Investigación:

Sensores de aceleración y
vibración

Emmanuel Osuna Soto

ID: 133801
Cesar Alberto Apodaca García
ID: 132884
Sensores e interfaces electromecánicas
Juan José Padilla Ybarra

30 de Marzo del 2017 Cd. Obregón, Sonora.

Sensores de Aceleración y Vibración
Los sensores de aceleración y vibración son, en la mayoría de los casos, el mismo
instrumento, aunque existen algunos ejemplos de cada uno que no podrían
realizar ambos trabajos. Esto se debe a una considerable superposición, sin
embargo, es razonable considerarlos en la misma discusión.

Aceleración
La aceleración es una cantidad vectorial, así que tiene magnitud y dirección. Una
no puede definir de manera adecuada la aceleración de cualquier objeto.
Las técnicas convencionales para detectar y medir la aceleración se fundamenta
en el primer principio descubierto por Newton y descritos en su Principio de
Newton en 1687. La aceleración constante de una masa implica una fuerza F = m
⋅ a, donde F es la fuerza, a es la aceleración y m es la masa.
Muchos acelerómetros operan detectando la fuerza ejercida en una masa por una
imitación elástica. Considerando un sistema mecánico simple, que consiste en una
masa fija m, con un muelle con una rigidez k (constante). Si la masa se desplaza
una distancia x, la aceleración debida a la fuerza restauradora del muelle es F = k
⋅ x.

Definición Acelerómetro
Los sensores utilizados para medir la aceleración se denominan acelerómetros.
Un acelerómetro como se intuye por su nombre es un instrumento para medir la
aceleración de un objeto al que va unido, lo hace midiendo respecto de una masa
inercial interna.
Existen varios tipos de tecnologías (piezo-eléctrico, piezo-resistivo, galgas
extensométricas, láser, térmico …) y diseños que aunque todos tienen el mismo
fin pueden ser muy distintos unos de otros según la aplicación a la cual van
destinados y las condiciones en las que han de trabajar.
Los acelerómetros son sensores inerciales que miden la segunda derivada de la
posición. Un acelerómetro mide la fuerza de inercia generada cuando una masa
es afectada por un cambio de velocidad.
Hay dos parámetros principales a la hora de escoger el medidor adecuado, los
rangos de funcionamiento de temperatura y frecuencia. Otros parámetros
importantes pueden ser el tamaño, si tienen más funciones, la resistencia a golpes
y por supuesto el precio.
Acelerómetros mecánicos
Uno de las formas más comunes de acelerómetro es el de sistema de masa
amortiguada. Este dispositivo consiste en una masa m suspendida entre un
resorte y un sistema de amortiguación. En el sistema descrito en a figura 7.2 Xm
es la posición de la masa M, mientras Xc es la posición de la caja del
acelerómetro. El resorte obedece la lay de Hooke, así que tiene una fuerza
restaurativa kx, mientas que para el amortiguador la expresión es:
F=βXm.

Figura 7-2 Medición de acelerómetro de masa

Por lo que la expresión involucra la posición de la masa del acelerómetro y la caja

además de la aceleración a. la masa tendera a oscilar con una frecuencia F
(normalmente llamado w) para un sistema que es críticamente amortiguado, el
sensor proveerá una precisión razonable desde 0 hasta justo debajo de w, la
ecuación (7-6) puede ser rescrita en una manera en la cual tome la oscilación en
el efecto.

Z es la impedancia mecánica del sistema, usualmente llamada una constante de

amortiguación. El valor de Z otorga información acerca de las características del
sensor:
 Z=1: críticamente amortiguado: los denominadores de la ecuación
contienen un par de raíces repetidas
 Z<1: amortiguado: los denominadores contienen dos raíces complejas
 Z>1: críticamente sobre amortiguado: denominadores contienen 2 raíces
reales
Algunas maneras de transducción son necesitados para producir una señal de
salida desde la masa oscilante. En la figura 7-3 la señal eléctrica es producida por
un potenciómetro conectado a una fuente de potencial eléctrico. Cuando la masa
esta en descanso, el ajuste del potenciómetro se encuentra en el punto medio, por
lo que el potencial de salida V0 es cero, cuando la masa se mueve hacia arriba, el
potencial se vuelve positivo y cuando es movida hacia abajo el potencial es
negativo.

7-3 Derivación de una señal eléctrica de salida

Otra manera de transducción de un acelerómetro es mostrada en la figura 7-4, la

masa sísmica M es montada a una caja atraves de un par de cables que se
encuentran tensos. Estos cables son considerados resistencias eléctricas, por lo
que el sensor puede ser usado en un circuito del tipo piezorresistivo de galga
extensiométrica como un puente de Wheatstone. Cuando la masa acelera a través
del eje del sensor, un cable es sometido bajo una gran tensión, mientras el otro
tiene una tensión menor, la frecuencia de oscilación de la masa es proporcional a
la tensión:
T=4πL2r2pF2
Un sensor inductivo colocado cerca de la masa proveerá la frecuencia.

Figura 7-4 acelerómetro de cable tensado

Un acelerómetro de doble resorte es mostrado en la figura 7-5. En este caso la

masa es un imán permanente balanceado entre dos resortes, una bobina de
inducción es colocada de manera adyacente a la bobina, por lo que cuando el
imán se mueva, un corriente eléctrica es inducida en la bobina, cuando la masa
vibra, un voltaje oscilatorio aparecerá atreves de las terminales de la bobinas. Otra
aplicación de este mismo principio es mostrada en la figura 7-6. La masa/imán es
colocada dentro de la bobina. Los muelles mostrados en la figura 7-6 son muelles
de hoja voladiza colocados a un contenedor de alojamiento. En sensores de
vibraciones sencillos la masa dentro de la bobina es un núcleo magnéticamente
permeable la cual cambia la inductancia de la bobina. Estos sensores son usados
con circuitos osciladores donde la inductancia de la bobina es parte de la red de
configuración de frecuencia.
 Figura 7-5 acelerómetro de masa inductivo

Las galgas extensiometricas son utilizadas en una amplia variedad de sensores.

En la figura 7-7 se observa una galga extenciometrica utilizada en un
acelerómetro. Una masa sísmica es suspendida en una viga voladiza colocado a
la pared del sensor. Cuando la masa se mueve, esta flexiona la viga, colocando
una galga extensiometrica en tensión y la otra en compresión. Las galga
extensiometrica son usadas normalmente en circuitos puente de Wheatstone por
lo que producen una salida la cual es proporcional a la aceleración de la masa.
Un acelerómetro de doble viga es mostrado en la figura 7-8. Algunos de los
acelerómetros más modernos están basados en este método son basados en
silicón piezoresistivos. En estos sensores la masa sísmica es suspendida desde
soportes a través de un par de galgas extensiometricas, estos dispositivos tienen
una buena sensitividad a frecuencias de 5kHz y proporciona un muy buen rechazo
fuera del eje.
La frecuencia de resonancia de las oscilaciones armónicas de la masa sísmica
puede ser encontrada por:

1 𝑘
𝐹= √
2𝜋 𝑀

La constante de muelle k es divida por el desplazamiento Δx. Un parámetro

llamado eficiencia de transducción β es usada para determinar la sensitividad ψ.
Los factores para determinar β incluyen la posición y el número de los elementos
piezoresistivos, los elementos dopantes y la relación de aspecto (L/W) de los
elementos. Valores típicos de sensitividad, expresados en micrivolts por gramo de
aceleración por volt de potencial de excitación, varían de 5 uV/g/V a 5mV/g/V. la
sensitividad es:
𝛽𝑀
Ψ= = ((2𝜋 2 )𝛽)/𝐹 2
𝑘
Un acelerómetro de péndulo es mostrado en la figura 7-9. En esta forma de sensor
la masa es sostenida desde un péndulo de longitud L.
F=Ma=-mgsinθ
Por un péndulo simple, donde el desplazamiento desde el centro S es pequeño
comparado con la longitud L, el ratio de desplazamiento a aceleración es:
s/a=Lθ/(-gsinθ)=-L/g
La frecuencia de resonancia del péndulo es:
𝐿
T=2π√𝑔

Para deflexiones angulares pequeñas.

La transducción eléctrica en el sensor de aceración de péndulo es un elemento

potenciómetro empacado con el péndulo, cuando el péndulo esta en descanso, el
indicador del potenciómetro se encuentra en el medio y el voltaje de salida es 0. El
movimiento en el péndulo causa que el voltaje varié desde positivo hasta negativo
en una forma de onda casi senoidal.

Acelerómetros piezoeléctricos.
Su funcionamiento se basa en el efecto piezoeléctrico. La palabra piezo de origen
griego significa “apretar”, por lo que se puede deducir su comportamiento: una
deformación física del material causa un cambio en la estructura cristalina y así
cambian las características eléctricas. Su principal inconveniente radica en su
frecuencia máxima de trabajo y en la incapacidad de mantener un nivel
permanente de salida ante una entrada común.
El funcionamiento de este tipo de acelerómetros se basa en las propiedades de
los cristales piezo-eléctricos. Estos cristales cuando son sometidos a alguna
fuerza producen una corriente eléctrica, a causa de la variación de su estructura
cristalina. Como puede ser el cristal de cuarzo, existen otras sustancias naturales
que poseen comportamientos similares tales como la turmalina o sal de Rochelle.
Estas sustancias tienen una gran estabilidad tanto ante el cambio en las
condiciones medioambientales como en transcurso del tiempo, pero las señales
que son capaces de producir resultan muy débiles lo que es un problema para
cualquier sistema de instrumentación. También existen materiales sintéticos
producen el efecto piezoeléctrico gracias a la anisotropía de su estructura y a la
distribución de sus cargas eléctricas que se suele conseguir después de un
tratamiento, el proceso de fabricación de los materiales cerámicos utilizados como
dispositivos piezoeléctricos supones una serie de pasos con etapas de sinterizado,
pulido y polarizado para concluir con la deposición de los electrodos.
Así que poniendo un cristal de este tipo entre la carcasa (unida al objeto cuya
aceleración se quiere medir) y una masa inercial se producirá una corriente
cuando ocurra una aceleración ya que la masa ejercerá una fuerza sobre el cristal.
Midiendo esta corriente podremos calcular la aceleración, bien directamente si se
trata de un acelerómetro de salida de corriente (culombios/g) o bien convirtiénd
ola a un voltaje de baja impedancia si se trata de un acelerómetro de salida de
voltaje.

Figura 11.1 la aceleración se mide con una masa m solidaria al sensor

El sensor piezoeléctrico, en sí mismo, responde a la fuerza aplicada pero, como

quiera que otras magnitudes tales como la aceleración o la presión se pueden
relacionar directamente con la fuerza aplicada.
Desgraciadamente, cualquier sistema para la lectura del valor de salida del sensor
no posee impedancia infinita por lo que cargara inevitablemente el circuito. En
estas circunstancias la carga colocada en la salida modificara el comportamiento
del sistema, introduciendo un polo a baja frecuencia y estableciendo la
correspondiente frecuencia de corte inferior como se muestra en la figura 11.2

Figura 11.2 Aparición de una frecuencia de corte inferior en la respuesta del sensor piezoeléctrico
debido a una carga conectada
Los efectos de la resistencia de la salida sobre el comportamiento del sensor se
traducen en la reducción del margen de frecuencias al que se puede usar; a pesar
de que puede hacerse que la frecuencia de corte inferior sea muy baja, no puede
llegar a medir en continua por lo que el ámbito de aplicación de este tipo sensores
es limitado a las medidas dinámicas, es decir, medidas en las que la fuerza
aplicada sobre el dispositivo (la aceleración en este caso) sea variable.
Para los casos de las medidas dinámicas se puede hablar de una zona de trabajo
comprendida entre la frecuencia de corte inferior y la frecuencia de resonancia,
sin embargo, a la frecuencia de corte inferior la respuesta del sistema es -3dB
menor que en la zona plana y, además, habrá un desfase claro entre la fuerza de
excitación y la señal entregada. En la parte superior, tampoco se deberá trabajar
en las cercanías de la frecuencia de resonancia ya que se introducirían ganancias
adicionales y desfases importantes por lo que se recomienda un valor mucho
menor tal como 9/40fo que introduce un error inferior al 5%. Si se pretende
minimizar el error de las frecuencias extremas de la zona de trabajo, se puede
trabajar una década por encima de la frecuencia de corte inferior y una década por
debajo de la frecuencia de resonancia, consiguiendo que el error en la medida sea
de un 1% aproximadamente como se muestra en la figura 11.3

Figura 11.3 (a) definición “tradicional” de la zona de trabajo, (b) redefinición de la zona de trabajo
para que el error sea menor o igual al 1%

Acelerómetros piezoresistivos.
La piezoresistividad denota el cambio en la resistencia que ocurre cuando
cualquiera el cambio de longitud o de área en un conductor ocurre como se
muestra en la figura 12.0 esta situación resulta en un decremento de la
resistencia eléctrica
 Figura 12.0

La resistencia eléctrica incrementa de la siguiente forma:

Un acelerómetro piezo-resistivo a diferencia de uno piezo-eléctrico utiliza un

sustrato en vez de un cristal piezo-eléctrico, en esta tecnología las fuerzas que
ejerce la masa sobre el sustrato varían su resistencia, que forma parte de un
circuito que mediante un puente de Whetstone mide la intensidad de la corriente.
La ventaja de esta tecnología respecto a la piezo-eléctrica es que pueden medir
aceleraciones hasta cero Hz de frecuencia.
Acelerómetros capacitivos
Los sensores capacitivos están basados en la variación de la capacidad entre dos
o más conductores entre los que se encuentra un dieléctrico, en respuesta a la
variación de alguna magnitud física. Aunque las aplicaciones más conocidas están
asociadas con medida de movimiento lineal y angular también son empleados
para medir la aceleración entre otros.
Las principales características que presentan son:
 Permiten detectar muy pequeños desplazamientos
 Son fácilmente integrables en un chip de silicio
 No se ven afectados por la temperatura o el alineamiento mecánico
 Son muy estables en entornos hostiles
 Tienen muy bajo consumo
Sus desventajas:
 Necesitan circuitos de acondicionamiento especializado mecánico
 No son lineales
 No pueden operar con humedades extremas
 Cierto desconocimiento de la tecnología
El condensador diferencial es aquel el que tiene un formato de tres placas planas
paralelas imagen 13, en general las placas exteriores suelen ser fijas y la placa
central móvil, en respuesta a la variable a detectar.

Imagen 13 condensador diferencial horizontal

Para pequeños valores de desplazamiento x en relación con la distancia entre

placas d, la expresión anterior se puede aproximar por:
Si se disponen las tres placas del condensador diferencial como se muestra en la
imagen 13.1

Imagen 13.1 Condensador diferencial horizontal

A pesar de que C1 y C2 son no lineales, se logra obtener una salida lineal

realizando una medida diferencial y con una sensitividad mayor que en el caso del
condensador simple esta es una configuración típica para acelerómetros.
Los sensores capacitivos en forma de circuito integrado en un chip de silicio se
emplean para la medida de la aceleración. Su integración en silicio permite reducir
los problemas derivados de la temperatura, humedad, capacidades parásitas,
terminales, alta impedancia de entrada, etc.
Cuando se observa el sensor micromecanizado parece una "H". Los delgados y
largos brazos de la "H" están fijos al substrato. Los otros elementos están libres
para moverse, lo forman una serie de filamentos finos, con una masa central, cada
uno actúa como una placa de un condensador variable, de placas paralelo. La
aceleración o desaceleración en el eje “SENSOR”, ejerce una fuerza a la masa
central. Al moverse libremente, la masa desplaza las minúsculas placas del
condensador, provocando un cambio de capacidad. Este cambio de capacidad es
detectado y procesado para obtener un voltaje de salida.
El dispositivo realmente trabaja en un lazo de control electrónico de
fuerza/balanceo. Este lazo de control evita el movimiento de la masa en
aceleración, por la aplicación de una fuerza igual pero opuesta creada por la
aplicación de un voltaje en las placas del condensador. Este voltaje aplicado es
directamente proporcional a la aceleración. En este tipo de acelerómetros el
elemento que conecta la masa inercial con la carcasa es un condensador figura
13.2. Una de las paredes está fija, pegada a la carcasa y la otra a la masa.
Cuando ocurre una aceleración la masa presiona el condensador variando el
grosor entre pared y pared. Midiendo la capacitancia del condensador podemos
calcular la aceleración. Este tipo de acelerómetros son extremadamente
resistentes, pueden soportar aceleraciones de 30000g lo cual permite usarlo en
mediciones de aceleración de proyectiles de cañón.

13.2 Esquema del principio de funcionamiento de un acelerómetro de

condensador.
Bibliografía
 Sensors and circuits: sensor, transducers, and supporting circuits for
electronic instrumentation, measurement, and control
Josehp Carr.
 Instrumentación electrónica, Miguel A. Pérez García
 http://bibing.us.es/proyectos/abreproy/11638/fichero/Capitulo+4.pdf