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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系统 振 动 特性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力 吴 运 新 韩 雷 等
热 超 声 引线 键 合 换 能 系 统振 动 特 性仿 真研 究
隆 志 力 吴 运 新 韩 雷 钟 掘
中南 大 学 ,
长沙 ,
410083
摘要 :
在 建立 热超 声 引线键 合换 能 系统各 子部 分运 动 方程 的基础 上 ,
利 用有 限元 方法建 立
空 载情 况下换 能 系统 的振 动特 性仿 真模 型 ,并采 用正 弦扫频 方法验证 仿 真模 型 。结果表 明 :
换
能 系统 以 第 2阶 变幅 杆 轴 向 振 动 与 劈 刀 径 向 振 动 的 模 态 作 为 其 工 作 状 态 下 的 主 振 型 ;
换 能 系
统 工作 频 率 附近 包含 多种 振动 模 态 ,
键 合过 程极 易被 激发 而表 现 出多模 态性 ,由此会 消耗 部分
超 声能量且 对 芯 片键 合 界 面造成 负面影响 ,
这 些振 动模 态必 须得 到抑 制 ;
仿 真计 算 与试验 结 果
相 吻合 ,
其 中 工 作 频 率 的 相 对 误 差 只 有 1.2
。
关键 词 :
换 能 系统 ;有 限元模 型 ;
振 动 特性 ;
热超 声 引线键 合
中图分类 号 :
TN605
文章 编号 :
1O04— 132X(2006)1
5— 1
613— 05
Vi
brati
on Si
m ul
ati
on of
Transducer
System i
n Therm osoni
c W i
re Bondi
ng
Long Zhi
li
W u
Yunxi
n H an
Lei
Zhong
J ue
Centra1
South U ni
versi
ty.Changsha,4
10083
Abstract:T he vi
brati
on si
m ulati
on m ode1
of
a t
ransducer
system i
n therm osoni
c w i
re bonding
w as
establ
ished by fi
nite elem ent
m ethod and veri
fied by el
ectri
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m ent
. The
result
s show that.transducer system of
wi
re bonder
works wi
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concentrator
and radi
a1 vi
brati
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capi
llary. T here are
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syst
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brati
on charact
eri
sti
cs; therm osoni
c w i
re bondi
ng
0 引 言 量 传递 的部 件 ,
其 超声 振 动 特 性 直 接 影 响 系统 的
当前 ,
引线 键 合 与 倒装 键 合 构 成 半 导 体 器 件 能量输 出 ,由此 影 响芯 片与基 板之 间 的键 合 质量 。
制造 后半 序 ,即芯 片 一级 封装 的 主体 工 艺 。引 线 换 能 系 统 综 合 了 电 场 、力 场 、声 场 等 不 同物 理 系
键合 工艺 简单 且 已相 当成 熟 ,占据 芯 片 封装 领 域 统,
其 振 动 特 性 相 当 复 杂 ,Or等 曾经 预 测 换 能
70
的份额 。倒 装 键 合 是 新兴 的芯 片 互 连 工 艺 ,
系统 包含 多种 振 动 模 态 当这 些振 动 模 态 处 于 超
它 包 括 回流 焊 、
热 超 声倒 装 键 合 、
热 压 倒 装键 合 、
声锁 相 环范 围之 外时 ,
换 能 系统 可能 会产 生“随机
环 氧树 脂导 电胶 等 4种 封装类 型 。倒装 键 合工艺 振动 模式 (
random
vibr
ati
on
mode)”。因此 ,
研 究
的主 要 特点 是 多 点 键合 ,
互 连效 率 非 常 高 ,因此 ,
与 分析 换能 系统 的振 动 特性 ,对 换 能 系统 的性 能
倒 装键 合 工艺 是芯 片封 装工 艺 的发展 方 向 。
评 判 与设计 依据 具有 重要 意 义 。
作 为超声 引线 键合 和热 超声 倒装 键合 系统 的 当前 ,
换能 系统 超声 振 动 的研 究方 法 包 括 解
重 要 组 成部 分 ,
换 能 系统 充 当 电声 转 换 与 超声 能 析法 、
传递 矩 阵法 、
等效 电路法 以及 有 限元法 。解
析法 简单 直接 ,
但边 界条 件难 于确 定 ,
且不适 合 多
收 稿 日期 :
20O5
O5
11
物理 系统 的建 模 ;
传 递 矩 阵 法存 在 计 算 量 过 大 的
基金项 目:
国 家 自然 科 学 基 金 资 助 项 目 (5
039
006
4);国 家 重 点 基
缺点 ;
等 效 电路法 适合 整体 系统模 型 的建 立 ,
但 参
础 研 究 发 展 计 划 资 助 项 目(2003CB716202)
[11]
周 上 祺 .x 射 线 衍 射 分 析 I
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作者简介 :
奏 哲 ,女 ,
1973年 生 。 广 东 工 业 大 学 机 电 工 程 学 院
E
l2]
马如璋 ,
许 祖 雄 .材 料 物 理 现 代 研 究 方 法 [M]
.北 讲师 、
博 士 研 究 生 。主 要 研 究 方 向 为 难 加 工 材 料 切 削 加 工 。 发 表
京:
冶 金 工 业 出 版社 ,
1997.
论 文 1O余 篇 。 王 成 勇 ,
男 ,1
964年 生 。 广 东 工 业 大 学 机 电 工 程
(编 辑 卢湘帆)
学 院教 授 、
博 士 研 究 生 导 师 。 袁 墓 ,女 ,1950年 生 。广 东 工 业
大学 机 电工 程 学 院副 教 授 。
・
1613 ・
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数太 多且 计算 复 杂 ;
有 限单 元 法 是 分 析 和设 计 换 应 。压 电 陶瓷 的运 动 状态 由压 电方 程 描 述 ,
即
能 系统 的 一 种 有效 方 法 。Or等 建立 了 引线 键 T 一 一 eE 、
合 变 幅杆 一劈 刀 系统 的有 限元 仿 真 模 型 ,获 得 了 D:e
TS+£
E} (
1)
式中,
T为 应 力 矢 量 ;
C为 弹 性 矩 阵 ;
D 为电通 密度矢 量 ;
e
该 系统 谐 振频 率 及变 幅杆 轴 向振 动 的位 移 分 布 ;
为压电矩阵 ;
s为应 变 矢 量 ;
£为 介 电 常 数 矩 阵 ;
E 为 电 场
Par
rini
l3
结合 有 限元模 拟和 阻抗 测试 设 计 了用 于
强度矢量 。
楔焊 的 125kHz换 能 系统 ;
Ami
n等 利 用计 算 机
1.2.2 变 幅 杆 运 动 方 程
辅助 方法 分 析 了用 于 超 声 加工 的变 幅杆 ,
并 提 出
假设 变 幅杆 由均 匀 、
各 向同性 的材料 构成 ,
能
优化 变 幅杆性 能 的方 法 。
量 在变 幅杆 中传 递没有 受 到热 弛豫 、
粘滞 、
热 传导
本文 针 对生 产线 上使 用 的某一 热超 声 引线键
等 内部 因素 的影 响 ,由此 可 以忽 略 能 量 的 材料 内
合机,
在 建立 换 能 系统 各 子 部 分 运 动 方 程 的基 础
部 机械 损耗 。同时 ,
变 幅杆 的横 截 面尺寸 远小 于声
上,
利 用 有 限 元 法 在 ANSYS平 台上 建 立 压 电 陶
波波长,
所 以声 波 传 递 可 以视 为 平 面 纵 波 在 变 幅
瓷 一过 渡段 一变 幅杆 一劈 刀 整个换 能 系统 的超声
杆 中的传 递 ,由此 ,
其波 动方 程 可定 义为
振 动 特性仿 真 模 型 ,并 分 析 系 统谐 振 频 率 与 振 动
模态 。
尝
3
x0+
’
S(
z)
3
—
O
S(
—
xx
3
)一
3y+
x’
’
一o
(
2
~)
1
工 艺 过 程 y
(x,
t
)= 詈
1.1
系 统 组 成 及 工 艺 过 程
c
s一√ 厂
图 1所 示 为典 型 的 热 超声 引线 键 合 系统 ,其
式 中 ,Y为 z位 置 的 质 点 振 动 位 移 ;
为声 波 在 杆 件 传 递 时
键 合参 数为 :
超 声频 率 62kHz,
压 力 0.588N,
温 度
的波 数 ;c
为 声 波 在 杆 件 传 递 时 的 波 速 ;
Eg为 变 幅 杆 材 料
220℃ ,
键合 时 间 50ms。它 主 要 由 超 声 发 生 器 、
的弹 性 模 量 ;
p 为 变 幅 杆 的 密 度 ;f为 质 点 的振 动 频 率 ;
PZT换 能器 、变 幅 杆 、劈 刀 等 部 分 组 成 。超 声 发 S(z)为 圆截 面变 幅 杆 的 横 截 面 面 积 。
生 器 的 电能量 通 过 PZT 换 能 器 的 逆 压 电效 应 转 安 装 过渡部 分 和换 能器 前后 盖板 属 于等截 面
换 为 纵 向机械 振动 ,
然 后经 过变 幅杆 的放 大作 用 ,
杆件 ,
可 以将 其 当成 圆锥变 幅杆 的特 例处 理 。
再经 过劈 刀转 化 为 与 芯 片 平行 的横 向振 动 ,由此 1.2.3 劈 刀 运 动 方 程
劈 刀尖端 带动 金 线 (
或 铝丝 )与基 板 发生 相互 摩擦 考 虑劈 刀横 截面 的转 动惯 量和 剪切 变形 对高
振动 ,
从 而将 超声 能量 传递 到键 合 界面 。
频振 动 的影 响 ,
根 据 Ti
moshe
nko梁 理论 ,劈 刀 的
横 向弯 曲波 动方 程 为
E
d
Y +
pd
S(
Y)
等--p
d
I(
)
(1
+而E
d)
+
K
G 3 一 o
㈦
…
v
式中,
Z(y,
£)为 劈 刀 横 向振 动 的位 移 函数 ;J(
)为 劈 刀 横
(a)换 能 系 统 组 成
截 面 的转 动惯 量 ;
s( )为劈 刀 横 截 面 的 面 积 为 劈 刀 材
料密度 ;
Ea为 劈 刀 材料 的 弹 性 模 量 ;
G 为 劈 刀 材 料 的 剪 切
模量 ;
K 为 劈 刀 横 截 面 剪 切 力 分 布不 均 匀 系 数 ,
矩 形 截 面
I压力
时 K = 1
/1.2,
圆 形 截 面 时 K 一 1/1.1。
t
… 动
D舢 】
2
有 限元 模 型
利用 ANSYS
8.0平 台建 立 如 图 2所 示 的换
萋 童
誊 能 系统 有 限元模 型 ]。整个 系统 由 PZT压 电陶 瓷
f温 度
片、
前后 盖 板 、
过 渡段 、
变 幅杆 及劈 刀等 部分 组成 。
(b)键 合 点 局 部 图
为 了简 化模 型 ,
建模 过程 忽略 了安 装肋 环 的影 响 ,
图 1 热 超 声 引 线 键 合 系 统
将 劈 刀 当成 实 心 圆柱 体 处 理 ,
而 且 暂 不 考 虑 一 些
1.2
运 动 方 程
间 隙因素 的影 响 。表 1和 表 2为模 型 的材 料 特 性
1.2.1
压 电方 程
参数 、
单 元类 型 以及模 型 的部分 尺寸 。
采 用扫 掠方
压 电 陶瓷是 一 种 智 能材 料 ,当 受 到 电场 作 用
法 网格划 分 模型 ,
整 个 模 型包 含 19
716个 单 元 及
时发生 压 电效应 ,当 受 到力 作 用 时 发 生 逆压 电效
38;
905个 节 点 。
・
】6】4 ・
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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系 统 振 动 特 性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力 吴 运新 韩 雷 等
动 而损 耗所 传递 的超 声 能 量 ,
并 直 接 影 响 芯 片 与
基板 的键 合质 量 。
3.1 工 作 频 率 与 主 振 型 分 析
仿真 计 算 得 到 ,
在 0~200kHz频 率 范 围 内 ,
换能 系统 包 含 3阶变 幅杆轴 向振动 与劈 刀径 向振
动 的 模 态 ,其 固 有 频 率 分 别 为 44.291
kHz、
62.1
89kHz和 86.157
kHz。图 3为 利 用 正 弦 扫
频 PZT换 能器 的方 法测 试 得 到 的换 能 系 统 Bode
图,
表 3为仿 真分析 与试 验 的对 比结果 ,
可 以看 出
二者 吻合得 很 好 ,仿 真 误 差 可能 来 源 于 材 料 特性
(a)换 能 系统 模 型
误差 、
尺 寸测 量误 差 以及 有 限 元建 模 时简 化 了的
一
些 细节 等 因素 。
20
一
3O
—
号 -4
0
(b)单 元 划 分 及 约 束 加 载 菩一
50
馨
图 2 换 能 系统 有 限元 模 型 一
60
表 1
材 料 特 性 参 数 、单 元 类 型 及 部 分 尺 寸
7O
—
组 成 材 料 密度 p
弹 性 泊 松 部 分 尺 寸
部 分 单 元 类 型 (
k 模 量 E
g/
m3)
(GP 比 (r
am )
8O
一
a)
4O 5O 6O 7O 8O 90 100 llO
外 径 l
3.44
冁率 f
7kHz
压 电 PZT
陶 瓷 片 4
Sol
Ed5
7700
内径 8.00
一
图 3 实 测 的 换 能 系统 Bo
de图
厚 度 l
4.8O
预 紧 直 径 l
2.8O
螺 栓 长 度 l
4.8O 表 3 仿 真 与 实 测 的 固有 频 率 对 比
前盖 板 直径 l2.8O 模 态 序 号 仿 真 谐 振 频 率 实测 谐 振频 率 相 对 误 差 (% )
后盖 板 长 度 5.1O (kH z)
(kH z)
不 锈 钢 Sol
id45
793O
226
0.28
安 装 直 径 l
O.66
l4 44.29l
49
9
部 分 长 度 4O.47
23 62.189 63 1.2
变幅 杆 大 端 直 径 lO.66
32 86.157 83 3.8
小 端 直径 3.0
0
劈 刀 AI
2O3
Sol
id45 4OOO 393 0.27
直 径 l
_56
图 4、图 5及 图 6分 别为 不 同谐振 频率下 的 3
长 度 7.O5
阶变 幅杆 轴 向振 动与劈 刀径 向振 动 的模态 及 相应
的位 移 振型 图 。当谐 振 频 率 为 44.291kHz时 ,
变
表 2 PZT一 4材 料 特 征 参 数
幅杆 节 点 有 2个 ,当 谐 振 频 率 为 62.189kHz时 ,
介电常数矩阵 压电矩阵 e
8 (C/
m 2)
弹性 矩 阵 c(GPa)
变 幅 杆 节 点 为 3个 ,当 谐 振 频 率 为 86.1
57kHz
时,
变 幅杆 节点 为 4个 ,
而 劈 刀在这 三种 谐振 频率
—
0
— 5.2
0 — -139
74
3 77
8 一
一 728 5 0 0 —
0 l
5. 1
0 — 5 2 0
0 ll
5 74.3
l
39
下 的 位 移节 点 只 有 1个 。从振 型 图可 得 到 ,通 过
0 634.7 0
O O 728 5
l
2 7
0
0
0 l
0
2.7
25.6
25 6
换 能 系统 的放大 作 用 ,
劈 刀末 端 的位 移 都 得 到放
0 0 0 30 6
大 。在 实 际键合 过程 中 ,当超 声 发 生 器 以 63kHz
左 右 的 电 信 号 激 励 换 能 系 统 时 ,换 能 系 统 的
3
结 果 与分 析 62.1
89kHz的固有 频 率 ,即第 2阶固有 频 率 被 激
发而 成 为整个 系 统 的工 作 频率 ,其 相 应 的振 型成
有 限 元 仿 真 结 果 发 现 ,换 能 系 统 在 0~
为工 作状 态下 的主振 型 。可见 ,
在键 合 过程 中 ,
换
200kHz频 率范 围 内包 含 50种振 动 模 态 ,
其 中包
能 系统 主要 以 3个节 点变 幅 杆轴 向和 1个节 点劈
括轴 向 、
弯曲、
扭 转 以及 多种模 态耦 合 等类 型 的振
刀径 向振动 的模 态将 超声 能量 传递 到芯 片与 基板
动模 态 。当受 到适 当 的外 部 激 励 信 号 时 ,这些 振
的键合 界 面 。
动模 态都 有可 能 被 激 发 ,由此会 产 生 不 必 要 的振
・
1
6]5
・
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一
一
一
一
6 4 2 O 2 4 6 8
(a)系统 振 动模 态
(a)系 统 振 动 模 态
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霞 E 一 5.O 表 4 工 作 频 率 附近 的振 动 模 态 及 影 响
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7,5 模 态 谐振 频 率 振 动
序 号 (kHz
) 模 态 对 芯 片 与 基 板键 合 的影 响
《
R 一 1O.0
.
橡 21
57
.820
弯 曲 前 后 往 复 拉 扯 金 线 ,
使 金线 脱 离基 板
馨 一
12.5
22
6
0.033
扭 转 变 幅 杆 “扭 弯 ”运 动 ,
卷扯 金 线
15.O
—
变 幅 杆 长 度 Lc/
mr. 劈 刀质点振动 相对位移 5
d
(b)变 幅 杆 系 统 振 型 (c)劈 刀 振 型 25
63 弯 曲 与 破 坏 PZT 压 电 陶 瓷 ,
.
468
扭 转耦 合 前 后往 复 拉 扯 金 线
图 5 谐 振 频 率 为 62.189kHz的 振 动 模 态 与 振 型
4
结 论
3.2 工 作 频 率 附 近 的 振 动 模 态 分 析
图 7为 56~ 64kHz范 围 内提 取 换 能 系 统 在 (
1)引线键 合 系 统 换 能 系统 包 含 多 阶变 幅 杆
工作频 率 (63kHz)附 近 的振 动 模 态 。可 以 看 到 ,
轴 向与劈 刀径 向的振动 模态 。对 于本 研究 键合 系
在工作 频 率 (
63kHz)附 近 ,
换 能 系统 的振 动 模 态 统,
在 O~ 100kHz范 围 内 ,换 能 系 统 包 含 3阶 变
非 常丰 富 ,
除 了纵 向振 动 之 外 ,系 统还 包 含 弯 曲 、
幅杆轴 向与 劈刀 径 向的 振 动模 态 ,而 实 际工 作 中
扭转 及多 模态 耦 合 等类 型 ,表 4详 细列 举 了这 些 以第 2阶 62.1
89kHz固有 频 率 的 振 动 模 态作 为
振 动模 态及 对芯 片与 基板键 合 的影 响 。在 实 际键 工 作状 态下 的 主振 型 ,即 以 3个 节 点 变 幅杆 轴 向
・
1
61
6 ・
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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系 统振 动 特性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力 吴 运 新 韩 雷 等
种振 动模 态 ,
键 合 过 程 极 易 被激 发 而 表 现 出 多模
态性 ,由此会 消耗 部 分 超 声 能量 且 对 芯 片 键 合界
面 造成 负面 影响 ,
这些 振动 模态 必须得 到 抑制 。
(
3)通过 采用 新 型 压 电 陶瓷 材 料 (如 压 电复
合 材料 )、
合 理控 制 劈 刀 与 变 幅 杆 的连 接 方 式 、进
一
步优 化换 能 系 统 的节 点 安 装 方 式 、抑 制 超声 发
生器 的谐 波成 分等 方式 可有 效抑 制非 工作模 态 的
影响,
提 高换 能 系统超 声能量 的传 递效 率 。
参考文献 :
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(编辑 郭 伟)
作者简介 :
隆志 力,
男 ,1
976年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学 院 博 士
(d)谐 振 频 率 为 63.468kHz的模 态
研究生 、
讲 师 。 研 究 方 向 为 微 电 子 封 装 工 艺 。 发 表 论 文 1O篇 。
图 7 工 作 频 率 (
63kHz)附 近 的 振 动 模 态
吴运 新 ,
男,1963年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学 院 教 授 、博 士 研 究
振 动 与 1个 节点 劈 刀径 向振 动 的模 态将 超 声能 量 生 导 师 。韩 雷 ,
男 ,1
959年 生 。 中 南 大 学 机 电工 程 学 院 教 授 、
传递 至芯 片键 合界 面 。
博 士 研 究 生 导 师 。钟 掘 ,
女,1936年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学
(2)换 能 系统 工 作频 率 (63kHz)附 近 包 含 多 院教 授 、
博 士 研 究 生 导 师 ,中 国工 程 院 院 士 。
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1617
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