MAKALAH TEKNIK KARAKTERISASI MATERIAL

SEM (Scanning Electron Microscopy)

Oleh

Kelompok 1:

Jelly Karmila 17034010 (4)

Sisi Gusti Putri 17034028 (7)

Dosen Pembimbing : Dra. Yenni Darvina, M.Si

JURUSAN FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

UNIVERSITAS NEGERI PADANG

2020

5
 KATA PENGANTAR 

Puji dan Syukur penulis ucapkan kehadirat Tuhan Yang Maha Esa, karena
berkat limpahan Rahmat dan Karunia-nya sehingga penulis dapat menyusun
makalah ini dengan baik dan tepat pada waktunya. Dalam makalah ini penulis
membahas mengenai SEM. Makalah ini merupakan salah satu syarat untuk
melengkapi tugas pada mata kuliah Teknik Karakterisasi Material.

Dimulai dari perencanan, pencarian bahan sampai penulisan makalah ini

penulis banyak mendapat bantuan, saran, petunjuk dan bimbingan dari berbagai
pihak baik secara langsung maupun secara tidak langsung. Oleh karena itu penulis
mengucapkan terima kasih kepada:

1. Ibu. Dra. Yenni Darvina, M.Si selaku dosen pembimbing pada mata kuliah
Teknik Karaterisai Material
2. Teman-teman yang telah memberi dukungan moril dan materil pada
penulis.
3. Pihak-pihak lain yang telah berpartisipasi namun tidak tersebutkan dalam
makalah ini.

Penulis berharap semoga makalah ini dapat memberikan manfaat yang

banyak kepada para pembaca terutama kepada penulis.Penulis menyadari bahwa
penulisan makalah ini masih banyak terdapat kekurangan dan masih jauh dari
kesempurnaan yang disebabkan oleh keterbatasan ilmu, pengalaman serta
informasi yang dimiliki oleh penulis. Oleh sebab itu penulis mengharapkan saran
dan kritik dari pembaca untuk perbaikan makalah ini dimasa yang akan datang.

Padang, Maret 2020

Penulis

6
 BAB I

PENDAHULUAN

A. Latar Belakang
Berbicara tentang teknologi nano, maka tidak akan bisa lepas dari
mikroskop, yaitu alat pembesar untuk melihat struktur benda kecil tersebut.
(Teknologi nano : teknologi yang berbasis pada struktur benda berukuran nano
meter. Satu nanometer = sepermilyar meter). Tentu yang dimaksud disini
bukanlah mikroskop biasa, tetapi mikroskop yang mempunyai tingkat ketelitian
(resolusi) tinggi untuk melihat struktur berukuran nano meter.
Mikroskop adalah alat bantu yang digunakan untuk melihat dan
mengamati benda-benda yang berukuran sangat kecil yang tidak mampu dilihat
dengan mata telanjang. Kata Mikroskop berasal dari bahasa latin, yaitu mikro
yang berarti kecil dan kata scopein yang berarti melihat. Mikroskop elektron
adalah sebuah mikroskop yang mampu untuk melakukan pembesaran objek
sampai 2 juta kali, yang menggunakan electro static dan electro magnetic untuk
mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan
pembesaran objek serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop
cahaya.
Dalam sejarah, yang dikenal sebagai pembuat mikroskop pertama kali
adalah 2 ilmuwan Jerman, yaitu Hans Janssen dan Zacharias Janssen (ayah-anak)
pada tahun 1590. Temuan mikroskop saat itu mendorong ilmuwan lain, seperti
Galileo Galilei (Italia), untuk membuat alat yang sama. Galileo menyelesaikan
pembuatan mikroskop pada tahun 1609, dan mikroskop yang dibuatnya dikenal
dengan nama mikroskop Galileo. Mikroskop yang dirakit dari lensa optik
memiliki kemampuan terbatas dalam memperbesar ukuran objek. Hal ini
disebabkan oleh limit difraksi cahaya yang ditentukan oleh panjang gelombang
cahaya. Secara teoritis, panjang gelombang cahaya ini hanya sampai sekitar
nanometer. Untuk itu, mikroskop berbasis lensa optik ini tidak bisa mengamati
ukuran dibawah 200 nanometer.

7
 Untuk melihat benda berukuran dibawah 200 nanometer, diperlukan
mikroskop dengan panjang gelombang pendek. Dari ide inilah, ditahun 1932 lahir
mikroskop elektron. Sebagaimana namanya, mikroskop elektron menggunakan
lensa, namun bukan berasal dari jenis gelas sebagaimana mikroskop optik, tetapi
dari jenis magnet. Sifat medan magnet ini bisa mengontrol dan mempengaruhi
elektron yang melaluinya, sehingga bisa berfungsi menggantikan sifat lensa pada
mikroskop optik. Kekhususan lain dari mikroskop elektron ini adalah pengamatan
objek dalam kondisi hampa udara (vacuum). Hal ini dilakukan karena sinar
elektron akan terhambat alirannya bila menumbuk molekul-molekul yang ada
diudara normal. Dengan membuat ruang pengamatan objek berkondisi vacuum,
tumbukan elektron-molekul bisa terhindarkan.
Ada 2 jenis mikroskop elektron yang biasa digunakan, yaitu Transmission
Elektron Microscopy (TEM) dan Scanning Elektron Microscopy (SEM). TEM
dikembangkan pertama kali oleh Ernst Ruska dan Max Knoll, 2 peneliti dari
Jerman pada tahun pada tahun 1932. Tidak jauh dari lahirnya TEM, SEM
dikembangkan pertama kali tahun 1965 oleh Von Ardenne dengan fungsi me-
scanning dari sinar elektron melewati sampel.
Scanning Electron Microscope (SEM) merupakan instrumen unggul dan
mudah digunakan, dibandingkan dengan insrumen lain, SEM mampu mendeteksi
berbagai sinyal dari spesimen serta dapat digunakan untuk menganalisis skala
mikro. Di dalam SEM terdapat rangkaian elektron yang dibelokkan oleh
tumbukan dengan elektron sampel.
Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai
terfokus balok halus elektron ke sampel. Elektron berinteraksi dengan sampel
komposisi molekul. Energi dari elektron menuju ke sampel secara langsung dalam
proporsi jenis interaksi elektron yang dihasilkan dari sampel. Serangkaian energi
elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis oleh sebuah mikroprosesor yang
canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau spektrum elemen yang unik
yang ada dalam sampel dianalisis.
Sepanjang sejarah banyak fisikawan, matematikawan, dan ahli kimia mempelajari
unsur-unsur dibumi. Melalui kerja keraspara ahli tersebut dan sejumlah orang lain,

8
maka sejumlah besar informasiyang disusun dan diuji oleh mereka untuk
menetapkan prinsip dasar digunakan saat ini dalam pengembangan mikroskop
elektron scanning modern.
Dengan biaya-biaya dari Scanning Electron Microscopes (SEM) yang
turun dalam beberapa tahun terakhir, SEM berubah melebihi pusat bursa yang
berkisar pada pusat-pusat penelitian, universitas, pusat-pusat analisis, dan
sebagainya menjadi suatu alat yang aplikasinya lebih luas yang mencakup
sekolah-sekolah tinggi dan divisi pengendalian mutu dari banyak industri.

B. Rumusan Masalah
1. Apa pengertian Scanning Electron Microscopy (SEM)?
2. Apa fungsi dari Scanning Electron Microscopy (SEM)?
3. Apa saja bagian-bagian Scanning Electron Microscopy (SEM) ?
4. Bagaimana prinsip kerja Scanning Electron Microscopy (SEM)?
5. Bagaimana cara menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM)?

C. Tujuan Makalah
1. Mengetahui apa itu Scanning Electron Microscopy (SEM)?
2. Mengetahui fungsi dari Scanning Electron Microscopy (SEM)?
3. Mengetahui bagian-bagian dari Scanning Electron Microscopy (SEM)?
4. Memahami prinsip kerja dari Scanning Electron Microscopy (SEM)?
5. Memahami cara menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM)?

BAB II

9
 TINJAUAN PUSTAKA
A. Konsep Fisika

1. Resolusi dan Ketajaman Bayangan

Kualitas bayangan ditentukan oleh kekuatan mikroskop yang

dapat dilihat dari cara kerjan yang ditentukan dari parameter
instrumen. Kekuatan miksroskop dimaknai sebagai jarak terpendek
antara dua poin yang dapat menentukan perbedaan jarak bayangan.
Untk mengukur kekuatan mikroskop yang diperolah oleh mikrograf
adalah mengukur jarak terpendek antara dua poin pada mikrograf.
Mikrokskop optikal, termasuk aberration dalam lensa (aberration
geometri/ aberration kromatis atau bola) dapat mengatur sinar
masuk, selanjutnya kekuatan mikroskop ditentukan aberration difraksi.
Resolusi adalah kemampuan untuk menyelesaikan dua
poin yang tidak fokus, misalnya dengan mengurangi ukuran objek.
Persamaan berikut memberikan persamaan matematik dari kemampuan
memberikan resolusi

Persamaan disederhanakan pada kondisi aliran arus rendah. Pada arus

rendah:

Jc = kerapatan
sumber arus ,
λ = gelombang
electron
Cs = spherical
aberration
i = arus ,
T =suhu

10
 Resolusi memungkinkan ada pengaruh komponen lain
yang menambah ketajaman gambar, diantaranya kekuatan lensa
kondenser, yang berfungsi untuk merefleksikan aliran sinar elektron,
mengurangi jarak objek dengan lensa, berbeda dengan ini ada
pengaruh mengurangi objective aperture.

2. Prinsip Lensa Elektron dan Aberrasi

Hal esensial pada SEM adalah bagaimana memperoleh
fokus menggunakan sumber sinar elektron untuk mensken
permukaan spisimen, secara umum lensa elektron dikelompokkan ke
dalam jenis elektrostatik dan magnetik. Umumnya jenis medan
magnetik banyak digunakan sebab aberasinya rendah dan mudah
dioperasikan, oleh karena itu kami lebih senang menggunakan lensa
jenis magnetik.
Ketika elektron bergerak dalam medan magnet, dimana tidak
ada gaya luar pada gerak paralel, kecuali gerak perpendicular. Gaya
eksternal menyebabkan elektron sepanjang perpendicular mengikuti arah
elektron dan garis gaya magnetik. Jika kerapatan flux magnetik konstan,
elektron bergerak pada jalur perpendicular, melingkar dengan jari-jari
r yang ditentukan dengan gaya sentrifugal, mv2/r dan gaya
elektromagnetik evB, dengan persamaan sebagai berikut:

(1)

e= muatan

B= kerapatan flux magnetik

n= muatan spesifik electron

r= jari-jari

m= massa

v= kecepatan

Persamaan di atas menegaskan bahwa jari-jari elektron

11
berbanding lurus dengan kecepatan elektron serta berbanding terbalik
dengan kerapatan flux
magnetik dan muatan spesifik elektron.

3. Interaksi Sinar Elektron dan Spesimen

Sejak elektron memiliki sifat partikel, interaksi elektron begitu
kuat dengan specimen (hukum Coloumb), ketika elektron
menumbuk spesimen, terjadi hamburan elektron di atas permukaan
spesimen, hasilnya adalah perubahan arah gerak elektron b dan
pengurangan energi elektron akibat interaksi tersebut di atas.
Primery Electron menumbuk spesimen, arah gerak dipengaruhi
oleh beragam hamburan sinar dan diikuti dengan pergerakan sinar dari
berbagai arah. Pada saat elektron dengan energi sama menumbuk
spesimen, porsi elektron mengalami refleksi dengan arah berlawanan (back
scattered) dan sebagian diataranya diserap oleh specimen (eksitasi sinar
X). Jika spesimen terlalu tipis, maka elektron menembus keseluruh
specimen (transmited electron).
Secondary electron, back scattered electron, sinar X dan lain-lain
memberikan informasi yang mampu menjelaskan sifat spesimen (nomor
atom, distribusi unsur, topografi, potensial permukaan, kemagnetan,
karakteristik kimia dan kristalografi) informasi ini dikonversi ke dalam
sinyal vidio dan layar CRT.
Tabel berikut mengurutkan hubungan jenis bayangan dan informasi yang
diterima detektor. Secondary electron umumnya menunjukkan
permukaan spesimen, sehingga secondary electron tidak menembus
spesimen, mereka hanya mengobservasi struktur halus permukaan
spesimen. Oleh karena itu pergeseran bayangan dapat diperkirakan dari
secondary electron.

12
 4. Pembentukan dan Mekanisme Kontras Bayangan Secunder Electron

Verifikasi adanya zat dan pergeserannya, serta kontras bayangan

harus didefinisikan, dengan kata lain pada saat sistem memerlukan
resulusi tinggi, kontras bayangan sangat rendah sehingga akan
menyulitkan untuk menentukan eksistensi menjadi sulit ditentukan.
Kontras bayangan pada mikroskop optikal didasarkan pada
absopsi cahaya di tiap bagian spesimen. Itu juga dipengaruhi oleh
cahaya reflekasi dan perbedaan fase mikroskop. Sedangkan
TEM, kontras bayangan ditentukan oleh absobsi secendary
electron. Untuk spesimen kristal, kontras difraksi memmegang peran
penting, terutama pada penajaman bayangan.
Mikroskop skening memberikan sinar monokromatik yang berbeda
komposisinya yang dapat diindentifikasi dengan perbedaan derajat
pencahayaan (brightness). Topografi permukaan spesimen juga ditentukan
dengan mengidentifikasi derajat pencahayaan (brightness) bayangan.
Hal ini menunjukkan bahwa secondary electron dan difusi elektron
ditentukan oleh sudut sinar datang.
B. Pengertian
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu jenis mikroscop
electron yang menggunakan berkas electron untuk menggambarkan bentuk

13
 permukaan dari material yang dianalisis.  Scanning Elektron Microscopy (SEM)
adalah mikroskop yang menggunakan hamburan elektron dalam membentuk
bayangan elektron berinteraksi dengan atom – atom yang membentuk sampel
menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang penemuan sampel,
komposisi dan sifat–sifat lain seperti konduktivitas listrik. Prinsip kerja dari
SEM ini adalah dengan menggambarkan permukaan benda atau material dengan
berkas electron yang dipantulkan dengan energy tinggi.  Permukaan material
yang disinari atau terkena berkar electron akan memantulkan kembali berkas
electron atau dinamakan berkas electron sekunder ke segala arah. Tetapi dari
semua berkas electron yang dipantulkan terdapat satu berkas electron yang
dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Detector yang terdapat di dalam SEM 
akan mendeteksi berkas electron berintensitas  tertinggi yang dipantulkan oleh
benda atau material yang dianalisis. Selain itu juga dapat menentukan lokasi
berkas electron yang berintensitas tertinggi itu. (Abdullah, Khairurrijal. 2008)
Ketika dilakukan pengamatan terhadap material, lokasi permukaan  benda
yang ditembak dengan berkas elektron yang ber intensitas tertinggi di – scan
keseluruh permukaan material pengamatan. Karena luasnya daerah pengamatan
kita dapat membatasi lokasi pengamatan yang kita lakukan dengan melakukan
zoon – in atau zoon – out. Dengan memanfaatkan berkas pantulan dari benda
tersebut maka informasi dapat di ketahui dengan menggunakan program
pengolahan citra yang terdapat dalam computer.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi yang lebih tinggi
dari pada mikroskop optic. Hal ini di sebabkan oleh panjang gelombang de
Broglie yang memiliki electron lebih pendekdek daripada gelombang optic.
Karena makin kecil panjang gelombang yang digunakan maka makin tinggi
resolusi mikroskop.

14
 Gambar 1. SEM (Scanning Electron Microscopy)

SEM mempunyai depthoffield yang besar, yang dapat memfokuskan

jumlah sampel yang lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan
yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan
resolusi tinggi, yang berarti mendekati bayangan yang dapat diuji dengan
perbesaran tinggi.
Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, darkfield, resolusi yang lebih
besar,dan komposisi serta informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu
dari peralatan yang paling banyak digunakan dalam penelitian, R& D industri
khususnya industri semikonductor
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya
mampu mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 –
0,2 nm.
Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan
beberapa jenis pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron
mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis
dan pantulan non elastis seperti pada gambar dibawah ini.

15
 Gambar 2.
1. Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama
antara lain:
Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang
mudah melepas elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang
bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada
molekul udara yang lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan
terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga
menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting.

Adapun fungsi utama dari SEM (Scanning Electrone Microscope) antara

lain dapat digunakan untuk mengetahui informasi – informasi mengenai :
a. Topografi
Fungsi SEM pada bidang topografi adalah untuk dapat melihat
dan mengetahui ciri – ciri permukaan dan tekstur (kekerasan, sifat
memantulkan cahaya, dsb.)

b. Morfologi
Fungsi SEM pada bidang morfologi adalah unutk dapat melihat dan
mengetahui bentuk dan ukuran partikel penyusun objek (kekuatan, cacat
pada Integrated Circuit (IC) dan chip, dsb.)
c. Komposisi
Fungsi SEM pada bidang komposisi adalah untuk dapat
mengetahui data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung didalam
objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dsb.)

16
 d. Informasi Kristalografi

Fungsi SEM pada bidang informasi kristalografi adalah untuk

dapat mengetahui informasi mengenai bagaimana susunan dari butir –
butir didalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan,
dsb.)

Jenis sampel yang dapat dianalisa, yaitu sampel biologi

atau material padat. Aplikasi (analisa sampel) :

• Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik,

keramik, fosil, butiran, karbon, campuran partikel logam,
sampel Arkeologi.

• Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal,

ganggang, benalu dan cacing. Jaringan binatang, manusia
dan tumbuhan.

• Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang,

fosil dan sampel arkeologi

17
 C. Prinsip Kerja Alat

Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:

1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan
anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan
diarahkan oleh koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron
baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT).

C. Bagian-Bagian dari SEM

Gambar 3. Bagian-bagian SEM

Keterangan Gambar :
1. Elektron Meriam di bagian atas kolom ( disini disebut lapangan emisi
sumber)
2. Elektro-magnetik lensa untuk mengarahkan dan fokus berkas elektron di
dalam kolom.
3. Vacuum Pompa sistem. Ketika SEM digunakan, kolom harus selalu
berada di ruang hampa. Jika sampel berada dalam lingkungan gas penuh,
berkas elektron tidak dapat dihasilkan atau dipertahankan karena
ketidakstabilan yang tinggi dalam berkas. Gas dapat bereaksi dengan
 sumber elektron, menyebabkan ia terbakar, atau menyebabkan elektron
dalam berkas untuk mengionisasi, yang menghasilkan debit acak dan
menyebabkan ketidakstabilan di balok. Pada transmisi sinar melalui kolom
optik elektron juga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya.
Molekul-molekul lain ini, yang bisa datang dari sampel atau mikroskop itu
sendiri, bisa membentuk senyawa dan memadatkan sampel sehingga akan
menurunkan kontras dan membuat gambar menjadi kabur.
4. Tempat sampel (membuka untuk memasukkan objek ke dalam ruang
vakum tinggi-observasi dalam modus SEM konvensional).
5. Operasi panel dengan fokus, keselarasan dan alat-alat pembesaran dan
joystick untuk posisi sampel.
6. Layar untuk menu dan menampilkan gambar.
7. Cryo-unit untuk mempersiapkan (istirahat, mantel dan menghaluskan)
bahan beku sebelum penyisipan dalam ruang pengamatan di Cryo-SEM
modus.
8. Elektronik disimpan dalam lemari di bawah meja.
9. Teknisi Mieke Wolters-seni dan Geert-Jan Janssen membahas tampilan.

Hal terpenting dari sumber elektron SEM adalah derajat pencahayaan

(brighness), luas sumber cahaya kecil, stabilitas tinggi, khususnya kecepatan emisi
elektron. Sesungguhnya yang terpenting adalah pertemuan dengan beberapa
sumber penembak elektron .

Berikut bagian-bagian dari alat Scanning Electron Microscope dengan penjelasan

secara detail, dapat dilihat seperti gambar di bawah ini:
 Gambar 3. Bagian alat dari SEM

SEM memiliki beberapa peralatan utama, antara lain:

1. Penembak elektron (electron gun)

Ada dua jenis atau tipe dari electron gun yaitu :

a) Termal

Pada jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan dalam bentuk energi
panas. Energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar panas yang
diterima bahan maka akan semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi
pada electron. Pada situasi inilah akan terdapat elektron yang pada ahirnya
terlepas keluarmelalui permukaan bahan. Bahan yang digunakan sebagai sumber
elektron disebut sebagai emiter atau lebih sering disebut katoda. Sedangkan bahan
yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks tabung hampa
(vacuum tube) anoda lebih sering disebut sebagai plate. Dalam proses emisi
termal dikenal dua macam jenis katoda yaitu :
a. Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)
b. Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)

Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri
oleh arus heater (pemanas).Material yang digunakan untuk membuat katoda
diantaranya adalah :
Tungsten Filamen

Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk
membuatkatode. Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai
katoda yaitumemiliki ketahanan mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar
3400 oC), sehingga tungsten banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung
XRay yang bekerja pada tegangan sekitar 5000 V dan suhu tinggi. Akan
tetapiuntuk aplikasi yang umum terutama untuk aplikasi Tabung Audio dimana
tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten bukan material
yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang tinggi
(4,52 eV) danjuga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar 2200 oC).
b) Field emission

Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan
ialahadanya gaya tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada katoda
yangdigunakan pada proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup
besarsehingga tarikan yang terjadi dari medan listrik pada elektron
menyebabkanelektron memiliki energi yang cukup untuk lompat keluar dari
permukaan katoda.Emisi medan listrik adalah salah satu emisi utama yang terjadi
pada vacuum tubeselain emisi thermionic.

Jenis katoda yang digunakan diantaranya adalah :

- Cold Field Emission

- Schottky Field Emission Gun

2. Lensa Magnetik

Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser

lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut dengan lensa objektif)
memfokuskan electron dengan diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm.
3. Detektor

SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap

hamburan elektron dan memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-
detektor tersebut antara lain:
a. Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi
mengenai nomor atom dan topografi.
b. Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai
topografi (Prasetyo, 2011).
c. EDS detector, yang berfungsi melihat komposisi kimia dari bahan/sampel
dan hanya bisa mendeteksi atom di atas Lithium(Li).
 4. Sample Holder

            Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM.

5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)

Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat
dilihat.
a) Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat
memantulkan cahaya, dan sebagainya).
b) Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek
(kekuatan, cacat pada Integrated Circuit (IC)dan chip, dan sebagainya).
c) Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di
dalam objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
d) Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari
butir-butir di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik,
kekuatan, dan sebagainya). (Prasetyo, 2011).

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:

1. Memerlukan kondisi vakum

2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis
logam seperti ema

BAB III
PEMBAHASAN

A. Keberadaan Alat
Alat ini secara umum terdapat didaerah sbb:
1. Di universitas Teknologi Bandung
2. Batan, Bandung

B. Bagian-Bagian Alat
Bagian-bagian pada SEM dapat dilihat pada gambar dibawah ini:

Gambar 1. Gambar tentang Bagian dan Komponen dari SEM

Berdasarkan gambar diatas dapat dilihat bahwa komponen-komponen
yang ada pada SEM adalah:
1. Flange to hight vacump pump adalah bagian yang berfungsi untuk
menentukan apakah alat sudah tidak ada udara luar atau belum
2. Specimen merupakan bahan yang akan diuji pada alat
3. Holder  merupakan tempat meletakkan specimen
4. Termionik merupkan tempat terletaknya anoda dan katoda
5. SE detector  merupakan detector yang berguna untuk mendeteksi
electron yangdibaca sinar x
6. Monitor  menampilkan hasil percobaan specimen

C. Fungsi Alat
Fungsi dari SEM adalah sbb:
1.Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas
dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
 3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara
kuantitatif dan  kualitatif.
D. Prinsip Kerja Alat
Secara umum prinsip kerja dari alat ini adapat dilihat gambar berikut:

Gambar 2. Gambar prinsip kerja dari SEM

Secara umum prinsip kerjanya adalah:
1. Electron gun menghasilkan Beam dari filament. Pada umumnya electron
gun yang digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filament berupa
lilitan ttungsten yang berfungsi sebagai katoda.
2. Tegangan yang diberikan akan menyebabkan adanya
pemanasan.kemudian adoda akan menghasilkan gaya dan akan menarik
3. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat lengan
anoda.Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
4. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan
diarahkan oleh koil pemindai.
5. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan
elektron baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor
(CRT)

D. Instrumentasi
1. Konfigurasi Sistem
Dengan system konvensional, EDX yang berdiri sendiri dikombinasikan
dengan SEM yang terpisah, sehingga operator harus belajar menggunakan kedua
system, dan masing-masing system harus dioperasikan secara terpisah. Melalui
SEM-EDX, SEM dan EDX digabungkan menjadi satu unit, mengurangi
kebutuhan akan Operasi yang komplek/ rumit.

Fungsi dari suatu SEM dan EDX digabungkan menjadi satu unit, sehingga
konfigurasi dapat dibagi menjadi unit SEM dan unit EDX. Unit SEM terdiri dari
detektor EDX, dan panel operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard dan
mouse. Untaian pengendali EDX, 2 komputer dan disk drive MO ditempatkan
dalam suatu rak padat terletak di sebelah panel operasi. Gambar 2 menunjukkan
bagian luar dari gabungan SEM-EDX dan gambar 3 menunjukkan
konfigurasi/susunan system

Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam suatu alat SEM-EDX,
computer dari tiap unit dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian
data, dan software Hi-Mouse yang dikembangkan memberikan pengoperasian
yang mudah. Dengan Ethernet dan software Hi-Mouse, satu keyboard, satu
mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan dengan lembut fungsi dari
SEM maupun EDX.

Hubungan user pada unit SEM berdedikasi pada jendela EDX yang dapat
digunakan untuk mengontrol unit EDX. Folder-folder windows dapat diatur
menjadi ‘shared’, mengizinkan data dibagi antara 2 komputer. Cara kerja jauh
lebih sederhana, dan menampilkan gambar lebih mudah, melalui pengaturan salah
satu monitor untuk menampilkan gambar pengamatan dan monitor yang Monitor
yang lai menampilkan data analisis. Karena masing-masing system harus
dioperasikan secara terpisah, maka perlu dipelajari operasi dari SEM dan EDX
secara tersendiri.

D. Aplikasi
 SEM-EDX adalah nama dispersive X-ray spektroskopi energi analisis yang
dilakukan dengan menggunakan SEM . Alat dipakai umumnya untuk aplikasi
yang cukup bervariasi pada permasalahan eksplorasi dan produksi migas,
 termasuk didalamnya: Evaluasi kualitas batuan reservoir melalui studi
diagnosa yang meliputi identifikasi dan interpretasi keberadaan mineral dan
distribusinya pada sistem porositas batuan. Investigasi permasalahan produksi
migas seperti efek dari clay minerals, steamfloods dan chemical treatments
yang terjadi pada peralatan pemboran, gravelpacks dan pada
reservoirIdentifikasi dari mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan
pengendapan Taufik, 2008).
Instrumen ini sangat cocok untuk berbagai jenis investigasi. Hal ini mungkin
untuk menyelidiki misalnya struktur serat kayu dan kertas, logam.permukaan
fraktur, produksi cacat di karet dan plastic. Detail terkecil yang dapat dilihat
pada gambar SEM adalah 4-5 nm (4-5 sepersejuta milimeter). Detail terkecil
yang dapat dianalisis adalah pM 2-3 (2-3 seperseribu milimeter).

F. Prosedur Kerja
1. teknik pembuatan preparay yang diguanakan pada SEM
Materi yang akan dijadikan objek pemetaaan dengan menggunakan
mikroskop harus melalui proses sedemikian rupa agar dapat memenuhi
untuk dapat iuji yang memenuhi syarat untuk digunakan dalam pembuatan
berbagai macam tergantung specimen yang dubutuhkan
a. kriofiksasi
yaitu suatu metode persiapan yang menggunakan nitrogen cair dan
helium cair.
b. fiksasi merupakan proses yang membuat bahan menjadi lebih
reativistik
c. dehidrasi adalah proses pengantian air dalam pearut dengan bahan
organic seperti aceton.
d. Penanaman adalah proses magnifiltrasi jeringan degan resin

G. Cara Mengoperasikan
Ada 3 tahapan dalam mengoperasikan mikroskop elektron. Pertama yaitu
persiapan untuk memastikan kekeringan sampel. Kandungan air dalam
sampel yang diteliti harus ditekan seminim mungkin bahkan hingga
kering sempurna. Prosedurnya cukup sederhana tapi tidak boleh
menyebabkan kerusakan pada sampel. Sampel kemudian direkatkan pada
holder berupa silinder tembaga padat berukuran kecil. Holder ini selain
berfungsi sebagai peyangga juga menjadi medium konduktor untuk tahap
selanjutnya. Sistem mikroskop elektron membutuhkan medium
konduktor yang baik dan tembaga menjadi pilihannya.

Gambar 4. Sistem mikroskop elektron membutuhkan medium konduktor

yang baik dan tembaga menjadi pilihannya.
Tahapan kedua adalah penyelubungan sampel dengan partikel-partikel
emas. Inilah perlakuan khusus dalam penggunaan mikroskop elektron.
Proses ini dikerjakan dalam kondisi hampa udara di dalam sebuah alat
pemercik ion. Pemercikan emas berlangsung menggunakan besaran arus
listrik yang ditentukan oleh peneliti dalam waktu yang diatur secara
otomatis. Percikan emas di kolom hampa udara menimbulkan efek
berpendar berwarna jingga hingga ungu. Saat itulah lapisan emas sedikit
demi sedikit menyelubungi sampel. Kondisi sampel pun akan berubah
mirip perhiasan emas dengan wujud yang mengkilat.

Tahapan ketiga menjadi yang paling utama

yaitup enghujani sampel dengan elektron.
Sampel dimasukan ke dalam kolom mikroskop
elektron yang hampa udara. Di dalam kolom
partikel-partikel elektron ditembakkan ke
permukaan sampel.
Tegangan listrik yang tidak stabil atau mati listrik akan menyebabkan lompatan
elektron terganggu atau bahkan terhenti sehingga penelitian harus diulang.
Setelah dihujani elektron, sistem akan memindai permukaan sampeldengan
perbesaran yang diinginkan, mulai dari ratusan hingga ribuan kali. Detail citra
yang dihasilkan tak lagi dalam millimeter namun dalam skala mikron. Citra hasil
pemindaian dapat diamati melalui monitor atau diubah terlebih dahulu ke
dalam format JPG untuk disimpan.

G. Bentuk Sampel
Beberapa bahan yang bisa dicibakan antara lain adalah bahan yang cukup
bervariasi. Dapat pula digunakan untuk penetuan diagnose yang meliputi
identifikasi dan interpretasi data keberadaan migas. Bahan yang dapat dicobakan
antara lain adalah struktur serat, kayu dan kertas, , logam, permukaan fracture,
produksi cacat di karet dan plastic.

Gambar 3. Gambar tentang bahan-bahan yang dapat diuji

Berdasarkan gambar diatas dapat dilihat sampek yang
igunakan Jenis sampel yang dapat dianalisa, yaitu sampel biologi
atau material padat. Aplikasi (analisa sampel) :
a. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, keramik,
fosil, butiran, karbon, campuran partikel logam, sampel Arkeologi.
b. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang,
benalu dan cacing. Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan.
c. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil
dan sampel arkeologi
H. Bentuk Data
Berdasarkan salah satu jurnal yang didapatkan bentuk datanya adalah:
Spesimen yang paling korosif akan di ambil foto SEM pada
permukaan lasannya. Spesimen yang difoto adalah spesimen yang
nilai laju korosinya paling besar dari pipa yang di las dengan tiap
jenis elektroda. Spesimen yang difoto akan ditunjukkan dengan
perbesaran 100x hingga 5000x. Pelaksanaan foto SEM ini
dilakukan di laboratorium SEM-

Tabel 1. Tabel Hasil Percobaan Laju Korosi Pada Pipa API 5L

Grade X65.

weld metal, E7018

Percobaan Spesimen icor CR(mmpy) Rata-rata
ke (μA/cm2) CR
(mmpy)
1 18E1 45,14000 0,52452
2 18E2 45,3490 0,52695 0,53
3 18E3 44,7940 0,5205
4 18E4 46,2880 0,53786
weld metal, E6013
Percobaan Spesimen icor CR(mmpy) Rata-rata
ke (μA/cm2) CR
(mmpy)
1 13E1 48,9080 0,56831
2 13E2 48,7040 0,56594 0,69
3 13E3 92,9690 1,0803
4 13E4 48,3660 0,56201
 weld metal, E6010
Percobaan Spesimen icor CR(mmpy) Rata-rata
ke (μA/cm2) CR
(mmpy)
1 10E1 53,0270 0,61617
2 10E2 51,1300 0,59413 0,62
3 10E3 54,8700 0,63759
4 10E4 53,0900 0,6169
Pengamatan permukaan weld metal menggunakan mikroskop elektron
bertujuan untuk melihat adanya permukaan terkorosi yang tidak terlihat
secara kasat mata. Pengamatan ini dilakukan di Laboratorium SEM
Jurusan Teknik Material dan Metalurgi FTI – ITS. Untuk hasil
pengujiannya dapat dilihat pada gambar dibawah ini:

Pembahasan:

Hasil percobaan uji korosi specimen pipa API 5L grade X65 terdapat
pada table 1 dan dijelaskan bahwa pipa yang dilas menggunakan elektroda
AW7018 untuk percobaan pertama laju korosi pada bagian
Analisa Pengaruh Jenis Elektroda terhadap Laju Korosi pada
Pengelasan Pipa API 5L Grade X65 dengan Media Korosi FeCl3

Gita Anggaretno, Imam Rochani dan Heri

supomo
Jurusan Teknik Kelautan, Fakultas Teknologi Kelautan, Institut
Teknologi Sepuluh Nopember (ITS) Jl. Arief Rahman Hakim,
Surabaya 60111
E-mail: imamr@oe.its.ac.id

BAB III
PENUTUP
A.  KESIMPULAN
Hampir sama dengan SEM hanya saja pada SEM EDX merupakan dua
perangkat analisis yang digabungkan menjadi satu panel analitis sehingga
mempermudah proses analitis dan lebih efisien. Pada dasarnya SEM EDX
merupakan pengembangan SEM. Analisa SEM EDX dilakukan untuk
memproleh gambaran permukaan atau fitur material dengan resolusi yang
sangat tinggi hingga memperoleh suatu tampilan dari permukaan sampel yang
kemudian di komputasikan dengan software untuk menganalisis komponen
materialnya baik dari kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya.Daftar berikut
ini merangkum fungsi yang berkontribusi pada operabilitas luar biasa dari
SEM-EDX.
1.    Menu Fungsi ini digunakan untuk mengatur secara bersamaan, menyimpan,
dan mengingat parameter untuk analisis SEM dan EDX.
2.    Kondisi pengukuran EDX dapat diatur dari Unit SEM (Spektral pengukuran,
multi-titik pengukuran, pemetaan, tampilan menganalisis elemen pada SEM
monitor).
3.    Image data yang diperoleh dengan SEM dapat digunakan sebagai data dasar
untuk EDX.
4.    Menetapkan kondisi untuk unit SEM secara otomatis dipindahkan ke unit
EDX( Rahmat, 2010 ).

DAFTAR PUSTAKA
Anggaretno, Rochani dkk. 2012. Analisa Pengaruh Jenis Elektroda terhadap Laju
Korosi pada Pengelasan Pipa API 5L Grade X65 dengan Media Korosi FeCl 3.
Surabaya. ITS
Samsiah, Robiatuh. 2009. Karakterisasi Biokomposit Apatit-Kitosan dengan
XRD (X-Ray Diffraction), FTIR (Fourier Transform Infrared), SEM (Scanning
Electron Microscopy) dan Uji Mekanik. Bogor. IPB
http://www.slideshare.net/ebentscrue/mikroskop-elektron
https://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope
https://materialcerdas.wordpress.com/teori-dasar/scanning-electron-
microscopy/
https://yudiprasetyo53.wordpress.com/2011/11/07/scanning-electron-
microscope-sem-dan- optical-emission-spectroscope-oes/
http://anita-widynugroho.blogspot.co.id/2012/04/scanning-electron-
microscope-sem.html http://www.kompasiana.com/wardhanahendra/melihat-
kecanggihan-mikroskop-dengan-
percikan-emas-dan-hujan-elektron_55d58a09a2afbdf819b539bb
http://boymarsaputrapanjaitan.blogspot.co.id/2014_02_01_archive.html
http://mandeleyev-rapuan.blogspot.com/2012/03/sem-scanning-electron-
microscope.html http://munawirul-q.blogspot.co.id/2011/03/scanning-electron-
microscope-energy.html http://documents.tips/documents/makalah-sem.html
http://boymarsaputrapanjaitan.blogspot.co.id/2014_02_01_archive.html
https://id.scribd.com/doc/81178806/Makalah-SEM-kel9-Nia