse
yang dikembangkan memberikan pengoperasian yang mudah. Dengan Ethernet dan software
Hi-Mouse, satu keyboard, satu mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan dengan
lembut fungsi dari SEM maupun EDX.

Hubungan user pada unit SEM berdedikasi pada jendela EDX yang dapat digunakan untuk
mengontrol unit EDX. Folder-folder windows dapat diatur menjadi shared, mengizinkan
data dibagi antara 2 komputer. Cara kerja jauh lebih sederhana, dan menampilkan gambar
lebih mudah, melalui pengaturan salah satu monitor untuk menampilkan gambar pengamatan
dan monitor yang Monitor yang lai menampilkan data analisis.Karena masing-masing system
harus dioperasikan secara terpisah, maka perlu dipelajari operasi dari SEM dan EDX secara
tersendiri.
E. Aplikasi
SEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energi analisis yang dilakukan
dengan menggunakanSEM . Alat dipakai umumnya untuk aplikasi yang cukup bervariasi
 pada permasalahan eksplorasi dan produksi migas, termasuk didalamnya: Evaluasi kualitas
batuan reservoir melalui studi diagnosa yang meliputi identifikasi dan interpretasi keberadaan
mineral dan distribusinya pada sistem porositas batuan. Investigasi permasalahan produksi
migas seperti efek dari clay minerals, steamfloods dan chemical treatments yang terjadi pada
peralatan pemboran, gravelpacks dan pada reservoir
Identifikasi dari mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan pengendapan Taufik,
2008).
Instrumen ini sangat cocok untuk berbagai jenis investigasi. Hal ini mungkin untuk
menyelidiki misalnya struktur serat kayu dan kertas, logam.permukaan fraktur, produksi
cacat di karet dan plastic. Detail terkecil yang dapat dilihat pada gambar SEM adalah 4-5 nm
(4-5 sepersejuta milimeter). Detail terkecil yang dapat dianalisis adalah pM 2-3 (2-3
seperseribu milimeter).
Aplikasi dari teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut:

1.Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)

2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif
dan kualitatif.

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:

1. Memerlukan kondisi vakum

2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti
emas.

BAB 111
PENUTUP

A. KESIMPULAN

Hampir sama dengan SEM hanya saja pada SEM EDX merupakan dua perangkat analisis
yang digabungkan menjadi satu panel analitis sehingga mempermudah proses analitis dan
lebih efisien. Pada dasarnya SEM EDX merupakan pengembangan SEM. Analisa SEM EDX
dilakukan untuk memproleh gambaran permukaan atau fitur material dengan resolusi yang
sangat tinggi hingga memperoleh suatu tampilan dari permukaan sampel yang kemudian di
komputasikan dengan software untuk menganalisis komponen materialnya baik dari
kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya.Daftar berikut ini merangkum fungsi yang
berkontribusi pada operabilitas luar biasa dari SEM-EDX.

1. Menu Fungsi ini digunakan untuk mengatur secara bersamaan, menyimpan, dan mengingat
parameter untuk analisis SEM dan EDX.
2. Kondisi pengukuran EDX dapat diatur dari Unit SEM (Spektral pengukuran, multi-titik
pengukuran, pemetaan, tampilan menganalisis elemen pada SEM monitor).
3. Image data yang diperoleh dengan SEM dapat digunakan sebagai data dasar untuk EDX.
4. Menetapkan kondisi untuk unit SEM secara otomatis dipindahkan ke unit EDX( Rahmat,
2010 ).

3..

Studi Mikrobiologi yang digunakan sampai sekarang

Posted January 8, 2011 by aguskrisno in KAJIAN MIKROBIOLOGI UMUM. Leave a
Comment
1. Mikroskop oleh Anthony Van Leeuwenhoek (1632-1723)
Penemu mikroba pertama adalah Anthony Van Leeuwenhoek (1632-1723).
Penemuan ini diawali oleh penemuan mikroskop. Lensa mikroskop buatannya masih
sangat terbatas perbesarannya (200-300 kali). Mikroskopnya mempunyai sedikit
mempunyai persamaan dengan mikroskop sekarang. Dengan sarana ini dia dapat
mengamati mikroorganisme di dalam air hujan, air laut, bahan pengorekan dari sela-
sela gigi, campuran yang sedang berfermentasi dan berbagai bahan lainnya,
kemudian ia menamai hewan temuan pertamanya ini dengan nama hewan kecil
(animalcule).
1.1 Perkembangan Mikroskop Sampai Sekarang
a. Mikroskop Cahaya

Keterbatasan pada mikroskop Leeuwenhoek adalah pada kekuatan lensa cembung

yang digunakan. Pada perkembangan selanjutnya ditambahkan pengatur jarak
antara kedua lensa untuk mempertajam fokus, cermin atau sumber pencahayaan
lain, penadah obyek yang dapat digerakkan dan lain-lain, yang semua ini merupakan
dasar dari pengembangan mikroskop modern yang kemudian disebut mikroskop
cahaya Light Microscope (LM). LM modern mampu memberikan pembesaran
(magnifikasi) sampai 1.000 kali dan memungkinkan mata manusia dapat
membedakan dua buah obyek yang berjarak satu sama lain sekitar 0,0002 mm
(disebut daya resolusi 0,0002 mm). Seperti diketahui mata manusia yang sehat
disebut-sebut mempunyai daya resolusi 0,2 mm. Pada pengembangan selanjutnya
diketahui bahwa kemampuan lensa cembung untuk memberikan resolusi tinggi
sudah sampai pada batasnya, meskipun kualitas dan jumlah lensanya telah
ditingkatkan.
b. Mikroskop Elektron

Mikroskop electron mampu pembesaran objek sampai 2 juta kali, yang

menggunakan elektro statik dan elektro magnetik untuk mengontrol pencahayaan
dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan pembesaran objek serta resolusi
yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron ini
menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih
pendek dibandingkan mikroskop cahaya. Dengan mikroskop elektron yang
mempunyai perbesaran lebih dari 10.000x, kita dapat melihat objek mikroskop
dengan lebih detail. Perkembangan mikroskop ini mendorong berbagai penemuan di
bidang biologi, seperti penemuan sel, bakteri, dan partikel mikroskopis yang akan
dipelajari berikut yaitu virus. Penemuan virus melalui perjalanan panjang dan
melibatkan penelitian dari banyak ilmuwan.
c. Mikroskop Elektron Mode Scanning
1. Transmission Electron Microscopy (TEM)
Dikembangkan pertama kali oleh Ernst Ruska dan Max Knoll, 2 peneliti dari Jerman
pada tahun 1932. Sebagaimana namanya, TEM bekerja dengan prinsip
menembakkan elektron ke lapisan tipis sampel, yang selanjutnya informasi tentang
komposisi struktur dalam sample tersebut dapat terdeteksi dari analisis sifat
tumbukan, pantulan maupun fase sinar elektron yang menembus lapisan tipis
tersebut. Dari sifat pantulan sinar elektron tersebut juga bisa diketahui struktur
kristal maupun arah dari struktur kristal tersebut. Bahkan dari analisa lebih detail,
bisa diketahui deretan struktur atom dan ada tidaknya cacat (defect) pada struktur
tersebut. Hanya perlu diketahui, untuk observasi TEM ini, sample perlu ditipiskan
sampai ketebalan lebih tipis dari 100 nanometer. Dan ini bukanlah pekerjaan yang
mudah, perlu keahlian dan alat secara khusus. Obyek yang tidak bisa ditipiskan
sampai order tersebut sulit diproses oleh TEM ini. Dalam pembuatan divais
elektronika, TEM sering digunakan untuk mengamati penampang/irisan divais,
berikut sifat kristal yang ada pada divais tersebut. Dalam kondisi lain, TEM juga
digunakan untuk mengamati irisan permukaan dari sebuah divais.
2. Scanning Electron Microscopy (SEM)
Keterangan: 1. Scanning Electron Microscopy (SEM)
2. Scanning probe microscopy (SPM)
3. Scanning tunneling microscope (STM)
4. atomic force microscope (AFM)
5. Scanning near-field optical microscope (SNOM)
SEM bekerja berdasarkan prinsip scan sinar elektron pada permukaan sampel, yang
selanjutnya informasi yang didapatkan diubah menjadi gambar. Imajinasi
mudahnya gambar yang didapat mirip sebagaimana gambar pada televisi. Demikian,
SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyek benda
berukuran nano meter. Meskipun demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkan
untuk scan dalam arah horizontal, sedangkan scan secara vertikal (tinggi rendahnya
struktur) resolusinya rendah. Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahui
pemecahannya. Namun demikian, sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkan
mikroskop baru yang mempunyai resolusi tinggi baik secara horizontal maupun
secara vertikal, yang dikenal dengan scanning probe microscopy (SPM). SPM
mempunyai prinsip kerja yang berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan
generasi baru dari tipe mikroskop scan. Mikroskop yang sekarang dikenal
mempunyai tipe ini adalah scanning tunneling microscope (STM), atomic force
microscope (AFM) dan scanning near-field optical microscope (SNOM). Mikroskop
tipe ini banyak digunakan dalam riset teknologi nano
3. Mikroskop dan Teknologi Nano
Sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkan mikroskop baru yang mempunyai
resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secara vertikal, yang dikenal dengan
scanning probe microscopy (SPM). SPM mempunyai prinsip kerja yang berbeda
dari SEM maupun TEM dan merupakan generasi baru dari tipe mikroskop scan.
Mikroskop yang sekarang dikenal mempunyai tipe ini adalah scanning tunneling
microscope (STM), atomic force microscope (AFM) dan scanning near-field optical
microscope (SNOM).
Sampai hari ini telah berhasil dikembangkan mikroskop dengan teknologi nano.
Yaitu teknologi yang berbasis pada struktur benda berukuran nano meter. Satu nano
meter = sepermilyar meter). Tentu yang dimaksud di sini bukanlah mikroskop biasa,
tetapi mikroskop yang mempunyai tingkat ketelitian (resolusi) tinggi untuk melihat
struktur berukuran nano meter.
Peran Mikroskop Pada Masa Sekarang
a. Untuk mempelajari patogen-patogen dari mikroba, serta kajian-kajian mengenai
Imunologi seperti vaksinasi untuk berbagai macam penyakit, contohnya Louis
Pasteur yang mengembangkan vaksin untuk penyakit kolera ayam, antraks, dan
rabies.
b. Sebagai alat untuk mendeteksi mikroba yang di gunakan dalam penelitian-
penelitian masa kini seperti dalam bidang genetika, biokimia, dan biologi molekuler.
c. Untuk mengidentifikasi munculnya berbagai jenis penyakit baru yang
disebabkan oleh mikroorganisme.
d. Untuk meneliti banyak mikroorganisme yang belum dapat diidentifikasi
sebelumnya.
e. Untuk menghitung jumlah bakteri dalam susu yaitu cara perhitungan langsung.
Scanning Electron Microscopy (SEM)
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm
sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil
gambar mikroskop cahaya dengan elektron.

Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna
untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu
pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti pada gambar dibawah ini.

Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
1. Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh
medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang lain elektron yang
berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan
molekul udara menjadi sangat penting.
Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:
1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan diterima oleh
detektor dan dikirim ke monitor (CRT).
Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal elektron
sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered electron.
Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar dibawah ini.

Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut: elektron
sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi berwarna lebih cerah dari
permukaan rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan perbedaan berat molekul dari atom atom
yang menyusun permukaan, atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan
berat molekul rendah. Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.
Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini. Permukaan yang tinggi akan
lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang
rendah atau datar.

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah ini yang secara
prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron
sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan
jenis atom.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti lebih banyak
mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan
kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan
menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi
yang diinginkan maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan memberikan warna
berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk menganalisa
secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen. Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada
diagram dibawah ini.

(sumber: umich.edu)

Aplikasi dari teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut:

1. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan kualitatif.
Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:
1. Memerlukan kondisi vakum
2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas.
Scanning Electron Microscope (SEM)
Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang dapat melakukan pembesaran
objek sampai 2 juta kali. Mikroskop ini menggunakan elektrostatik dan elektromagnetik untuk
mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan pembesaran
objek serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron
menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek
dibandingkan mikroskop cahaya (Anonymous, 2012).

Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang

didesain untuk mengamati permukaan objek solid secara langsung. SEM memiliki
perbesaran 10 3.000.000 kali, depth of field 4 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 10 nm.
Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik,
kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM banyak
digunakan untuk keperluan penelitian dan industri (Prasetyo, 2011). Anonymous (2012)
menambahkan, SEM memfokuskan sinar elektron (electron beam) di permukaan obyek dan
mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang muncul dari permukaan obyek.

Alasan Menggunakan Elektron

Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu
mencapai 200nm, sedangkan elektron dapat mencapai resolusi hingga 0,1 0,2 nm.
Berikut ini merupakan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya dengan SEM (Material
Cerdas, 2009).

Gambar 1. Perbandingan Hasil Mikroskop Cahaya dengan SEM

Dengan menggunakan elektron akan didapatkan beberapa jenis pantulannya yang

berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan
timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti pada
gambar dibawah ini (Material Cerdas, 2009).
 Gambar 2. Pantulan elastis dan pantulan non elastis

PRINSIP KERJA SEM

Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:

1. Electron gun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya electron gun yang
digunakan adalahtungsten hairpin gun dengan filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi
sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada lilitan mengakibatkan terjadinya
pemanasan. Anoda kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju
menuju ke anoda.

2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu titik pada permukaan sampel.

3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.

4. Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron, baik Secondary
Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel dan akan
dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada monitor CRT.

Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

 Gambar 3. Mekanisme Kerja SEM

Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X. Sedangkan dari pantulan
elastis didapatkan sinyal backscattered elektron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada
gambar berikut ini.

Gambar 4. Sinyal-sinyal dalam SEM

Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada
mikroskop cahaya dan TEM. Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron
sekunder atau backscaterred elektron yang muncul dari permukaan sampel ketika
 permukaan sampel tersebut dipindai dengan elektron. Elektron-elektron yang terdeteksi
selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi
gelap-terang pada monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur
obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan
sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3
dimensi (Anonymous, 2012).

KOMPONEN UTAMA SEM

SEM memiliki beberapa peralatan utama, antara lain:

1. Penembak elektron (electron gun)

1) Ada dua jenis atau tipe dari electron gun yaitu :

a) Termal

Pada jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan dalam bentuk energi panas. Energi
panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar panas yang diterima bahan maka
akan semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi pada electron. Pada situasi
inilah akan terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluarmelalui permukaan bahan.
Bahan yang digunakan sebagai sumber elektron disebut sebagai emiter atau lebih sering
disebut katoda. Sedangkan bahan yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam
konteks tabung hampa (vacuum tube) anoda lebih sering disebut sebagai plate. Dalam
proses emisi termal dikenal dua macam jenis katoda yaitu :

a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)

b) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)

Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arus
heater (pemanas).Material yang digunakan untuk membuat katoda diantaranya adalah :

2) Tungsten Filamen

Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk
membuatkatode. Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai katoda
yaitumemiliki ketahanan mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 oC), sehingga
tungsten banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung XRay yang bekerja pada
tegangan sekitar 5000 V dan suhu tinggi. Akan tetapiuntuk aplikasi yang umum terutama
untuk aplikasi Tabung Audio dimana tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi
 maka tungsten bukan material yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi
kerja yang tinggi (4,52 eV) danjuga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar
2200 oC).

3) Field emission

Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan
ialahadanya gaya tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada katoda
yangdigunakan pada proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besarsehingga
tarikan yang terjadi dari medan listrik pada elektron menyebabkanelektron memiliki energi
yang cukup untuk lompat keluar dari permukaan katoda.Emisi medan listrik adalah salah
satu emisi utama yang terjadi pada vacuum tubeselain emisi thermionic.

Jenis katoda yang digunakan diantaranya adalah :

- Cold Field Emission

- Schottky Field Emission Gun

2. Lensa Magnetik

Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser lens. Condenser
lens kedua (atau biasa disebut dengan lensa objektif) memfokuskan electron dengan
diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm.

3. Detektor

SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap hamburan

elektron dan memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara
lain:

- Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai nomor atom
dan topografi.

- Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai topografi

(Prasetyo, 2011).

4. Sample Holder

Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM.

5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)

Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat.
a) Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan cahaya,
dan sebagainya).

b) Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat
pada Integrated Circuit (IC)dan chip, dan sebagainya).

c) Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek (titik
lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).

d) Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir di

dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya). (Prasetyo,
2011).

Jenis sampel yang dapat dianalisa: sampel biologi atau material padat.
Aplikasi (analisa sampel):

1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, keramik, fosil,
butiran, karbon, campuran partikel logam, sampel Arkeologi.
2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan
cacing. Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil dan sampel
arkeologi (Sudarman dkk., 2011).

KELEBIHAN - KELEMAHAN SEM

Adapun kelebihan teknik SEM yaitu terdapat sistem vakum pada electron-optical
column dan sample chamber yang bertujuan antara lain:
Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena adanya
molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat mengakibatkan penurunan intensitas dan
stabilitas.
Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau mengendap pada
sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun mikroskop. Karena apabila hal tersebut
terjadi, maka akan menurunkan kontras dan membuat gelap detail pada gambar (Prasetyo,
2011).
Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:
Memerlukan kondisi vakum
Hanya menganalisa permukaan
Resolusi lebih rendah dari TEM
 Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam
seperti emas (Material Cerdas, 2009).
SEM mempunyai depth of field yang besar, yang dapat memfokus jumlah sampel yang lebih banyak pada satu
waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan
dengan resolusi tinggi, yang berarti mendekati bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasinya adalah perbesaran yang lebih tinggi, dark field, resolusi yang lebih besar, dan komposisi serta
informasi kristallografi. Sem terdiri dari electron optic columb dan electron console. sampel sem ditempatkan
pada specimen chamber di dalam electron optic colomb dengan tingkat kevakuman yang tinggi yaitu sekitar 2 x
10-6 Trorr.

Sinar electron yang dihasilkan dari electron gun akan dialirkan hingga mengenai sampel. Aliran sinar electron
ini akan melewati optic columb yang berfungsi untuk memfokuskan sinar electron hingga mengenai sampel
tersebut.
Untuk mengetahui morfologi senyawa padatatan dan komposisi unsure yang terdapat dalam suatu senyawa
dapat digunakan alat scanning electron microscope (SEM). Scanning Electron Microscope adalah suatu tipe
mikroskop electron yang menggambarkan permukaan sampel melalui proses scan dengan menggunakan
pancaran energy yang tinggi dari electron dalam suatu pola scan raster. Electro berinteraksi dengan atom atom
yang membuat sampel menghasilkan sinyal yang memberikan informasi mengenai permukaan topografi sampel,
komposisi dan sifat sifat lainnya seperti konduktivitas listrik.
Tipe sinyal yang dihasilkan oleh sem dapat meliputi electron secunder, sinar X karakteristik dan cahaya
(katoda luminisens). Sinyal terswebut dating dari hamburan electron dari permukaan unsure yang berintaraksi
dengan sampel atau didekatkan permukaannya. Sem dapat menghasilkan gambar dengan resolusi yang tinggi
dari suatu permukaan sampel, menangkap secara lengkap dengan ukuran sekitar 1 5 nm. Agar menghasilkan
gambar yang diinginkan maka SEM mempunya sebuah lebar focus yang sangat besar (biasanya 25 250.000
kali pembesaran). SEm dapat menghasilkan karakteristik bentuk 3 dimensi yang berguna untuk memahami
struktur permukaan dari suatu sampel. (Hasrin, 2010)
Menurut Suriana bahwa data yang diperoleh dari hasil SEM EDX dapat dianalisa baik secara kuantitatif
maupun kualitatif, karena dari data yang diperoleh dapat diketahui enis atau unsure unsure mineral yang
terkandung dalam suatu sampel yang dianalisasi dan menginformasikan jumlah / proporsi dari tiap tiap jenis
mineral atau unsure yang diperoleh tersebut. Hasil dari SEM-EDX berupa gambar struktur permukaan dari
sampel yang diperoleh dari analisis SEM dan grafik antara nilai energy dengan cacahan yang diperoleh dari
analisis EDX.

SEM dapat Mengamati struktur maupun bentuk permukaan yang berskalah lebih halus,
Dilengkapi Dengan EDS (Electron Dispersive X ray Spectroscopy) dan Dapat mendeteksi unsur2
dalam material. Juga Permukaan yang diamati harus penghantar electron

Pada pengambilan data dengan alat SEM-EDX, sampel bubuk yang telah diletakkan di atas
specimen holder dimasukkan kedalam specimen chamber, kemudian dimasukkan dalam alat SEM-
EDX dan alat siap untuk dioperasikan.

Dalam pengukuran SEMEDX untuk setiap sampel dianalisis dengan

menggunakan analisis area. Sinar electron yang di hasilkan dari area gun dialirkan
hingga mengenai sampel. Aliran sinar electron ini selanjutnya di fokuskan
menggunakan electron optic columb sebelum sinar electron tersebut membentuk
atau mengenai sampel. Setelah sinar electron membentuk sampel, aka terjadi
beberapa interaksi interaksi pada sampel yang disinari. Interaksi interaksi pada
sampel yang disinari. Interaksi interaksi yang terjadi tersebut selanjutnya akan
dideteksi dan di ubah ke dalam sebuah gambar oleh analisis SEM dan juga dalam
bentuk grafik oleh analisis EDX.
 Pada pengukuran SEM EDX untuk setiap sampel dilakukan Pada kondisi
yang sama yaitu dengan menggunakan alat SEM EDX tipe JEOL JSM-6360LA
yang memiliki beda tegangan sebesar 20 kv dan arus sebesar 30 mA.
Pada pengukuran SEM-EDX setiap sampel digunakan dengan menggunakan
analisis area. Sinar Electron yang dihasilkan dari electron gun dialirkan hingga
mengenai specimen/ sampel aliran sinar electron ini selanjutnya difokuskan
menggunakan electron optic colum, sebelum sinar electron membentur atau
mengenai sampel. Setelah sinar electron membentur sampel maka akan terjadi
interaksi pada sampel yang disinari. Interksi interaksi yang terjadi tersebut
slanjutnya akan dideteksi dan diubah kedalam sebuah gambar oleh analisis SEM
dan juga dalam bentuk Grafik oleh Analisis EDX.
Hasil analisa atau keluaran dari analisis SEM-EDX yaitu berupa gambar struktur
permukaan dari setiap sampel yang diui dengan karakeristik gambar 3-D serta grafik
hubungan antara energy( keV) pada sumbu horizontal dngan cecahan pada sumbu
pertikal dari keluran ini dapat diketahui unsure unsure atau mineral yang
terkandung di dalam sampel tersebut, yang manakeberadaan unsure atau mineral
tersebut dapat ditentukan atau diketahui berdasarkan nilai energy yang dihasilkan
pada saat penembakan sinar electron primer pada sampel.
1. Keunggulan SEM
keunggulan SEM adalah sebagai berikut:
a. Daya pisah tinggi
Dapat Ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat digolongkan dengan optik metalurgi
yang menggunakan prinsip refleksi, yang diarti sebagai permukaan spesimen yang
memantulkan berkas media.
b. Menampilkan data permukaan spesimen
Teknik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan dan analisis permukaan. Data atau
tampilan yang diperoleh adalah data dari permukaan atau lapisan yang tebalnya
sekitar 20 mikro meter dari permukaan. Sinyal lain yang penting adalah back
scattered elektron yang intensitasnya bergantung pada nomor atom, yang unsurnya
menyatakn permukaan spesimen. Dengan cara ini diperoleh gambar yang
menyatakan perbedaan unsur kimia yang lebih tinggi pada nomor atomnya.
Kemampuannya yang beragam membuat SEM popular dan luas penggunaannya,
tidak hanya dibidang material melainkn juga dibidang biologi, pertanian, kedokteran,
elektronika, mikroelektronika dan lain-lain.
c. Kemudahan penyiapan sampel
Spesimen untuk SEM dapat berupa material yang cukup tebal, oleh karena itu penyiapannya
sangat mudah. Untuk pemeriksaan permukaan patahan (fraktografi), permukaan
diusahakan tetap seperti apa adanya, namun bersih dari kotoran, misalnya debu dan
minyak. Permukaan spesimen harus bersifat konduktif. Oleh karena itu permukaan
spesimen harus bersih dari kotoran dan tidak terkontaminasi oleh keringat.
2. Proses Kerja SEM
Cara kerja SEM yaitu sebuah elektron diemisikan dari katoda tungsten dan
diarahkan kesuatu anoda. Tungsten digunakan karena mempunyai titik lebur yang
paling tinggi dan tekanan uap paling rendah dari semua jenis logam, sehingga dapat
dipanaskan untuk keperluan pemancaran elektron. Berkas elektron yang memiliki
beberapa ratus eV dipusatkan oleh satu atau dua lensa kondeser kedalam suatu
berkas cahaya dengan spot 1 nm sampai 5 nm. Berkas cahaya dipancarkan melalui
sepasang coil scan pada lensa obyektif yang dapat membelokkan berkas cahaya
secara horizontal dan vertikal sehingga membentuk daerah permukaan sampel
persegi empat.
Ketika berkas elektron utama saling berinteraksi dengan sampel, maka elektron
kehilangan energi oleh penyebaran berulang dan penyerapan dengan setetes
volume spesimen yang dikenal sebagai volume interaksi yang meluas kurang dari
100 nm sampai sekitar 5 nm pada permukaan. Ukuran dari volume interaksi
tergantung pada berkas cahaya yang mempercepat tegangan, nomor atom
spesimen dan kepadata spesimen. Energi berubah diantara berkas elektron dan
hasil sampel hasil pada emisi elektron dan sampel hasil pada emisi elektron dan
radiasi elektromagnet yang dapat dideteksi untuk menghasilkan suatu gambar.

Untuk Persiapan material yang akan dianalisa cukup sederhana. Khususnya

untuk bahan bahan yang bersifat konduktor maka hanya perlu dilekatkan
pada sample holder yang terbuat dari logam. Biasanya pemegang sampel ini dapat
dipakai untuk menempatkan 4 sampel berbeda sekaligus sehingga ketika
menganalisa tidak perlu setiap akan ganti sampel membuka-tutup SEM. Berikut ini
contoh logam untuk tempat sampel.

Biasanya sampel dilekatkan dengan bantuan selotip karbon. Contoh dari selotip
karbon adalah seperti dibawah ini.

Untuk sampel berupa serbuk. Setelah ditempel selotip karbon maka serbuk
ditebarkan pada permukaan selotip dan sisa serbuk yang tidak dapat menempel
harus dibersihkan sehingga tidak menganggu alat vakum dalam SEM ketika analisa.
Disamping ini adalah gambar dari sampel holder yang telah ditempel selotip dan
diberi serbuk yang akan dianalisa.
 SEM mempunyai depth of field yang besar, yang dapat memfokus jumlah
sampel yang lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik
dari sampel tiga dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi,
yang berarti mendekati bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, darkfield, resolusi yang lebih besar,
dan komposisi serta informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari
peralatan yang paling banyak digunakan dalam penelitian, R&D industry khususnya
industry semikonductor.