Karakterisasi Komponen Tipis Film LithiumBattery Dipersiapkan Oleh Direct Current Sputtering (AK Jahja)

Akreditasi LIPI Nomor: 395 / D / 2012

Tanggal 24 April 2012

KARAKTERISASI KOMPONEN BATERAI LITHIUM THIN FILM

YANG DIPERSIAPKAN OLEH LANGSUNG SAAT INI MENGGANGGU

AK Jahja, WagiyoH., H. Jodi dan E. Kartini

Pusat Teknologi Bahan Nuklir (PTBIN) - BATAN
Kawasan Puspiptek, Tanggerang, Banten 15314
e-mail: azijahja@batan.go.id

Diterima: 15 Agustus 2012 Direvisi: 21 Desember 2012 Diterima: 13 Februari 2013

ABSTRAK

KARAKTERISASI KOMPONEN KOMPETENSI LOITHIUMTHINFILMBATTERYAPAT SESUAI DENGAN SAAT INI.

Bahan
elektrolit baru memungkinkan desain baterai lithium primer atau sekunder datar untuk perangkat miniatur dari kartu pintar hingga
cadangan CMOS. Dalam makalah ini, persiapan komponen film tipis LiPON dan baterai film tipis semua-keadaan padat yang terdiri
dari elektrolit padat LiPON, batuan berlapis dapat LiCoO 2 elektroda, pengumpul arus Pt dan ITO, dan anoda SnO amorf yang
diproduksi menggunakan teknik penguapan sputtering dan vakum disajikan dan dibahas. Struktur kristal dari film tipis LIPON
diendapkan pada substrat yang berbeda seperti permukaan kaca, Si wafer dan Pt dikarakterisasi dengan metode X-Ray
Diffractometer (XRD). Film katoda yang diendapkan bersifat amorf atau sebagian mengkristal. Pola intensitas amorf muncul
dengan puncak difus yang terletak pada posisi sudut 2 • • 14º, 22º dan 48º. Baterai film tipis dikarakterisasi dengan metode impedansi
kompleks dan Scanning Electron Microscope (SEM). Retak, yang tergantung pada waktu pengendapan, diamati untuk film katoda
yang diendapkan. Karakteristik impedansi dan konduktivitas sampel, tidak mencerminkan karakteristik standar baterai. Jenis
perilaku ini mungkin disebabkan oleh adanya hubungan pendek dalam konfigurasi sistem, sehingga sampel gagal menghasilkan
karakteristik baterai. Kesimpulannya dapat diasumsikan dengan aman bahwa hasil akhir sejauh ini hanyalah sistem
multi-komponen dengan nilai resistansi 6 ohm, kapasitansi tergantung-frekuensi, dan kuasi konduktivitas Arus Langsung 1,6 x 10- 1 ( S).

Kata kunci: Baterai lithium ion, baterai film tipis, DC dan RF Sputtering, LiCoO 2, Li 3 PO 4, LiPON

ABSTRAK

KARAKTERISASI KOMPONEN BATERAI LAPISANTIPIS LITHIUMHASILPREPARASI DENGANMENGGUNAKANMETODE

ARUS SEARAH. Bahan elektrolit baru telah memungkinkan terciptanya desain baterai lithiumdatar primer atau sekunder untuk digunakan
pada berbagai perangkat miniatur mulai dari kartu cerdas hingga asesori pendukung CMOS. Dalam tulisan ini membahas pembuatan
komponen lapisan tipis LiPON dan baterai lapisan tipis yang keseluruhannya terdiri dari bahan padatan ( solid-state), yaitu elektrolit padat
LiPON, elektroda garam kasar berlapis LiCoO 2, kolektor Pt dan pengumpul arus ITO, dan anoda amorf SnO. Komponen baterai telah disintesis
dengan menggunakan teknik penguapan

tergagap dan teknik vakum. Struktur kristal lapisan tipis LiPON yang telah dideposisi pada substrat yang berbeda seperti kaca, Si kue
wafer dan permukaan Pt dikarakterisasi dengan metode X-Ray Diffractometer (XRD).
Katoda lapisan tipis yang terdisposisi bulat amorf atau terkristalisasi sebagian. Pola intensitas amorf tampil dengan puncak-puncak
difusi yang terletak di posisi sudut-sudut refleksi 2 • • 14º, 22º dan 48º. Baterai lapisan tipis dikarakterisasi dengan metode impedansi
kompleks dan metode Memindai Mikroskop Elektron
( SEM). Diambil pada lapisan katoda terdisposisi adalah merebut kembali ( retak), yang ukurannya tergantung pada waktu deposisi.
Karakteristik Impedansi dan konduktivitas sampel tidak mencerminkan karakteristik standar untuk baterai. Perilaku yang dapat diterima oleh adanya
hubungan arus pendek dalam konfigurasi sistem, sehingga sampel gagal untuk menghasilkan karakteristik baterai. Sebagai kesimpulan akhir dapat
diasumsikan bahwa ini adalah hasil akhir dari pengujian sistem yang merepresentasikan baterai yang sempurna masih merupakan suatu sistemmulti
komponen dengan nilai resistansi 6 ohm, kapasitansi tergantung pada frekuensi dan konduktivitas kuasi Arus searah sebesar 1,6 x 10-1 (S).

Kata kunci: Lithium ion, Baterai lapisan tipis, DC dan RF Sputtering, LiCoO 2, Li 3 PO 4, LiPON

203
Jurnal Sains Materi Indonesia Jurnal Ilmu PENGANTAR
Bahan Indonesia
 Aplikasi daya portabel terus mendorong penelitian dan Vol. 14, No. 3, April 2013, hal: 203 - 208

pengembangan sistem baterai canggih. Karena baterai lithium ion memiliki ISSN: 1411-1098

karakteristik unggul seperti kepadatan energi tinggi, tegangan tinggi dan
masa pakai yang panjang, baterai lithium ion banyak digunakan pada
peralatan terminal data portabel yang dimulai dengan telepon seluler dan
komputer laptop serta peralatan industri [1]. Seringkali, kandungan energi
ekstra dan pertimbangan portabilitas melebihi ekonomi ketika suatu sistem
dipertimbangkan. Ini berlaku untuk teknologi baterai lithium selama tiga
puluh tahun terakhir dan untuk sistem baterai lithium ion, yang berevolusi
dari pengembangan baterai lithium awal. Dalam beberapa tahun terakhir,
kebutuhan akan daya portabel semakin cepat karena adanya pelemaran
peralatan elektronik di mana dalam beberapa kasus, sistem baterai setengah
berat dan volume perangkat yang ditenagai. Lithium elemen telah ditemukan
memiliki tegangan tertinggi, bobot paling ringan, dan kepadatan energi
terbesar dari logam. Minat pertama yang diterbitkan dalam baterai lithium
dimulai dengan karya Harris pada tahun 1958 [2].
film tipis berlapis-lapis. Beberapa teknik telah digunakan untuk tujuan ini
seperti deposisi termal vakum, RF magnetron sputtering, deposisi
semprotan elektrostatik, deposisi berkas elektron, dan deposisi laser
berdenyut. Dalam tulisan ini, persiapan LiPON (Li 3 PO 4 didoping dengan
komponen film tipis N) dan baterai film tipis semua-keadaan padat yang
terdiri dari elektrolit padat LiPON, lapisan batuanalt LiCoO 2 elektroda,
pengumpul arus Pt dan ITO, dan anoda SnO amorf yang diproduksi
menggunakan teknik penguapan sputtering dan vakum disajikan dan
hasilnya dibahas.
METODE EKSPERIMENTAL

Semua baterai film tipis dibuat dengan menggunakan teknik

Pekerjaan akhirnya mengarah pada pengembangan dan
komersialisasi berbagai sel lithium primer selama tahun 1970-an.
Penggunaan baterai lithium besar dalam skala penuh diperkirakan
akan mencakup area yang luas seperti pertahanan, ruang angkasa,
peralatan medis, mobil, peralatan transportasi, penyimpanan energi
stasioner, mesin industri, dan peralatan konstruksi dalam waktu yang
tidak lama lagi. .
Konfigurasi baterai lithium ion yang sudah digunakan secara
praktis, adalah di mana katoda, anoda dan pemisah yang mengisolasi dua
elektroda direndam dalam elektrolit; ion lithium bergerak antara katoda
dan anoda dan pengisian dan pemakaian dilakukan oleh reaksi reduksi
oksidasi yang terjadi pada masing-masing dari dua elektroda ini [3].
penguapan sputtering dan vakum [6]. Semua komponen baterai
diendapkan ke substrat kaca dan Si-wafer di mana lapisan Mn bertindak
sebagai lapisan perekat yang baik antara kaca dan SiO 2. Film disiapkan
dalam atmosfer yang mengalir Archon pada tekanan 2 × 10- 1 Pa. Target
elektrolit padat dan film tipis disiapkan mengikuti literatur [7]. Diagram
skematis dari rencana eksperimental film tipis ditunjukkan pada Gambar
1.
Selama proses sputtering, penting bahwa lapisan yang terpisah
harus diletakkan tanpa kemungkinan korsleting karena sputtering yang tidak
akurat. Oleh karena itu, desain yang terkait dengan proses sputtering juga
harus mempertimbangkan batas presisi perangkat sputtering. Perangkat
sputtering Direct Current yang tersedia di fasilitas PTBIN (BATAN) pada
awalnya adalah evaporator vakum

Batteray
film tipis
Lithium cobalt dioxide (LiCoO 2) banyak digunakan untuk bahan
katoda. Karena kobalt adalah elemen yang langka, masalah yang DC Sputtering RF Sputtering

berkaitan dengan biaya tinggi muncul, terlepas dari kenyataan bahwa

Target &
LiCoO 2 memiliki sifat luar biasa. Dalam beberapa tahun terakhir, baterai
Pemegang Komponen TFB
yang menggunakan fosfat (yang memiliki banyak cadangan di seluruh
dunia) dalam bahan elektrolit, seperti Li 3 PO 4 telah dikembangkan
dengan tujuan utama mengurangi biaya [4,5]. Sebagian dari pemenuhan
tujuan ini, baterai berbasis nikel, yang lebih murah daripada kobalt, dan
Substrat
baterai berbasis besi fosfat telah dikembangkan dalam beberapa waktu
terakhir. Bahan-bahan katodik ini mengambil bentuk oksida logam
komposit dari logam transisi dan lithium, dan mereka digunakan sebagai Masking

kristal dengan struktur yang cocok untuk interkalasi dan de-interkalasi

Kolektor
lithium. Misalnya bahan dengan kristal berlapis .
Saat Ini Pt

Electrode

LiCoO 2

Untuk membuat baterai film tipis, semua komponen anoda, Elektrolit Li 3 PO

elektrolit padat, katoda dan pengumpul arus yang sesuai harus dibuat 4

menjadi Kolektor Arus

Elektroda
Grafit Cu

Gambar 1. Diagram Skema dari Rencana Eksperimental Film Tipis

Dilakukan dalam penelitian ini

204
Karakterisasi Komponen Tipis Film LithiumBattery Dipersiapkan Oleh Direct Current Sputtering (AK Jahja)

puncak difus
100

80

(au)
60 (a)

Intensitas
40 (b)

20

(c)

10

Gambar 2. Perangkat DC Sputtering beroperasi pada 800 Volt, 30 mA Gambar 3. Perbandingan intensitas difraksi sinar-X untuk sampel di
menggunakan Argon sebagai gas sputtering dengan plasma berwarna menyala atas substrat LiPON glass masing-masing untuk (a). 50 menit, (b).
yang ditunjukkan pada gambar Durasi deposisi 30 menit dan (c). substrat kaca kosong itu sendiri

perangkat biasanya menggunakan film tipis untuk pelapisan bahan.

Modifikasi termasuk penyisipan elektroda untuk tegangan DC. puncak difus
Perangkat sputtering biasanya bekerja pada 800 Volt (dapat mencapai 1
kVolt) sementara arus berada pada 30 mA. Sosok Perangkat sebelum
70
dan setelah modifikasi ditunjukkan di bawah pada Gambar 2.
60

50
Target untuk sputtering yang digunakan terdiri dari
(au)

komponen baterai. Elektrolit padat (LiPO 3,

40

LiPON yang merupakan fase spinel Li 3 PO 4 didoping dengan N), rocksalt

Intensitas

LiCoO berlapis 2 elektroda, pengumpul arus Pt-, Cu- dan Al, dan anoda
30

SnO amorf kemudian tergagap dan diendapkan pada substrat wafer

20

silikon [8]. Kolektor arus Pt-, Cu- dan Al (konduktor elektron yang baik) 0 10

dilapisi pada wafer. Setelah sputtering selesai lapisan tipis kemudian - 10

dikenakan berbagai pengukuran termasuk tetapi tidak terbatas pada - 20

10 20 30 40 50 60
difraksi X-Ray (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM) -Energy
2 q / Hai
Spektroskopi X-Ray (EDS), Energgi Optik, Diferensial Pemindaian
Gambar 4. Pola intensitas difraksi LiPON X-Ray setelah 50 menit
Kalorimetri (DSC) dan metode LCR. Juga dicatat di sini bahwa untuk
pengendapan pada substrat kaca
LiCO 2 dan LiMnO 2 ( keduanya adalah bahan katoda), pelet juga termasuk
bahan pengikat yaitu polimer PolyVinyledene Fluoride (PVDF) pada 3%
setelah 50 menit waktu pengendapan pada substrat gelas dan setelah
b / b karena ada kekurangan kohesi antara butiran-butiran jenis LiCoO
pengurangan dari pola intensitas gelas disajikan. Sifat amorf dari filmis
berlapis-batuan 2 dan LiMnO 2 bahan katoda. Semua lapisan dibuat oleh
yang diendapkan dikonfirmasi karena tidak ada puncak yang tajam.
sistem DC Sputtering / RF Sputtering yang sama dengan mengubah target
Pola intensitas amorf muncul dengan puncak difus yang terletak pada
dan masker keras.
posisi sudut 2 • • 14º, 24º dan 48º. Tampaknya puncak difus pertama dari
pola intensitas amorf muncul di posisi sudut

2θ • 14º memiliki bentuk profil yang lebih tajam dibandingkan dengan puncak
difus kedua yang berpusat di 2θ • 24º dengan profil yang sedikit lebih lebar.

HASIL DAN PEMBAHASAN Karakterisasi oleh Dalam Gambar 5 pola intensitas difraksi X-Ray untuk
substrat sampel Si-wafer / Pt / LiPON disajikan. Pola difraksi adalah
X-RayDifraktometer
campuran

Dalam Gambar 3 pola intensitas difraksi X-Ray untuk sampel

LiPON tergagap pada substrat kaca (masing-masing masing-masing
[111]

350
[222]

selama 30 menit dan 50 menit deposisi kali) dan substrat kaca kosong itu
sendiri disajikan untuk perbandingan. Tampaknya puncak difus dari pola 300

intensitas amorf di 2 • • 14º lebih menonjol pada sampel 50 menit daripada 250

pada sampel 30 menit.

(au)

200
Intensitas

Pada Gambar 4 pola intensitas Difraksi Sinar-X untuk hasil

150

elektrolit LiPON yang tergagap

100

50

0
 10 20 30 40 50 60
Gambar 5. Pola intensitas Difraksi Sinar-X untuk konfigurasi media /
2 q / Hai konfigurasi Pt / LiPON

205
Jurnal Sains Materi Indonesia Jurnal Ilmu Vol. 14, No. 3, April 2013, hal: 203 - 208
Bahan Indonesia ISSN: 1411-1098

700

600

200
500
150
(au)

(a .u.)
400
100
Intensitas

Dalam tensity
200
0 50
300 (c)

(b) - 50

100
- 100

(a)
- 150

0
10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60

10 20 30 40 50 60
2 q / Hai
2 q / Hai
Gambar 9. Intensitas pola difraksi Si-wafer / LiPON X-Ray setelah
Gambar 6. Perbandingan pola intensitas Difraksi Sinar-X untuk (a). dikurangi dari intensitas pola difraksi Si-wafer kosong
Substrat Si-wafer, (b). Pt dan (c). Si-wafer / Pt / LiPON

600

500
.u.)

400
ity (a

300
Dalam puluhan

200 (a)

100 (b)

- 100 Gambar 10. Lapisan tipis LiPON elektrolit pada Pt pada substrat Si-wafer
- 200 yang diperoleh oleh RF Sputtering. juga terlihat tidak rata, tetapi sedang
20 30 40 50 60 dioptimalkan untuk mendapatkan lapisan yang lebih homogen

2 q / Hai

Gambar 7. Perbandingan intensitas pola Difraksi Sinar-X untuk (a).

Pt dan (b). Substrat Si-wafer / Pt / LiPON setelah dikurangi dari
intensitas pola Si-wafer kosong
pola amorf dan kristal. Puncak pantulan yang diamati (111) dan (222) dalam
300
film setelah anil adalah dari fase spinel LiPON atau substrat Pt dan Si.
250 Perbandingan pola intensitas Difraksi Sinar-X untuk substrat Si-
wafer, Pt dan Si-wafer / Pt / LiPON disajikan pada Gambar 6.
.u.)

200
ty (a

Perbandingan intensitas pola X-RayDifraksi untuk Pt dan

sepuluh

substrat Si-wafer / Pt / LiPON setelah dikurangi dari intensitas pola wafer

150

Si-kosong disajikan pada Gambar 7.

(b)
Dalam

Intensitas pola difraksi terukur dari [substrat Si-wafer / Pt /

100

LiPON] setelah pengurangan dari pola intensitas Si-wafer kosong ternyata

50
negatif dalam 2 • rentang sudut difraksi • 39º-40.5º.
(a)

0 10 20 30 40 50 60

2 q / Hai

Angka 8. Perbandingan intensitas pola difraksi sinar-X dari (a).

Substrat Si-wafer / LiPON dan (b). pola difraksi Si-wafer kosong
 sampel LiPON amorf cenderung membentuk puncak difus tunggal
yang berpusat pada sudut difraksi. 2 • • 14º, dan tampaknya tidak ada
Di sini jelas bahwa pola difraksi dari sampel LiPON puncak difus lain yang ada dalam polanya. Di sisi lain, intensitas
menunjukkan pola difraksi tipe yang lebih kristalin. negatif berpusat pada sudut difraksi 2 • • 40 ° dan 2 • • 46,5º juga diamati.

Dalam Gambar 8 perbandingan intensitas pola Difraksi

Sinar-X dari substrat Si-wafer / LiPON dan pola difraksi Si-wafer
kosong disajikan. Jelas bahwa pola difraksi substrat amorf Si-wafer /
Pada Gambar 10, lapisan tipis LiPON elektrolit pada Pt pada
LiPON cenderung menyatu menjadi puncak difus yang berpusat
substrat Si-wafer yang diperoleh RF Sputtering ditunjukkan. Tampaknya film
pada sudut difraksi. 2 • • 14º.
ini memiliki distribusi ketebalan yang tidak merata, tetapi sedang
dioptimalkan untuk mendapatkan lapisan yang lebih homogen.

Pada Gambar 9 intensitas pola Si-wafer / LiPON X-Ray

Difraksi setelah dikurangi dari intensitas pola difraksi Si-wafer kosong
ditampilkan. Seperti yang mungkin diharapkan di sini, pola intensitas
206
Pada Gambar 11, satu set lengkap baterai isi ulang film tipis
yang disiapkan dengan metode SputteringRF dengan pengumpul arus Pt,
LiCoO 2 elektroda, LiPON
 Karakterisasi Komponen Tipis Film LithiumBattery Dipersiapkan Oleh Direct Current Sputtering (AK Jahja)

Gambar 11. Satu set baterai isi ulang film tipis yang disiapkan dengan
metode RF Sputtering

elektrolit, timah oksida (SNO) elektroda positif dan kolektor arus ITO
(kolektor) ditampilkan. Dari hasil pengukuran XR yang disajikan di
atas, dapat disimpulkan bahwa komponen utama baterai film tipis
berbasis lithium memiliki struktur amorf dan mencapai filmmorfologi
tipis seperti yang diharapkan. Selanjutnya baterai film tipis dicirikan
untuk lebih memeriksa karakteristik kinerja.

Gambar 12. Itu impedansi dan konduktivitas

Karakterisasi LiPON Elektrolit Film Tipis karakteristik baterai film tipis

konfigurasi, sehingga sampel gagal menghasilkan karakteristik baterai.

Karakterisasi impedansi film tipis digunakan menggunakan
LCRmeter. Semua sampel sampel diukur menggunakan karakteristik
frekuensi dalam rentang frekuensi 45 Hz hingga 1MHz, dalam tegangan
1V. Tujuan pengukuran adalah untuk menemukan karakteristik
impedansi dan konduktivitas film tipis.
Kesimpulannya dapat diasumsikan dengan aman bahwa hasil akhir
sejauh ini hanyalah sistem multi-komponen dengan nilai resistansi 6
ohm, kapasitansi tergantung-frekuensi, dan konduktivitas DC semu 1,6 x
10- 1 ( S).

Karakterisasi oleh Scanning Electron

Microscope
LiPONBasedThin FilmBattery Mikrogram SEM dari mikrostruktur film tipis Pt pada substrat
kaca dan pada substrat Si wafer (Gambar 13 dan 14) menunjukkan
Sampel baterai film tipis terdiri dari 4 titik elektroda. Setiap
adanya retakan (fraktur) meskipun butir dalam wafer Si lebih kecil.
titik ditandai dengan parameter yang sama dan semua menghasilkan
Retak diyakini terjadi karena durasi lapisan yang lama (30 menit), yang
hasil yang sangat mirip. Akibatnya, hanya hasil pengukuran dari satu
menyebabkan peningkatan panas yang berlebihan. Ketika lapisan
titik yang perlu ditunjukkan di sini karena itu mewakili semua yang lain.
diulangi (untuk lapisan Pt pada substrat kaca) tetapi dengan durasi yang
Karakteristik impedansi dan konduktivitas sampel baterai film tipis
lebih pendek (20 menit) tidak ada retakan yang diamati.
berbasis LiPON ditunjukkan pada gambar berikut.

Karakteristik impedansi dan konduktivitas sampel yang

ditunjukkan pada Gambar 12 tidak mencerminkan karakteristik standar
baterai. Plot impedansi hanya terdiri dari garis lurus sejajar dengan
imajiner Z •• sumbu yang memotong sumbu Z nyata pada nilai 6 ohm.
Pola garis lurus ini biasanya mewakili karakteristik rangkaian elektronik
yang terdiri dari resistor dan kapasitor secara seri. Konduktivitas sampel
ini juga tidak tergantung pada frekuensi. Nilai konduktivitas adalah 1,6 x
10- 1

(S) yang tetap konstan di sepanjang rentang frekuensi. Jenis perilaku ini
mungkin disebabkan oleh adanya korsleting dalam sistem Gambar 13. SEM mikrogram lapisan film tipis Pt diendapkan pada
substrat kaca

207
Jurnal Sains Materi Indonesia Jurnal
Ilmu Bahan Indonesia

Gambar 14. SEM mikrogram lapisan film tipis Pt diendapkan
pada substrat Si wafer
Gambar 15. Analisis EDS film tipis Pt pada substrat kaca
Gambar 16. Analisis EDS film tipis LiPON pada substrat kaca
Komposisi kimiawi permukaan film tipis Pt (Gambar 15)
pada substrat kaca menunjukkan adanya 7,04% atom oksigen
unsur atau
Persentase berat 0,85%, kemungkinan berasal dari substrat kaca
atau terjadi selama proses pelapisan atau disebabkan oleh
ketidakmurnian gas yang diterapkan. Analisis EDS untuk
komposisi kimia (Gambar 16)
208
Vol. 14, No. 3, April 2013, hal: 203 - 208
ISSN: 1411-1098
pada permukaan film tipis Pt / LiPON / kaca, menandakan
keberadaan atom nitrogen 0,93% dalam sampel, dan ini
membuktikan bahwa lapisan LiPON telah terbentuk selama
proses pelapisan. Lapisan LiPON memiliki sifat yang agak kuat,
yang dapat digunakan untuk melampirkan Li 3 PO 4 lapisan yang
agak lunak sehingga dapat mengurangi risiko kebocoran dalam
sistem.
KESIMPULAN
Baterai film tipis menggunakan LiCoO 2 dan katoda berbasis LiPON
yang diendapkan pada substrat Si-wafer telah dibuat dengan menggunakan teknik
sputtering DC dan RF. Namun baterai film tipis • Karakteristik impedansi dan
konduktivitas tidak mencerminkan karakteristik
standar baterai. Jenis perilaku ini mungkin disebabkan oleh
adanya hubungan pendek dalam konfigurasi sistem, sehingga
sampel gagal menghasilkan karakteristik baterai. Oleh karena itu,
kegiatan penelitian di masa depan harus difokuskan terutama
pada peningkatan peralatan dan teknik pengendapan, dan juga
penanganan target dan masker selama pengendapan harus
ditingkatkan secara signifikan untuk menghasilkan baterai mikro
standar yang berfungsi.
UCAPAN TERIMA KASIH
Pekerjaan ini didukung oleh hibah penelitian SINAS 2012
No: 1.02 / SEK / IRS / PPK / I / 2012 dan hibah PKPP 2012 dalam
bantuan dari Kementerian Riset dan Teknologi, Republik Indonesia.
Kami juga berterima kasih kepada direktur PTBIN-BATAN dan
kepala BBIN-PTBIN atas dukungan mereka yang tiada henti.
REFERENSI
[1]. N. KUWATA, R. KUMAR, K. TORIBAMI,
T. SUZUKI, T. HATTORI, J. KAWAMURA, Ionik Keadaan
Padat, 177 ( 2006) 2827-2832
[2]. JBBATES, NJDUDNEY *, B.NEUDECKER, A. UEDA, CD EVANS, Ionik
Keadaan Padat, 135 ( 2000) 33-45
[3]. SL ZHAO dan QZ QIN, Jurnal Kekuasaan
Sumber, 122 ( 2003) 174-180
[4]. BK MONEY dan K. HARIHARAN, Appl. Phys., A88 ( 2007) 647-652
[5]. JL SOUQUET dan M. DUCLOT, Ionik Keadaan Padat, 148 ( 2002) 375-
379
[6]. E. KARTINI, LaporanKemajuan ( Laporan perkembangan)
ProgramInsentif, No: 1.02 / SEK / IRS / PPK / I / 2012, 16 Januari
2012 [7]. H. OHTSUKA dan J.YAMAKI, Jpn. J. Appl. Phys.,
28 ( 1989) 2264
[8]. WA VANSCHALKWIJKandB. Ed SCROSATI,
Kemajuan dalam Baterai Lithium-Ion, Kluwer Academic /
PlenumPublishers, NewYork, (2002)