TECNOLOGAS DE MICROFABRICACIN
Tecnologas de microfabricacin:
INTRODUCCIN GENERAL
ndice
Objetivos de la jornada
Programa
Aplicaciones emergentes
Proyecto Micromanufacturing
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Objetivos de la jornada
Objetivos de la jornada:
Empresas: 57%
Centros de I+D y
Laboratorios: 16%
Otros: 2%
ndice
Objetivos de la jornada
Programa
Aplicaciones emergentes
Proyecto Micromanufacturing
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Programa
PROGRAMA DE LA JORNADA
Programa
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Programa
EMPRESAS EXPOSITORAS:
PONENTES INVITADOS:
ndice
Objetivos de la jornada
Programa
Aplicaciones emergentes
Proyecto Micromanufacturing
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
Definicin de microcomponente:
Terminologa:
T
e
c
h MEMS Energy assisted Mechanical
n processes processes processes
o
l
o Replication
g techniques
i
e
s Handling, assembly, packaging, quality assurance and metrology
Micro
Product
E. Brinksmeier, O. Riemer, R.Stern, Proc. 10th International Conference on Precision Engineering (ICPE), Japan, 2001
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
1. Procesos MEMS:
Micromecanizado en volumen
No considerados en la jornada
Micromecanizado superficial
LIGA & micromoldeo
3. Procesos mecnicos:
Microfresado, microtaladrado, microrrectificado
Micromecanizado con diamante
4. Tcnicas de replicado:
Microconformado
Microinyeccin de plsticos
Estampado de precisin en caliente (hot embossing)
MIM (Metal Injection Moulding)
Procesos MEMS:
+ Descripcin bsica:
+ Ejemplos:
- M.J. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, ISBN 0-8493-0826-7, 2001 (ranuras en V)
- M. Esashi, K. Minami, T. Ono, Condensed Matter News 6:31-44, Tohoku University, Japan, 1998 (microturbina de silicio)
- C.G. Keller, R.T. Howe, IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, p. 72-77, 1997 (micropinza)
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
+ Ejemplos:
- E. Brinksmeier, O. Riemer, Metal Cutting of Microstructures. International Conference on Multi-Material Micro Manufacture, Germany, 2005
- Centro Lser Universidad Politcnica de Madrid
+ Descripcin:
- Principio fsico: fusin local del material por salto de chispas elctricas
- Dos opciones: hilo o penetracin
- Aplicacin: metales duros y/o frgiles
+ Ejemplos:
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
+ Descripcin:
- Principio fsico: mediante un haz focalizado de electrones o iones de alta energa, se vaporiza
localmente el material
- Dimetro de haz reducido gran precisin
+ Ejemplos:
Filtro con 3,5 millones de agujeros de 100 m EBM Toro mecanizado mediante FIB
+ Tecnologas:
- Microfresado, microtaladrado
- Microtorneado con diamante
- Microrrectificado, pulido, mecanizado ultrasnico
- J. Fleischer, International Conference on Multi-Material Micro Manufacture (4M), Germany, 2005 (microtorneado)
- A. Teshigahara, M. Watanabe, N. Kawahara, Y. Ohtsuka, T. Hattori, Journal of Microelectromechanical Systems 4:76-80, 1995 (microcoche)
- Mondragon Unibertsitatea, Website: www.mondragon.edu (microfresa y micromatriz)
- Cranfield University, Website: www.cranfield.ac.uk (pieza microrrectificada)
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
+ Descripcin:
+ Descripcin:
- Principio fsico: calentar un material polimrico hasta que se funda e inyectarlo mediante una
presin de inyeccin controlada en la cavidad de un micromolde hasta su solidificacin.
+ Ejemplos:
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Tecnologas de microfabricacin: clasificacin
+ Descripcin:
- Material de partida:
Polvo metlico + termoplstico
- Principio fsico:
Inyeccin + desbanderizado + sinterizado
- Ventajas: Piezas de automocin
Libertad de diseo, geometras muy complejas (vase presentacin MIM-TECH ALFA)
+ Descripcin:
Elementos de micro-ptica
- Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA (CSEM), Website: www.csem.ch
ndice
Objetivos de la jornada
Programa
Aplicaciones emergentes
Proyecto Micromanufacturing
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Aplicaciones emergentes
USA: 6.9 %
Figura. Peso relativo del sector de mquina-
herramienta europeo respecto a otros pases
Japn: 23.2 % (fuente: CECIMO, 2005)
Aplicaciones emergentes
Expectativas de mercado:
+ NEXUS: crecimiento sostenido desde 36.000 millones de dlares en 2005 hasta 52.000
millones en 2009.
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Aplicaciones emergentes
Aplicaciones emergentes
+ Automocin y transporte:
- En un automvil hay entre 20 y 100 sensores instalados: acelermetros (airbag), sensores de
presin (recirculacin de gas), girscopos (navegacin), sensores de nivel luz (encendido
automtico de luces), sensores de parking (prevencin de colisiones), etc.
- Componentes microfabricados: vlvula con micro-orificios (sistemas de inyeccin)
+ Salud y biotecnologas:
+ Instrumentacin y sensores:
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Aplicaciones emergentes
Automocin y transporte
Aplicaciones emergentes
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Aplicaciones emergentes
Salud y biotecnologas
Aplicaciones emergentes
Instrumentacin y sensores
Micrfono de telfono mvil Microchip con sensor de gas Microestacin metereolgica wireless
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Aplicaciones emergentes
K.F. Ehmann, D. Bourell, M.L. Culpepper, T.J. Hodgson, T.R. Kurfess, M.J. Madou, K. Rajurkar, R.E. DeVor, International assessment of
research and development in micromanufacturing, World Technology Evaluation Center (WTEC), 2005
Aplicaciones emergentes
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Aplicaciones emergentes
Device Analysis
Centrifuge
Medicine microdosage system [6] Sweat-stick for collecting human sweat [7]
Aplicaciones emergentes
Integrated polymer microfluidic stacks Dental brackets [1] Tissue removal tools for endoscopy [1] Cataract lenses [1]
(chemiluminiscence experiment)
Fabrication of Ti retinal microtack [8] Watch base plate [1] Engraving watch base plate [9] Watch parts [10]
Pendant mould [11] Multi-fibre connector: micromilled mould for X-ray mask fabrication and microinjected connector [12]
Joining element - optical fibre connector [1] Test membrane for chip manufacturing [1] Injection nozzles for diesel engines [1]
02/07/2008 Jornada - Tecnologas de Microfabricacin 32
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Aplicaciones emergentes
Electrodes for cutting inserts [1] Mixing disc of a rocket motor [1] Turbine wheels for pumps [1] Electrode for shaving head [1]
Assembled micro impeller and base block [3] Micromould of a planetary gear wheel [2] Microscope lens holder [15]
Small size plastic components [13] 24 cavity micromould with hot sprue [13] Glass extrusion die for halogen lamp [8]
ndice
Objetivos de la jornada
Programa
Aplicaciones emergentes
Proyecto Micromanufacturing
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Proyecto Micromanufacturing
Acrnimo: Micromanufacturing
Presupuesto: 10.5 M
Proyecto Micromanufacturing
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Proyecto Micromanufacturing
http://www.nidcd.nih.gov/staticresources
/health/spanish/images/ear_full.jpg
http://www.marquina.dentabell.com/
implantes.htm
Proyecto Micromanufacturing
2 Pm
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Proyecto Micromanufacturing
Proyecto Micromanufacturing
Organizacin en subproyectos:
2. Procesos no convencionales:
6. Formacin y diseminacin.
microelectroerosin y lser
3. Microconformado metlico
4. Microconformado de plsticos
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Proyecto Micromanufacturing
Objetivos:
+ Micromecanizado por arranque de viruta: establecer las estrategias ptimas para
fabricacin de piezas industriales mediante micromecanizado por arranque de viruta
Simulacin
Material
reolgica
Proyecto Micromanufacturing
Objetivos:
+ Microconformado de metales: construir instalaciones de microconformado, con
posibilidad de que los procesos puedan ser asistidos mediante lser. Caracterizar y
optimizar estos procesos para aplicaciones industriales
+ Desarrollo de mquinas: microfresadora y mquina de micromecanizado lser.
Tecnologas propias en desarrollo:
- Cabezal de cojinetes magnticos de alta velocidad
- Sistema de monitorizacin de herramienta in-process
- Sistema de control con resolucin nanomtrica
- Accionamientos y guiados sin contacto de gran precisin, repetibilidad y resolucin
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Proyecto Micromanufacturing
Sectores beneficiados:
Proyecto Micromanufacturing
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Proyecto Micromanufacturing
IMPORTANTE !
INTRODUCCIN GENERAL
Muchas gracias
por su atencin !
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