Kesimpulannya, untuk mempromosikan sikap positif di lingkungan ruang yang

bersih untuk meningkatkan kinerja personel, sejumlah langkah harus diambil.

Diantara nya yaitu:

1. Pelatihan yang teliti dan tepat. Personil harus memiliki pengetahuan dalam
keseluruhan proses desain. Bukan hanya dalam tugas mereka, tetapi juga
apa yang dilakukan orang lain. Cara yang baik adalah dengan merotasi
orang agar pada akhirnya mereka mengerjakan semua tugas yang berbeda .
Ini akan membuat personel memahami gambaran keseluruhan , dan lebih
memahami apa yang dikontribusikan oleh setiap posisi. Itu berlaku untuk
operator, teknisi, dan insinyur yang mengetahui pekerjaan satu sama lain .
Ini akan mempengaruhi mengembangkan reputasi untuk tugas satu sama
lain juga.
2. Kembangkan cara berkomunikasi satu sama lain. Salah satu caranya
adalah dengan menggunakan sistem antar koin. Cara lainnya adalah
mengembangkan jadwal kerja yang dapat diprediksi untuk personel
sehingga setiap orang saling mengetahui jadwal. Ini akan membantu agar
tidak mengganggu pekerja.
3. Selesai ruangan: Ruang bersih memiliki masalah yang sama dengan yang
terlihat di ruang operasi dan ruang serupa di rumah sakit. Apa yang
dilakukan rumah sakit sekarang, dan apa yang harus dilakukan oleh
fasilitas ruang bersih sekarang adalah menciptakan lebih banyak ruang
yang menarik secara visual.

Ini dilakukan di rumah sakit sekarang dengan menggunakan warna, dan mural
dinding. Area lain yang perlu diperhatikan di ruang bersih adalah lantai. Untuk
aliran laminar vertical, penggunaan floor grating efektif untuk aliran laminar.
Tetapi berjalan di atas jeruji ini sepanjang hari bisa sangat tidak nyaman di kaki.
Apa yang dilakukan beberapa perancang fasilitas Jepang adalah mendapatkan
keuntungannya . "Perancang fasilitas Jepang menyadari bahwa berjalan di atas
jeruji sepanjang hari kemungkinan besar akan melelahkan. Karenanya, kisi-kisi
tersebut diganti dengan lantai yang kokoh di jalur lalu lintas utama di bagian area
fabrikasi di mana kebersihan tidak diwajibkan.

41
Namun segera menjadi jelas, bahwa lantai yang seluruhnya terbuat dari kisi baja
akan memiliki fungsi drawb psikologis dan fungsional . Salah satu produsen
Jepang memecahkan masalah ini dengan menempatkan prefi lters langsung di
bawah kisi-kisi." (16. Edmark , 1984.)

Karena ruang bersih menjadi lebih canggih , produksi akan menjadi lebih kecil,
dan peralatan akan melakukan lebih banyak beban kerja. Hal ini akan membuat
para personel semakin terasing. Dan kecuali personel dapat mengembangkan
sikap katakan, seorang pengrajin, atau seseorang yang merasa dia benar-benar
berkontribusi dengan dikelola seperti itu, produktivitas maksimum tidak akan
tercapai.

42
3.4 Pakaian

Seperti disebutkan di bagian 3.1, personel di ruang bersih adalah potensi terbesar
penyumbang kontaminasi di ruang bersih. Karena faktor ini, pengaturan pakaian
yang tepat adalah wajib di ruang bersih. " Baju luar penuh (mis., Setelan kelinci
dan setelan lompat) adalah masalah standar di semua bidang fabrikasi , dan
perhatian yang besar ditujukan untuk menjahit baju luar ini." (17. Edmar k , 1984.
) Pakaian ruang bersih bukan persyaratan untuk melindungi personel. Fungsi satu
- satunya adalah melindungi lingkungan benda kerja.

Personil menumpahkan serpihan kulit dalam jumlah besar sepanjang waktu. "kulit
dan rambut terus berjtuhan seperti serpihan kecil, sebagian besar terdiri dari
keratin protein dikelilingi oleh apa yang tersisa dari membran sel mati. Tetesan
kelembaban dikeluarkan dengan setiap pernafasan, kedipan mata, bersin, batuk,
dan bahkan setiap kata yang diucapkan. Pakaian yang kami kenakan juga
melepaskan partikel-partikel kecil. "( 18. Waring, 1984.)

"Untuk memperburuk keadaan, orang menggunakan produk seperti bedak tubuh,

kosmetik, semprotan deodoran bubuk , dan semprotan rambut, yang semuanya
akhirnya berakhir sebagai udara kontaminasi yang ditanggung . Produk-produk ini
mengandung berbagai macam senyawa dan logam, termasuk seng besi, dan
senyawa titanium , debu mika, karbon hitam, dan banyak organik. Bahkan
pakaian ruang bersih terbaik yang tersedia tidak mampu menampung semua
kontaminasi yang dihasilkan manusia. " (19. Northgate, 1986.)

Pakaian ruang bersih harus terbuat dari kain dan dirancang menjadi serangkaian
pakaian yang dalam kombinasi akan membatasi bagian dari partikulat baik
melalui pakaian sendiri atau oleh -passing penutupan. Pakaian ruang bersih harus:

1. Desainnya rendah serat .

2. Menghambat pembentukan muatan statis. "Seorang manusia ketika

mengenakan Cleanroom \ pakaian akan menghasilkan listrik tribolistrik
statis oleh yang menggesekkan, katakanlah , lengan baju ke tubuh, tubuh
terhadap kursi dapat menghasilkan muatan hingga 25.000 volt." (20.
Waring, 1984.)

43
 2. Tahan proses penghancuran bakteri saat dibersihkan.
3. Disesuaikan sepenuhnya.
4. Patuhi siklus pembersihan yang ketat.
5. Nyaman dipakai, ini penting karena ketidaknyamanan sama dengan
sebuah
6. agitasi yang menciptakan kontaminasi.

Dengan personel yang menghabiskan begitu banyak waktu dalam "bunny suit"
ini, penting untuk mendesain pakaian ini agar tidak merasa terlalu terbatas saat
memakainya . Memiliki pakaian yang pantas , dan merasa nyaman di dalamnya
adalah masalah yang penting . Tetapi juga, mengelola pedoman yang ketat dengan
selalu berpakaian dengan benar, dibersihkan secara rapi, dan tidak memiliki
terlalu banyak orang dalam satu waktu berjalan melalui ruang bersih akan
membantu dalam pengendalian kontaminasi . (Lihat Gambar 3.)

44
45
 Bab 4 Efisiensi Energi Dan Penghematan Biaya

Desain Kamar Bersih

4.1 Pendahuluan

Selama proses penelitian, kebutuhan akan tindakan penghematan energi dan biaya
selalu ada. Dengan biaya untuk kamar bersih menjadi "$ 350-750 dolar per bersih
kaki persegi" (21. Maini, 1986.) metode sedang disusun apakah itu dengan
membaca tentang kamar bersih, berbicara dengan orang yang bekerja di kamar
bersih, atau berjalan melalui kamar bersih sendiri di jalan penghematan energi
atau biaya. Daftar metode ini akan selalu tidak lengkap karena akan selalu ada
sesuatu yang terlewat, atau belum ditemukan. Tujuannya di sini adalah untuk
mengumpulkan semua informasi yang dikumpulkan dan daftarkan mereka di bab
ini. Metode penghematan energi dan biaya ini terutama akan terlibat dalam aspek
desain karena berkaitan dengan fasilitas sirkuit terintegrasi.

46
4.2 Metode Untuk Efisiensi Energi Dan Penghematan Biaya

Bagian yang membahas cara penghematan energi dan biaya dalam desain ruang
bersih untuk fasilitas mikroelektronika ini dibagi menjadi dua belas area terpisah
untuk penghematan energi dan biaya.

Ini adalah:

1. Studi kelayakan
2. Pertimbangan Situs
3. Fleksibilitas
4. Getaran dan Kebisingan
5. Air (Kemurnian dan Limbah)
6. Sistem Transfer Pelindung
7. Monitor dan Sensor Ruangan Bersih
8. Konservasi Energi dalam Meminimalkan Beban Pendinginan
9. Kipas
10. Kelembaban
11. Petir
12. Menguji

47
1. Studi Kelayakan

Dengan biaya fasilitas mikroelektronik yang begitu tinggi, penting untuk

mengembangkan studi kelayakan sebelum tahap desain yang sebenarnya untuk
menentukan penilaian yang akurat terhadap kebutuhan fasilitas. Ini melibatkan
pengembangan program yang didefinisikan dengan baik . Ini juga akan
berdampak pada item seperti pemilihan lokasi , ukuran fasilitas, dan fungsi.
Mengembangkan program yang terdefinisi dengan baik untuk fasilitas akan
membantu dalam menentukan hal-hal seperti kelas kebersihan apa yang akan
dibutuhkan.

Ini merupakan pertimbangan biaya yang penting. Mengetahui item penting ini
akan menghasilkan tidak berlebihan merancang sistem mekanis yang akan
menambah biaya tinggi yang tidak diperlukan serta peningkatan lain dalam
keseluruhan komponen fasilitas. Bersamaan dengan ini, studi kelayakan yang
didefinisikan dengan baik akan membantu dalam mengembangkan konstruksi
yang lebih jelas sesuai jadwal yang juga akan membantu dalam menghasilkan
perkiraan biaya awal yang lebih akurat . "Ruang fasilitas mikroelektronika dapat
bervariasi biayanya dari $ 125 per kaki persegi untuk kelas 100,0000 hingga $ 750
per kaki persegi untuk kelas 10." (22. Maini, 1986.)

48
2. Pertimbangan Situs

Ini adalah aspek yang sangat penting karena implikasinya yang besar pada
fasilitas secara keseluruhan dengan lokasi berbagai layanan bangunan yang
diperlukan untuk mengoperasikan fasilitas tersebut. Di antara layanan yang perlu
memiliki akses mudah ke lokasi tersebut adalah aksesibilitas air, dan jumlah daya
listrik dan udara bersih yang dibutuhkan . Air di tempat digunakan untuk
membilas komponen proses. "Kekayaan awal sumber air lokal ini dapat
mempengaruhi biaya akhir dari sistem pemolesan air yang canggih." (23. Maini,
1986.)

Daya listrik adalah sumber yang diperlukan dan kebutuhan akan daya darurat
cadangan untuk kemungkinan pemadaman listrik adalah wajib. Diperlukan udara
segar dalam jumlah besar memasok sistem melelahkan ekstensif yang digunakan
dalam operasi ruang bersih.

Memiliki lokasi di area terbuka dapat menjadi penting terutama jika fasilitas
tersebut merupakan fasilitas produksi untuk sirkuit terpadu yang mungkin
menggunakan konsentrasi tinggi bahan kimia tertentu . Jika fasilitas ini terletak di
sebelah area yang padat penduduknya, maka peralatan penyerap bau mungkin
diperlukan yang pada akhirnya bisa mahal. Lokasi lokasi yang mungkin di daerah
dengan variasi iklim yang luas akan membutuhkan sistem pemanas dan ventilasi
yang lebih mahal karena kontrol yang tegas untuk kelembaban, dan suhu yang
diperlukan di daerah fabrikasi wafer.

Faktor lain yang perlu dipertimbangkan pada rencana situs untuk fasilitas
semikonduktor adalah menyediakan area yang cukup untuk penyimpanan massal
dari banyak gas yang dibutuhkan dalam proses pembuatan. Lokasi situs yang
tidak mengakomodasi semua item ini akan terbukti berpotensi sangat mahal.

49
3. Fleksibilitas

Ruang bersih di fasilitas mikroelektronika dapat bervariasi fungsinya tergantung

pada proses yang dilakukan. Ini melibatkan penggunaan berbagai jenis peralatan.
Selain itu, ruang untuk kemungkinan perluasan juga harus direncanakan. Dengan
pertimbangan tersebut, maka perlu dikembangkan fasilitas yang fleksibel untuk
perubahan. Fleksibel dalam pergerkan komponen dinding dan ruang tata letaknya,
serta fleksibel untuk perluasan layanan mekanik dan listrik, serta layanan lainnya
yang digunakan dalam fasilitas mikroelektronik seperti peningkatan kapasitas air
untuk meningkatkan proses.

Penggunaan sistem bangunan modular yang dibangun dengan menggunakan

bahan, dan penyelesaian seperti yang dibahas dalam bab satu akan memberikan
perubahan yang paling efisien, hemat biaya dalam fasilitas mikroelektronik.

Solusi desain kamar bersih harus menjawab kebutuhan akan perubahan yang tidak
mengganggu (fleksibilitas), perawatan yang mudah atau pembersihan secara
berkala, bahan konstruksi non-penumpahan , dan kemudahan dalam menyediakan
layanan untuk peralatan melalui dinding dan pengendalian kontaminasi. Biaya
ruang plafon dapat dikurangi secara substansial jika filter HEPA tidak digunakan
di seluruh ruang plafon. Hanya area yang membutuhkan kontrol ruang bersih yang
memerlukan filter HEPA .

Memiliki fleksibilitas di langit-langit untuk filter HEPA hanya jika diperlukan

untuk aliran laminar (aliran spot laminar) menghemat biaya dengan
meminimalkan tenaga kuda kipas juga.

50
4. Getaran dan Kebisingan

Produksi microchip semikonduktor membutuhkan lokasi di mana getaran dijaga

seminimal mungkin. Dengan ukuran chip tersebut semakin kecil, dan semakin
kecil garisnya lebar yang digunakan dalam produk baru dengan kepadatan tinggi,
efek getaran di fasilitas dapat merusak produk dan menyebabkan peningkatan
cacat yang tidak akan hemat biaya. Hal ini juga dapat mengganggu orang-orang
yang bekerja di fasilitas tersebut. Tingkat kebisingan yang tinggi juga dapat
bergetar dan effe ct kinerja sensitif peralatan.

Sebuah getaran fasilitas gratis tidak realistis, tapi desain struktur khusus dapat
membantu dalam kontrol getaran . Ini dilakukan dengan memanfaatkan sistem
struktural dengan kekakuan dan massa . Sistem yang paling umum untuk
persyaratan ini adalah pelat wafel beton. Sistem ini memaksimalkan kekakuan
dengan konstruksi berusuk sambil juga menggunakan lebih banyak volume beton
daripada pelat beton. Sistem ini juga memungkinkan sebuah suffienct mendalam
untuk meredam getaran yang disebabkan oleh lalu lintas pejalan kaki (Foo tfall).
Ini adalah salah satu sumber getaran terpenting untuk dipertimbangkan.

Bentuk getaran lainnya disebabkan oleh peralatan mekanik . Barang-barang ini

harus memiliki isolator pegas, blok inersia, dan sambungan fleksibel pada saluran
kerja.

(Lihat Gambar 4.)

Getaran dan suara saling berhubungan. Getaran bisa menimbulkan suara, begitu
pula penempatannya peralatan (boiler, pendingin, dll.) harus ditempatkan secara
strategis. Ada juga beberapa peralatan yang digunakan dalam fabrikasi micr ochip
semikonduktor yang memiliki batas getaran lingkungan yang sangat ketat .
Produk akhir mungkin tergantung pada keandalan sistem isolasi getaran peralatan
pabrikan wafer . Salah satu caranya adalah dengan menyediakan pelat beton
tempat mesin dipasang , dan kemudian secara fisik dipisahkan dari sisa lantai
beton bangunan.

51
Isolator pneumatik yang merupakan perangkat yang mengandalkan udara
terkompresi untuk menopang suatu beban dapat juga digunakan pada peralatan
tersebut, dan juga pada penyangga kolom gedung.

(Lihat Gambar 5.)

Terakhir, getaran yang mencapai peralatan yang peka terhadap getaran dapat
diminimalkan dengan menggunakan pendekatan tiga-stop untuk mengisolasi
getaran.

1. Sumber
2. Jalan
3. Penerima

1. Kontrol sumber menerapkan isolasi getaran ke peralatan mekanis atau

sumber getaran lainnya.

2. Kontrol jalur biasanya mengambil dua bentuk. Pertama, jarak antara

sumber getaran (peralatan mekanik, dll.) Dan peralatan yang mungkin
terpengaruh oleh sumber getaran harus dimaksimalkan. Menambah
panjang jalur akan mengurangi tingkat getaran yang ditransmisikan ke
tanah yang mencapai peralatan sensitif getaran . Aspek penting kedua dari
pengukuran kontruksi jalur adalah untuk memastikan bahwa tidak ada
jalur transmisi langsung (dari sumber ke penerima) yang hadir kembali
pada fondasi atau struktur bangunan yang menampung sistem yang
lengkap.

3. Kontrol penerima dicapai dengan menggunakan sistem isolasi getaran

pasif yang dirancang dengan baik di bawah peralatan sensitif getaran. (24.
Burggraaf , 1986.)

52
53
5. Air

Bagian penting dalam proses pembuatan sirkuit terintegrasi adalah penggunaan

ultraclean air untuk mencuci produk di berbagai tahap perkembangan. Sebuah
sumber utama pencemaran di fabrikasi sirkuit terpadu menggunakan air proses
yang tidak dari tingkat kemurnian tinggi.

Air untuk mikroelektronika menggunakan dapat dimurnikan oleh distilasi, filtrasi

membran, penyerapan dan deionisasi. (Lihat 1.2 untuk definisi.)

Permintaan air murni di masa depan hanya akan meningkat. "prakiraan terbaru
menunjukkan itu permintaan produksi untuk air murni akan meningkat pada
tingkat pertumbuhan tahunan 20-30%. " (25. Clifford, 1986.) Dengan aspek ini,
persediaan air yang tersedia dapat menurun baik dalam jumlah maupun kualitas.

Untuk memberikan efisiensi biaya, dua hal harus terjadi:

1. Proses fabrikasi harus dirancang untuk menghemat penggunaan serta

membantu penggunaan kembali airnya. Ini termasuk air limbah. Air yang
tidak digunakan kembali harus dinetralkan hingga dapat dibuang ke sistem
pembuangan limbah setempat .

Jika beberapa air tidak dapat dinetralkan hingga titik yang memuaskan,
maka air tersebut harus dikumpulkan dalam sistem perpipaan limbah
khusus untuk pembuangan di luar lokasi.

2. Metode uji yang andal untuk pemurnian air harus diterapkan. Ini penting
untuk alasan keamanan, dan kemurnian produk.

54
6. Sistem Transfer Pelindung

Saat memeriksa cara untuk memangkas biaya dalam desain kamar bersih, hal
utama yang harus dilakukan adalah pengurangan ukuran kamar bersih laminar. Ini
dapat dilakukan secara efektif dengan meninggalkan bagian laminar di area
tempat pengangkutan wafer dilakukan. Alih - alih menyediakan aliran laminar,
menerapkan terowongan penanganan pelindung dan sistem kotak akan
mengurangi biaya ruang bersih.

Membandingkan biaya ruang bersih laminar (kelas 1, dan kelas 10) pada $ 201
per kaki persegi dengan biaya lorong layanan ($ 19,30 per kaki persegi, orang
dapat dengan mudah melihat penghematan yang terlibat. (26. Burnett , 1986 ).

Ruang bersih aliran laminar dan sistem transfer wafer pelindung , yang disebut
konsep bersih terowongan digunakan untuk mengurangi jumlah kontaminasi
mikro yang mencapai permukaan wafer, sehingga meningkatkan hasil produksi
secara keseluruhan. Sebuah wafer pelindung Transfer harus diukur untuk
mencegah tambang kinerja sistem di meningkatkan kontrol dari cacat per centime
persegi ter. Pengukuran ini harus dilakukan dalam kondisi yang realistis.

55
7. Membersihkan Monitor dan Sensor Ruangan

Mempertahankan ruang bersih dengan serangkaian nilai yang konstan (suhu,

kelembapan, dll.) membutuhkan pemeriksaan konstan dari sistem ini. Cara yang
baik untuk melakukannya adalah dengan menginstal file sistem monitor di
fasilitas sirkuit terintegrasi . Ini termasuk otomatis deteksi suhu, kelembaban,
kecepatan aliran udara, kotoran yang terbawa udara, dan penurunan tekanan statis
pada filter HEPA . ( Catatan : hum idity sensoring akan lebih dibahas dalam bab
ini di bawah judul, 11. Kelembaban ".)

Tabel 1 secara singkat menguraikan sistem dan teknologi pemantauan yang paling
banyak umum di ruang bersih sirkuit terintegrasi . Tabel ini menggambarkan apa
metode yang digunakan, dan oleh apa jenis monitor dan teknologi yang saya s
digunakan untuk menghitung partikel ini, dan ukuran minimum dalam mikron.

Tabel 1

Teknologi Pemantauan (27. Tolliver, 1984.)

Tipe Monitor Jenis Teknologi Digunakan Tingkat Sensitivitas

Terendah (mikron)

Surface Cahaya Putih 0,50 

Surface Laser 0.30

Aerosol Cahaya Putih 0.30

Aerosol Laser 0.10

Aerosol Kondensasi 0.01

Liquid Cahaya Putih 0.50

Liquid Laser 0.40

56
Liquid Ultrasonik 1.00

Sistem pemantauan partikel di udara adalah jenis monitor partikel yang paling
umum ditemukan di ruang bersih.

Literatur dan spesifikasi pembuatan sensor harus ditinjau dengan cermat. Biaya
dan ketidaknyamanan kalibrasi ulang dan penggantian sensor untuk
mempertahankan toleransi yang diperlukan juga harus dipertimbangkan.
Mengurangi cacat dengan memantau kamar bersih akan memberikan fasilitas
yang lebih hemat biaya.

8. Konservasi Energi Dalam Meminimalkan Beban Pendinginan

Energi yang dibutuhkan untuk pengendalian lingkungan di kamar bersih tinggi.

Konsumsi energi ini terkait dengan pendinginan, kipas, humidifikasi, dan
pemanasan ulang. Pendinginan energi yang signifikan dan 85% (28. Brown ,
1986.) Dari total kapasitas pendinginan akan diperlukan untuk:

1. Kondisikan udara make-up

2. Hapus panas proses
3. Hapus panas kipas

Dengan meminimalkan energi pendinginan, ini memberikan peluang yang baik

untuk energy penghiburan . Kemungkinan untuk ini termasuk :

57
 1. Pemulihan panas di udara make-up.
2. Suhu air setinggi mungkin.
3. Suhu menara pendingin terendah.

Suhu udara make-up yang diperlukan untuk dehumidifikasi di sebagian besar

ruang bersih perlu menyediakan suhu air dalam kisaran 38-42 derajat fahrenheit .

Ketika pendinginan evaporasi digunakan untuk make-up air, ada banyak jam per
tahun ketika udara luar, saat didinginkan ke bola basah yang dibutuhkan,
didinginkan hingga hanya 50-60 derajat fahrenheit . Sejak air dingin untuk
resirkulasi udara pendingin dan pendinginan awal udara make-up dapat dilakukan
dengan air 50-60 derajat fahrenheit , penggunaan sistem air dingin suhu ganda
dimungkinkan.

Konsumsi energi dapat dikurangi untuk pendinginan udara make-up dengan

menggunakan udara luar dan didinginkan sebelumnya dengan penguapan tidak
langsung. Hal ini dapat accompolished dengan menggunakan "bersirip - tabung
penukar panas disalurkan baik untuk towe pendinginan atau independen lain
penukar panas menguapkan." (29. Brown, 1986.) Metode lain dari make-up udara
precooling adalah accompolished oleh pemulihan panas, utilizing pembuangan
udara. Jika tinggi persentase udara buang digosok , sebuah excha panas jari hilir
scrubber dapat menawarkan potensi yang baik untuk pemulihan energi
tambahan." (30. Brown, 1986.)

Dengan mengoperasikan chiller dengan suhu air kondensor serendah mungkin

akan menghemat daya yang diperlukan untuk menjalankan kipas untuk
menurunkan suhu. Hal ini dapat dilakukan dengan menggunakan pendingin daya
input rendah dengan meningkatkan luas permukaan pertukaran panas selama jam
operasi yang lama.

58
9. Kipas

Sistem udara bersih aliran laminar beroperasi dengan memindahkan sejumlah

besar udara melalui Filter Udara Partikulat Efisiensi Tinggi (HEPA). Idenya di
sini adalah untuk mengurangi konsumsi listrik tetapi tidak berkompromi dengan
standar kinerja kipas angin. Daya ini berkurang dengan menggunakan lebih
sedikit kipas tetapi lebih besar. Energi kipas menjadi lebih signifikan seperti kelas
kebersihan meningkat. Sistem udara bersih aliran laminar adalah volume besar,
sistem tekanan statis rendah. "Kipas paling efisien untuk persyaratan ini adalah
kecepatan rendah, bilah melengkung ke depan, jenis sangkar tupai." (31. Marsh,
1981.) Kipas yang lebih besar lebih efisien daripada yang lebih kecil dari jenis
yang sama. Motor untuk kipas angin memiliki faktor efisiensi yang berbeda. Ini
diformulasikan oleh tenaga kuda keluaran dibagi dengan watt masukan. Rentang
efisiensi dapat berkisar dari 60 hingga 85%. Untuk sistem yang hemat energi,
faktor efisiensi harus minimal 75%. (32. Marsh, 1981.) Oleh karena itu, motor
tiga fasa bertegangan tinggi belum tentu seefisien yang lebih rendah.

Lokasi sistem kipas sentral lebih efisien jika letaknya lebih dekat ke sumbernya.
Peningkatan jarak menyebabkan gesekan hilang pada jarak sambung. Dalam
sistem laminar, penggunaan kecepatan kipas yang berbeda menguntungkan ,
terutama selama jam non-produksi. Dengan dapat mengurangi kecepatan kipas
saat fasilitas tidak berproduksi, mengurangi energi yang digunakan.

Hukum dinamika fluida menyatakan bahwa setiap kali ada aliran eddyin atau
turbulan , ada kerugian yang lebih besar pada tekanan keseluruhan daripada aliran
yang mulus. Perubahan mendadak membutuhkan lebih banyak energi untuk
menyesuaikan diri daripada perubahan bertahap. Desain bijaksana , memiliki
aliran laminar perubahan udara minimum bisa lebih hemat energi. (Lihat Gambar
6.)

59