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MINISTERIO CERTIFICADO Nº

DE INDUSTRIA, ENERGÍA
Y TURISMO

CENTRO ESPAÑOL DE METROLOGÍA 151567005

CERTIFICADO DE CALIBRACIÓN
Certificate of Calibration

Expedido a: INACAL
Issued to Instituto Nacional de Calidad
Dirección de Metrología
Av. Canadá 1542
San Borja - Lima 41

De acuerdo con: Las directrices para el uso del logotipo CIPM MRA (Documento CIPM 2006-04)
In accordance with

Instrumento: Interferómetro láser


Instrument

Especificaciones: Sistema interferométrico configurado para medición de distancias.


Features

Fabricante: Agilent
Manufacturer

Marca/modelo: Agilent/5519
El documento consta de un total de 5 folios. Folio 1 de 5 - Código Seguro de Verificación: 37928-11785467

Trademark/Type
FIRMADO por : Emilio Prieto Esteban, Jefe de Área de Longitud (CEM). A fecha : 18/11/2015 16:17:20

Nº Serie/Código CEM: US45220437


Serial number/CEM code

Fecha(s) de 6/11/2015 a
Calibración: 18/11/2015
Date(s) of calibration

Este Certificado no atribuye al equipo otras características que las indicadas por los datos aquí contenidos. Los resultados se refieren al momento y condiciones en que se efectuaron las
mediciones. Se garantiza la trazabilidad a los patrones nacionales. No se permite la reproducción parcial de este documento sin autorización expresa. El presente Certificado es coherente
con las Capacidades de Medida y Calibración (CMC) incluidas en el Anexo C del Acuerdo de Reconocimiento Mutuo (ARM) redactado por el Comité Internacional de Pesas y Medidas
(CIPM). Según el ARM, todos los Institutos participantes reconocen entre sí la validez de sus certificados de calibración y medida para las magnitudes, campos e incertidumbres
especificados en el citado Anexo C (para más detalles véase http://www.bipm.org)
This Certificate does not confer to the equipment attributes beyond those shown by the data contained herein. Results refer to the dates and conditions in with measurements were carried
out and guarantee traceability to national standards. Partial reproduction of this document is not permitted without written permission. This Certificate is consistent with Calibration and
Measurement Capabilities (CMCs) that are included in Appendix C of the Mutual Recognition Arrangement (MRA) drawn up by the International Committee for Weights and Measures
(CIPM). Under the MRA, all participating institutes recognize the validity of each other's calibration and measurement certificates for the quantities, ranges and measurement uncertainties
specified in Appendix C (for details see http://www.bipm.org)

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El Centro Español de Metrología, comprometido con el medio ambiente, mantiene un sistema de Gestión
Medioambiental ISO 14001 certificado por AENOR con el número GA-0638/2008 ISO 14001
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CALIBRACIÓN DE:

SISTEMA INTERFEROMÉTRICO LÁSER EN CONFIGURACIÓN DE MEDIDA DE


DISTANCIAS.

DESCRIPCIÓN:

Sistema interferométrico láser, marca Agilent, compuesto por los siguientes elementos:

Denominación Modelo Identificación


Cabezal láser Agilent 5519A US45220437
Sensor ambiente Agilent E1738A CN08400169
Conectado en canal 4
Sensor de temperatura de material E1737A CN08400204
Conectado en canal 1
Sensor de temperatura de material E1737A CN08400205
Conectado en canal 2
USB Hub sensor 1736A CN08400177
USB Hub sensor 1735A CN08400182
Software Agilent Calibrador dinámico 10717F
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5530 Rev F.04.04


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PROCESO DE MEDICIÓN:

Se ha realizado una calibración simplificada del sistema interferométrico conforme al


procedimiento CEM-PT-0104, que consta de las siguientes fases:

a) Determinación de la longitud de onda en vacío

La determinación la longitud de onda en vacío del láser y su variación durante varias horas de
funcionamiento, se determina mediante comparación con un láser de referencia del CEM.

El láser de referencia CEM-2 (Id 1.1-01.01-0080) es un láser de Helio-Neón estabilizado


mediante célula de absorción de Iodo, emitiendo en 473,612 THz. Ha sido sintonizado en una de
las componentes de la transición 11-5 R(127) del 127I2. La célula de Iodo se halla situada dentro
de la cavidad resonante. El diseño cumple las recomendaciones 1983 del Comité Internacional de
Pesas y Medidas, revisadas posteriormente en la Mise en pratique (MEP 2003). La frecuencia de
emisión del láser de referencia se conoce con una incertidumbre típica de 2,1 partes en 1011,
cumpliendo las especificaciones del Comité Internacional de Pesas y Medidas.

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La comparación se ha realizado mediante la técnica de batido de frecuencias. La frecuencia de


batido se ha detectado con un fotodiodo de avalancha, amplificándose la señal de salida 40 dB,
sobre un ancho de banda de 500 MHz, de forma que pueda ser correctamente observada mediante
un analizador de espectros, garantizándose la pureza de la señal. La frecuencia se ha determinado
mediante un contador de frecuencia acoplado a un ordenador. Las dos frecuencias polarizadas
perpendicularmente emitidas por el láser se han detectado de forma independiente.

b) Determinación de la distancia mediante sistema interferométrico láser y su sensor de


condiciones ambientales conectado.

La valoración del sistema conjunto se ha realizado comparando los valores obtenidos por el
sistema completo autocompensado, operando de forma automática, con los de un sistema
interferométrico láser de referencia del CEM, habiendose compensado la longitud de onda en
vacío de éste de forma manual, empleando sensores de temperatura y presión trazados a patrones
nacionales.

Dicha valoración se ha realizado bajo dos situaciones:

a) con los sensores de condiciones ambientales y de temperatura de material conectados,


eligiendo un coeficiente de dilatación del material de 11,7 × 10-6 ºC -1
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b) con el sensor de condiciones ambientales conectado y los sensores de material


desconectados.

Las condiciones ambientales durante la calibración se han mantenido dentro de los límites
siguientes:

- Temperatura: 20 ºC ± 0,5 ºC - Humedad: 45 % ± 10 %

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RESULTADOS E INCERTIDUMBRES :

a) Determinación de la longitud de onda en vacío.

Las mediciones se han realizado durante más de 12 horas, a contar desde 10 minutos después de
la conexión del láser, habiendo permanecido éste apagado más de 10 horas antes de la conexión.
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El máximo rango de variación de frecuencia encontrado durante la calibración ha sido inferior a


2,9 MHz, lo cual supone una estabilidad mejor que 3,5 × 10-9.

La longitud de onda media resulta ser de 632,991 372 92 nm ( ± 2,2 fm, k = 2), contribuyendo al
error relativo en longitud en 3,0 × 10-8(véase Nota 1).

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b) Verificación del sistema conjunto en configuración de medición de distancias

La evaluación del sistema interferométrico configurado para medición de distancias, con todos
sus sensores conectados y empleando un coeficiente de dilatación de 11,7 × 10-6 ºC -1, se ha
realizado a partir de 3 series de medidas efectuadas cada metro, hasta una distancia máxima de 25
metros, obteniendose un error del sistema en la medida de distancias de -2,9 × 10-6 L, con una
incertidumbre expandida, para un factor de cobertura k = 2, dada por la expresión
U = 2 ×  9,7 × 10 −7 L
( ) + (0,04 µ m )2  .
2

 

Se ha repetido la anterior evaluación (cada metro, hasta un máximo de 25 m) con el sensor de


ambiente conectado, pero tomando el valor de la temperatura de material a partir de sensores del
laboratorio, sin tener en cuenta sus propios sensores. En este caso, el error obtenido en la medida
de distancias ha sido de -8,9 × 10-7 L, con una incertidumbre expandida, para un factor de
cobertura k = 2, dada por U = 2 ×  9,7 × 10 −7 L + (0,04 µ m )2  .
( )
2

 

Las incertidumbres expandidas finales están dadas para un factor de cobertura k = 2,


aproximadamente equivalente a un nivel de confianza del 95 % y resultan de considerar la
El documento consta de un total de 5 folios. Folio 5 de 5 - Código Seguro de Verificación: 37928-11785467

incertidumbre de los patrones e instrumentos utilizados, el método de calibración, las influencias


ambientales y el elemento en calibración. Su cálculo está basado en las recomendaciones de la
FIRMADO por : Emilio Prieto Esteban, Jefe de Área de Longitud (CEM). A fecha : 18/11/2015 16:17:20

Guía para la expresión de la incertidumbre de medida, versión española, 3ª ed., 2009, publicada
por el CEM.

Dicha incertidumbre está de acuerdo con la Capacidad de Medida y Calibración (CMC) declarada
por el CEM para este tipo de mediciones, y aceptada internacionalmente en base a los criterios
establecidos en el Acuerdo de Reconocimiento Mutuo (ARM) del Comité Internacional de Pesas
y Medidas (CIPM)(http://kcdb.bipm.org/appendixC).

NOTAS:

1) El valor nominal de la longitud de onda en vacío para el cabezal láser Agilent 5519, según
especificaciones del fabricante, es de 632,991 354 nm
2) La potencia de emisión es de 0,6 mW.

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