EL317 Sistem Instrumentasi 7-1

Sensor Tekanan (Part-2 Chp-7)

• Transduser tekanan dan gaya (load cell)

– terdiri dari bahan elastis dan sensor perpindahan
(displacement)
– besaran ukur (i) strain atau (ii) displacement
– pengelompokan: tipe absolute gauge dan diferensial

• sensor tekanan dengan diafragma

– struktur

reliable,
sukar dibuat, reproducible

– besaran ukur strain dengan strain gauge atau diplacement

dengan kapasitansi
– pengukuran dengan kapasitansi dalam rangkaian jembatan
sangat sensitif dan mahal
EL317 Sistem Instrumentasi 7-2
– Penempatan dan rangkaian sensor
• rangkaian jembatan untuk kompensasi temperatur
• penempatan sensor

– rangkaian jembatan untuk kompensasi temperatur

• resistor sensitif temperatur baik dalam jembatan
maupun pada regulator tegangan
EL317 Sistem Instrumentasi 7-3
• Transduser Tekanan silikon
– memanfaatkan silikon sebagai bahan strain ukur dan
diafragmanya, rangkaian bisa terintegrasi
– lebih sensistif dari metal karena strain (displacement) dan
sifat piezoresistif muncul bersamaan
– selalu menggunakan 4 gauge dalam jembatan, masalah
yang dihadapi
• gauge tidak identik
• sangat sensitif terhadap temperatur
– alternatif solusi:
• eksitasi arus
• kompensasi tegangan jembatan
• kompensasi penguatan amplifier
EL317 Sistem Instrumentasi 7-4
– konstruksi sensor tekanan silikon
• diafragma dengan proses etsa
• strain gauge dengan difusi dopan
EL317 Sistem Instrumentasi 7-5
– konstruksi paket sensor tekanan silikon dengan rangkaian
kompensasi dan penguat
EL317 Sistem Instrumentasi 7-6
• Sensor Tekanan Tipe Lain
– besaran ukur perpindahan (displacement) memanfaatkan
LVDT, sensor reluktansi-variabel, potensiometer
– konversi tekanan ke perpindahan menggunakan tabung
Bourdon atau bellows

• Load cell
– mirip dengan sensor tekanan
– mengubah gaya menjadi perpindahan
– menggunakan rangkaian jembatan untuk
• pembacaan
• kalibrasi
• kompensasi temperatur
– alternatif lain menggunakan kristal piezoelektrik untuk
mengukur perubahan gaya
EL317 Sistem Instrumentasi 7-7
– konfigurasi load cell

cantilever beam proving ring

housing

shear beam

– load cell piezoelektrik

EL317 Sistem Instrumentasi 7-8
• Spesifikasi Error dan Nonlinearitas pada Sensor