sebuah tokoh penting dalam mikroskop kekuatan atom adalah konstanta pegas probe

kantilever. Untuk membuat tip rasio aspek tinggi, produsen probe kantilever biasanya
menggunakan teknik etsa dinamis yang memodifikasi bentuk dan dimensi ujung dan
balok. Sebagian besar metode yang digunakan untuk menentukan kekakuan balok
mengasumsikan penampang persegi panjang meskipun etsa yang biasa digunakan
menghasilkan balok dengan penampang lintang trapesium. Kami menyajikan di sini
metode yang ditingkatkan untuk menentukan kekakuan balok yang
memperhitungkan geometri kantilever yang sebenarnya. Atomic force microscopy
(AFM) telah menjadi alat metrologi yang sangat berharga untuk sains dan teknologi
yang memungkinkan para peneliti untuk mengkarakterisasi topologi permukaan pada
skala nanometer dan memvisualisasikan orientasi dan distribusi spasial dari molekul-
molekul yang teradsorpsi ke permukaan.1 AFM juga telah digunakan untuk mengukur
sifat mekanik molekul tunggal, ansambel molekul, dan struktur permukaan serta
interaksi perekat antara ujung yang dimodifikasi secara kimia dan substrat.
Pengetahuan tentang kekakuan balok kantilever (konstanta pegas) diperlukan untuk
interpretasi yang tepat dari gambar yang diperoleh di bawah gaya konstan dan untuk
mengekstraksi sifat mekanik sampel dari data kurva gaya.

Beberapa metode untuk menentukan kekakuan balok kantilever telah disajikan,

masing-masing dengan kelebihan dan keterbatasan.2 Metode Cleveland melibatkan
pengukuran resonansi balok sebelum dan sesudah memuatnya dengan massa yang
diketahui.3 Meskipun sangat akurat, metode ini membosankan dan memakan waktu.
mengkonsumsi dan dapat menyebabkan kerusakan ujung kantilever. Gibson et al.
serta Tortonese dan Kirk telah mengembangkan pendekatan "balok pada balok", di
mana kantilever dihubungkan dengan balok kantilever standar yang dikalibrasi. 4,5
Keakuratan metode sederhana ini dibatasi oleh kepastian yang menjadi kekakuan
balok referensi. diketahui, posisi ujung ke ujung balok referensi, dan kalibrasi
sensitivitas fotodioda dan gerakan vertikal pemindai. Metode ketiga melibatkan
pengukuran dimensi balok dan perhitungan kekakuannya dengan mengasumsikan
kerapatan yang diketahui dan modulus Young menggunakan persamaan berikut
untuk penopang persegi panjang dengan penampang persegi panjang.

di mana k adalah konstanta pegas, E adalah modulus Young dari balok, dan w, l, dan t
masing-masing adalah lebar balok, panjang, dan ketebalan. Kesederhanaan metode
ini berfungsi sebagai dasar untuk popularitasnya yang luas. Metode keempat
melibatkan pengukuran spektrum resonansi termal kantilever dan menyesuaikan
model osilator harmonik sederhana untuk itu.6,7 Metode kelima memodelkan
defleksi dinamis kantilever beresonansi secara bebas di ruang.8 Dua metode terakhir
memberikan perkiraan dari konstanta pegas balok, k, dan faktor kualitas, Q, dari
resonansi balok di bawah kondisi eksperimental (dalam ruang hampa udara, udara,
atau fluida). Fondasi teoretis dari tiga metode ini mengasumsikan balok penopang
dengan penampang persegi panjang. Pembaca dirujuk ke review oleh Burnham et al.
untuk perincian lebih lanjut.2