Nama : Risma Juanda

NIM : 170208042
Tugas : TKM-2

INSTRUMEN SEM (Scanning Electron Microscopy)

A. Prinsip Kerja
Menurut Respati (2008) menyatakan bahwa pada mikroskop scanner elektron
mempunyai bagian-bagian seperti pada skema yang tergambar pada gambar berikut:

Menurut Wijayanto dkk (2014) menyatakan bahwa prinsip kerja SEM adalah sebagai
berikut:
1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
 4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru
yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT).
B. Cara Pengukuran
Pengukuran SEM dimulai dengan suatu sinar elektron dipancarkan dari electron gun
yang dilengkapi dengan katoda filamen tungsten. Sinar elektron difokuskan oleh satu atau
dua lensa kondensor ke titik yang diameternya sekitar 0,4 nm sampai 5 nm. Sinar kemudian
melewati sepasang gulungan pemindai (scanning coil) atau sepasang pelat deflektor di kolom
elektron, biasanya terdapat di lensa akhir, yang membelokkan sinar di sumbu x dan y
sehingga dapat dipindai dalam mode raster di area persegi permukaan spesimen. Ketika sinar
elektron primer berinteraksi dengan spesimen, elektron kehilangan energi karena
berhamburan acak yang berulang dan penyerapan dari spesimen atau disebut volume
interaksi, yang membentang dari kurang dari 100 nm sampai sekitar 5 µM ke permukaan.
Arus dari sinar yang diserap oleh spesimen juga dapat dideteksi dan digunakan untuk
membuat gambar dari penyebaran arus spesimen. Raster pemindaian layar CRT disinkronkan
dengan sinar pada spesimen di mikroskop, dan gambar yang dihasilkan berasal dari peta
distribusi intensitas sinyal yang dipancarkan dari daerah spesimen yang dipindai. Gambar
dapat diambil dari fotografi tabung sinar katoda beresolusi tinggi, tetapi pada mesin modern
digital, gambar diambil dan ditampilkan pada monitor komputer serta disimpan ke hard disk
komputer (Nugroho, 2020).

C. Contoh Hasil Pengukuran SEM

Berikut karakteristik dari hasil gambar SEM:

Gambar diatas merupakan struktur morfologi dan topografi limbah pabrik gula, dan
berikut grafik yang diperoleh :
 Sumber Hamriani dkk

D. Kegunaan SEM
Kegunaan dari mikroskop elektron didesain untuk menyelidiki permukaan dari objek
solid secara langsung.  SEM memiliki perbesaran 10 – 3000000x, depth of field 4 – 0,4 mm
dan resolusi sebesar 1 – 10 nm. Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang
besar dan resolusi yang baik. Adapun fungsi utama dari SEM antara lain dapat digunakan
untuk mengetahui informasi-informasi mengenai:
 Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan
cahaya, dan sebagainya).
 Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat
pada Integrated Circuit (IC)  dan chip, dan sebagainya).
 Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek
(titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
  Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir
di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya).

E. Aplikasi SEM
Berikut beberapa aplikasi dari SEM yang paling sering digunakan diantaranya:
 SEM memiliki berbagai aplikasi di sejumlah bidang ilmiah dan terkait industri,
terutama di mana karakterisasi bahan padat bermanfaat.
 Selain informasi topografi, morfologi dan komposisi, Scanning Electron Microscope
dapat mendeteksi dan menganalisis retakan permukaan, memberikan informasi dalam
struktur mikro, memeriksa kontaminasi permukaan, mengungkapkan variasi spasial
dalam komposisi kimia, menyediakan analisis kimia kualitatif, dan mengidentifikasi
struktur kristal.
 Selain itu, SEM memiliki aplikasi industri dan teknologi praktis seperti inspeksi
semikonduktor, lini produksi produk sangat kecil, dan perakitan microchip untuk
komputer.
 SEM dapat menjadi alat penelitian penting di bidang-bidang seperti ilmu kehidupan,
biologi, gemologi, ilmu kedokteran dan forensik, metalurgi.

F. Daftar Pustaka
Hamriani, Palloan., Arsyad M. APLIKASI METODE SCANNING ELECTRO
MICROSCOPY (SEM) DAN X-RAY DIFFRACTION (XRD) DALAM
MENGANALISIS LIMBAH PABRIK GULA X. Universitas Negeri Makassar:
Laboratorium Mikrostruktur Jurusan Fisika FMIPA.
Nugroho, R. E. 2020. ANALISIS SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM) DAN
ENERGY-DISPERSIVE XRAY SPECTROSCOPY (EDX) PADA PENGELASAN
BRAZING ALUMINIUM SERI 6061 DENGAN FILLER ALUSOL DAN LOKAL.
SKRIPSI TEKNIK MESIN FAKULTAS TEKNIK UNIVERSITAS
MUHAMMADIYAH SURAKARTA.
Respati, S. M. B. 2008. MACAM-MACAM MIKROSKOP DAN CARA PENGGUNAAN.
Jurnal Momentum, 4(2), 42-44.
Wijayanto, O.W., A.P Bayuseno, A.P. 2014. ANALISIS KEGAGALAN MATERIAL PIPA
FERRULE NICKEL ALLOY N06025 PADA WASTE HEAT BOILER AKIBAT
SUHU TINGGI BERDASARKAN PENGUJIAN : MIKROGRAFI DAN
KEKERASAN. Jurnal Teknik Mesin, 2(1), 33-39.