Fundamentals of SEM

1 Dasar-dasar Scanning Electron
Microscopy
Weilie Zhou, Robert P. Apkarian, Zhong Lin Wang, dan David Joy
1. Perkenalan
Mikroskop elektron scanning (SEM) adalah salah satu yang paling serbaguna instrumen yang
tersedia untuk pemeriksaan dan analisis morfologi mikrostruktur dan penokohan komposisi kimia.
Hal ini diperlukan untuk mengetahui prinsip-prinsip dasar optik cahaya untuk memahami
dasar-dasar mikroskop elektron. Mata telanjang dapat membedakan benda subtending sekitar 1 /
60˚ sudut visual, sesuai dengan resolusi ~ 0,1 mm (di optimum melihat jarak 25 cm). mikroskop
optik memiliki batas resolusi ~ 2.000 Å dengan memperbesar sudut visual melalui lensa optik.
mikroskop cahaya telah, dan terus menjadi, penting untuk penelitian ilmiah. Sejak penemuan bahwa
elektron dapat dibelokkan oleh medan magnet dalam berbagai eksperimen di tahun 1890-an [1],
mikroskop elektron telah dikembangkan dengan mengganti sumber cahaya dengan sinar berenergi
tinggi elektron. Pada bagian ini, kita akan, untuk sepersekian detik, membahas dasar-dasar teoritis
dari pemindaian mikroskop elektron termasuk keterbatasan resolusi, interaksi berkas elektron
dengan spesimen, dan generasi sinyal.
1.1. Resolusi dan Abbe Persamaan

Batas resolusi didefinisikan sebagai jarak minimum dimana dua struktur dapat dipisahkan dan masih muncul
sebagai dua objek yang berbeda. Ernst Abbe [1] membuktikan bahwa batas resolusi tergantung pada
panjang gelombang sumber penerangan. Pada panjang gelombang tertentu, ketika resolusi melebihi batas,
yang mengaburkan gambar diperbesar.
Karena difraksi dan interferensi, titik cahaya tidak dapat difokuskan sebagai titik sempurna. Sebaliknya,
gambar akan memiliki penampilan diameter lebih besar dari sumber, yang terdiri dari disk terdiri dari
lingkaran konsentris dengan mengurangi intensitas. Hal ini dikenal sebagai disk Airy dan diwakili dalam
Gambar. 1.1a. Bagian depan gelombang primer mengandung sekitar 84% dari energi cahaya, dan
intensitas sekunder dan tersier gelombang front membusuk cepat pada perintah yang lebih tinggi.
Umumnya, jari-jari Airy disk yang didefinisikan sebagai jarak antara orde pertama puncak dan
1
2 Weilie Zhou et al.
(Sebuah)
(B)
F IGURE 1.1. Ilustrasi resolusi (a) Airy disk dan (b) gelombang depan.
pertama-order melalui, seperti ditunjukkan pada Gambar. 1.1a. Ketika pusat dua puncak utama dipisahkan oleh
jarak sama dengan radius Airy disk, dua benda dapat dibedakan dari satu sama lain, seperti yang ditunjukkan pada
Gambar. 1.1b. Resolusi dalam sistem optik yang sempurna dapat digambarkan secara matematis oleh persamaan
Abbe. Dalam persamaan ini:
d = 0,612 l / n dosa Sebuah
dimana
d = resolusi
l = panjang gelombang radiasi pencitraan
n = indeks bias medium antara sumber titik dan lensa, relatif terhadap ruang bebas
a = setengah sudut kerucut cahaya dari pesawat spesimen diterima oleh tujuan (sudut aperture setengah
dalam radian)
n dosa α sering disebut aperture numerik (NA).
Mengganti sumber penerangan dan lensa kondensor dengan berkas elektron dan kumparan di
mikroskop cahaya, masing-masing, elektron transmisi pertama mikroskop (TEM) dibangun pada
tahun 1930-an [2], di mana berkas elektron difokuskan oleh lensa kondensor elektromagnetik ke
spesimen pesawat. SEM menggunakan berkas elektron terfokus untuk memindai seluruh
permukaan spesimen sistematis, memproduksi sejumlah besar sinyal, yang akan dibahas secara
rinci nanti. Sinyal elektron ini akhirnya dikonversi menjadi sinyal visual yang ditampilkan pada tabung
sinar katoda (CRT).
1.1.1. Interaksi Elektron dengan Sampel
pembentukan citra dalam SEM tergantung pada akuisisi sinyal yang dihasilkan dari sinar
elektron dan interaksi spesimen. Interaksi ini dapat dibagi menjadi dua kategori utama:
interaksi elastis dan interaksi inelastis.
1. Dasar-dasar Scanning Electron Microscopy 3
Hasil hamburan elastis dari defleksi elektron insiden dengan inti atom spesimen atau dengan elektron terluar energi yang
sama. jenis interaksi yang ditandai dengan hilangnya energi diabaikan selama tabrakan dan dengan sudut lebar
perubahan yang terarah dari elektron tersebar. elektron insiden yang elastis tersebar melalui sudut lebih dari 90˚ disebut
elektron backscattered (BSE), dan menghasilkan sinyal yang berguna untuk pencitraan sampel. hamburan inelastis terjadi
melalui berbagai interaksi antara elektron insiden dan elektron dan atom sampel, dan hasil dalam sinar primer elektron
mentransfer energi besar untuk atom itu. Jumlah kerugian energi tergantung pada apakah elektron spesimen sangat
antusias secara tunggal atau kolektif dan pada energi ikat elektron untuk atom. Akibatnya, eksitasi elektron spesimen
selama ionisasi spesimen atom mengarah ke generasi elektron sekunder (SE), yang secara konvensional didefinisikan
sebagai memiliki energi kurang dari 50 eV dan dapat digunakan untuk gambar atau menganalisis sampel. Selain
sinyal-sinyal yang digunakan untuk membentuk sebuah gambar, sejumlah sinyal lain yang dihasilkan ketika berkas
elektron pemogokan sampel, termasuk emisi sinar-x karakteristik, elektron Auger, dan cathodoluminescence. Kita akan
membahas sinyal-sinyal ini di bagian selanjutnya. Gambar 1.2 menunjukkan daerah dari mana sinyal yang berbeda
terdeteksi. eksitasi elektron spesimen selama ionisasi spesimen atom mengarah ke generasi elektron sekunder (SE), yang
secara konvensional didefinisikan sebagai memiliki energi kurang dari 50 eV dan dapat digunakan untuk gambar atau
menganalisis sampel. Selain sinyal-sinyal yang digunakan untuk membentuk sebuah gambar, sejumlah sinyal lain yang
dihasilkan ketika berkas elektron pemogokan sampel, termasuk emisi sinar-x karakteristik, elektron Auger, dan
cathodoluminescence. Kita akan membahas sinyal-sinyal ini di bagian selanjutnya. Gambar 1.2 menunjukkan daerah dari
mana sinyal yang berbeda terdeteksi. eksitasi elektron spesimen selama ionisasi spesimen atom mengarah ke generasi
elektron sekunder (SE), yang secara konvensional didefinisikan sebagai memiliki energi kurang dari 50 eV dan dapat digunakan untuk gambar atau menganalis
1 Beam
elektron Backscatterred elektron sekunder
elektron Auger
Karakteristik x-ray X-ray kontinum
F IGURE 1.2. Ilustrasi dari beberapa sinyal yang dihasilkan oleh elektron interaksi balok-spesimen dalam
mikroskop elektron scanning dan daerah dari mana sinyal dapat dideteksi.
Dalam kebanyakan kasus ketika insiden elektron menyerang permukaan spesimen, bukan makhluk
memantul segera, elektron energik menembus ke sampel untuk beberapa jarak sebelum mereka
menghadapi dan bertabrakan dengan atom spesimen. Dalam melakukannya, berkas elektron primer
menghasilkan apa yang dikenal sebagai wilayah eksitasi primer, dari mana berbagai sinyal yang
dihasilkan. Ukuran dan bentuk dari zona ini sebagian besar tergantung pada energi berkas elektron dan
nomor atom, dan karenanya kepadatan, dari spesimen. Gambar 1.3 menggambarkan variasi volume
interaksi terhadap tegangan mempercepat berbeda dan nomor atom. Pada tegangan mempercepat
tertentu, bentuk volume interaksi adalah “tear drop” untuk spesimen nomor atom rendah dan belahan
untuk spesimen nomor atom tinggi. Volume dan kedalaman peningkatan penetrasi dengan peningkatan
energi balok dan jatuh dengan meningkatnya spesimen nomor atom karena spesimen dengan nomor
atom yang lebih tinggi memiliki lebih banyak partikel untuk penetrasi berhenti elektron. Salah satu
pengaruh volume interaksi pada akuisisi sinyal bahwa penggunaan tegangan mempercepat tinggi akan
menghasilkan panjang penetrasi dalam dan wilayah eksitasi primer yang besar, dan akhirnya
menyebabkan hilangnya informasi permukaan rinci dari sampel. Struktur opal-padat diamati oleh emisi
lapangan mikroskop elektron (FESEM) pada tegangan mempercepat berbeda ditunjukkan pada Gambar.
1.4. Gambar diambil di bawah 1 kV memberikan rincian lebih lanjut permukaan daripada 20 kV. Resolusi
permukaan hilang pada tegangan mempercepat tinggi dan permukaan bola terlihat halus.
1.1.2. Elektron sekunder
Sinyal yang paling banyak digunakan diproduksi oleh interaksi berkas elektron primer dengan
spesimen adalah sinyal emisi elektron sekunder. Ketika sinar primer menyerang permukaan
sampel menyebabkan ionisasi atom spesimen,
lebih rendah mempercepat lebih tinggi mempercepat
1 1
(Sebuah) (B)
F IGURE 1.3. Pengaruh mempercepat tegangan dan spesimen nomor atom pada volume eksitasi primer: (a)
nomor atom rendah dan (b) nomor atom tinggi.
(Sebuah) (B)
500 nm 500 nm
F IGURE 1.4. Pemindaian mikrograf elektron dari CaF 2 -padat struktur opal, yang diambil di bawah tegangan
mempercepat berbeda: (a) 1 kV dan (b) 20 kV.
longgar elektron terikat dapat dipancarkan dan ini disebut sebagai elektron sekunder. Karena mereka
memiliki energi yang rendah, biasanya rata-rata sekitar 3-5 eV, mereka hanya dapat melarikan diri dari
daerah dalam beberapa nanometer dari permukaan material. Jadi elektron sekunder akurat menandai
posisi balok dan memberikan informasi topografi dengan resolusi yang baik. Karena energi yang rendah,
elektron sekunder mudah tertarik pada detektor membawa beberapa bias diterapkan. The Everhart-
Thornley (ET) detektor, yang merupakan kolektor standar untuk elektron sekunder di sebagian SEM
karena itu berlaku baik bias (10 kV) ke sintilator dan bias lebih rendah (300 V) ke sangkar Faraday, yang
layar yang detektor. Dalam rangka untuk mendeteksi elektron sekunder sintilator mengkonversi energi
dari elektron menjadi foton (cahaya tampak). Foton kemudian menghasilkan perjalanan menyusuri kaca
atau dipoles kuarsa pipa cahaya dan bergerak keluar melalui dinding ruang spesimen, dan ke dalam
tabung photomultiplier (PMT) yang mengubah energi kuantum dari foton kembali menjadi elektron.
Tegangan output dari PMT diperkuat lebih lanjut sebelum menjadi output kecerahan modulasi pada layar
display dari SEM. elektron sekunder yang digunakan terutama untuk kontras topografi di SEM,
yaitu, untuk visualisasi tekstur permukaan dan kekasaran. Gambar topografi tergantung pada berapa
banyak elektron sekunder benar-benar mencapai detektor. Sebuah sinyal elektron sekunder dapat
menyelesaikan struktur permukaan turun ke urutan 10 nm atau lebih baik. Meskipun jumlah setara
elektron sekunder mungkin dihasilkan sebagai hasil interaksi balok utama spesimen, hanya mereka
yang dapat mencapai detektor akan memberikan kontribusi pada gambar utama. elektron sekunder
yang dicegah dari mencapai detektor akan menghasilkan bayangan atau lebih gelap kontras
dibandingkan daerah-daerah yang memiliki jalur elektron terhalang ke detektor. Hal ini tampak dalam
diagram yang topografi juga mempengaruhi zona emisi elektron sekunder. Ketika permukaan
spesimen tegak lurus terhadap balok, zona dari mana elektron sekunder yang dipancarkan lebih kecil
daripada yang ditemukan saat permukaannya miring. Gambar 1.5 menggambarkan efek topografi
spesimen dan posisi detektor pada sinyal elektron sekunder.
Detektor
F IGURE 1.5. Ilustrasi efek topografi permukaan dan posisi detektor pada deteksi elektron sekunder.
tegangan rendah elektron insiden akan menghasilkan elektron sekunder dari daerah permukaan yang sangat,
yang akan mengungkapkan informasi struktur yang lebih rinci pada permukaan sampel. Lebih lanjut tentang ini
akan dibahas dalam Bab 4.
1.1.3. backscattered Elektron
Metode lain yang berharga menghasilkan gambar dalam SEM adalah dengan deteksi BSES, yang menyediakan baik
informasi komposisi dan topografi di SEM. Sebuah BSE didefinisikan sebagai salah satu yang memiliki menjalani peristiwa
hamburan satu atau beberapa dan yang lolos dari permukaan dengan lebih besar energi dari 50 eV. Tabrakan elastis
antara elektron dan inti atom spesimen menyebabkan elektron untuk bangkit kembali dengan wide-angle perubahan yang
terarah. Kira-kira 10-50% dari elektron balok backscattered ke arah sumber mereka, dan pada rata-rata elektron ini
mempertahankan 60-80% dari energi awal mereka. Unsur dengan nomor atom yang lebih tinggi memiliki biaya lebih positif
pada inti, dan sebagai hasilnya, lebih elektron backscattered, menyebabkan sinyal backscattered yang dihasilkan menjadi
lebih tinggi. Dengan demikian, hasil backscattered, didefinisikan sebagai persentase dari elektron insiden yang
dipancarkan kembali oleh sampel, tergantung pada nomor atom sampel, memberikan kontras nomor atom dalam gambar
SEM. Sebagai contoh, hasil BSE adalah ~ 6% untuk elemen ringan seperti karbon, sedangkan itu adalah ~ 50% untuk
elemen yang lebih berat seperti tungsten atau emas. Karena kenyataan bahwa BSES memiliki energi yang besar, yang
mencegah mereka dari yang diserap oleh sampel, wilayah spesimen dari mana BSES diproduksi jauh lebih besar
daripada bagi elektron sekunder. Untuk alasan ini resolusi lateral gambar BSE adalah sedangkan itu adalah ~ 50% untuk
mencegah mereka dari yang diserap oleh sampel, wilayah spesimen dari mana BSES diproduksi jauh lebih besar
daripada bagi elektron sekunder. Untuk alasan ini resolusi lateral gambar BSE adalah sedangkan itu adalah ~ 50% untuk
mencegah mereka dari yang diserap oleh sampel, wilayah spesimen dari mana BSES diproduksi jauh lebih besar daripada bagi elektron sekunder. Untuk ala
jauh lebih buruk (1,0 μ m) daripada bagi gambar elektron sekunder (10 nm). Tetapi dengan lebar yang
cukup besar dari kedalaman melarikan diri, BSES membawa informasi tentang fitur yang jauh di bawah
permukaan. Dalam memeriksa sampel relatif datar, BSES dapat digunakan untuk menghasilkan gambar
topografi yang berbeda dari yang dihasilkan oleh elektron sekunder, karena beberapa BSES diblokir oleh
daerah spesimen yang elektron sekunder mungkin ditarik sekitar.
Detektor untuk BSES berbeda dari yang digunakan untuk elektron sekunder yang sangkar Faraday
bias tidak digunakan untuk menarik elektron. Bahkan sangkar Faraday sering bias negatif untuk
mengusir setiap elektron sekunder dari mencapai detektor. Hanya mereka elektron yang perjalanan di
jalan yang lurus dari spesimen ke detektor pergi ke arah membentuk citra backscattered. Gambar 1.6
menunjukkan gambar dari Ni / Au nanorods hetero. Perbedaan kontras dalam gambar yang dihasilkan
dengan menggunakan sinyal elektron sekunder sulit untuk menafsirkan (Gambar. 1.6a), tetapi
perbedaan kontras dibangun oleh sinyal BSE mudah dibedakan (Gambar. 1.6b). Teknik baru
dikembangkan backscattered elektron difraksi (EBSD) dapat menentukan struktur kristal berbagai
sampel, termasuk kristal berukuran nano. Rincian akan dibahas dalam Bab 2.
1.1.4. sinar-X karakteristik
kelas lain dari sinyal yang dihasilkan oleh interaksi berkas elektron primer dengan spesimen adalah
karakteristik x-ray. Analisis sinar-x karakteristik untuk memberikan informasi kimia adalah teknik
microanalytical paling banyak digunakan dalam SEM. Ketika kulit elektron dalam dipindahkan oleh
tabrakan dengan elektron primer, kulit elektron terluar dapat jatuh ke dalam shell batin untuk
membangun kembali keseimbangan biaya yang tepat dalam orbital menyusul peristiwa ionisasi. Jadi,
dengan emisi foton x-ray, atom kembali terionisasi ke keadaan dasar. Selain puncak x-ray
karakteristik, latar belakang terus menerus dihasilkan melalui perlambatan elektron energi tinggi
karena mereka berinteraksi dengan awan elektron
(Sebuah) (B)
3μm EHT = 5.00 kV Signal A = InLens Tanggal: 13 Nov 2004 1μm EHT = 19.00 kV Signal A = QBSD Tanggal: 13 Nov 2004
Mag = 10.00 kx Mag = 10.00 kx
WD = 7 mm Foto No. = 3884 Waktu: 16: 13: 36 WD = 7 mm Foto No. = 3889 Waktu: 16: 23: 31
F IGURE 1.6. Ni / Au nanorods gambar yang dibentuk oleh (a) sinyal elektron sekunder dan (b) backscattering sinyal
elektron.
dan dengan inti atom dalam sampel. Komponen ini disebut sebagai
Bremsstrahlung atau Continuum x-ray sinyal. Ini merupakan kebisingan latar belakang, dan biasanya
dilucuti dari spektrum sebelum analisis meskipun mengandung informasi yang penting untuk
pemahaman yang tepat dan kuantifikasi dari spektrum yang dipancarkan. Lebih lanjut tentang sinar-x
karakteristik untuk analisis struktur nano akan dibahas dalam Bab 3.
1.1.5. Elektron lainnya
Selain sinyal yang paling umum digunakan termasuk BSES, elektron sekunder, dan x-ray
karakteristik, ada beberapa jenis lain dari sinyal yang dihasilkan selama spesimen elektron
interaksi balok, yang dapat digunakan untuk analisis mikro. Mereka Auger elektron, elektron
cathodoluminescencetransmitted dan spesimen (atau diserap) saat ini.
1.1.5.1. Auger Elektron
Auger elektron diproduksi mengikuti ionisasi atom dengan sinar insiden elektron dan kembali jatuh dari
kulit elektron terluar untuk mengisi shell kekosongan batin. Kelebihan energi yang dilepaskan oleh proses
ini dapat terbawa oleh elektron Auger. elektron ini memiliki energi karakteristik dan karena itu dapat
digunakan untuk memberikan informasi kimia. Karena energi yang rendah, Auger elektron yang
dipancarkan hanya dari dekat permukaan. Mereka memiliki kedalaman melarikan diri dari hanya beberapa
nanometer dan terutama digunakan dalam analisis permukaan.
1.1.5.2. Cathodoluminescence
Cathodoluminescence adalah mekanisme lain untuk stabilisasi energi berikut interaksi balok spesimen.
bahan-bahan tertentu akan melepaskan kelebihan energi dalam bentuk foton dengan inframerah, terlihat,
atau ultraviolet panjang gelombang ketika elektron bergabung kembali ke lubang mengisi dibuat oleh
tabrakan balok utama dengan spesimen. foton ini dapat dideteksi dan dihitung dengan menggunakan pipa
cahaya dan photomultiplier mirip dengan yang digunakan oleh detektor elektron sekunder. Mungkin resolusi
gambar terbaik menggunakan pendekatan ini diperkirakan sekitar 50 nm.
1.1.5.3. Elektron menular
elektron ditransmisikan adalah metode lain yang dapat digunakan dalam SEM untuk membuat
gambar jika spesimen cukup tipis untuk elektron balok utama untuk melewati (biasanya kurang dari
1 μ). Seperti dengan detektor sekunder dan BSE, detektor elektron ditransmisikan terdiri dari
sintilator, pipa cahaya (atau panduan), dan photomultiplier, tetapi diposisikan menghadap bawah
spesimen (tegak lurus terhadap sumbu optik mikroskop). Teknik ini memungkinkan SEM untuk
menguji ultrastruktur internal spesimen tipis. Ditambah dengan x-ray Mikroanalisis, elektron
ditransmisikan dapat digunakan untuk perolehan informasi elemental dan distribusi. Integrasi
pemindaian berkas elektron dengan detektor mikroskop elektron transmisi menghasilkan transmisi
pemindaian mikroskop elektron, yang akan dibahas dalam Bab 6.
1.1.5.4. spesimen sekarang
saat spesimen didefinisikan sebagai perbedaan antara arus berkas primer dan arus total memancarkan
(backscattered, sekunder, dan elektron Auger). Spesimen yang memiliki arus emisi kuat sehingga akan
memiliki lebih lemah spesimen arus dan sebaliknya. Satu keuntungan dari spesimen pencitraan saat ini
adalah bahwa sampel adalah detektor sendiri. Jadi tidak ada masalah dalam pencitraan dalam mode ini
dengan spesimen sedekat diinginkan untuk lensa.
2. Konfigurasi Scanning Mikroskop Elektron
Pada bagian ini, kami akan menyajikan pembahasan rinci dari komponen utama dalam SEM. Gambar
1.7 menunjukkan struktur kolom dari SEM konvensional. Pistol elektron, yang di atas kolom,
menghasilkan elektron dan mempercepat mereka ke tingkat energi 0,1-30 keV. Diameter berkas
elektron yang dihasilkan oleh senjata tungsten jepit rambut terlalu besar untuk membentuk citra resolusi
tinggi. Jadi, lensa elektromagnetik dan lubang yang digunakan untuk fokus dan menentukan berkas
elektron dan membentuk elektron terfokus kecil tempat di spesimen. Proses ini demagnifies ukuran
sumber elektron (~ 50 μ m untuk filamen tungsten) ke ukuran tempat yang diperlukan akhir (1-100 nm).
Lingkungan yang tinggi-vakum, yang memungkinkan perjalanan elektron tanpa hamburan oleh udara,
diperlukan. Tahap spesimen, sinar elektron scanning kumparan, deteksi sinyal, dan sistem pengolahan
memberikan pengamatan real-time dan merekam gambar dari permukaan spesimen.
2.1. Senjata Electron

sistem modern SEM mengharuskan pistol elektron menghasilkan berkas elektron yang stabil dengan arus
tinggi, ukuran spot kecil, energi disesuaikan, dan dispersi energi kecil. Beberapa jenis senjata elektron yang
digunakan dalam sistem SEM dan kualitas elektron beam mereka memproduksi bervariasi. Sistem SEM
pertama umumnya digunakan tungsten “hairpin” atau lantanum Hexaboride (LaB 6) katoda, tetapi untuk SEM
modern, tren untuk menggunakan sumber-sumber emisi lapangan, yang memberikan peningkatan dispersi
energi saat ini dan lebih rendah. Emitor seumur hidup merupakan pertimbangan penting untuk pemilihan
sumber elektron.
2.1.1. Tungsten Senjata Electron
Tungsten elektron senjata telah digunakan selama lebih dari 70 tahun, dan kehandalan mereka dan biaya rendah
mendorong penggunaannya dalam banyak aplikasi, terutama untuk pencitraan pembesaran rendah dan x-ray
Mikroanalisis [3]. Electron gun paling banyak digunakan terdiri dari tiga bagian: sebuah jepit rambut tungsten
filamen berbentuk V (katoda), silinder Wehnelt, dan anoda, seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1.8.. The
filamen tungsten adalah sekitar 100 μ m dengan diameter. Filamen berbentuk V dipanaskan sampai suhu
Electron
anoda
coil keselarasan
CL (lensa kondensor)
Pindai coil
CL
OL (lensa Objective)
aperture
detektor gun OL
elektron
sekunder ruang spesimen
specimen holder
tahap spesimen
F IGURE 1.7. diagram skematik mikroskop elektron scanning (JSM-5410, milik JEOL, USA).
lebih dari 2.800 K dengan menerapkan arus filamen saya f sehingga elektron dapat lolos dari
permukaan ujung filamen. Sebuah potensi negatif, yang bervariasi di kisaran 0,1-30 kV,
diterapkan pada tungsten dan Wehnelt silinder dengan pasokan tegangan tinggi. Sebagai anoda
didasarkan, medan listrik antara filamen dan ekstrak piring anoda dan mempercepat elektron
menuju anoda. Dalam emisi termionik, elektron memiliki luas penyebaran lintasan dari ujung
filamen. Sebuah potensi yang sedikit negatif antara silinder Wehnelt dan filamen, disebut “bias”
menyediakan equipotentials tajam melengkung dekat aperture dari
pasokan bias kawat pijar pasokan

pemanasan
filamen
filamen saat ini saya f
Wehnelt
silinder (grid
cap)
_
pasokan
tegangan
tinggi saya b
+
piring anoda
F IGURE 1.8. Skema dari diri bias termionik tungsten elektron gun. (Pengaruh bias negatif dari silinder
Wehnelt di lintasan elektron ditampilkan.)
Wehnelt silinder, yang menghasilkan minyak mentah fokus dari berkas elektron. Efek fokus dari Wehnelt silinder pada
berkas elektron digambarkan pada Gambar. 1.8. Emisi elektron meningkat dengan arus filamen. Ada beberapa “titik
jenuh” arus filamen, di mana kita memiliki emisi elektron yang paling efektif (yaitu, emisi elektron tertinggi diperoleh
dengan sedikitnya jumlah saat ini). Pada saturasi elektron hanya dipancarkan dari ujung filamen dan terfokus ke dalam
bundel ketat oleh tegangan mempercepat negatif. Jika arus filamen meningkat lebih lanjut, emisi elektron hanya
meningkatkan sedikit (Gambar. 1.9). Perlu disebutkan bahwa ada puncak (dikenal sebagai “puncak palsu”) di saat berkas
tidak terkait dengan kejenuhan, dan karakter ini berbeda dari instrumen untuk instrumen, bahkan dari filamen ke yang lain.
Puncak palsu ini kadang-kadang bahkan lebih besar dari titik jenuh. penyebabnya tetap tidak terjelaskan karena
penggunaan praktis kecil, tapi kehadirannya bisa menjadi hasil dari geometri gun selama pemanasan filamen dan
penciptaan elektrostatik crossover pistol itu. Mengatur filamen untuk bekerja di puncak palsu akan mengakibatkan
kehidupan filamen yang sangat panjang, tetapi juga memburuk stabilitas balok. Overheating filamen dengan tinggi saat ini
dari arus saturasi akan mengurangi kehidupan filamen secara signifikan. Filamen terbakar habis ditunjukkan pada
Gambar. 1.10. Akhir meleleh bola dari filamen rusak karena terlalu panas adalah jelas. Kehidupan filamen juga
dipengaruhi oleh status vakum dan kebersihan pistol. penyebabnya tetap tidak terjelaskan karena penggunaan praktis
kecil, tapi kehadirannya bisa menjadi hasil dari geometri gun selama pemanasan filamen dan penciptaan elektrostatik
crossover pistol itu. Mengatur filamen untuk bekerja di puncak palsu akan mengakibatkan kehidupan filamen yang sangat
panjang, tetapi juga memburuk stabilitas balok. Overheating filamen dengan tinggi saat ini dari arus saturasi akan
mengurangi kehidupan filamen secara signifikan. Filamen terbakar habis ditunjukkan pada Gambar. 1.10. Akhir meleleh
bola dari filamen rusak karena terlalu panas adalah jelas. Kehidupan filamen juga dipengaruhi oleh status vakum dan
kebersihan pistol. penyebabnya tetap tidak terjelaskan karena penggunaan praktis kecil, tapi kehadirannya bisa menjadi hasil dari geometri gun selama pemana
Titik jenuh
Beam saat ini, saya b
puncak palsu
Filamen saat ini, saya f
F IGURE 1.9. Kejenuhan dari pistol elektron tungsten jepit rambut. Pada titik jenuh, sebagian besar elektron yang
dipancarkan dari ujung filamen dan membentuk bundel ketat dengan mempercepat tegangan.
200 μ m
F IGURE 1.10. SEM gambar dari “ditiup-out” filamen tungsten karena terlalu panas. Sebuah meleleh
akhir bola jelas di filamen rusak.
2.1.2. Lanthanum Hexaboride Senjata
Sebuah alternatif untuk filamen tungsten adalah laboratorium 6 filamen. Bahan ini memiliki fungsi kerja yang lebih
rendah (2,4 eV) dari tungsten (4,5 eV). berarti LaB ini 6 dapat memberikan emisi yang lebih kuat dari elektron pada
suhu pemanasan yang sama. Oleh karena itu, LaB 6

senjata elektron memberikan 5 sampai 10 × kecerahan yang lebih besar dan seumur hidup lebih lama
dibandingkan dengan senjata tungsten konvensional [4]. Gambar 1.11a menunjukkan emitor dari laboratorium 6 kristal
tunggal 100-200 μ m dengan diameter dan 0,5 mm. kristal dipasang pada grafit atau renium dukungan, yang tidak
kimia bereaksi dengan laboratorium 6 dan juga berfungsi sebagai pemanas resistif untuk meningkatkan suhu
kristal sehingga dapat memancarkan elektron. Ada beberapa keuntungan untuk penggunaan LaB 6 senjata
elektron. Daerah emisi yang efektif adalah jauh lebih kecil dari senjata tungsten elektron konvensional, yang
mengurangi ukuran spot berkas elektron. Selain itu, berkas elektron yang dihasilkan oleh LaB 6 senjata elektron
memiliki penyebaran energi yang lebih kecil, yang berarti chromatic aberration lebih kecil dan resolusi yang lebih
tinggi dari gambar SEM. Laboratorium 6 sumber elektron dapat menggantikan senjata tungsten elektron langsung
dalam SEM konvensional. Namun, LaB 6 adalah mudah teroksidasi pada suhu tinggi dan vakum di ruang pistol
mikroskop elektron konvensional tidak cukup tinggi untuk kontaminasi menghindari di LaB 6 katoda. Hal ini akan
mengurangi masa pakai senjata secara signifikan. Gambar 1.11b menunjukkan rincian dari LaB digunakan 6 kristal,
beberapa tempat kontaminasi mudah dikenali di permukaannya. Untuk menghindari situasi ini senjata ruang
elektron harus memiliki ruang hampa yang lebih baik dari 10 - 8 Torr. Umumnya, memompa diferensial wilayah
pistol diperlukan.
2.1.3. Lapangan Emisi Senjata
sumber termionik tergantung pada suhu tinggi untuk mengatasi fungsi kerja logam sehingga
elektron dapat lolos dari katoda. Meskipun mereka
(Sebuah) (B)
1 mm 200 m m
F IGURE 1.11. (A) SEM citra LaB 6 elektron pistol dan (b) lebih tinggi perbesaran gambar, bintik-bintik
kontaminasi kecil mudah dikenali.
murah dan persyaratan vakum relatif rendah, kelemahan, seperti seumur hidup singkat, kecerahan rendah,
dan penyebaran energi yang besar, membatasi aplikasi mereka. Untuk mikroskop elektron modern, senjata
emisi lapangan elektron (FEG) merupakan alternatif yang baik untuk senjata elektron termionik.
Dalam FEG, kawat tungsten kristal tunggal dengan ujung yang sangat tajam, umumnya disiapkan oleh
etsa elektrolitik, digunakan sebagai sumber elektron. Gambar 1.12a dan b menunjukkan mikrograf dari
ujung emisi lapangan yang khas dan struktur skema dari FEG. Dalam sistem ini, yang kuat bentuk medan
listrik di ujung berorientasi halus, dan elektron ditarik menuju anoda bukannya direbus oleh pemanasan
filamen. Dua anoda yang digunakan dalam sistem emisi lapangan, digambarkan dalam Gambar. 1.12c.
tegangan V 1 dengan beberapa kilovolt antara ujung dan anoda pertama digunakan untuk mengekstrak
elektron dari ujung, dan V 0 adalah tegangan mempercepat.
Ada tiga jenis FEGs yang digunakan dalam sistem SEM [5]. Salah satunya adalah emisi lapangan dingin (CFE)
sumber. “Dingin lapangan” berarti sumber elektron beroperasi pada suhu kamar. Emisi elektron dari CFE murni
tergantung pada medan listrik diterapkan antara anoda dan katoda. Meskipun saat elektron yang dipancarkan balok
sangat kecil, kecerahan tinggi masih dapat dicapai karena diameter dan emisi daerah berkas elektron kecil. Sebuah
operasi yang dikenal sebagai “flashing” di mana ujung emisi lapangan dipanaskan sampai suhu lebih dari 2.000 K
selama beberapa detik diperlukan untuk gas diserap bersih di ujung. Kelas kedua adalah bidang emisi termal (TFE)
sumber, yang dioperasikan di suhu tinggi. Suhu tinggi mengurangi penyerapan molekul gas dan menstabilkan emisi
berkas elektron bahkan ketika vacuum terdegradasi terjadi. Disamping CFE dan TFE sumber, emitter Schottky (SE)
sumber juga digunakan dalam sistem SEM modern. Kinerja SE dan CFE sumber lebih unggul sumber termionik dalam
kasus kecerahan, ukuran sumber, dan seumur hidup. Namun, sumber SE lebih disukai daripada sumber CFE karena
stabilitas tinggi dan operasi lebih mudah. Karena daerah memancarkan sumber SE adalah sekitar 100 Sumber SE lebih
disukai daripada sumber CFE karena stabilitas tinggi dan operasi lebih mudah. Karena daerah memancarkan sumber
SE adalah sekitar 100 Sumber SE lebih disukai daripada sumber CFE karena stabilitas tinggi dan operasi lebih mudah.
Karena daerah memancarkan sumber SE adalah sekitar 100 × lebih besar dari sumber CFE, ia mampu memberikan
lebih dari 50 × saat ini emisi lebih tinggi dari CFE pada penyebaran energi yang sama. Selanjutnya, ukuran yang lebih
besar dari sumber emisi mengurangi kerentanan terhadap getaran.
(Sebuah) (B) (C)
V0V1
anoda
pertama
anoda
kedua
1 mm 300 μ m
F IGURE 1.12. (A) sumber emisi lapangan dengan ujung yang tajam yang ekstrim; (B) gambar perbesaran yang lebih tinggi; dan
(c) diagram skematik dari sumber elektron emisi lapangan khas. Kedua anoda bekerja sebagai lensa elektrostatik ke bentuk
berkas elektron.
Juga, berkas elektron nanolithography perlu saat ini emisi yang tinggi untuk melakukan penulisan pola,
yang akan dibahas dalam Bab 5.
Dibandingkan dengan sumber termionik, CFE memberikan peningkatan elektron kecerahan, biasanya 100 × lebih
besar dari itu untuk sumber tungsten khas. Hal ini juga memiliki sangat rendah penyebaran energi elektron 0,3
eV, yang mengurangi chromatic aberration secara signifikan, dan dapat membentuk penyelidikan lebih kecil dari
2 nm, yang menyediakan resolusi lebih tinggi untuk gambar SEM. Namun, emitter lapangan harus beroperasi di
bawah ultrahigh vakum (lebih baik daripada 10 - 9 Torr) untuk menstabilkan emisi elektron dan untuk mencegah
kontaminasi.
2.2. Lensa elektron

berkas elektron dapat difokuskan oleh medan elektrostatik atau magnet. Tapi berkas elektron dikendalikan oleh
medan magnet memiliki kelainan yang lebih kecil, sehingga hanya medan magnet yang digunakan dalam sistem
SEM. Gulungan kawat, yang dikenal sebagai “elektromagnet,” digunakan untuk menghasilkan medan magnet, dan
lintasan elektron dapat disesuaikan dengan arus diterapkan pada kumparan tersebut. Bahkan dengan
menggunakan medan magnet untuk memfokuskan sinar elektron, lensa elektromagnetik masih bekerja buruk
dibandingkan dengan lensa kaca dalam hal penyimpangan. Lensa elektron dapat digunakan untuk memperbesar
atau demagnify diameter berkas elektron, karena kekuatan mereka adalah variabel, yang menghasilkan jarak fokus
variabel. SEM selalu menggunakan lensa elektron untuk demagnify “gambar” dari sumber emisi sehingga probe
yang sempit dapat dibentuk pada permukaan spesimen.
2.2.1. Lensa kondensor
Berkas elektron akan berbeda setelah melewati pelat anoda dari sumber emisi. Dengan
menggunakan lensa kondensor, sinar elektron berkumpul dan collimated ke dalam aliran yang relatif
paralel. Sebuah lensa magnetik umumnya terdiri dari dua buah tiang besi rotationally simetris di
mana ada tembaga berliku menyediakan medan magnet. Ada sebuah lubang di tengah potongan
tiang yang memungkinkan berkas elektron untuk melewati. Lensa-gap memisahkan dua buah tiang,
di mana medan magnet mempengaruhi (berfokus) berkas elektron. Posisi titik fokus dapat dikontrol
dengan mengatur arus lensa kondensor. Sebuah aperture kondensor, umumnya, terkait dengan
lensa kondensor, dan titik fokus dari berkas elektron berada di atas aperture (Gbr. 1.13). Sebagai
ukuran aperture yang tepat dipilih, banyak elektron homogen dan tersebar dikecualikan. Untuk
mikroskop elektron modern, lensa kondensor kedua sering digunakan untuk memberikan kontrol
tambahan pada berkas elektron.
2.2.2. Lensa obyektif
Berkas elektron akan menyimpang di bawah aperture kondensor. lensa objektif yang digunakan untuk
memfokuskan sinar elektron ke suatu titik penyelidikan pada permukaan spesimen dan untuk memasok
demagnification lanjut. Pilihan yang tepat lensa demagnification
sumber
elektron
Kondensator
lensa
elektron dikecualikan
kondensor aperture
F IGURE 1.13. Sebuah diagram yang menunjukkan bagaimana elektron perjalanan melalui lensa kondensor dan kondensor
aperture. Banyak dari elektron tidak homogen atau tersebar dikecualikan oleh aperture kondensor.
dan aperture hasil ukuran pengurangan diameter berkas elektron pada permukaan spesimen (ukuran
spot), dan meningkatkan resolusi gambar. Tiga desain lensa objektif ditunjukkan pada Gambar. 1.14
[5]. Asimetris lubang jarum lensa (Gambar. 1.14a) adalah lensa objektif yang paling umum. Hanya ada
small bore pada bagian tiang, dan ini membuat medan magnet di dalam lensa dan menyediakan
daerah medan bebas di atas spesimen untuk mendeteksi elektron sekunder. Namun, konfigurasi ini
memiliki kelainan lensa besar. Untuk lensa perendaman simetris (Gambar. 1.14b), spesimen
ditempatkan di dalam lensa, yang dapat mengurangi panjang fokus secara signifikan. Konfigurasi ini
menyediakan penyimpangan lensa termurah karena lensa kelainan langsung skala dengan panjang
fokus. Tetapi ukuran spesimen tidak dapat melebihi 5 mm. The Snorkel lensa (Gambar. 1. 14c)
menghasilkan medan magnet yang kuat yang meluas ke spesimen. semacam ini lensa memiliki
keuntungan dari lensa lubang jarum dan lensa imersi, menggabungkan penyimpangan lensa rendah
dengan izin dari spesimen besar. Selanjutnya, konfigurasi ini dapat menampung dua detektor elektron
sekunder (detektor konvensional dan di-lensa). Konfigurasi rinci detektor akan dibahas kemudian.
2.3. Parameter kolom

Sangat mudah untuk membayangkan bahwa ukuran tempat dan sudut konvergensi balok α langsung
berhubungan dengan resolusi dan kedalaman fokus gambar SEM, tetapi mereka dipengaruhi oleh banyak
parameter lain seperti energi berkas elektron, lensa
Beam membatasi
(Sebuah)
aperture (virtual)
kumparan
defleksi
Beam membatasi
aperture (virtual)
(C)
detektor 2
Detektor
Beam membatasi
aperture (virtual)
Detektor detektor 1
(B)
F IGURE 1.14. konfigurasi lensa objektif: (a) lensa lubang jarum asimetris, yang memiliki kelainan lensa besar; (B)
simetris lensa perendaman, dimana spesimen kecil dapat diamati dengan kelainan lensa kecil; dan (c) lensa
snorkeling, di mana medan magnet meluas ke spesimen menyediakan kelainan lensa kecil di spesimen besar
(Diadaptasi dari [5]).
saat ini, aperture ukuran, bekerja jarak (WD), dan chromatic aberration dan akromatik lensa
elektron. Pada bagian ini, beberapa parameter utama yang signifikan untuk kualitas gambar
akan dibahas dan baik pemahaman dari semua parameter ini diperlukan karena parameter ini
saling bergantung.
2.3.1. Bukaan
Satu atau lebih lubang bekerja di kolom sesuai dengan desain yang berbeda dari SEM. Lubang yang
digunakan untuk mengecualikan elektron tersebar dan digunakan untuk mengontrol penyimpangan
bola di lensa final. Ada dua jenis aperture: satu adalah di dasar lensa akhir dan dikenal sebagai
aperture nyata; jenis lainnya dikenal sebagai aperture virtual dan ditempatkan di berkas elektron pada
titik di atas lensa akhir. Bentuk balok dan ketajaman tepi balok dipengaruhi oleh aperture nyata.
Aperture virtual, yang membatasi berkas elektron, yang ditemukan memiliki mempengaruhi sama.
Aperture sebenarnya adalah jenis konvensional sistem aperture dan aperture virtual ditemukan pada
kebanyakan sistem SEM modern. Karena maya
aperture jauh dari ruang spesimen dapat tetap bersih untuk waktu yang lama, tapi aperture keselarasan
menjadi operasi rutin, seperti ukurannya sangat kecil. Penurunan ukuran aperture akan mengurangi
sudut balok α untuk WD yang sama, mengakibatkan peningkatan kedalaman lapangan (ditunjukkan pada
Gambar. 1,15) dan penurunan arus di probe final. Gambar 1.16 menunjukkan elektron mikrograf
bercabang tumbuh nanorods ZnO diambil dengan ukuran aperture yang berbeda. Meningkatkan
kedalaman lapangan akibat perubahan ukuran aperture mudah diamati, yang ditekankan oleh kalangan.
Pilihan yang optimal ukuran aperture juga dapat meminimalkan efek merugikan dari penyimpangan pada
ukuran Probe [6].
2.3.2. Stigmation
Cacat lensa (kesalahan mesin dan asimetri dalam lensa berkelok-kelok), dan kontaminasi pada aperture atau
kolom dapat menyebabkan penampang profil berkas elektron untuk bervariasi dalam bentuk. Umumnya,
penampang elips terbentuk bukan satu lingkaran. Akibatnya selama operasi, gambar akan meregangkan
sepanjang arah yang berbeda pada underfocus dan kondisi overfocus. ketidaksempurnaan ini pada lensa
elektromagnetik disebut astigmatisme. Serangkaian kumparan yang mengelilingi berkas elektron, disebut
sebagai “stigmator,” dapat digunakan untuk Silindris benar dan mencapai gambar dengan resolusi yang lebih
tinggi.
Gambar 1.17a menunjukkan gambar SEM dengan astigmatisme ekstrim. Ketika bergerak melalui
fokus gambar membentang pertama dalam satu arah (Gambar. 1.17b) dan ketika gambar dalam
posisi di-fokus peregangan diminimalkan (Gambar. 1.17a) sebelum ditarik ke arah lain (Gbr. 1.17c ).
Siklus Silindris koreksi
berkas berkas
(Sebuah) elektron (B) elektron
α α
DF DF
F IGURE 1.15. aperture kecil (b) memberikan peningkatan kedalaman lapangan dibandingkan dengan aperture besar (a).
(Sebuah) (B)
1μm 1μm
F IGURE 1.16. mikrograf elektron dari nanorods cabang tumbuh ZnO diambil dengan ukuran aperture yang berbeda: (a)
30 μ m dan (b) 7,5 μ m. Peningkatan kedalaman lapangan ditekankan oleh kalangan.
(a) (B)
1μm
(C) (D)
F IGURE 1,17. Perbandingan SEM gambar struktur opal dengan astigmatisme dan setelah koreksi astigmatisme. (A) SEM
gambar dengan astigmatisme dalam kondisi di-fokus; (B) SEM gambar dengan astigmatisme dalam kondisi underfocus;
(C) SEM gambar dengan astigmatisme dalam kondisi overfocus; dan (d) gambar SEM dengan koreksi astigmatisme.
Angka-angka inset adalah diagram skematik dari bentuk bintik-bintik penyelidikan.
( x- stigmator, fokus, y stigamator, fokus) harus diulang, sampai akhirnya gambar tajam diperoleh
(Gambar. 1.17d). Pada saat itu penampang balok akan difokuskan ke titik terkecil. Umumnya
kompensasi untuk Silindris dilakukan ketika beroperasi di perbesaran meningkat, yang
menjamin kualitas gambar perbesaran rendah bahkan ketika kompensasi yang sempurna tidak
diperoleh. Namun, Silindris tidak jelas untuk observasi pembesaran rendah.
2.3.3. Kedalaman lapangan
Bagian dari gambar yang muncul diterima dalam fokus disebut “kedalaman lapangan” [7]. Gambar 1.18
menunjukkan efek kedalaman terbatas bidang dalam SEM gambar dari SnO 2 nanojunction sampel [8].
Hanya bagian tengah gambar dalam fokus, dan sisi atas dan bawah gambar acara underfocus dan
overfocus, masing-masing. Berkas elektron dengan sudut konvergensi yang lebih kecil α menyediakan
kedalaman lebih besar dari lapangan, karena perubahan ukuran tempat kurang signifikan sepanjang arah
balok untuk sinar tajam elektron. Selain ukuran aperture, WD juga akan mempengaruhi kedalaman
lapangan, yang ditunjukkan pada Gambar. 1.19. Pada WD singkat sampel akan dipindai dengan kerucut
macam elektron menghasilkan gambar dengan sedikit kedalaman lapangan. Sebaliknya, pada WD lagi,
sesuai dengan kerucut sempit hasil berkas elektron di kedalaman ditingkatkan lapangan. Namun, WD
panjang tidak berarti resolusi tinggi. Kedalaman lapangan ini penting ketika kita mengamati spesimen
dengan besar topografi variasi. Dalam hal ini, kita lebih memilih untuk menggunakan WD panjang sehingga
kita bisa membawa sebanyak gambar ke dalam fokus mungkin.
2μm
F IGURE 1.18. SEM citra SnO 2 nanojunctions menunjukkan kedalaman lapangan.

(Sebuah) (B)
berkas berkas
elektron elektron
α WD
DF WD
α
DF
F IGURE 1.19. diagram balok menunjukkan peningkatan kedalaman lapangan (DF) dengan meningkatkan jarak kerja
(WD). (A) Singkat jarak kerja dan (b) jarak kerja yang panjang.
(Sebuah) (B)
2μm 2μm
F IGURE 1,20. Nah selaras Co-doped ZnO nanowires berbagai dibuat oleh deposisi uap kimia, menunjukkan
peningkatan kedalaman lapangan dengan meningkatkan jarak kerja dari (a) 3 mm untuk (b) 12 mm, yang
ditekankan oleh kalangan.
Tetapi jika topografi spesimen relatif datar, WD lebih pendek lebih disukai karena kedalaman lapangan
kurang penting dan resolusi yang lebih tinggi dapat dicapai dengan menggunakan WD lebih pendek.
Gambar 1.20 adalah SEM citra baik-blok Co-doped ZnO array nanowire dibuat dengan metode deposisi uap
kimia [9], menunjukkan pengaruh WD pada kedalaman lapangan. Angka-angka difokuskan pada bagian
tengah gambar. Dengan membandingkan bagian yang dilingkari dari dua gambar, peningkatan kedalaman
lapangan jelas dengan meningkatkan WD dari 3 sampai 12 mm.
2.4. gambar Formasi

interaksi kompleks terjadi ketika berkas elektron dalam impinges SEM pada spesimen permukaan dan
menggairahkan berbagai sinyal untuk observasi SEM. Elektron sekunder, BSES, elektron ditransmisikan,
atau spesimen kekuatan saat ini semua dikumpulkan dan ditampilkan. Untuk mengumpulkan informasi
tentang komposisi spesimen, bersemangat x-ray atau elektron Auger dianalisis. Pada bagian ini, kami
akan memberikan pengenalan singkat tentang interaksi dari berkas elektron dengan permukaan
spesimen dan prinsip pembentukan gambar dengan sinyal yang berbeda.
2.4.1. Generasi sinyal
Interaksi berkas elektron dengan spesimen terjadi dalam volume eksitasi bawah permukaan spesimen. Kedalaman
volume interaksi tergantung pada komposisi spesimen padat, energi sinar insiden elektron, dan sudut datang. Dua jenis
proses hamburan, elastis dan proses inelastis, dianggap. Elektron mempertahankan semua energi mereka setelah
interaksi elastis, dan hasil hamburan elastis dalam produksi BSES ketika mereka melakukan perjalanan kembali ke
permukaan spesimen dan melarikan diri ke vakum. Di sisi lain, elektron kehilangan energi dalam proses hamburan
inelastis dan mereka membangkitkan elektron dalam spesimen kisi. Ketika elektron energi rendah ini, umumnya dengan
energi kurang dari 50 eV, melarikan diri ke vakum, mereka disebut “elektron sekunder. ”Elektron sekunder bisa senang
seluruh volume interaksi; Namun, hanya orang-orang dekat permukaan spesimen dapat melarikan diri ke vakum untuk
energi yang rendah dan sebagian besar dari mereka diserap oleh atom spesimen. Sebaliknya, BSES bisa datang dari
kedalaman lebih besar di bawah permukaan spesimen. Selain elektron sekunder dan BSES, x-ray sangat antusias selama
interaksi berkas elektron dengan spesimen. Ada juga beberapa sinyal yang dapat digunakan untuk membentuk gambar
atau menganalisis sifat dari spesimen, misalnya, elektron Auger, cathodoluminescence, elektron ditransmisikan, dan
spesimen saat ini, yang telah dibahas dalam Bagian 1.1.5 dan 1.1.6. Sebaliknya, BSES bisa datang dari kedalaman lebih
besar di bawah permukaan spesimen. Selain elektron sekunder dan BSES, x-ray sangat antusias selama interaksi berkas
elektron dengan spesimen. Ada juga beberapa sinyal yang dapat digunakan untuk membentuk gambar atau menganalisis
sifat dari spesimen, misalnya, elektron Auger, cathodoluminescence, elektron ditransmisikan, dan spesimen saat ini, yang
telah dibahas dalam Bagian 1.1.5 dan 1.1.6. Sebaliknya, BSES bisa datang dari kedalaman lebih besar di bawah
permukaan spesimen. Selain elektron sekunder dan BSES, x-ray sangat antusias selama interaksi berkas elektron
dengan spesimen. Ada juga beberapa sinyal yang dapat digunakan untuk membentuk gambar atau menganalisis sifat dari spesimen, misalnya, elektron Aug
2.4.2. scanning Coils
Seperti disebutkan dalam bagian sebelumnya, berkas elektron difokuskan ke probe tempat di permukaan spesimen
dan menggairahkan sinyal yang berbeda untuk observasi SEM. Dengan merekam besarnya sinyal ini dengan
detektor yang cocok, kita dapat memperoleh informasi tentang sifat-sifat spesimen, misalnya, topografi dan
komposisi. Namun, informasi ini hanya berasal dari satu tempat tunggal bahwa menggairahkan berkas elektron.
Dalam rangka untuk membentuk sebuah gambar, tempat penyelidikan harus dipindahkan dari satu tempat ke
tempat dengan sistem scanning. Sebuah sistem pembentukan citra khas dalam SEM ditunjukkan pada Gambar.
1.21. Memindai kumparan digunakan untuk membelokkan berkas elektron sehingga dapat memindai pada
spesimen permukaan bersama x- atau y sumbu. Beberapa detektor digunakan untuk mendeteksi sinyal yang
berbeda: state detektor BSE solid untuk BSES; detektor ET untuk BSES sekunder dan; energi dispersif x-ray
spektrometer dan
kumparan pemindaian
CRT atau
aperture akhir
kamera
sinyal
detektor elektron Scanning generator
backscattered WDS, EDS
penguat
sinyal
Contoh
detektor
elektron photomultiplier
sekunder
F IGURE 1.21. sistem pembentukan citra di mikroskop elektron scanning khas.
spektrometer x-ray panjang gelombang-dispersif untuk sinar-x karakteristik; dan photomultipliers

untuk cathodoluminescence. Rincian detektor elektron sekunder akan dibahas dalam Bagian
2.4.3. Sinyal terdeteksi juga diproses dan diproyeksikan pada layar CRT atau kamera. Proses
pemindaian CRT atau kamera disinkronkan dengan berkas elektron oleh generator sinyal
scanning dan karenanya point-to-point gambar untuk area pemindaian diproduksi.
2.4.3. Detektor Elektron sekunder
Tujuan asli dalam membangun SEM adalah untuk mengumpulkan gambar elektron
sekunder. Karena elektron sekunder energi rendah mereka bisa hanya datang dari
permukaan sampel di bawah sinar elektron dan sehingga diharapkan untuk memberikan
beragam informasi tentang topografi dan kimia dari spesimen. Namun, hal itu tidak
membuktikan menjadi tugas yang mudah untuk mengembangkan sistem pengumpulan
yang bisa mendeteksi arus kecil (~ 10 - 12 A) elektron energi rendah pada cukup kecepatan
tinggi untuk memungkinkan sinar insiden yang akan dipindai, dan yang bekerja tanpa
menambahkan suara yang signifikan sendiri. Perangkat hanya praktis adalah multiplier
elektron. Dalam hal ini, elektron sekunder dari sampel yang dipercepat ke katoda mana
mereka diproduksi elektron sekunder tambahan yang kemudian pada gilirannya dipercepat
untuk katoda kedua di mana sinyal perkalian lanjut terjadi. Dengan mengulangi proses ini
10 atau 20 kali, sinyal insiden diamplifikasi ke tingkat yang cukup besar untuk digunakan
untuk membentuk gambar untuk ditampilkan. Meskipun multiplier elektron dalam cukup
sensitif prinsipnya, menderita dari kenyataan bahwa majelis katoda terkena minyak pompa,
uap air,
Solusi untuk masalah ini, dan pengembangan yang membuat SEM kenyataan komersial, diberikan oleh
Everhart dan Thornley [10]. perangkat mereka terdiri dari tiga komponen: a sintilator yang dikonversi sinyal
elektron ke dalam cahaya; pipa cahaya untuk mentransfer cahaya; dan PMT yang mengubah kembali
sinyal cahaya menjadi sinyal elektron. Karena jumlah cahaya yang dihasilkan oleh sintilator tergantung
baik pada bahan sintilator dan pada energi elektron mencolok itu, bias dari biasanya 10 kV diterapkan
sintilator sehingga setiap elektron menyerang dengan energi yang cukup untuk menghasilkan flash
signifikan cahaya. Hal ini kemudian dilakukan sepanjang pipa cahaya, biasanya terbuat dari kuarsa atau
Perspex, menuju PMT. Penggunaan pipa cahaya memungkinkan untuk posisi sintilator di tempat di mana
ia dapat paling efektif dalam mengumpulkan sinyal SE sementara masih mampu untuk memiliki PMT
dengan aman jauh dari sampel dan tahap. Biasanya pipa cahaya melakukan cahaya ke jendela di dinding
vakum dari ruang spesimen memungkinkan PMT yang akan ditempatkan di luar kolom dan vakum.
Konversi SE pertama yang ringan dan kemudian kembali ke sinyal elektron memungkinkan untuk
menggunakan sifat-sifat khusus dari PMT yang merupakan bentuk multiplier elektron, tetapi benar-benar
disegel dan tidak terpengaruh oleh kontaminan eksternal. PMT memiliki faktor amplifikasi yang tinggi,
respon logaritmik yang memungkinkan untuk sinyal proses yang mencakup berbagai intensitas yang
sangat besar, adalah kebisingan yang rendah, merespon dengan cepat terhadap perubahan level sinyal,
dan rendah dalam harga.
Susunan keseluruhan ini tidak hanya menawarkan efisiensi tinggi dan kecepatan, tetapi fleksibel dalam
pelaksanaannya, murah untuk membangun, dan kebutuhan sedikit perhatian rutin untuk mempertahankan kinerja
puncak. Akibatnya, telah hadir, dalam satu bentuk atau lain, dalam setiap SEM dibangun sejak saat itu. Bentuk
klasik dari detektor ET adalah bahwa ditunjukkan pada Gambar. 1.22a mana sampel tersebut ditempatkan di bawah
lensa objektif
100V-30kV
(Sebuah)
pe
kumparan
lensa
SE = elektron sekunder BSE =
backscatter elektron
pole piece SE
-IV
(1-4
%)
+ tor
SE-III (70%) etec
+ ET D
eV
+ 12 k
+
+
SE-I
1-25%
SE-II
BSE
BSE
Jarak kerja = 8.50 mm
F IGURE 1,22. Tiga jenis detektor yang berbeda: (a) konvensional (bawah-lens) mikroskop elektron dengan
bawah-lensa ET detektor;
(B)
30kV
Di atas Lens Detector
ET
r
to
ec
+
et
+
+
D
+
+
SE-II
SE-I
SE-II
SE-II BSE
Savgula Holder
Uap Detector SE-I
(C)
Di
ET
r
to
ec
+
-II
et
+
SE
+
I
E-
+
S
+
lensa dekat
ctor
D ete
ET
Mati
Sampel
F IGURE 1,22. ( Lanjutan) ( b) kondensor / tujuan (di-lensa) mikroskop elektron dengan di atas-lensa ET detektor;
dan (c) resolusi tinggi (-dekat lensa) pemindaian mikroskop elektron dengan di atas-lensa detektor ET.
dari SEM dan detektor ET diposisikan ke satu sisi. Karena bias 10 kV di muka depan sintilator
ada medan elektrostatik, dari urutan beberapa ratus volt per milimeter, yang menarik SE dari
spesimen dan panduan mereka menuju detektor. Pada balok energi rendah, namun, lapangan
sebesar ini cukup untuk membelokkan balok insiden off axis, sehingga layar Faraday dalam
bentuk grid logam banyak spasi sering ditempatkan di atas sintilator sendiri untuk melindungi
balok. Layar Faraday sendiri bias hanya 250 atau 300 V positif, yang cukup untuk menarik
banyak SE dipancarkan, tapi terlalu rendah untuk menyimpang balok.
emisi sekunder dari spesimen horizontal adalah isotropik tentang permukaan normal, dan dengan
intensitas maksimum yang dipancarkan yang normal ke permukaan. pengukuran eksperimental [11]
menunjukkan bahwa bentuk detektor ET biasanya mengumpulkan sekitar 15-30% dari sinyal SE
tersedia. kinerja yang relatif miskin ini adalah hasil dari fakta bahwa banyak dari SE melarikan diri
melalui lubang dari belakang lensa dan perjalanan sampai kolom, dan juga karena posisi asimetris
dari detektor hanya nikmat koleksi dari setengah dari distribusi SE yang dipancarkan dengan
komponen kecepatan menuju detektor. Secara umum kinerja ini cukup memuaskan karena cara di
mana gambar elektron sekunder diinterpretasikan [5]. Sudut pandang operator secara efektif melihat
ke bawah sepanjang arah balok ke spesimen, yang sedang diterangi oleh cahaya yang dipancarkan
dari detektor perakitan. Oleh karena itu detektor geometri asimetris menghasilkan gambar yang
topografi (misalnya, tepi, sudut, langkah, dan kekasaran permukaan) dibayangi atau disorot
tergantung pada posisi relatif dari fitur dan detektor. Jenis kontras gambar intuitif mudah dan dapat
diandalkan untuk menafsirkan dan menghasilkan mikrograf estetis menyenangkan.
Kelemahan utama dengan pengaturan ini, juga terlihat dari Gambar. 1.22a, adalah
bahwa detektor akan dibombardir tidak hanya oleh SE1 dan SE2 elektron sekunder dari
spesimen yang membawa informasi spesimen yang diinginkan, tetapi juga oleh BSES dari
spesimen, dan oleh elektron tersier (SE3) yang diciptakan oleh dampak BSE pada lensa
dan dinding ruang. Biasanya setidaknya setengah dari sinyal ke detektor adalah dari
backscatters langsung atau dalam bentuk SE3 dihasilkan oleh hamburan di daerah sampel.
Akibatnya sebagian kecil dari isi SE dari sampel diencerkan, rasio signal-to-noise
terdegradasi, dan detail gambar berkurang kontras. Meskipun untuk berbagai tujuan itu
hanya cukup bahwa detektor menghasilkan sinyal cukup besar,
Dalam SEM dasar WD biasanya dari urutan 12-20 mm sehingga detektor ET mudah dapat
diposisikan dekat dengan spesimen dan dengan sudut pandang yang baik di atasnya. Dalam mikroskop
yang lebih maju, WD sering jauh lebih kecil dalam rangka untuk meningkatkan resolusi gambar dan
menemukan detektor karena itu lebih sulit. SEM seperti sering menggunakan “snorkeling” konfigurasi
lensa unipole atau, yang menghasilkan medan magnet besar di permukaan spesimen. Bidang ini
menangkap sebagian besar emisi SE dan saluran kembali melalui lubang lensa dan sampai kolom.
Dalam rangka memberikan efisien SE pencitraan penataan Gambar. 1.22b Oleh karena itu sering
digunakan. Sebuah detektor ET standar disediakan seperti sebelumnya, untuk acara-acara ketika
sampel dicitrakan pada WD tinggi, atau untuk pencitraan sampel miring. Sebuah detektor kedua
diberikan di atas lensa objektif untuk mengeksploitasi sinyal SE terperangkap oleh medan lensa yang
pertama dijelaskan oleh Koike [12]. Ini “atas” atau “melalui lensa (TTL)” detektor adalah perangkat ET
standar dan diposisikan pada 10-15 mm dari sumbu insiden sinar. Dalam versi awal dari detektor TTL
biasa 10 kV bias sintilator itu digunakan untuk mengekstrak sinyal SE dari jalan balok, tapi pada energi
insiden rendah bidang dari detektor sering
cukup tinggi untuk misalign balok. Beberapa produsen SEM sekarang telah mengatasi masalah ini,
dan memperkenalkan gelar penting dari fleksibilitas dan kontrol ke dalam sistem detektor, dengan
menempatkan Wien penyaring tepat di atas lensa. The Wien Filter terdiri dari medan magnet (B) di
90˚ ke arah medan listrik (E) dari detektor. Kombinasi dari medan listrik dan magnet dapat
disesuaikan sehingga balok insiden tetap tepat pada sumbu melalui lensa. Namun, kembali SE
dibelokkan oleh “E × B”bidang dalam arah, dan dengan jumlah yang, yang tergantung pada energi
mereka. Dengan memberikan elektroda antara E × B bidang wilayah dan detektor, energi elektron yang
berbeda dapat diarahkan oleh operator pada sintilator sehingga satu detektor dapat efisien
mengumpulkan sekunder elektron, BSES, dan semua elektron di antara batas-batas. Detektor atas
biasanya mengumpulkan 70-80% dari SE sinyal yang tersedia [10] dari spesimen. Karena SE3
elektron, yang dihasilkan oleh dampak BSE pada lensa dan ruang dinding, diproduksi jauh dari sumbu
lensa mereka tidak dikumpulkan oleh bidang lensa dan tidak mencapai detektor TTL. Oleh karena itu
lebih tinggi sinyal detektor atas adalah kontras dan informasi konten dari sinyal dari detektor yang
lebih rendah karena latar belakang yang tidak diinginkan dari SE3 spesifik telah dieliminasi. Jika
sinyal dalam detektor atas, maka diinginkan kontras efek dapat dalam banyak kasus sangat
ditingkatkan dibandingkan dengan yang tersedia menggunakan detektor yang lebih rendah. Dalam
kebanyakan SEM yang menggunakan pengaturan lensa ini, baik detektor atas dan bawah dapat
digunakan secara bersamaan, karena anggaran total SE ditetapkan oleh kondisi operasi dan dengan
sampel, jika 80% dari sinyal SE akan detektor TTL maka hanya 20% paling yang tersedia untuk
detektor ET di-ruang. Namun, di WDS lagi kemampuan untuk memanfaatkan kedua detektor dapat
sering menjadi nilai yang besar. Sebagai contoh, detektor TTL sangat sensitif untuk sampel efek
pengisian, tetapi di-ruang ET detektor relatif tidak sensitif karena kontribusi besar untuk sinyal dari
SE3 dan BSES, sehingga pencampuran dua output detektor dapat menekan pengisian artefak tetap
menjaga image rinci. Demikian pula, detektor TTL memiliki pandangan vertikal dan simetris dari
sampel, sedangkan detektor di-ruang yang asimetris ditempatkan pada tingkat sampel. Oleh karena
detektor atas adalah lebih sensitif terhadap efek yield (misalnya, kimia, sifat elektronik, dan biaya) dan
kurang sensitif terhadap topografi, sedangkan detektor di-ruang memiliki sifat-sifat yang berlawanan.
Dalam SEM resolusi tertinggi (termasuk TEMS dilengkapi dengan sistem scanning)
spesimen secara fisik di dalam lensa dan benar-benar tenggelam dalam medan magnet
lensa, sehingga satu-satunya akses ke sinyal SE adalah untuk mengumpulkan
menggunakan bidang lensa [ 11] seperti ditunjukkan pada Gambar. 1.22c. Sifat-sifat
detektor ini akan menjadi sama dengan detektor TTL dijelaskan di atas, tetapi dalam
konfigurasi ini tidak ada kesempatan untuk memasukkan sebuah detektor ET pada tingkat
spesimen. Fakta bahwa sinyal dari detektor TTL hampir secara eksklusif terdiri dari SE1
dan SE2 elektron menghasilkan kontras tinggi, dan gambar sinyal-tonoise tinggi yang
optimal untuk pencitraan resolusi tinggi.
2.4.4. spesimen Komposisi
Jumlah elektron meningkat sekunder sebagai nomor atom meningkat spesimen, karena
emisi elektron sekunder tergantung pada kerapatan elektron dari atom spesimen. Produksi
BSES juga meningkat dengan jumlah atom dari spesimen. Oleh karena itu, kontras sinyal
elektron sekunder dan sinyal BSE dapat memberikan informasi tentang komposisi
spesimen. Namun, sinyal BSE menghasilkan kontras yang lebih baik tentang variasi
komposisi spesimen. Gambar 1.23 adalah mikrograf elektron sekunder nikel Elektrodeposisi
jala pada CaF 2 -padat membran opal. Titik terang dalam gambar nikel [13]. Emisi elektron
sekunder yang kuat dari nikel adalah karena nomor atom relatif tinggi.
2.4.5. spesimen Topografi
Dalam modus deteksi elektron sekunder, jumlah elektron yang terdeteksi dipengaruhi oleh
topografi permukaan spesimen. Pengaruh topografi pada kontras gambar adalah hasil dari
posisi relatif detektor, spesimen, dan balok insiden elektron. Situasi sederhana
digambarkan pada Gambar. 1.5, di mana interaksi volume dengan berkas elektron dan
detektor adalah pada yang sama atau pada sisi yang berbeda dari pulau permukaan. Untuk
situasi yang digambarkan di sisi kiri Gambar. 1.5, banyak elektron yang dipancarkan diblokir
oleh pulau permukaan spesimen dan hasil ini dalam kontras gelap pada gambar.
Sebaliknya, kontras terang akan terjadi jika elektron yang dipancarkan tidak terhalang oleh
pulau (sisi kanan Gambar. 1.5).
Topografi permukaan juga dapat mempengaruhi efisiensi emisi elektron sekunder. Terutama, emisi
elektron sekunder akan meningkatkan secara signifikan di ujung puncak permukaan. Gambar 1.24a
menggambarkan wilayah emisi efektif elektron sekunder sehubungan dengan topografi permukaan
yang berbeda. Gambar 1.24b
F IGURE 1,23. Sekunder elektron mikrograf

1μm dari nikel Elektrodeposisi jala pada CaF 2 -padat
membran opal.
(Sebuah) (B)
berkas elektron
Volume emisi
elektron
sekunder
Contoh
2μm
Volume interaksi
F IGURE 1,24. Peningkatan emisi di ujung yang tajam. (A) Skema peningkatan emisi di ujung
puncaknya; dan (b) SEM citra nanoneedles ZnO (emisi ditingkatkan di ujung jarum).
adalah mikrograf elektron sekunder bundel nanoneedles ZnO. emisi ditingkatkan jelas di ujung
yang nanoneedles. Memiringkan dari spesimen, yang akan mengubah sudut insiden sinar elektron
pada permukaan spesimen, akan mengubah wilayah bersemangat dan juga mengubah wilayah
emisi efektif elektron sekunder. Umumnya sudut miring besar akan memberikan kontribusi emisi
ditingkatkan elektron sekunder. Peningkatan emisi spesimen miring dapat dengan mudah dipahami
oleh Gambar. 1.24a di mana permukaan lereng menyebabkan pemogokan berkas elektron
spesimen permukaan miring dan memperbesar area emisi elektron sekunder yang efektif.
2.4.6. spesimen Pembesaran
Perbesaran diberikan oleh rasio panjang scanning gambar CRT ke garis pemindaian yang sesuai
pada spesimen. Perubahan ukuran area pemindaian, yang dikendalikan oleh kumparan scanning,
akan mengakibatkan perubahan magnification.The WD dan tegangan mempercepat pada berkas
elektron juga akan mempengaruhi area pemindaian. Namun, bagi banyak mikroskop elektron, hanya
sinyal pemindaian berkaitan dengan mengukur pembesaran. Oleh karena itu, kalibrasi tambahan
diperlukan jika pembesaran akurat diperlukan.
2.5. Vacuum Sistem

Sebuah sistem vakum ultra tinggi sangat diperlukan untuk SEM untuk menghindari hamburan pada
berkas elektron dan kontaminasi dari senjata elektron dan komponen lainnya. Lebih dari satu jenis
pompa vakum digunakan untuk mencapai
diperlukan vakum untuk SEM. Umumnya, pompa mekanik dan pompa difusi dimanfaatkan untuk
memompa turun ruang dari tekanan atmosfer.
2.5.1. Pompa mekanik
pompa mekanik terdiri dari rotor motor-driven. Rotor berputar kompres volume besar gas ke volume
kecil dan dengan demikian meningkatkan tekanan gas. Jika tekanan gas terkompresi cukup besar,
dapat diusir ke atmosfer oleh katup searah. Sebuah disederhanakan diagram skematik dari jenis
pompa ditunjukkan pada Gambar. 1.25. Sebagai tekanan dari ruang meningkat, efisiensi pompa
vakum menurun dengan cepat, meskipun dapat mencapai vakum lebih baik dari 5 × 10 - 5 Torr.
Menghindari pompa lama down kali, pompa difusi digunakan untuk meningkatkan tingkat
pemompaan untuk tekanan rendah dari 1 × 10 - 2 Torr.
2.5.2. Pompa difusi
Struktur khas dari pompa difusi diilustrasikan pada Gambar. 1,26. beredar minyak menguap
dari atas dari pompa ke bawah. Gas di bagian atas pompa diangkut sepanjang minyak
menguap ke bawah dan diberhentikan oleh
untuk
suasana dari ruang
Cadangan minyak
Katup
Alat pemutar
baling-baling
stator
F IGURE 1,25. Skema dari pompa mekanik yang khas.

pendingin
pompa difusi
menguap minyak
minyak
Untuk pompa
Pemanas
mekanik
F IGURE 1,26. Skema pompa difusi.
pompa mekanik. Pemanas dan pendingin yang digunakan untuk menguapkan dan mendinginkan minyak
sehingga dapat digunakan sirkuler. Pompa difusi dapat mencapai 5 ×
10 - 5 Torr cepat; Namun, tidak dapat bekerja pada lebih besar tekanan dari 1 × 10 - 2
Torr. Mekanik atau “backing” pompa digunakan untuk memompa bawah ruang untuk tekanan di
mana pompa difusi dapat mulai beroperasi.
2.5.3. ion Pompa
Ion pompa yang digunakan untuk mencapai tingkat vakum di mana senjata elektron dapat bekerja, terutama
untuk laboratorium 6 senjata (10 - 6 -10 - 7 Torr) dan senjata emisi lapangan (10 - 9 -10 - 10 Torr). Permukaan segar
logam yang sangat reaktif yang dihasilkan oleh sputtering di ruang pistol elektron. Molekul udara diserap
oleh permukaan logam dan bereaksi dengan logam untuk membentuk stabil padat. Sebuah vakum lebih
baik dari 10 - 11 Torr dicapai dengan pompa ion.
2.5.4. Turbo Pompa
Mekanisme dasar pompa turbo adalah bahwa molekul dorongan gas dalam arah tertentu oleh aksi
berputar baling-baling. Diagram skematik pada Gambar. 1.27 menunjukkan bagian kecil dari satu tahap
di pompa turbo. Seperti baling-baling berputar, mereka mendorong molekul dari sisi ruang ke sisi
pompa dukungan dan akhirnya pergi ke sistem pompa depan. Di satu sisi, jika molekul yang kejadian
dari sisi pompa dukungan ke sisi ruang, itu akan mendorong ke sisi pompa dukungan. Dengan cara ini,
arah aliran gas disukai dibuat dan perbedaan tekanan dipertahankan di baling-baling disk. Sebuah
pompa turbo khas berisi beberapa disk berputar dengan sudut baling-baling menurun pada setiap
tahap. Kecepatan memompa pompa turbo menurun dengan cepat pada tekanan di atas tingkat tertentu
(dekat 10 - 3 Torr).
rotasi baling-baling
arah
Ruang pompa backing

sisi Sisi
F IGURE 1,27. Skema tahap memompa di pompa

turbo.
Sebuah pompa depan (umumnya pompa mekanik) yang dibutuhkan untuk memompa vakum sebelum pompa
turbo mulai beroperasi.
3. Persiapan Spesimen
Kebanyakan Nanomaterials, misalnya, nanotube karbon, kawat nano, nanopartikel, dan bahan
berstrukturnano, dapat diamati dengan SEM langsung melalui menempatkannya di atas pita karbon.
Persiapan sampel cukup sederhana. Beberapa Nanomaterials nonconductive, Nanomaterials
terutama bioorganik perlu lapisan logam dan proses persiapan sampel rumit. Pada bagian ini,
prosedur rinci tentang spesimen bioorganik akan dibahas.
3.1. Prosedur untuk High-Resolution SEM of

Bioorganic Spesimen
Kolom SEM, pistol, dan spesimen ruang semua mempertahankan vakum dari 10 - 6
Torr atau lebih baik untuk kinerja optik elektron. Pengecualian untuk kondisi ini adalah
ruang spesimen dari SEM lingkungan. tinggi vakum
lingkungan yang asing bagi sebagian besar bentuk kehidupan karena kandungan air hampir 80% dari
sel dan jaringan. Bahkan biomolekul kecil membutuhkan shell hidrasi untuk tetap dalam keadaan alami.
ketidakcocokan ini spesimen cairan seperti air dengan sistem vakum mikroskop elektron memerlukan
render sampel ke dalam keadaan padat, tanpa cairan yang akan menghilangkan gas di vakum tinggi
dan mencemari mikroskop. Oleh karena itu, semua sampel ditempatkan dalam SEM harus dikeringkan
dari cairan agar stabil untuk pencitraan elektron sekunder. Ketika studi nanostructural sistem organik
biologis atau dilarutkan direncanakan untuk SEM, ilmu penghapusan cairan sangat mempengaruhi
struktur yang diamati. Pengecualian untuk kondisi persiapan sampel kering adalah cryofixation dan
pencitraan suhu rendah (cryo-HRSEM) yang mempertahankan kadar air dalam keadaan padat. Topik
ini dibahas dalam Bab 15.
Pada bagian ini kita akan mempertimbangkan langkah-langkah yang diperlukan untuk membuat sampel
biologis diawetkan dalam keadaan padat (kering) dengan perubahan yang minimal. Kebutuhan persiapan cukup
kafir sehingga “signifikan” rinci struktural, dalam rentang nanometer, komponen padat dapat dipelajari oleh SEM.
Selama penguapan pelarut dari sampel cairan ke dalam suasana gas seperti pada pengeringan udara, pasukan
tegangan permukaan pada permukaan spesimen yang parah. Hal ini menyebabkan penyusutan dan runtuhnya
struktur di 10 - 3 -10 - 6 m berbagai ukuran membuat setiap penilaian SEM pada kisaran 1-10 nm mustahil. Selama
pengeringan udara normal dari suspensi sel darah dari air, pasukan tegangan permukaan cukup untuk meratakan
sel darah putih yang besar sehingga tidak ada fitur permukaan yang terlihat. Pengecualian yang menarik, sel
darah merah memiliki permukaan yang sangat halus yang tidak menunjukkan perubahan struktural utama dalam
kisaran submicrometer setelah pengeringan udara. Namun, fitur molekul dalam kisaran 1-10 nm dilenyapkan oleh
pasukan tegangan permukaan.
3.2. Spesimen Fiksasi dan Metode Pengeringan

Khusus untuk ilmu kehidupan, SEM berfungsi untuk merekam fitur topografi permukaan sampel diproses.
padatan anorganik mudah disimpan atau direncanakan ke sebuah dukungan sampel dan langsung
dicitrakan pada perbesaran yang tinggi menunjukkan rincian nanostructural. Strategi yang lebih kompleks
imobilisasi komponen molekul dan fitur struktural organisme, organ, jaringan, sel, dan biomolekul adalah
untuk kimia memperbaikinya ke dalam keadaan kaku dengan cross-linker dan kemudian pengobatan
dengan garam logam berat untuk meningkatkan kepadatan massa komponen. sampel biologis yang
pertama “tetap” dengan glutaraldehid, sebuah dialdehyde yang berisi atom lima karbon. Ketika molekul ini
buffered dan sampel biologis baik perfusi atau tenggelam di dalamnya, bereaksi dengan ujung N dari asam
amino pada protein yang berdekatan sehingga melepaskan 2H 2 O molekul dan silang rantai peptida.
Dengan demikian, gerakan dari semua komponen protein dari sel-sel dan jaringan yang dihentikan.
sampel biologis kemudian “postfixed” dengan osmium tetroksida (Oso 4) yang diyakini untuk berinteraksi
dengan asam lemak tak jenuh jika lipid berfungsi untuk menghentikan rotasi molekul sekitar obligasi ini
dan membebaskan 2H 2 O. Sejak Oso 4
berisi terberat dari semua elemen, itu berfungsi untuk menambah elektron kepadatan dan hamburan
properti untuk membran biologis kontras jika tidak rendah. Oso 4 juga
berfungsi sebagai tajam yang berinteraksi dengan dirinya sendiri dan dengan noda lainnya.
Penggunaan mordant untuk resolusi tinggi SEM tidak dianjurkan karena mengikat elemen
tambahan untuk membran sehingga pada resolusi struktural 1-10 nm struktur yang diamati
secara artifisial menebal dan fitur dimensi tidak akurat direkam. metode pedas telah sangat
elegan digunakan untuk pembesaran menengah organel sel [14].
3.3. Dehidrasi dan Air pengeringan

Setelah fiksasi, isi air dari sampel diganti dengan cairan menengah, biasanya pelarut seperti etanol
atau aseton sebelum pengeringan organik. Serangkaian pelarut, misalnya, Hexamethyldisilazane
(HMDS), Freon 113, tetrametilsilan (TMS), dan PELDRI II, kadang-kadang digunakan untuk
pengeringan udara karena mereka mengurangi kekuatan tegangan permukaan tinggi yang
menyebabkan kolaps dan menyusut sel dan fitur permukaan mereka. metode pengeringan udara
pelarut bekerja dengan harapan menghindari lebih banyak metode memakan waktu. pelarut ini memiliki
tekanan uap yang sangat rendah dan beberapa pelarut memberikan hasil yang wajar untuk pelestarian
sel darah putih diamati dalam SEM pada perbesaran menengah. Namun, metode ini tidak sesuai untuk
resolusi tinggi SEM struktur nanometer berukuran. Karena prosedur pengeringan menghilangkan shell
hidrasi dari molekul bioorganik, beberapa runtuh pada kisaran 1-10 nm adalah iri. Topik pemeliharaan
biomolekuler dari shell hidrasi tercakup dalam Bab 15.
Yang paling Jadwal dehidrasi umum adalah dengan menggunakan etanol atau aseton dalam serangkaian
dinilai seperti 30%, 50%, 70%, 80%, 90%, dan 100%, dan beberapa mencuci dengan 100% pelarut segar.
Perhatian harus dilakukan untuk tidak menghapus terlalu banyak cairan curah dan mengekspos permukaan
sampel udara. Meskipun sel-sel biologis diketahui membengkak pada konsentrasi di bawah 70% dan menyusut
antara 70% dan 100%, perubahan bentuk ini dapat dikontrol oleh kation divalen digunakan dalam buffer fiksatif
atau mencuci. Sebuah metode dehidrasi superior adalah linear dehidrasi gradien yang membutuhkan suatu alat
pertukaran untuk perlahan-lahan meningkatkan konsentrasi cairan menengah [15,16] dan berfungsi untuk
mengurangi kejutan osmotik dan perubahan bentuk pada spesimen.
3.4. Pengeringan beku
Garis pengolahan prosedur sekarang akan dipertimbangkan untuk HRSEM rekaman fitur biologis yang
signifikan di kisaran 1-10 nm. Sebuah tutorial tentang pro dan kontra dari pengeringan beku (FD) vs titik kritis
pengeringan (CPD) disajikan ketika proses ini pertama kali sedang diteliti untuk akurasi biologis dalam SEM
studi struktural [17]. Singkatnya, FD dari spesimen tetap biasanya melibatkan penambahan bahan kimia
krioprotektan (sukrosa dan DMSO) yang mengurangi pembentukan kristal es tetapi itu sendiri dapat
berinteraksi dengan sampel. Sampel tetap dan cryoprotected adalah terjun beku dalam cairan cryogen
(Freon-22, propana, atau etana) dan kemudian ditempatkan dalam ruang dievakuasi dari 10 - 3 Torr atau lebih
baik dan dipelihara pada suhu - 35˚C ke 85C. Jika metode FD yang digunakan yang terbaik adalah
menggunakan etanol sebagai
krioprotektan karena menyublim jauh dalam ruang hampa bersama dengan es. FD dan pemanasan berikutnya
prosedur yang terjadi di bawah vakum memerlukan beberapa jam untuk beberapa hari dan menghasilkan
hilangnya volume yang lebih besar dibandingkan dengan CPD.
3.5. Titik Kritis Pengeringan

Yang paling handal dan umum prosedur pengeringan untuk sampel biologis adalah CPD oleh Anderson 1951 [18]. Dalam
proses ini, sampel yang telah kimiawi tetap dan ditukar dengan perantara cairan (etanol atau aseton) kemudian ditukar
dengan cairan seperti transisi karbon cair dioksida (CO 2), yang mengalami transisi fase ke gas dalam ruang bertekanan.
Proses CPD bukan tanpa volume yang spesimen dan penyusutan linear; Namun, tidak ada permukaan gaya tarik pada
suhu dan tekanan ( T = 31.1˚C, P = 1.073 ψ untuk CO 2) tergantung titik kritis. Studi pada 1980-an menunjukkan bahwa
gradien dehidrasi linear diikuti oleh “prosedur penanganan halus” untuk CPD dapat sangat mengurangi penyusutan diukur
dalam studi sebelumnya. Arus pemantauan gas habis dari ruang CPD selama menengah pertukaran cairan transisi dan
regulasi termal dari cairan transisi dari suhu pertukaran (4-20˚C) dengan suhu transisi (31.1˚C) sangat mengurangi
penyusutan linear dan runtuh. struktur subselular seperti 100 nm permukaan diameter mikrovili atau terisolasi
calathrin-dilapisi vesikel mempertahankan bentuk asli di dekat mereka dan ukuran. Keragaman sampel biologis dicitrakan
dalam SEM besar dan oleh karena itu langkah yang diperlukan untuk memproses molekul terisolasi dengan 1-10 fitur nm
mungkin berbeda daripada untuk pencitraan struktur 1-10 nm dalam konteks organisasi biologis kompleks seperti organel,
sel, jaringan, dan organ. Adalah bijaksana untuk mempekerjakan CPD untuk semua studi HRSEM melibatkan spesimen
massal; Namun, FD dapat melayani terbaik untuk isolat molekul. Setelah diskusi logam yang tepat teknik untuk akurasi
nanometer di HRSEM lapisan, protokol CPD disajikan untuk pencitraan ~ 50-60 organel nm yang mengandung 1-10
struktur halus nm dalam konteks sampel massal (> 1 mm FD dapat melayani terbaik untuk isolat molekul. Setelah diskusi
logam yang tepat teknik untuk akurasi nanometer di HRSEM lapisan, protokol CPD disajikan untuk pencitraan ~ 50-60
organel nm yang mengandung 1-10 struktur halus nm dalam konteks sampel massal (> 1 mm FD dapat melayani terbaik
untuk isolat molekul. Setelah diskusi logam yang tepat teknik untuk akurasi nanometer di HRSEM lapisan, protokol CPD
disajikan untuk pencitraan ~ 50-60 organel nm yang mengandung 1-10 struktur halus nm dalam konteks sampel massal (>
1 mm 3) oleh HRSEM dan berkorelasi gambar-gambar ini dengan, tertanam bahan STEM tetap dipotong.
3.6. logam Coating

spesimen bioorganik secara alami terdiri dari unsur-unsur nomor atom rendah yang secara alami
memancarkan hasil sekunder dan BSE rendah ketika gembira dengan sumber elektron. spesimen
hidrokarbon ini juga bertindak sebagai insulator dan sering menyebabkan fenomena pengisian.
Sejak awal biologi SEM, logam mulia diuapkan ke spesimen untuk membuat spesimen konduktif.
logam seperti diproduksi spesimen konduktif, tapi panas penguapan mengarah ke logam panas
menimpa ke permukaan sampel. Menggerutu lapisan logam ini (emas, perak, emas / paladium, dan
platinum) dalam suasana argon mengurangi kerusakan permukaan spesimen bioorganik, tapi masih
menyebabkan dekorasi struktural dengan gandum besar ketebalan film merata. Logam mulia tidak
cocok untuk
resolusi tinggi SEM karena ukuran butir besar dan mobilitas tinggi. Artinya, sebagai butir emas atau
logam mulia lainnya yang tergagap mereka cenderung untuk bermigrasi ke arah biji-bijian lain dan
enukleasi membangun film logam di sekitar fitur tertinggi dari permukaan sampel yang mengarah ke
“dekorasi.” Beberapa struktur akan overcoated sedangkan daerah lain permukaan sampel mungkin
tidak memiliki cakupan film apapun sehingga menciptakan film terputus-putus. Selain efek dekoratif
gandum besar (2-6 nm) film logam, ukuran butir butir besar logam mulia meningkatkan efek hamburan
elektron primer menghasilkan hasil yang lebih tinggi dari SE2 dan SE3. Lihat Bagian 2.4.3 untuk
diskusi.
Berbeda dengan film-film logam dekoratif, ultra tipis logam halus butir (Cr, Ti, Ta, Ir, dan W)
memiliki mobilitas yang sangat rendah dan Film granularity monoatomik [19]. Logam ini membentuk
bahkan “pelapis” daripada “dekorasi” karena butir atom tetap di sekitar deposisi membentuk film
tipis yang ultra terus menerus dengan “ketebalan kritis” kecil sering ≤ 1 nm [20]. Granularity kecil
logam ini sangat meningkatkan resolusi tinggi SE1 yield sinyal karena hamburan elektron primer
dalam lapisan logam dibatasi. Gambar yang dihasilkan mengungkapkan luar biasa bawah resolusi
struktural untuk beberapa nanometer dengan akurasi besar karena film ini memberikan 1-2 lapisan
tebal nm terus menerus atas semua kontur sampel [20,21].
3.7. Struktural HRSEM Studi Kimia Tetap CPD-Olahan Massal

Biological Tissue
Resolusi tinggi SE1 pencitraan fenestrae diaphragmmed dari kapiler darah telah dilakukan dengan
menggunakan fiksasi perfusi dan prosedur CPD halus untuk berkorelasi dengan tegangan rendah
(LV) (25 kV) Data STEM [22]. Fenestrae adalah 50-60 nm transcapillary lebar “jendela”
membentang oleh diafragma filamen tipis dan berkerumun bersama-sama (saringan piring) dalam
sitoplasma dilemahkan tipis sel endotel kapiler. struktur dinamis ini telah menjadi subyek penelitian
TEM struktur menggunakan bagian dan replika platinum tipis metode dan telah terlibat dalam gating
dan memilah metabolit molekul ke dalam dan keluar dari jaringan tertentu [23].
Karena mata manusia dapat menyelesaikan pixel 0,2-0,3 mm, perbesaran minimal 50.000 × diperlukan
untuk pixel gambar 0,5 mm untuk dapat dengan mudah dikenali. Sebuah fitur 0,5 mm akan sama dengan
10 nm dalam gambar HRSEM dan akan memasuki kisaran SE1 sinyal (Gambar. 1.28). Massal spesimen
adrenal dipentaskan di-lensa dari FESEM akan menghasilkan gambar dengan berbagai rasio SE1 / SE2
berdasarkan sifat dari film logam diterapkan [15,21,24]. Pada perbesaran yang lebih tinggi, gambar yang
mengandung 1-10 fitur permukaan nm, merata dilapisi dengan Cr, akan berisi kontras SE1 didominasi.
Sebuah pembesaran tinggi SEM gambar (Gambar. 1.29) mengungkapkan permukaan sel luminal dari
fenestrated sel endotel adrenocortical setelah deposisi dari film logam 3 nm tebal 60/40 Au / Pd. seperti
gambar kurang resolusi tinggi SE1 informasi kontras yang signifikan dan fitur struktural dalam kisaran 1-10
nm tidak tersedia karena 3 ukuran butir nm menghasilkan signifikan hamburan berkas elektron
menghasilkan sinyal SE2 yang lebih tinggi. Selain itu akurasi gambar berkurang
F IGURE 1,28. Menengah pembesaran HRSEM (25 kV) dari permukaan kapiler luminal dilapisi dengan 2 nm Cr
Film. Catatan tampilan akurat dari berbagai 50-60 nm diaphragmmed fenestrae.
F IGURE 1,29. Tinggi pembesaran SEM (25 kV) dari permukaan kapiler luminal dihiasi dengan 3 nm Au / Pd Film.
Catatan hasil film yang tidak merata di berbagai dimensi terbuka fenestral dan kurangnya total 1-10 kontras partikel
nm.
karena mobilitas film logam selama sputtering dihiasi fenestrae menghasilkan variasi yang
besar dari lebar diafragma.
Bagian spesimen tipis kapiler adrenocortical menampilkan tipis filamen bukaan fenestral
diaphragmmed di kisaran 50-60 nm ketika dicitrakan oleh LVSTEM (Gbr. 1.30) sama seperti
yang ditampilkan dalam gambar TEM konvensional. Namun, sedikit kontras topografi tersedia
untuk menafsirkan 3D kontur
F IGURE 1,30. tegangan rendah (25 kV) STEM dari fenestrae di bagian lintas dan merumput. Sebuah struktur filamen tipis
mencakup pembukaan fenestral. Catatan kurangnya kontras topografi atau fitur permukaan partikulat.
F IGURE 1,31. Tinggi pembesaran HRSEM (25 kV) dari Cr dilapisi (2 nm) fenestrated permukaan sel endotel.
Bukaan menampilkan berbagai bunga seperti bentuk membentang oleh diafragma dan kepadatan pusat.
SE1 kontras memberikan pengamatan langsung dari 1-10 nm partikulat makromolekul fitur. struktur
partikulat ini mungkin mewakili ectodomains membran yang runtuh pada tingkat atom karena penghapusan
shell hidrasi selama CPD.
dinding fenestral. Meskipun gambar TEM dari platinum fraktur pembekuan replika
mengalami pembesaran fotografi menyarankan fenestral kontur Memiliki delapan kali lipat
simetri, rekaman langsung dari bentuk dinding fenestral yang kurang dan terbatas
kegunaan dari gambar elektron ditransmisikan [23,24]. pembesaran tinggi (200.000 ×) gambar
HRSEM dikumpulkan dari 2 nm Crcoated spesimen langsung ditampilkan piring saringan
yang berisi bunga-seperti ~ 50 bukaan fenestral nm ditunjukkan pada Gambar. 1,31.
struktur permukaan bola dalam kisaran 5 nm mudah dikenali. Dari contoh ini dari curah
CP-kering dan Crcoated spesimen, fenestrae kapiler dinilai dengan HRSEM dan data
struktural didukung dan diperpanjang analisis bentuk fenestral oleh TEM. Perhatian harus
dilakukan untuk tidak overinterpret signifikansi biologis halus (1-10 nm) permukaan fitur
dalam konteks spesimen kering. Shell hidrasi dihapus dari ectodomains molekul permukaan
kapiler sehingga ada pasti runtuhnya atom dalam struktur halus. Apakah permukaan sel
benar-benar tertutup oleh struktur halus bulat seperti yang diamati pada Gambar. 1.31?
Kemungkinan besar tidak,
4. Ringkasan
Bab ini memberikan tinjauan singkat dari dasar-dasar pemindaian mikroskop elektron menggunakan
Nanomaterials sebagai contoh. Hal ini dapat membantu pengguna SEM dan peneliti Nanomaterials untuk
menguasai teknik dasar untuk Nanomaterials studi dalam waktu singkat. Dengan pemahaman tentang
dasar-dasar dan mengetahui konfigurasi mikroskop, pengguna dapat dengan mudah mempelajari
teknik-teknik lain maju dalam buku ini, seperti BSE, analisis x-ray canggih, pencitraan tegangan rendah,
e-beam lithography, fokus sinar ion, dan scanning mikroskop elektron transmisi. Sejak Nanomaterials
tidak perlu prosedur rumit persiapan sampel, Nanomaterials nonconductive, terutama Nanomaterials
bioorganik, yang explicated dalam bab ini.
Referensi
1. OC Wells, Scanning Electron Microscopy, McGraw-Hill, New York (1974).
2. S. Wischnitzer, Pengantar Electron Microscopy, Pergamon Press, New York
(1962).
3. ME Haine dan VE Cosslett, The Electron Microscope, Spon, London (1961).
4. AN Broers, di: SEM / 1975, IIT Research Institute, Chicago (1975).
5. J. Goldstein, D. Newbury, D. Joy, C. Lyman, P. Echlin, E. Lifshin, L. Sawyer, dan
J. Michael, Scanning Electron Microscopy dan X-Ray Mikroanalisis, 3 edisi, Kluwer Academic / Pleno
Publishers, New York (2003).
6. CW Oatley, Scanning Electron Microscope, Cambridge University Press,
Cambridge (1972).
7. JI Goldstein dan H. Yakowitz, Praktis Scanning Electron Microscopy, Sidang pleno
Press, New York (1975).
8. YX Chen, LJ Campbell, dan WL Zhou, J. Cryst. Pertumbuhan, 270 (2004) 505.

9. JJ Liu, A. Barat, JJ Chen, MH Yu, dan WL Zhou, Appl. Phys. Lett., 87 (2005)
172.505.
10. TE Everhart dan RF Thornley, J. Sci. Instrum., 37 (1960) 246.
11. DC Joy, CS Joy, dan RD Bunn, memindai, 18 (1996) 533.
12. H. Koike, K. Ueno, dan M. Suzuki, Prosiding 29 Tahunan Rapat EMSA,
GW Bailey (Ed.), Claitor Publishing, Baton Rouge (1971), hlm. 225-226.
13. L. Xu, WL Zhou, C. Frommen, RH Baughman, AA Zakhidov, L. Malkinski,
JQ Wang, dan JB Wiley, Chem. Commun., 2000 (2000) 997.
14. K. Tanaka, A. Mitsushima, Y. Kashima, T. Nakadera, dan H. Osatake, J. Elektron Microsc. Tech., 12
(1989) 146.
15. K.-R. Peters, J. Microsc., 118 (1980) 429.
16. RP Apkarian dan JC Curtis, Scan. Elektron Microsc., 4 (1981) 165.
17. A. Boyde, Scan. Elektron Microsc., 11 (1978) 303.
18. TF Anderson, NY Acad. Sci., 13 (1951) 130-134.
19. RP Apkarian, Memindai Microsc., 8 (2) (1994) 289.
20. K.-R. Peters, Scan. Elektron Microsc., 4 (1985) 1519.
21. RP Apkarian, 45 Tahunan Prosiding Mikroskopi Society of America ( 1987)
564.
22. DC Joy, 52 Tahunan Prosiding Mikroskopi Society of America ( 1994).
23. EL Pembawa, L. Orci, P. sors, J. Sel Biol., 100 (1985) 418.
24. RP Apkarian, memindai, 19 (1997) 361.

Fundamentals of SEM

Diunggah oleh

Informasi Dokumen

Hak Cipta

Format Tersedia

Bagikan dokumen Ini

Bagikan atau Tanam Dokumen

Opsi Berbagi

Apakah menurut Anda dokumen ini bermanfaat?

Apakah konten ini tidak pantas?

Hak Cipta:

Format Tersedia

Fundamentals of SEM

Diunggah oleh

Hak Cipta:

Format Tersedia

1 Dasar-dasar Scanning Electron

1.1. Resolusi dan Abbe Persamaan

d = 0,612 l / n dosa Sebuah

1.1.1. Interaksi Elektron dengan Sampel

elektron Backscatterred elektron sekunder

Karakteristik x-ray X-ray kontinum

1.1.2. Elektron sekunder

lebih rendah mempercepat lebih tinggi mempercepat

1.1.3. backscattered Elektron

1.1.4. sinar-X karakteristik

1.1.5. Elektron lainnya

1.1.5.1. Auger Elektron

1.1.5.3. Elektron menular

1.1.5.4. spesimen sekarang

2. Konfigurasi Scanning Mikroskop Elektron

2.1. Senjata Electron

2.1.1. Tungsten Senjata Electron

pasokan bias kawat pijar pasokan

filamen saat ini saya f

Beam saat ini, saya b

Filamen saat ini, saya f

2.1.2. Lanthanum Hexaboride Senjata

suhu pemanasan yang sama. Oleh karena itu, LaB 6

2.1.3. Lapangan Emisi Senjata

(Sebuah) (B) (C)

2.2. Lensa elektron

2.2.1. Lensa kondensor

2.2.2. Lensa obyektif

2.3. Parameter kolom

2.3.3. Kedalaman lapangan

F IGURE 1.18. SEM citra SnO 2 nanojunctions menunjukkan kedalaman lapangan.

2.4. gambar Formasi

2.4.1. Generasi sinyal

2.4.2. scanning Coils

F IGURE 1.21. sistem pembentukan citra di mikroskop elektron scanning khas.

spektrometer x-ray panjang gelombang-dispersif untuk sinar-x karakteristik; dan photomultipliers

2.4.3. Detektor Elektron sekunder

Jarak kerja = 8.50 mm

Di atas Lens Detector

Uap Detector SE-I

2.4.4. spesimen Komposisi

2.4.5. spesimen Topografi

F IGURE 1,23. Sekunder elektron mikrograf

2.4.6. spesimen Pembesaran

2.5. Vacuum Sistem

2.5.1. Pompa mekanik

2.5.2. Pompa difusi

F IGURE 1,25. Skema dari pompa mekanik yang khas.

F IGURE 1,26. Skema pompa difusi.

2.5.3. ion Pompa

2.5.4. Turbo Pompa

Ruang pompa backing

F IGURE 1,27. Skema tahap memompa di pompa

3.1. Prosedur untuk High-Resolution SEM of

3.2. Spesimen Fiksasi dan Metode Pengeringan

3.3. Dehidrasi dan Air pengeringan

3.4. Pengeringan beku

3.5. Titik Kritis Pengeringan

3.6. logam Coating

3.7. Struktural HRSEM Studi Kimia Tetap CPD-Olahan Massal

8. YX Chen, LJ Campbell, dan WL Zhou, J. Cryst. Pertumbuhan, 270 (2004) 505.

Anda mungkin juga menyukai