ABSTRAK
Nanopartikel Tungsten Trioksida (WO3) dapat disentesa dari material dasar Tungsten (VI)
Hexaklorida (WCl6) dan ethanol (C2H5OH) dengan menggunakan metode sol gel dilanjutkan dengan
pelapisan gel WO3 pada substrat Al2O3 yang berukuran 1 cm2. Material dipanaskan di dalam furnace
dengan metode kalsinasi dengan temperatur 300 oC, 400 oC, 500 oC, dan 600 oC menggunakan waktu
tahan selama 1 jam. Kemudian material tersebut dikarakterisasi menggunakan uji (SEM), (AFM) dan
(XRD). Luas permukaan aktif partikel dan jenis pori diidentifikasi dengan menggunakan BET
analyzer. Pengukuran kapasitansi kapasitor menggunakan alat pengukur elektrokimia (Potentiostat).
Dari hasil XRD dapat diketahui ukuran kristalnya monoclinic. Pada hasil SEM didapatkan ukuran
partikel yang semakin besar sesuai kenaikan temperatur. Thin film WO3 termasuk kedalam jenis
micropores dan mesopores dengan luas permukaan aktif yang semakin turun sesuai dengan kenaikan
temperatur kalsinasi. Dalam uji kapasitif didapatkan hasil yang optimum pada temperatur 500 oC dan
scan rate 2 mV/s sebesar 22.96 F/gr. Semakin besar nilai scanrate maka semakin kecil nilai dari
kapasitif kapasitor dengan material WO3.
1
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012
Kapasitor WO3
III. HASIL DAN PEMBAHASAN Gambar 2. Hasil pelapisan nano material WO3 di
atas substrat alumina setelah diproses kalsinasi
Pembentukan Sol-Gel Tungsten Trioksida dengan variasi temperatur (a) 300oC (b) 400oC (c)
Proses sintesa WO3 untuk material 500oC (d) 600oC
kapasitor yang dilakukan meliputi proses sol
dan gelasi. Proses gelasi pada pembuatan
sample diawali dengan pembentukan prekusor.
Dalam proses pembentukan prekusor diawali
dengan dilarutkannya 7 gram tungsten (VI)
hexachloride dengan 100 mL ethanol
(C2H5OH), larutan yang terbentuk memiliki
endapan berwarna kuning dan endapan
menjadi biru saat penambahan ammonium Gambar 3 Sampel kapasitor elektrokimia
hidroksida (NH4OH). Larutan kemudian
diaduk menggunakan stirrer hot-plate dengan Analisa XRD
kecepatan yang konstan dan terjaga Pengujian XRD (Philips XRD X-Pert
kestabilannya. Proses pengadukan dilakukan XMS) pada serbuk tungsten trioksida dalam
selama 24 jam pada temperatur es. berbagai temperatur kalsinasi dengan waktu
Tahap gelasi terjadi saat pengadukan holding selama 1 jam dapat dilihat pada
berlangsung, terbentuk endapan yang semakin Gambar 3.
banyak, yang menyebabkan gerakan dari Pola XRD menunjukan bahwa kristal
stirrer semakin tidak beraturan. Selama proses
tungsten trioksida yang terbentuk pada
pengadukan, terjadi proses pembentukam
prekursor yang memiliki ikatan alkil sebagai temperatur kalsinasi 300 oC , 400 oC ,500 oC
penyusunnya. Unsur logam yang telah dan pada temperatur 600 oC struktur kristalnya
berikatan dengan alkohol dan membentuk adalah monoclinic (kartu JCPDS 72-1465).
ikatan alkil inilah yang akan menjadi
2
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012
Analisa XRD untuk mengetahui struktur Tabel. 1 Ukuran kristal serbuk tungsten trioksida
Kristal menggunakan program Match. dari berbagai temperatur.
Gambar 4 menunjukkan pola XRD
yang mempunyai puncak – puncak difraksi T
λ(Ǻ) B(rad) Ө(o)
Cos D
(ºC) ө (nm)
yang sesuai dengan struktur WO3 monoklinik.
300 1.54056 0,0065153 40,7 0,76 28,07
Puncak-puncak yang tinggi terdapat pada 400 1.54056 0,0071593 11,84 0,98 19,79
sudut 2θ = 23.09º, 23.58º, dan 24.32º (JCPDS 500 1.54056 0,0063268 11,6 0,98 22,37
card no. 072-1465) yang menunjukkan bidang 600 1.54056 0,0040526 11,565 0,98 34,92
(002), (020) dan (200). Sedangkan pada sudut
2θ = 41,7o adalah pola difraksi dari substrat Secara umum, pola XRD
alumina (Al2O3) dengan bidang (006). menunjukkan puncak-puncak yang semakin
tajam dan intensitas yang semakin tinggi
dengan dengan kenaikan temperatur. Pada
temperatur kalsinasi 300 oC menunjukkan
ukuran kristal yang lebih besar dari temperatur
400 oC dan 500oC, karena pada hasil xrd
temperatur 300oC puncak tertingginya terdapat
pada 2θ = 81,4o. Sedangkan pada temperatur
400oC, 500 oC dan 600 oC tetap membentuk
sebuah trend yang menunjukkan bahwa
semakin bertambahnya temperatur maka
semakin besar ukuran kristal thin film WO3.
Analisa SEM
SEM biasanya digunakan untuk
meneliti morfologi suatu material. Gambar 5.
dari sampel Tungsten Trioksida setelah proses
kalsinasi.
Tungsten Trioksida setelah proses
kalsinasi dengan beberapa temperatur yang
berbentuk lembaran tipis semitransparan.
Partikel yang mengalami proses kalsinasi pada
temperatur 300ºC memiliki ukuran partikel
Gambar 4. Pola XRD pada serbuk tungsten sekitar 161 – 322 nm dengan ketebalan sekitar
trioksida yang telah dikalsinasi dengan berbagai 64 nm. Sedangkan pada temperatur 400ºC
temperatur. (a) 300ºC, (b) 400ºC, (c) 500ºC, dan (d) memiliki ukuran partikel sebesar 343 – 893
600ºC nm dengan bentuk kristal yang berbentuk segi
empat dan memiliki ketebalan sekitar 152 nm.
Ukuran kristal serbuk tungsten Pada temperatur kalsinasi 500ºC
trioksida diketahui dari persamaan Scherer. ukuran partikel serbuk berkisar antara 391 –
1043 nm, namun bentuk partikelnya kembali
D = _0.9λ_ kurang berbentuk dengan ketebalan sekitar
Β cosө 163 nm. Sedangkan pada temperatur 600 oC
memiliki ukuran partikel 407 – 1142 nm,
Dimana λ adalah panjang gelombang namun partikelnya kembali kurang berbentuk
radiasi (Ǻ), B adalah Full Width at Half dengan mempunyai ketebalan 260 nm.Pada
Maximum (rad) dan ө adalah sudut Bragg (o). temperatur 300oC dan 400oC, masih cenderung
Ukuran kristal serbuk tungsten trioksida dari membentuk agregat, yang menjadikan ukuran
berbagai temperatur kalsinasi dapat kita partikel terlihat besar. Dengan semakin
simpulkan bahwa semakin tinggi temperatur naiknya temperatur kalsinasi ukuran partikel
dari thin film Tungsten Trioksida semakin
kalsinasi semakin besar ukuran kristal tungsten besar.
trioksida ditunjukan pada Tabel 1. Perubahan bentuk dan ukuran partikel
teresbut disebabkan oleh transformasi fasa dan
3
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012
pembentukan kembali dari partikel serta parameter, Seperti surface roughness analysis,
pertumbuhan kristal. Gambar tersebut juga root mean square (RMS), mean roughness
mengindikasikan bahwa partikel-partikel WO3 (Ra), height of particle (Rmax). Analisa yang
cenderung membentuk agregat dengan partikel diperoleh dapat diindikasikan bahwa film WO 3
yang lain. yang dipreparasi memiliki struktur nano
dengan karakteristik permukaan yang tidak
Analisa AFM merata.
Gambar 6 menunjukkan karakterisasi
pada uji AFM (Atomic Force Microscopy) Tabel 2. Nilai parameter kekasaran pada
dengan profile lapisan tipis WO3 yang dibuat thin film WO3
melalui pengkuran AFM. Gambar tersebut RMS Ra Rmax
876,9 nm 769,2 nm 1.538 nm
merupakan tampilan tiga dimensi dari
roughness analysis. Struktur nano dari lapisan
tipis WO3 yang dipreparasi dapat diobservasi
melalui foto AFM tersebut dari nilai beberapa
a b
c d
Gambar 5. Hasil Foto SEM thin film tungsten trioksida pada temperatur kalsinasi (a) 300ºC, (b) 400ºC, (c)
500ºC, dan (d) 600ºC dengan perbesaran 10.000x
a b
Gambar 6. Profile AFM : Lapisan WO3 yang dipreparasi dengan metode sol-gel dan proses kalsinasi pada
temperatur 400oC, (a) tampak 3 dimensi dan (b) tampak 2 dimensi.
4
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012
5
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012
6
Jurnal Teknik Material dan Metalurgi
Institut Teknologi Sepuluh Nopember Surabaya, 2012