Anda di halaman 1dari 7

Jurnal Forum Nuklir (JFN), Volume 9, Nomor 2, November 2015

STUDI SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM) UNTUK


KARAKTERISASI PROSES OXIDASI PADUAN ZIRKONIUM
Agus Sujatno, Rohmad Salam, Bandriyana, Arbi Dimyati

Pusat Sains dan Teknologi Bahan Maju, PSTBM-BATAN


Email: a.sujatno@gmail.com

ABSTRAK

STUDI SCANNING ELEKTRON MICROSCOPY (SEM) UNTUK KARAKTERISASI PROSES


OXIDASI PADUAN ZIRKONIUM. Studi analisis Scanning Electron Microscopy (SEM) telah dilakukan
untuk mengkarakterisasi struktur mikro dan lapisan oksida paduan zirkonium, bahan yang prospektif
digunakan sebagai material kelongsong bahan bakar reaktor nuklir generasi ke IV dan struktur reaktor fusi
modern. Tujuan penelitian adalah guna mendapatkan informasi yang detil dan akurat yang diperlukan untuk
mendukung analisis ketahanan korosi paduan zirkonium yang disebabkan oleh proses oksidasi suhu tinggi
dengan menggunakan berbagai metode analisis pada SEM. Sampel uji yang digunakan adalah ingot paduan
zirkonium ZrNbMoGe setelah tes oksidasi dalam Mass Suspension Balance (MSB) pada temperatur 500 dan
700 oC masing-masing selama 5 jam. Komposisi unsur dalam sampel paduan adalah 96,9 %Zr, 2,5 %Nb, 0,5
%Mo dan 0,1 %Ge. Pengujian SEM dilakukan dengan JEOL JSM-6510LA yang dilengkapi dengan
perangkat Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS) untuk analisis komposisi kimia. Metode Secondary
Electron (SE) dan Backscattered Electron (BSE) dengan opsi Low-Vacuum dilakukan untuk mendapatkan
kontras yang optimal. Hasil analisa menunjukan bahwa pada kedua sampel telah tumbuh lapisan oksida
berupa ZrO2 dengan ketebalan maksimal 2.4 dan 3.5 mm untuk masing-masing temperatur 500 dan 700 oC.
Gambar BSE telah menunjukan batas lapisan dengan jelas, tidak memberikan ruang untuk interpretasi ganda.

Kata kunci: SEM, EDS, SE, BSE, lapisan oksida, paduan zirkonium, mikrostruktur.

ABSTRACT

SCANNING ELECTRON MICROSCOPY STUDIED TO CHARACTERIZE OXIDATION


PROCESS OF ZIRCONIUM ALLOY. Scanning Electron Microscopy study has been performed in order to
characterize the microstructure of oxide layers formed on the Zirconium alloy which is believed as the most
prospective material for fuel cladding of nuclear reactor 4th generation and modern fusion reactor. With
help of the SEM analytical methods, the investigation is aimed to get detail information that is important for
understanding the oxidation process on Zirconium alloy at high temperatures. The samples used are
Zirconium alloy nugget composed of 96.9 wt.%Zr, 2.5 wt.%Nb, 0.5 wt.%Mo dan 0.1 wt.%Ge and are
subjected to the MSB test at 500 and 700 oC. SEM JEOL JSM-6510LA equipped with Energy Dispersive X-
Ray Spectroscopy (EDS) for chemical analysis was used. Secondary Electron (SE) and Backscattered
Electron (BSE) with Low-Vaccum option has been applied to get sufficient image contrast. The results
showed on both samples oxide layers have been grown which is indicated as ZrO2 with maximum thickness
2.4 and 3.5 m for temperatures 500 and 700 oC respectively. BSE image revealed clearly the boundary of
the oxide layer and matrix and left no dual interpretation.

Keywords : SEM, EDS, SE, BSE, oxide layer, zirconium alloy, microstructure.

44 Studi Scanning Electron...


Jurnal Forum Nuklir (JFN) Volume 9, Nomor 1, Mei 2015

pembentukan image pada alat ini merupakan


PENDAHULUAN proses fisika yang merupakan interaksi
korpuskular antara elektron sumber dengan
Dalam beberapa tahun terakhir ini, atom pada bahan. Meskipun sinyal data yang
penelitian dan pengembangan paduan dihasilkan cukup kuat dibanding mikroskop
zirkonium dengan tambahan elemen-elemen optik atau XRD, tetapi karena seringkali
Nb, Mo dan Ge dalam jumlah kecil khusus obyek pengamatan yang terbilang kecil dan
untuk material kelongsong bahan bakar nuklir mengandung komponen non konduktif, seperti
telah dikembangkan di PSTBM-BATAN [1- lapisan pasivasi oksida pada permukaan, SEM
3]. Salah satu parameter dan persyaratan dapat memberikan kontras yang relatif rendah
terpenting pada bahan kelongsong yang perlu terlebih pada perbesaran tinggi. Oleh karena
diteliti adalah ketahanan material terhadap itu SEM harus dioperasikan dengan
korosi yang disebabkan proses oksidasi pada pengaturan parameter elektron seperti high
suhu tinggi, terlebih dalam kondisi kecelakaan voltage, spot size, bias dan beam current juga
dengan banyak kehilangan air pendingin parameter optik seperti kontras, fokus dan
(LOCA), situasi dengan integritas pembangkit astigmatismus yang tepat sehingga diperoleh
nuklir harus tetap terjaga. Pada kondisi operasi hasil gambar yang optimal secara ilmiah dan
suhu tinggi ketahanan oksidasi material yang tidak memberikan interpretasi ganda. Selain
baik ditentukan oleh kemampuan material itu, proses pengambilan gambar dan analisis
dalam membentuk lapisan oksida yang dapat kimia dengan SEM sangatlah dipengaruhi oleh
melindungi bahan dari proses oksidasi jenis sampel berikut cara penangannya serta
berlanjut atau bahkan kehancuran material teknik preparasinya disamping kemampuan
yang dikenal dengan istilah Breakaway [4]. operasional dari operator nya.
Oksidasi temperatur tinggi merupakan proses Dalam makalah ini diuraikan hasil
kimia yang terjadi dalam skala mikroskopik. analisis dan karakterisasi sampel uji oksidasi
Proses pembentukan fasa oksidasi berikut pada temperatur tinggi dengan menggunakan
fenomena yang menjadi ciri khas-nya seperti SEM, yaitu material paduan zirkonium yang
epitaxy, spinnel, dan metastability terjadi dikembangkan untuk pembuatan kelongsong
dalam ukuran yang lebih kecil dari panjang bahan bakar nuklir. Analisis ini terutama
gelombang cahaya terlihat [5]. ditujukan guna mendapatkan informasi
Teknik karakterisasi konvensional yang mengenai sejauh mana SEM dapat menjawab
berbasis pada panjang gelombang 650nm tentang fenomena apa yang terjadi pada proses
keatas, seperti mikroskop optik pada analisis oksidasi, berikut kekurangannya.
metalografi tidakmemiliki resolusi yang cukup
untuk mendapatkan informasi ilmiah yang METODE
diharapkan. Oleh karena itu diperlukan
SEM
metode identifikasi dan karakterisasi lain yang
dapat memberikan resolusi yang lebih tinggi Dalam Gambar 1 adalah skema diagram
sehingga dapat memberikan bantuan standar SEM JSM-6510LA dari fabrikan
penglihatan bagi para peneliti untuk dapat JEOL yang digunakan dalam penelitian ini
mengamati apa yang terjadi di dalam dan dengan fasilitas analisis komposisi kimia
sekitar interface antara bahan dengan lapisan berupa detektor sinar X. Komponen utama alat
oksida secara detil atau bahkan secara In-Situ. SEM ini pertama adalah tiga pasang lensa-
Untuk keperluan tersebut, Scanning Electron lensa elektromagnetik yang berfungsi
Microscopy (SEM) dipahami sebagai teknik memfokuskan berkas elektron menjadi sebuah
yang sesuai yang diterima dan diakui oleh titik kecil, lalu oleh dua pasang scan coil
komunitas peneliti material dunia, ini ditandai discan-kan dengan frekuensi variabel pada
dengan diberikannya penghargaan Nobel permukaan sampel. Semakin kecil berkas
terhadap para penemunya, Ernst Ruska dan difokuskan semakin besar resolusi lateral yang
Max Knoll. dicapai. Kesalahan fisika pada lensa-lensa
Identifikasi struktur mikro lapisan elektromagnetik berupa astigmatismus
oksida dengan menggunakan SEM tidaklah dikoreksi oleh perangkat stigmator. SEM tidak
sekedar pengambilan gambar dan fotografi, memiliki sistem koreksi untuk kesalahan
tetapi harus dilakukan dengan teknik dan aberasi lainnya.
metode operasi yang benar mengingat proses

Agus Sujatno dkk (44-50) 45


Jurnal Forum Nuklir (JFN), Volume 9, Nomor 2, November 2015

Yang kedua adalah sumber elektron, kembali, elektron-elektron tersebut disebut


biasanya berupa filamen dari bahan kawat sebagai Backscattered Electrons (BSE),
tungsten atau berupa jarum dari paduan sebagian kecil elektron masuk ke dalam bahan
Lantanum Hexaboride LaB6 atau Cerium kemudian memindahkan sebagian besar energi
Hexaboride CeB6, yang dapat menyediakan pada elektron atom sehingga terpental ke luar
berkas elektron yang teoretis memiliki energi permukaan bahan, yaitu Secondary Electrons
tunggal (monokromatik), Ketiga adalah (SE). Pembentukan elektron-elektron sekunder
imaging detector, yang berfungsi mengubah selalu diikuti proses munculnya X-ray yang
sinyal elektron menjadi gambar/image. Sesuai karakteristik untuk setiap elemen, sehingga
dengan jenis elektronnya, terdapat dua jenis dapat digunakan untuk mengukur kandungan
detektor dalam SEM ini, yaitu detektor SE dan elemen yang ada di dalam bahan yang diteliti.
detektor BSE.

Gambar 2. Skema interaksi antara bahan dan


elektron di dalam SEM.
Proses pembentukan BSE terjadi pada
atom-atom di bagian permukaan sampel yang
lebih dalam. Ini disebabkan tumbukan antara
elektron dari sumber dengan inti atom, seperti
Gambar 1. Blok diagram SEM. ditunjukan pada Gambar 3. Karena massa
proton yang membentuk inti hingga 2000 kali
Untuk menghindari gangguan dari lebih besar dari elektron, maka setiap
molekul udara terhadap berkas elektron, tumbukan akan menyebabkan terpentalnya
seluruh jalur elektron (column) divakum sebagian besar elektron ke arah 180o. Artinya,
hingga 10-6torr. Tetapi kevakuman yang tinggi sebagian akan dipantulkan kembali ke arah di
menyebabkan naiknya sensitifitas mana mereka datang yaitu ke luar permukan
pendeteksian alat terhadap non-konduktifitas, bahan. Elektron-elektron BSE ini membawa
yang menyulitkan analisis pada bahan bahan informasi tentang atom-atom yang
non-konduktif, seperti keramik dan oksida. ditumbuknya beserta ikatannya dalam fasa.
Untuk mengatasi hal tersebut SEM ini Sehingga kontras pada image yang terbentuk
memiliki opsi untuk dapat dioperasikan dari elektron-elektron BSE dalam batas-batas
dengan vakum rendah, yang disebut Low- tertentu dapat dipandang sebagai kontras fasa.
Vaccum Mode. Dengan teknik low vaccum
kita dapat menganalisis bahan yang non
konduktif sekalipun. Tekanan pada mode ini
berkisar antara 30 hingga 70Pa.

Interaksi bahan dan elektron


Ketika berkas elektron discan pada
permukaan sampel, terjadi interaksi elektron
dengan atom-atom di permukaan maupun di
bawah permukaan sampel. Seperti terlihat
pada Gambar 2, akibat interaksi tersebut Gambar 3. Proses terbentuknya BSE.
sebagian besar berkas elektron berhasil keluar

46 Studi Scanning Electron...


Jurnal Forum Nuklir (JFN) Volume 9, Nomor 1, Mei 2015

Jika elektron sumber dalam ukuran 2x2 cm dengan menggunakan diamond


perjalanannya di dalam bahan hanya melewati blade cutter tipe JMQ-12 pada kecepatan
awan elektron atau orbital sebuah atom maka rendah untuk menjamin permukaan potongan
elektron tersebut dapat saja memindahkan yang rapi dan bersih dari gram. Kemudian
sebagian energi kinetiknya kepada satu atau salah satu permukaan kedua sampel di amplas
lebih elektron pada orbit tersebut. Elektron itu (grinder) pada mesin poles MoPao 2D Grinder
akan menjadi tidak stabil dan dalam kondisi Polisher dengan kertas amplas dengan urutan
tereksitasi sehingga meninggalkan posisinya kekasaran berturut-turut dari 120, 400, 800,
dan keluar dari permukaan bahan, maka 1200 hingga 2000. Kegiatan ini diakhiri
elektron tersebut dikenal sebagai secondary dengan memoles sampel pada permukaan kain
electron (SE) atau elektron sekunder, Gambar bludru dan diamond pasta 0,25 yang
4. Karena elektron-elektron SE memiliki diperlukan untuk meminimalisir jejak goresan
energi yang rendah, maka hanya elektron- serta menghilangkan partikel karbida yang
elektron yang berada atau sangat dekat lepas dari kertas amplas. Proses selanjutnya
permukaan bahan saja yang dapat lolos ke adalah etsa permukaan, proses ini bertujuan
luar. Dengan bantuan detektor khusus elektron untuk melarutkan dan membersihkan lapisan
SE dapat dimanfaatkan untuk membentuk pasivasi yang terbentuk selama proses
image morfologi permukaan bahan dengan pengamplasan dan polising yang biasanya
baik. Struktur permukaan berikut ciri-cirinya, terdiri dari lapisan sangat tipis oksida metal
seperti batas butir, edge, porositas, puncak yang sangat keras.
atau lembah akan terlihat lebih detil dengan
resolusi yang lebih tinggi dibanding BSE. Tabel 1. Spesifikasi sampel uji.
Jenis/
kode Keterangan sampel
Sampel
Standar Ingot Paduan ZrNbMoGe, hasil
(S1) peleburan dengan tungku busur
listrik.
Oksidasi Ingot paduan ZrNbMoGe yang
(S500) telah dioksidasi dengan udara
pada suhu 500 C selama 5jam.
Oksidasi Ingot paduan ZrNbMoGe yang
Gambar 4. Proses pembentukan SE dan X-ray. (S700) telah dioksidasi dengan udara
pada suhu 700 C selama 5jam.
Eksperimen
Kegiatan etsa dilakukan menggunakan
Pengujian SEM dilakukan pada sampel larutan Nital 3%. Larutan ini dibuat dari
ingot paduan zirkonium ZrNbMoGe untuk campuran 3 ml asam nitrat HNO3 dengan 97
kondisi sebelum dan sesudah uji oksidasi suhu ml metanol teknis. Proses etsa terjadi dalam
tinggi dengan Mass Suspension Balance waktu maksimal 20 detik, hingga permukaan
(MSB). Uraian tentang MSB dapat dilihat sampel yang mengkilap berubah menjadi dob.
pada publikasi [6-7]. Bahan paduan dibuat Itu pertanda bahwa permukaan telah terlarut
dengan teknik peleburan di dalam arc melting dalam nital. Untuk menjamin tidak terjadi etsa
furnace dengan komposisi dalam persen berat susulan akibat larutan nital yang tertinggal
adalah 96,9 % Zr, 2,5 % Nb, 0,5 % Mo dan pada pori-pori permukaan sampel, setelah etsa
0,1% Ge dengan spesifikasi seperti sampel dicelupkan ke dalam metanol lalu di
ditunjukkan pada Tabel 1. aduk. Tegangan permukaan yang terjadi pada
kontak antara metanol dan permukaan dapat
Preparasi Sampel membersihkan larutan etsa yang tersisa
Untuk keperluan analisis SEM, sampel dengan sempurna. Kemudian sampel di
ingot dan sampel rol dipersiapkan sesuai bersihkan dengan air. Terakhir dilakukan
prosedur preparasi sampel padatan yang pengeringan menggunakan Hair Dryer pada
dikembangkan di PSTBM. Pertama-tama suhu ruang hingga benar-benar kering dan
sampel dipotong masing-masing dengan tidak meninggalkan kelembaban yang dapat

Agus Sujatno dkk (44-50) 47


Jurnal Forum Nuklir (JFN), Volume 9, Nomor 2, November 2015

mengganggu proses pemvakuman di dalam Dari gambar terlihat bahwa sampel ini
ruang sampel pada SEM yang pada akhirnya memiliki mikrostruktur terdiri dari fasa
akan mengkontaminasi lensa elektromagnetik martensite dan sedikit bainite dengan struktur
akibat molekul-molekul air yang terbawa. lancette yang khas. Dapat terlihat dengan jelas
presipitasi fasa kedua di dalam dan batas
Langkah dan Parameter Pengujian butiran. Kedudukan fasa kedua ini lebih tinggi
Untuk proses pengambilan gambar dari matriks, menunjukan sifatnya yang lebih
(image) dan data komposisi sampel teroksidasi keras dibanding bahan dasarnya. elama proses
dengan alat SEM, sampel diletakkan dan pemolesan maupun proses etsa keduanya
mengalami tingkat erosi yang berbeda. Dari
ditempel di atas SEM specimen holder dengan
menggunakan carbon double tipe dengan hasil EDS yang diambil dengan dead time
bagian penampang lintang (cross section) 40% dan sudut akuisisi sekitar 15o serta
mengarah vertikal ke atas atau lensa obyektif. jumlah pencacahan total 2500 counts,
Agar susunan lapisan matriks bahan dengan diketahui bahwa presipitasi tersebut adalah
lapisan oksida terlihat dengan jelas. Double tip fasa Zr-Ge dengan kandungan masing-masing
ini terbuat dari bahan karbon yang konduktif 89 dan 1 % berat, lihat Gambar 6.
di dua sisi yang berfungsi menghantarkan Jika memperhitungkan persen atom dan
semua elektron yang masuk ke dalam sampel mengabaikan kehilangan sinyal akibat
keluar melalui grounding. absorpsi dan efisiensi akusisi detektor SiLi
Ruang sampel divakum hingga 10-6 torr EDX, maka dapat diperkirakan rumus kimia
untuk menjamin bahwa kolom SEM bebas fasa tersebut adalah Zr55.54Ge0.8. Penulis
dari molekul udara. SEM dioperasikan dengan menyangsikan eksistensi elemen Mo dalam
standar parameter operasi sebagai berikut: presipitasi, karena kedua peak Mo dalam
High Voltage : 20 kV spektrum tidak definitif dan di bawah
Spot Size : 50 background bahkan overlaping dengan sinyal
Work Distance(WD) : 10 mm K dari elemen Zr yang sangat tinggi. Dugaan
WD setinggi 10 mm dipilih sebagai ini divalidasi dengan hasil perhitungan
kompromi terhadap setingan untuk akuisisi program.
sinyal EDX yang mensyaratkan 10 mm agar Unsur Karbon C dipastikan berasal dari
lemak akibat penanganan dan cracking
pendeteksian X-Ray dan pencacahannya
optimal. molekul CO2 dan uap oli pompa vakum yang
mungkin akibat adanya fine leckage masuk ke
dalam kolom dalam jumlah yang sangat kecil.
HASIL DAN PEMBAHASAN Meskipun jumlah kandungannya di dalam
ZrNbMoGe standar campuran mencapai 2.5 %, unsur Niobium
tidak terdeteksi dengan EDS. Hal ini
Hasil SEM untuk uji struktur mikro kemungkinan disebabkan oleh inhomogenitas
pada sampel paduan ZrNbMoGe standar yang terjadi selama proses pelelehan saat
tampak atas ditunjukkan pada Gambar 5. pembuatan nugget paduan. Analisis X-ray
Image diambil dengan detektor SE. Diffration (XRD) diharapkan dapat
memverifikasi atau menggagalkan dugaan ini.

00
2

Gambar 5. Struktur mikro ZrNbMoGe standar.


Gambar 6. EDS spektrum presipitasi Struktur
mikro ZrNbMoGe standar

48 Studi Scanning Electron...


Jurnal Forum Nuklir (JFN) Volume 9, Nomor 1, Mei 2015

ZrNbMoGe setelah oksidasi


Pada dua sampel paduan dilakukan uji
oksidasi di dalam MSB pada temperatur
masing-masing 500oC dan 700oC dalam udara Lapisan
ruang. Hasil MSB ditunjukan pada Gambar 7 oksida
sebagai pertambahan masa berdasarkan waktu
pemanasan.

350
Pertambahan masa, g/m2

300
250
Gambar 8. Struktur mikro matrik dan lapisan
200 oksida paduan ZrNbMoGe setelah
ZrNbMoGe- 500 C
150 oksidasi 500 oC.
100 ZrNbMoGe-700C
Akusisi spektrum EDS pada Gambar
50
9 memberikan verifikasi bahwa lapisan bagian
0 atas merupakan oksida Zr-O. Hal ini
0 10000 20000 30000
Waktu Oksidasi, detik bersesuaian dengan hasil image BSE, karena
Gambar 7. Grafik perubahan masa oksidasi densitas Zr-O lebih rendah dari pada paduan
sampelpaduan ZrNbMoGe. ZrNbMoGe.

Gambar 7 menunjukkan telah terjadi


lapisan oksida di permukaan yang menjadi
lapisan pelindung yang menentukan
karakteristik oksidasi. Pertumbuhan berat
menunjukan grafik yang naik turun atau
bergelombang, hal ini disebabkan karena
selama proses oksidasi terjadi pertumbuhan
dan pelepasan (flaking) lapisan oksida secara
lokal. Untuk mendukung analisis oksidasi
tersebut dilakukan uji SEM untuk mengamati
mikrostruktur lapisan oksida serta
kemungkinan mengungkap proses yang terjadi
selama oksidasi. Oleh karena itu pengujian Gambar 9. Hasil Uji EDS ZrNbMoGe
SEM ini diarahkan untuk mengamati setelah oksidasi 500 oC.
terbentuknya lapisan oksida pada permukaan
sampel paduan. Berdasarkan komposisi unsur hasil
Gambar 8 menunjukkan penampang perhitungan sprektrum EDS pada Gambar 9
lintang sampel paduan setelah oksidasi pada unsur dominan Zr 44.28 % dan O 20.75 %
temperatur 500 oC diambil dengan detektor dapat diperkirakan bahwa lapisan tersebut
BSE. Seperti telah dibahas pada bagian teori adalah oksida ZrO2 sesuai dengan analisis
pembentukan image di atas, terlihat perbedaan dalam proses oksidasi. Untuk mengetahui
kontras yang jelas antara matriks dengan ketebalan oksida yang terbentuk yang
lapisan oksida di permukaan. Bagian atas yang merupakan faktor penting dalam menunjang
untuk sementara diasumsikan sebagai lapisan ketahanan oksidasi material, dilakukan
oksida menunjukan kesan warna gelap, pengukuran tebal oksida. Hasil pengukuran
sedangkan matriks di bawahnya berwarna ketebalan oksida pada Gambar 3a.
terang. Analisis pembentukan sinyal BSE menunjukkan ketebalan oksida yang bervariasi
mengindikasikan bahwa bagian matriks antara 1,2 sampai 2,4m.
memiliki densitas yang lebih besar atau adalah Untuk pengujian SEM pada sampel
fasa dengan susunan atom yang lebih berat ZrNbMoGe yang dioksidasi pada suhu 700 oC
dari bagian lapisan atas. dengan dilakukan uji struktur mikro dan
lapisan oksida seperti pada oksidasi 500o C.

Agus Sujatno dkk (44-50) 49


Jurnal Forum Nuklir (JFN), Volume 9, Nomor 2, November 2015

Hasil uji untuk oksidasi pada suhu 700o C terdeteksi dengan jelas menggunakan detektor
ditunjukkan pada Gambar 10 dan 11 diambil BSE. Hasil uji EDS dapat digunakan untuk
dengan detektor BSE. memprediksi fasa yang terjadi setelah oksidasi
Dari sisi morfologi sampel ini serta dapat mendukung hasil analisis
menunjukan kemiripan dengan sampel setelah karakteristik dan ketahanan oksidasi material
oksidasi pada 500 oC, perbedaannya terlihat paduan.
dari ketebalan lapisan oksida pada sampel
dengan oksidasi pada temperatur 700 oC. DAFTAR PUSTAKA
Ketebalan oksida yang terukur adalah antara
2,4m sampai dengan 3,6m. 1. Parikin, Bandriyana, A. H. Ismoyo,
Dari spektrum komposisi unsur pada Effects of adding Cu element on the
Gambar 11. dengan unsur dominan 57,77 % crystal structure of ZrNbMoGe alloys,
Zr dan 22,78 % O menunjukkan terbentuknya Conference of Nuclear Technology,
lapisan oksida ZrO2. Center for Technology of Accelerator
Lapisan oksida yang lebih tebal and Material Process (2013), 103-108.
menunjukkan laju oksidasi yang lebih tinggi 2. Bandriyana, D. H. Prajitno, A.
pada kenaikan suhu oksidasi seperti dijelaskan Dimyati, Effect of Copper Addition
dalam analisis ketahanan oksidasi. on High Temperature Oxidation of
Zirconium Alloy ZrNbMoGe for
Advanced Reactor Fuel Cladding
Material, Adv. Mat. Research, Vol.
896 (2014) 617-620.
3. Parikin, A. Fajar, Ismoyo A.H.,
Lapisan Bandriyana, Neutron diffraction
oksida technique on the structural
identification of ZrNbMoGe alloy,
Proceedings of The International
Conference on Materials Science and
Technology (2011) 91-97.
4. Quadakkers, W.J., Naumenko, D.,
Dani, M., Dimyati, A., Mayer, J., and
Gambar 10. Struktur mikro matrik dan lapisan Singheiser, L., Importance of Reactive
oksida paduan ZrNbMoGe setelah Element Interaction with C- and N-
oksidasi 700 oC. impurities for Alumina Scale Growth
and Adherence on FeCrAl Alloys,
John Stringer Symposium, ASM
Conference Indianapolis (2001) 20-
25.
5. Mayer, J., Penkalla, H.-J., Dimyati,
A., Dani, M., Untoro, P., Naumenko
D., and Quadakkers, W.J., Time
dependence of Mg-incorporation in
alumina scales on FeCrAl alloys
studied by FIB-prepared TEM cross
sections, The Fifth International
Conference on the Microscopy of
Gambar 11. Hasil Uji EDS ZrNbMoGe Oxidation (2002) 167-173.
setelah oksidasi 700oC. 6. Untoro, P., and Wagiyo, Workshop on
High Temperature Corrosion Using
KESIMPULAN TGA/MSB, National Nuclear Energy
Agency (BATAN), Serpong (2002).
Pengujian SEM menghasilkan gambar 7. www.ankersmid.com/china/physic/ch
mikrostruk- tur dan komposisi unsur kimia arasterisa-tion/products/rubotherm
dalam paduan material. Lapisan oksida hasil
oksidasi paduan zirkonium juga dapat

50 Studi Scanning Electron...