Journal Society Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558

www.elsevier.com/locate/jeurceramsoc

sifat microwave dielektrik komposit kaca-keramik untuk suhu rendah

keramik co-firable
Chung-Chin ChengSebuah, Tsung-Eong HsiehSebuah, I-Nan Linb,*
Sebuah
Departemen Ilmu dan Teknik Material, Universitas Chiao-Tung Nasional, Hsinchu, 300, Taiwan, ROC
b
Material Science Center, Tsing-Hua Universitas Nasional, Hsinchu, 300, Taiwan, ROC

Abstrak
Ba-B-Si kaca ditambahkan ke Ba-Nd-Sm-Bi-Ti-O (BRT114) Microwave bahan dielektrik untuk aplikasi LTCC. metode pengolahan satu
langkah konvensional untuk mempersiapkan kaca-BRT114 material komposit menghasilkan rendah dielektrik konstan, karena kaca mudah
bereaksi dengan BRT114 dan membentuk fase konstan dielektrik rendah, Ba3B6si2HAI16. Sebagian besar pori-pori muncul. Sifat kaca,
apakah itu sol-gel yang berasal atau menyatu, menunjukkan pengaruh yang nyata pada struktur mikro dan microwave dielektrik sifat-sifat
komposit. Sebuah proses dua langkah yang mengandung precoating BRT114bubuk dengan lapisan tipis dari kaca, diikuti oleh proses
persiapan sampel konvensional, sangat meningkatkan perilaku densifikasi material. Pembentukan pori-pori dan interaksi antara kaca dan
BRT114 itu sangat ditekan sehingga bahan dengan konstanta dielektrik tinggi ("r= 40) dicapai oleh sintering 9 wt.% Kaca yang
mengandung komposit pada 950 C selama 2,5 jam.
# 2003 Elsevier Ltd All rights reserved.
Kata kunci: keramik Kaca; Microwave keramik; BRT114; bahan LTCC

1. Perkenalan dan e ff ect parameter pengolahan pada char-acteristics

suhu rendah keramik co-firable (LTCC) dimiliki-
bernyanyi sifat microwave dielektrik yang baik telah
banyak diteliti karena kebutuhan untuk miniaturiza-tion
perangkat untuk mengurangi ukuran sistem komunikasi
nirkabel.1 3Namun, microwave bahan dielektrik memiliki
faktor kualitas tinggi dan besar konstanta dielektrik
biasanya membutuhkan sangat tinggi suhu dosa-tering dan
waktu perendaman yang lama untuk mencapai kepadatan
cukup tinggi. Di sisi lain, menggunakan bahan Ag sebagai
melakukan bahan untuk jalur transmisi dan pesawat tanah
diperlukan untuk meminimalkan kerugian penyerapan
microwave. Penurunan suhu sintering bahan microwave ke
tingkat cofir-mampu dengan bahan Ag-elektroda sehingga
disebut untuk. Umumnya, bahan kaca suhu pelunakan
rendah dicampur dengan bahan keramik untuk mengurangi
suhu cemara-ing.4 9 Namun, pembentuk jaringan con-
tained di bahan kaca dapat menyerap kekuatan microwave
mendalam dalam rezim frekuensi tinggi, menurunkan
faktor kualitas bahan.10 Pada artikel ini, sifat microwave
dielektrik dari bahan kaca
* Penulis yang sesuai.
Alamat email: inlin@mx.nthu.edu.tw (IN. Lin).
0955-2219 / 03 / $ - melihat hal depan # 2003 Elsevier Ltd All rights reserved.
doi: 10,1016 / S0955-2219 (03) 00.166-3
komposit kaca-to-keramik diselidiki. Kami menunjukkan
bahwa metode pengolahan dua langkah ini mampu
meningkatkan kepadatan kaca-BRT114 komposit dan untuk
meningkatkan konstanta dielektrik komposit ke nilai yang
tinggi dari 40.
2. Percobaan
Kaca-BRT114spesimen disusun oleh proses oksida
campuran con-ventional. Komponen kaca, yang terdiri dari
BaO: B2HAI3: SiO2dalam rasio 42:45:13 wt.% dengan Ts
= 619 C, disiapkan oleh salah hidrolisis campuran
alkoksida (ditunjuk sebagai kaca sol-gel) atau proses fusi
langsung (ditunjuk sebagai kaca menyatu). BRT 114
microwave dielektrik komersial (MBRT-90B, Fujititan).
Dalam proses satu langkah, sol-gel (atau menyatu) gelas
9-40 wt.% Dicampur langsung dengan BRT114 bubuk,
diikuti oleh pembuatan pelet, dan kemudian sintering di
850 950 C selama 2,5 jam. Untuk proses dua langkah,
serbuk BRT114 dicampur dengan proporsi kecil dari kaca
sol-gel atau kaca menyatu (5,5 wt.%) Dan
dikalsinasi pada 700 C selama 1 jam. Kaca dilapisi BRT114
bubuk kemudian dicampur dengan kaca menyatu (4,5-34,5
2554 C.-C. Cheng et al. / Jurnal Masyarakat Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558

. Wt%), yang terdiri dari BaO: B 2HAI3: SiO2 dalam rasio ditambahkan, sedangkan Gambar. 4 (b) mengungkapkan
51: 45:. 4% berat dengan Ts = 609 C, dan diproses oleh bahwa baik nilai er dan Qf bervariasi dengan konten gelas
kondisi persiapan sampel yang sama dari proses satu dalam tren yang lebih terkendali untuk bahan turunan kaca
yang menyatu. Konstanta dielektrik menurun secara
langkah.
monoton dari sekitar "r = 15 hingga 17 untuk 9% berat
kaca yang mengandung komposit ke
Struktur kristal dan struktur mikro dari sampel dosa-
tered diperiksa dengan menggunakan X-ray di ff Reaction
(Siemens 5000D) dan mikroskop elektron scanning
(Hitachi-2500S), masing-masing. Microwave tepat-ikatan,
dielektrik konstan "r dan faktor kualitas Q f sampel sinter
diukur dengan metode rongga, menggunakan jaringan
analyzer HP-8722ES.

3. Hasil dan Pembahasan

3.1. Satu-langkah bahan olahan

SEM mikrograf ditampilkan di Buah ara. 1 dan 2

ilustrari, masing-masing,). ketergantungan komposisi
struktur mikro dengan jumlah kaca yang berbeda
untuk komposit kaca-BRT114 yang digabungkan
dengan kaca sol-gel atau kaca leburan (BaO: B2O3:
SiO2 dalam rasio 51: 45: 4% berat). Semua sampel
memiliki proporsi porositas, menunjukkan bahwa
baik kaca sol-gel dan kaca yang menyatu tidak dapat
membasahi serbuk BRT114 cukup baik dan, oleh
karena itu, tidak dapat secara efektif memadatkan
keramik.
Bahan-bahan yang berasal dari gelas-sol-gel
mengandung pori-pori dengan ukuran yang lebih kecil
daripada yang berasal dari kaca yang menyatu. Implikasi
dari fenomena ini adalah bahwa serbuk kaca sol-gel, yang
ukurannya lebih kencang (0,5 mm), bercampur lebih
merata dengan serbuk BRT114 daripada serbuk kaca yang
menyatu, sekitar 1,5. Selain itu, kaca leburan lebih reaktif
seperti aglomerat besar dihasilkan sebelum interaksi
powerber dengan bahan BRT114. Fenomena bridging
terjadi selama proses ring, menghasilkan pori-pori besar.
Fenomena bridging yang terjadi pada material sol-gel glass
berasal tidak seserius yang diamati pada kaca yang
menyatu. Peningkatan kandungan gelas dari 9 menjadi
23% berat hanya sedikit meningkatkan kerapatan sampel,
yang juga dapat dianggap berasal dari aglomerasi dan
fenomena penghubung yang terjadi sebelum pengentalan
material komposit. Selain itu, Gambar. 3 (a) dan (b), pola
difraksi sinar-X untuk gelas-gelas sol-gel yang diturunkan
dan gabungan dari turunan kaca BRT114, masing-masing
menunjukkan bahwa kedua jenis material kaca berinteraksi
dengan bubuk BRT114 secara nyata pada suhu-suhu,
membentuk fase Ba3B6Si2O16.
Bahwa kaca menyatu dapat bereaksi dengan BRT 114
bubuk lebih mudah daripada kaca sol-gel adalah lebih
setan-didemonstrasikan oleh ketergantungan komposisi
dari sifat gelombang mikro untuk bahan komposit
Gambar. 1. MikrografSEM permukaan dipoles dan termal-
[Gambar. 4(A) dan (b)]. Gambar. 4(A) menunjukkan
tergores untuk bahan komposit kaca-BRT114 mengandung
bahwa konstanta dielektrik (" r) Dan faktor kualitas (Q f)
sol-gel turunan kaca dari (a) 9% berat, (b) 16,7% berat, dan
dari sol-gel kaca yang diturunkan materi-als berfluktuasi
(c) 23% berat, yang disinter pada
mendalam dengan konsentrasi kaca
950 C selama 2,5 jam.
 C.-C. Cheng et al. / Jurnal Masyarakat Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558 2555

Gambar. 3. X-ray pola di ff Reaction untuk kaca-BRT114 komposit dosa-

tered di 950 C selama 2,5 jam (a) sol-gel yang berasal kaca dan (b) kaca
menyatu.

tentang er = 12,5 untuk 23% berat kaca yang

mengandung sampel. Faktor kualitas (Q f) meningkat
dengan proporsi kaca yang ditambahkan, mencapai
nilai maksimum, sekitar 9000, untuk sampel yang
mengandung 23% berat kaca dan turun lagi untuk
peningkatan lebih lanjut dalam konten kaca.
Konstanta dielektrik ("r) dan faktor kualitas (Q f)
tidak hanya untuk bahan turunan kaca yang menyatu
tidak hanya memiliki nilai yang lebih tinggi, tetapi
juga bervariasi dengan proporsi kaca lebih konsisten,
dibandingkan dengan kaca sol-gel yang diturunkan.

Gambar. 2. SEM mikrograf dari permukaan halus dan termal-tergores

untuk kaca-BRT114 material komposit mengandung menyatu segelas (a) 9
wt.%, (b) 16,7 wt.%, dan (c) 23 wt.%, yang disinter pada 950 C selama
2,5 jam.
3.2. Dua langkah bahan olahan

Hasil di atas menyiratkan bahwa faktor prima,

menghasilkan porositas tinggi dan sifat dielektrik
gelombang mikro yang buruk untuk komposit
BRT114 yang diproses satu langkah, adalah bahwa
kaca tidak dapat membasahi serbuk BRT114 dengan
sangat baik Proses yang mungkin untuk
meningkatkan pembasahan kaca dengan material
BRT114 adalah dengan mendahului material BRT114
dengan lapisan tipis komposisi kaca, sebelum
pencampuran dengan proporsi kaca yang besar. Buah
ara. 5 (a) dan 6 (a) masing-masing menunjukkan
peningkatan yang luar biasa dalam perilaku densitas
untuk kaca-BRT114 komposit karena proses dua
langkah. Untuk spesimen yang mengandung 9% berat
kaca BaBSiO leburan, yang disinter pada 950 C
selama 2,5 jam, sangat sedikit pori-pori yang diamati.
2556 C.-C. Cheng et al. / Jurnal Masyarakat Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558

Gambar. Sifat 4. Microwave dielektrik (er dan Q f) untuk kaca-BRT114

disinter komposit pada 850-950 C selama 2,5 jam (a) sol-gel yang berasal
kaca dan (b) kaca menyatu.

diamatiApakah lapisan precoating adalah kaca sol-gel atau

kaca yang menyatu tampaknya tidak memiliki pengaruh.
Rupanya, peningkatan yang diucapkan dicapai dalam
proses dua langkah dapat dianggap berasal dari
peningkatan kemampuan basah kacamata dengan bubuk
BRT114 karena adanya lapisan kaca tipis. Bahwa sifat
lapisan pelapis tidak dapat dimengerti mempengaruhi
perilaku densifikasi, karena suhu tinggi kalsinasi (700 C)
setelah pelapisan akan bereaksi sepenuhnya dengan lapisan
kaca bubuk BRT114, terlepas dari bahan precoating.
Bahkan untuk komposit yang diproses dua langkah, pori-
pori muncul lagi ketika bahan-bahannya mengandung
bagian gelas yang lebih besar, yang ditunjukkan pada
Gambar. 5 (b) dan (c) untuk bahan yang dilapisi kaca sol- Gambar. 5. mikrograf SEM untuk dua langkah diproses kaca-BRT114
gel dan Gambar. (b) dan (c) untuk bahan-bahan yang bahan com-posite, yang precoated dengan lapisan tipis kaca sol-gel dan
dilapisi kaca Agaknya, kelebihan kaca menghasilkan kemudian dicampur dengan (a) 9 wt.%, (b) 16,7 wt.%, dan (c) 23 wt.%
menyatu kaca, diikuti oleh sintering pada 950 C selama 2,5 jam.
aglomerasi dan menjembatani fenomena-enon, yang
menghalangi proses pemisahan. Menurunkan suhu
penyiraman juga nyata meningkatkan porositas, yang Serbuk secara signifikan ditekan untuk bahan yang
diduga disebabkan oleh kemampuan pembasahan yang disiapkan dengan proses dua langkah Gambar 8 (a) dan (b)
tidak memadai antara kacamata dan bubuk BRT114 menunjukkan "r dan Q-f sifat bahan-bahan ini, yang
masing-masing, diawali dengan lapisan tipis dari kaca sol-
berlapis kaca. Analisis x-ray di ff raction (Gbr. 7)
gel dan kaca leburan, diikuti dengan pencampuran dengan
menunjukkan bahwa interaksi antara kaca dan BRT114
kaca leburan dan proses persiapan sampel lainnya.
Untuk spesimen yang mengandung 9% berat kaca,
 C.-C. Cheng et al. / Jurnal Masyarakat Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558
Gambar. 6. SEM mikrograf untuk dua langkah diproses kaca-BRT114
bahan com-posite, yang precoated dengan lapisan tipis kaca menyatu dan
kemudian dicampur dengan (a) 9 wt.%, (b) 16,7 wt.%, dan (c) 23 wt.%
menyatu kaca, diikuti oleh sintering di 950 C selama 2,5 jam.
konstanta dielektrik masih rendah untuk 850 atau 900
sampel C- merah, tetapi meningkat tajam, hingga er =
40, untuk sampel 950 C- merah. Fenomena yang
sama diamati, tidak ada yang precoating
2557
Gambar. 7. X-ray pola di ff Reaction untuk dua langkah diproses kaca-
BRT114komposit, yang precoated dengan lapisan tipis kaca menyatu dan
kemudian dicampur dengan 9-23 wt.% kaca menyatu, diikuti oleh
sintering pada 950 C selama 2,5 jam.
Gambar. 8. Microwave sifat dielektrik untuk dua langkah diproses kaca-
BRT114 komposit, yang precoated dengan lapisan tipis (a) kaca sol-gel
dan (b) kaca menyatu, dan kemudian dicampur dengan 9-23 wt.% dari
kaca menyatu, diikuti oleh sintering pada 850-950 C selama 2 jam .
lapisan adalah sol-gel atau kaca yang menyatu
Konstanta dielektrik menurun secara mencolok
seiring dengan meningkatnya proporsi kaca yang
menyatu, yang tampaknya disebabkan oleh adanya
fase sekunder yang kaya akan zat Bi2O3.
2558 C.-C. Cheng et al. / Jurnal Masyarakat Keramik Eropa 23 (2003) 2553-2558
Faktor kualitas (Q f) dari dua langkah bahan olahan,
bagaimanapun jelas lebih rendah, Penjelasan yang
mungkin untuk fenomena seperti itu adalah bahwa
bahan berpori mengandung udara sebagai fasa
sekunder, yang diketahui memiliki nilai Q yang jauh
lebih tinggi daripada bahan-bahan BRT114-kaca.
Oleh karena itu, Qf-nilai untuk bahan porositas yang
lebih rendah akan memiliki faktor kualitas yang lebih
rendah, dibandingkan dengan bahan berpori.
4. Kesimpulan
Karakteristik material komposit kaca-BRT114
secara sistematis diselidiki. Untuk satu langkah
komposit diproses, sebagian besar pori-pori muncul,
yang menghasilkan konstanta dielektrik rendah untuk
bahan, tetapi Q besar. Sifat kaca, apakah itu sol-gel
berasal atau menyatu, menunjukkan pengaruh yang
ditandai pada mikrostruktur dan sifat dielektrik
microwave dari material komposit. Pori-pori besar
dan saling berhubungan, menyimpulkan terjadinya
fenomena bridging yang pada gilirannya, dapat
berasal aglomerasi serbuk kaca selama proses
pembakaran. Sebuah proses dua langkah, yang
mendahului BRT bubuk dengan lapisan kaca tipis,
sangat meningkatkan perilaku densifikasi untuk
materi.
bahan dengan konstanta dielektrik tinggi (er = 40)
dicapai dengan sintering kaca 9% berat yang
mengandung bahan komposit pada 950 C selama 2,5
jam. Namun, nilai-Q menurun secara signifikan.
Ucapan Terima Kasih
Dukungan keuangan dari National Science Dewan, ROC
melalui proyek tidak ada. NSC 89-2622-E-007-001 yang
syukur dihargai oleh penulis.
Referensi
1. Chon, SB, IEEE Trans. pada MTT 1968, MTT-16, 218.
2. Wakino, K., ferroelektrik, 1989, 91, 69.
3. Wilcox, DL Sr, Huang, RF dan Dai, SX, Am. Seram. Soc. Transaksi
keramik, 1999, 97, 201.
4. Takada, T. et al., E ff ect penambahan kaca di BaO-TiO2-
WO3keramik microwave. Selai. Seram. Soc., 1994, 77 (7), 1909.
5. Takada, T. et al., J. Am. Seram. Soc., 1994, 77 (9), 2485.
6. Lewis, MH, Kacamata dan Kaca Keramik. Chapman Dan Hall,
1989.
7. Jantunen, H., Rautioaho, R., Uusima¨ki, A. dan Leppa¨vuori, S., J.
Euro. Seram. Soc., 2000, 20, 2331.
8. Yang, CF dan Lo, SH, J. Mater. Sci. Surat, 1998, 17, 1029.
9. Wu, JM dan Huang, HL, J. Mater. Res., 1998, 15 (1), 222.
10. Navias, L. dan Green, RL, J. Am. Seram. Soc., 1946, 29 (10), 267.