Canhões de Elétrons

André Luiz Pinto, DC

Chefe do Laboratório de
Microscopia Eletrônica do IME
Jeol
Canhão de Elétrons
ZrO/W(100) Schottky
Type Electron Gun

Higher brightness, 100

times greater than LaB6
gun
Higher coherency
Higher energy resolution,
0.7 to 0.8eV
Higher stability over a
cold FEG
Longer life time 1.5 to 3
years (guarantied time:
5,000 hours)

Jeol
O que desejamos em um
canhão?
z Alto brilho
z Fonte de dimensões reduzidas
z Estabilidade
z Energia Controlável
z Coerência
Brilho
z Definimos o brilho como a densidade de
corrente (corrente, ie, por unidade de área)
emitido em um ângulo sólido αo. Jeol
Unidade: A/m2sr
ie
β= 2
⎛ do ⎞
π ⎜ ⎟ π (α o )2

⎝ 2⎠
Energia dos Elétrons
z Através do Princípio da Dualidade Onda-
Partícula de de Broglie podemos associar o
momento da partícula ao seu comprimento
de onda h
λ=
p
z Energia cinética do elétron a partir do seu
potencial de aceleração
mo v 2
eV = ⇒ p = mo v = 2mo eV
2
Energia dos Elétrons
z Comprimento de onda
h
λ=
2mo eV
z Correção relativística
h
λ=
⎛ eV ⎞
2mo eV ⎜⎜1 + ⎟
2 ⎟
⎝ 2mo c ⎠
Fontes Termiônicas
z Lei de Richardson para a densidade de
corrente
Φ
−
J = AT e 2 kT

A- Cte de Richardson
Φ - Função Trabalho
K – Cte de Boltzmann
Filamento de W
z Baixo custo (~ US$ 90)
z Baixa vida (~ 100 h)
z Baixo brilho

Williams e Carter
Filamento de LaB6
z Maior custo (~US$ 1-3k) Williams e
Carter
z Maior vida (~500 h)
z Maior brilho
z Monocristal <100>
z Suporte resistivo de grafite
ou rênio
z Sujeito a choque térmico
z Altamente reativo
z Podem ter efeito Schottky
(ponta com r~1-10µm dobra
o brilho)

Goldstein et all
Saturação

Jeol Williams e Carter

Saturação

Jeol Williams e Carter

Canhão de Elétrons - Wehnelt
Jeol
Williams e Carter
Controle do Bias
Jeol

Williams e Carter
Problemas das Fontes
Termiônicas
z Evaporação do catodo
z “Thermal drift”
z Baixo brilho
z Brilho máximo
J c eVo
β Max =
πkT
Canhão de Emissão por Campo
(Field Emission Gun - FEG)
z Monocristal <310> com ponta
afiada (r<100 ηm)
z Menor raio concentra o campo
elétrico e diminui a necessidade
de T
z V1 – voltagem de extração
(3-5 kV)
z V2 – voltagem de aceleração
J c eVo
z Brilho máximo β Max =
π∆E
Williams e Carter
Canhão de Emissão por Campo
(Field Emission Gun - FEG)

Goldstein et all

z 3 tipos básicos z Variação da Energia (∆E)

z Frio z Frio – 0,3 eV
z Térmico z Térmico – 1 eV
z Schottky z Schottky – 0,3 - 1 eV
z Crossover z Estabilidade
z Frio - < 5 ηm z Frio – 5%/h
z Térmico - < 5 ηm z Térmico – 5%/h
z Schottky - < 15-30 ηm z Schottky – 2%/h
Goldstein et all

Williams
e Carter
Degradação da Fonte

Goldstein et all
Coerência
z Coerência avalia quão “em fase” estão as
ondas de elétrons
z Coerência temporal vh
λc =
∆E
z Coerência Espacial
λ
α - ângulo de convergência d c <<
2α

z FEG possui grande coerência temporal e

espacial
Diâmetro do Feixe
z O diâmetro final, dt, é resultado do diâmetro
do “crossover” alargado pela aberração
esférica da lente objetiva, ds, e a difração
pela última abertura, dd.
d t = d g2 + d s2 + d d2

2
2⎛ i ⎞ 1 λ
d g = ⎜⎜ ⎟⎟ d s = 0,5Csα 3
d d = 1,22
π ⎝β ⎠ α α
Referências
z Williams, D. B. e Carter, C. B.,
“Transmission Electron Microscopy” , Ed.
Plenum, New York, 1996.
z Goldstein, J. et all, “Scanning Electron
Microscopy and X–Ray Analysis”, Ed.
Springer, 2003.
z Apostila da Jeol – MET
z Apresentação da Jeol – Jeol 2100F