Anda di halaman 1dari 6

SEM

 Fungsi test atau pengamatan dan sasarannya.


Scanning Electron Microscope (SEM) dapat digunakan untuk mengetahui struktur atau
morfologi permukaan dari suatu sampel. Energi dari elektron menuju ke sampel secara
langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang dihasilkan dari sampel. Serangkaian
energi elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis oleh sebuah mikroprosesor yang
canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi (3D) atau spektrum elemen yang unik yang
ada dalam sampel dianalisis. Scanning Electron Microscope (SEM) memiliki resolusi yang
lebih tinggi dari pada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200 nm sedangkan Scanning
Electron Microscope (SEM) bisa mencapai resolusi sampai 0,1 – 0,2 nm

 Metode persiapan benda uji, jalannya test atau pengamatan


Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau elektron
pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai
dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya
diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang
pada layar monitor CRT (tabung sinar katoda). Di layar CRT gambar struktur objek yang
sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang
ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat objek dari sudut pandang tiga dimensi.

SEM memiliki beberapa peralatan utama yaitu:


1. Penembak elektron (electron gun)
Pada jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan dalam bentuk energi panas. Energi panas
ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar panas yang diterima bahan maka akan
semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi pada electron. Pada situasi inilah
akan terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluarmelalui permukaan bahan. Bahan
yang digunakan sebagai sumber elektron disebut sebagai emiter atau lebih sering disebut
katoda. Sedangkan bahan yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks
tabung hampa (vacuum tube) anoda lebih sering disebut sebagai plate. Dalam proses
emisi termal dikenal dua macam jenis katoda yaitu :
a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)
b) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)
2. Lensa Magnetik
Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser lens. Condenser lens kedua
(atau biasa disebut dengan lensa objektif) memfokuskan electron dengan diameter yang
sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm.
3. Detektor
SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap hamburan elektron
dan memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara lain:
a) Backscatter detector (BSE), yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai
nomor atom dan topografi.
b) Secondary detector (SE), yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai
topografi
4. Sample Holder, berfungsi untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM.
5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)
Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat.
a) Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan
cahaya, dan sebagainya).
b) Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat pada
Integrated Circuit (IC) dan chip, dan sebagainya).
c) Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek
(titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
d) Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir
di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya)

Jenis sampel yang dapat dianalisa yaitu :


1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, keramik, fosil, butiran,
karbon, campuran partikel logam, sampel Arkeologi.
2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan cacing. Jaringan
binatang, manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil dan sampel arkeologi
Sampel permukaan patahan yang telah dipersiapkan sebelumnya dimasukkan ke
dalam Sample Chamber, kemudian ditutup dan menunggu kondisi filamen siap
(dinaikkan dayanya perlahan-lahan) selama kurang lebih 20 menit. Setelah mesin siap
kemudian ditembakkan Secondary detector (SE) sebanyak 3 kali di tempat yang sama
dengan perbesaran berbeda. Lalu Backscatter detector (BSE) ditembakkan sebanyak 3
kali di tempat yang sama dengan perbesaran berbeda, dan terakhir di cek komposisi
menggunakan EDAX.

Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:


1. Electron gun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya electron gun yang
digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen berupa lilitan tungsten yang
berfungsi sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada lilitan mengakibatkan
terjadinya pemanasan. Anoda kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik
elektron melaju menuju ke anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu titik pada permukaan sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron, baik Secondary
Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel dan akan
dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada monitor CRT.
Secara lengkap skema SEM dapat dilihat pada gambar berikut

Gambar 1. Mekanisme Kerja SEM


Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X. Sedangkan dari pantulan elastis
didapatkan sinyal backscattered elektron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar
berikut ini.

Gambar 2. Sinyal-sinyal dalam SEM

Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop
cahaya dan TEM. Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron sekunder atau
backscaterred elektron yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel
tersebut dipindai dengan elektron. Elektron-elektron yang terdeteksi selanjutnya diperkuat
sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada
monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah
diperbesar dapat dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang
ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi

 Contoh hasil yang dihasilkan


SEM memiliki perbesaran 10 – 3.000.000 kali, depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar
1 – 10 nm. Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang
baik, kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM
banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industry. SEM memfokuskan sinar elektron
(electron beam) di permukaan obyek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron
yang muncul dari permukaan obyek. Berikut ini merupakan hasil dari hasil dari teknik SEM :
(Perbesaran 250x)

(Perbesaran 5000x)
(Perbesaran 10000x)

 Keuntungan dan kelemahannya


Adapun kelebihan teknik SEM yaitu terdapat sistem vakum pada electron-optical column dan
sample chamber yang bertujuan antara lain:
1. Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena adanya molekul gas
pada lingkungan tersebut, yang dapat mengakibatkan penurunan intensitas dan stabilitas.
2. Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau mengendap pada sampel,
baik gas yang berasal dari sampel atau pun mikroskop. Karena apabila hal tersebut
terjadi, maka akan menurunkan kontras dan membuat gelap

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:


1. Memerlukan kondisi vakum
2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti
emas.