Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Proiect la Microtechnologii 2

Indrumator de proiect:

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Microsenzori de acceleratie Senzorii miniaturizati de acceleratie isi vor gasi locul mai ales in industria automomobilului. Ei sunt, de asemenea, de interes pentru industria aeronautica si spatiala si pentru multe alte aplicatii. Microsenzorii pentru acceleratie vor ajuta la imbunatatirea confortului, sigurantei si calitatii conducerii automobilelor. Totodata, ca ele sa devina un produs de interes general, costurile lor de productie trebuie sa fie drastic scazute. Ca si in cazul presiunii, acceleratia este, de obicei, detectata prin metoda piezorezistive sau capacitive. Cel mai adesea este folosita o consola elastica la careeste atasata o masa. Atunci cand senzorul este accelerat, masa deplaseaza consola si deplasarea este inregistrata de senzor. Un astfel de sezor este prezentat mai jos. Se foloseste metoda de masurare capacitiva pentru a inregista deviatia. Din deviatie poate fi calculata acceleratia.

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Principiul piezorezistiv

Pentru a masura efectiv acceleratia cu acest principiu, piezorezistorii sunt plasati in puncte ale consolei unde se produce deplasarea maxima. Cu cresterea numarului de piezoelemente, se imbunatatesc precizia si stabilitatea senzorului. Daca o masa se misca accelerat, aceasta determina deformarea piezorezistorilor, in felul acesta modificandu-se rezisenta lor. Acceleratia este determinata din variatia rezistentei.

Prin

cresterea

masei

mobile

de

va

imbunatati

sensibilitatea

senzorului.Centrul de greutate al masei trebuie sa fie cat mai aproape de capatul consolei. Microsenzorii piezorezistivi pentru acceleratie sunt, de obicei, fabricati prin tehnologia siliciului integrata pe cip-ul senzor, facand sistemul compact si robust. Accelerometrul capacitiv complet integrat Acest sezor pentru acceleratie gata pentru productia in masa a fost deja prezentat in anul 1991. Cu un diametru de aproximativ 9mm a fost facut din polisiliciu prin microprelucrare de suprafata. Circuitele microelectronica pentru preamplificarea semnalului, compensarea temperaturii si scopuri de autoterstare a sistemului au fost
3

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

integrate in senzor. Ca parte sensibila serveste un conducator diferential. El consta din placi fixe independente si o microstructura mobila in forma de pieptene: cea din urma isi modifica pozitia ca raspuns la o schimbare a miscarii relative. Acest senzor a fost unul din primele exemple de transfer cu succes al unui dispozitiv MST din cercetare in industrie, dupa cum el a fost si primul accelerometru complet integrat, produs in masa. Asa pot fi masurate acceleratii de pana la +- 50g cu o precizie de 19mV/g. Dispozitivul este curent folosit pentru sistemele airbag la automobile. Domeniul de masura al celui mai nou senzor este +- 5g, el poate detecta schimbari foarte mici ale acceleratiei cu o precizie de 0,005g.

Microsenzorul capacitiv cu consola Senzorul const din una sau mai multe console care actioneaza ca un electrod, ele sunt suspendate liber seasupra unui electrod opus si a unei benzi de contact. Intre electrod si consola exista un spatiu foarte mic pentru a maximiza fortele electrostatice si pentru a metine tensiunile mecanice cat mai mici.

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Spre deaosebire de ce se intampla in senzorii capacitivi conventionali, o asa numita tensiune de prag este aplicata pentru a compensa fortele provocate de acceleratie, iar aceasta va da o indicatie asupra acceleratie curente.

Desenul unui accelerometru Conform cu Fricke93 In acest dispozitiv, o tensiune dinte de ferastrau este aplicata in pasi definiti intre consola. Cand este atinsa tensiunea critica, sistemul devine instabil si consola se curbeaza spre contacte pe care in final le atinge. Tensiunea scade la zero si procesul este reluat din nou prin aplicarea tensiunii dintre de ferastrau. Valoare efectiva a tensiunii de prag care trebuie aplicata depinde de marimea acceleratiei. Nivelul tensiunii de prag este folosit pentru a calcula acceleratia, aceasta este indirect determinata prin masurarea timpului dintre momentul aplicarii tensiunii dintre de ferastrau si momentul contactului.

Microstructura senzorului

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Microsenzorul piezorezistiv cu amortizare cu ulei Cip-ul senzor a fost fabricat dintr-un substrat de siliciu (100) si contine o masa seismica suspendata pe o consola subtire si, de asemenea, un circuit integrat pentru procesarea semnalului. Circuitul consta dintr-o punte piezorezistoare si amplificatoare. Uleiul este folosit pentru amortizarea rezonantei masei suspendate. In comparatie cu un mecanism cu amortizare cu aer, acest proiect nu reclama o etapa suplimentara de fabricatie. Totusi, amortizarea este influentata de viscozitatea uleiului, de deminsiunile senzorului si de temperatura dispozitivului.

Pentru a fabrica acest senzor au fost folosite diferite tehnici pe siliciu. Partile mircomecanice ale senzorului, care sunt masa mobila si consolele, au fost fabricate prin corodare in solutie a substratului de siliciu. Consola are 480qm lungime, 200qm latime si 12qm grosime, greutatea masei seismice este de 2mg. Intervalul de masura al dispozitivului este intre 20 si 50g, ceea ce il face foarte folositor pentru multe aplicatii industriale de automatizare.

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Sistemul multisenzor pentur masurarea acceleratiei Dezvoltarea se bazeaza pe sistemul multisenzor folosind tehnica LIGA. Acest dispozitiv se bazeaza pe principiul masurarii capacitatii, el are o matrice senzor constand din mai multi senzori ieftini integrati intr-un singur cip. Cu aceasta conceptie, fiabilitatea si precizia sistemului de masura au putut fi imbunatatite. Componentele centrale ale acestui sistem sunt senzorii micromecanici capacitivi fabricati din nichel prin tehnica SLIGA. Senzorul este un condensator diferential, acesta consta din doi electrozi ficsi intre care exista o masa mobila atasata la o consola flexibila. O dezvoltare mai noua este masurarea pe trei dimensiuni a acceleratiei. Sistemul poate masura un vector acceleratie tridimensional. Pe langa microsenzorii LIGA care sunt responsabili pentru masuratori pe directiile x si y, a fost integrat si un Senzor de acceleratie pentru directia z.

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Un accelerometru este un dispozitiv care msoara acceleratia fizica. Acest lucru nu este neaprat aceeai ca acceleraia de coordonate (schimbarea de viteza a dispozitivului n spaiu), ci este mai degrab tipul de acceleraie asociata cu fenomenul de experienarea greutatii de ctre o mas de testare care se afl n cadrul de referin al dispozitivului. Un exemplu pentru cazul n care aceste tipuri de acceleratie difer: un

accelerometru va masura o valoare atunci cnd st pe loc, pentru c corpurile au greutati, chiar dac nu isi schimba viteza. Cu toate acestea, un accelerometru n cdere liber

gravitaional spre centrul Pamantului va msura valoarea zero, deoarece, chiar dac viteza sa este n cretere, aceasta este ntr-un cadru fata de care nu are greutate. Deci un accelerometru msoara greutatea pe unitate de mas, o asemenea cantitate este cunoscut sub numele de for specific, sau G-Force. Cele mai multe accelerometre nu afieaz valoarea pe care o msoar, dar furnizeaza datele la alte dispozitive. Accelerometrele au limitri n practic, ct de repede pot sa raspunda la schimbri n acceleraie, la schimbari mai mari decat o anumit frecven nu pot rspunde. Exista modele cu un singur axa si cu mai multe. Accelerometrele pot detecta mrimi i direcii, a acceleraie fizia (sau G-Force), ca o mrime vectorial, i pot fi utilizate pentru a sesiza orientarea (din modificarea greutii), acceleraia de coordonate (att timp ct se produce g-Force sau o schimbare n g-Force), vibraii, ocuri i cadere. Accelerometrele microprelucrate sunt din ce n ce mai raspandeite n dispozitive electronice portabile i jocuri video, pentru a detecta poziia dispozitivului sau s ofere input pentru joc.

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Perechi de accelerometre pot fi utilizate pentru a detecta diferene de acceleratie in doua puncte diferite ca apoi aceestea sa fie introduse intr-un sistem de referinta. Aceste dispozitive sunt numite gradiometre de gravitaie, acestea mssoara gradieni din cmpul gravitaional. Astfel de perechi de accelerometre, n teorie, ar putea fi folosite pentru a detecta unde gravitaionale. Principiile fizice Un msoara accelerometru acceleratia fizica,

acceleraia care se simte relativ de cderea liber i este acceleraia simtita de oameni i obiecte. Altfel zis, n orice

punct n spaiu-timp principiul echivalenei garanteaz

existena unui cadru inerial local, un accelerometru

masoara accelerarea relativ la acest cadru. Aceste acceleraii sunt de cele mai multe ori masurate n termeni de G-Force. Un accelerometru n repaus relativ la suprafaa Pmntului va indica aproximativ 1 g n sus, pentru c orice punct de pe suprafaa Pmntului se accelereaz n sus fa de ineria locala (cadrul unui obiect n cdere liber aproape de suprafa). Pentru a obine acceleraia din cauza miscarii cu privire la Pmnt, aceast "offset de gravitatie" trebuie s fie sczuta i coreciile pentru efectele cauzate de rotaia relativa a Pmntului. Motivul pentru apariia unui diferena gravitaional este principiul echivalenei al lui Einstein, care prevede c efectul gravitaiei asupra unui obiect nu
9

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

poate fi distins de acceleraie. Atunci cnd este tinut fix ntr-un cmp gravitaional, de exemplu, aplicarea unei fore de reacie la sol sau traciune echivalenta n sus, sistemul de referin pentru un accelerometru (carcasa proprie) accelereaz n sus. Efectele acestei accelerari sunt imposibil de distinse de orice fel de accelerare, astfel c un accelerometru nu poate detecta diferena dintre fiind ntr-o rachet pe rampa de lansare, i fiind n aceeasi rachete n spaiul ndeprtat n timp ce utilizeaz motoarele de sarcina pentru a accelera la 1 g. Din motive similare, un accelerometru va citi zero n timpul oricrui tip de cadere libera. Aceasta include utilizarea ntr-o nav spaial decelerare n spaiu adnc departe de orice mas, o nav spaial n orbita Pmntului, un avion ntr-un parabolic "zero-g", arc, sau orice cdere liber-n vid. Un alt exemplu de cdere liber ar fi la o altitudine suficient de mare ca efectele atmosferice sa poata fi neglijate. Totui, acest lucru nu includ o scdere, n care rezistena aerului produce forele care reduc acceleraia, pn la viteza constanta unde viteza terminala este atins. La viteza terminala accelerometrul va indica 1g. Pentru acelai motiv parautistul, ajungnd la viteza terminale, nu se simte ca i cum el sau ea fost n "cdere liber", ci mai degrab un sentiment de experiene similare cu a fi susinut (de la 1 g) pe un "pat" de vant. Acceleraia este masurata n metri pe secund (m/s2), sau popular cunoscut n G-Force (g). Pentru a gsi accelerarea obiectelor cu privire la Pmnt, cum ar fi pentru a masura acceleratiei ntr-un sistem de navigaie inerial, o cunoatere de gravitatiei locale este necesar. Aceasta poate fi obinut fie prin calibrarea aparatului la repaus, sau de la un model cunoscut de greutate la poziia curent aproximativa.

10

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Aplicatii

Inginerie

Accelerometrele pot fi utilizate pentru a msura acceleraia vehiculelor. Acestea permit evaluarea performanei att a motor, precum i sistemele de frnare. Accelerometre poate fi utilizat pentru a msura vibraiile pe masini, utilaje, cldiri, sisteme de control al procesului i instalaii de siguran. Ele pot fi, de asemenea, utilizate pentru a masura activitatea seismica, inclinatie, distanta dinamic i de vitez, cu sau fr influena gravitaiei. Accelerometrele care masoara gravitatia,sunt special configurate si se numesc gravimetrie. Notebook-uri echipate cu accelerometre pot contribui la Reeaua QuakeCatcher (QCN), un proiect BOINC care vizeaz stiinta cutremurelor.

Biologie

Accelerometrelr sunt, de asemenea, n ce in ce mai utilizate in stiintele biologice. nregistrri de nalt frecven bi-axiala sau tri-axiala al acceleraie (> 10 Hz) permite discriminarea modelelor de comportamente n timp ce animalele nu sunt la vedere. n plus, nregistrrile de acceleraie permit cercetatorilor pentru a cuantifica rata la care un animal consum energie n slbticie, fie prin masurarea frecventei la nivelul membrelor, sau prin masurarea acceleraratiei dinamice a organismului. Astfel de abordri au fost adoptate n mare parte de oamenii de stiinta marina din cauza incapacitatii de a studia animalele slbatice observandu-le vizual, cu toate acestea un numr tot mai mare de biologi terestri incep sa adopte metode similare. Acest dispozitiv poate fi conectat la un amplificator pentru a amplifica semnalul.

11

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Industrie

Accelerometrele sunt, de asemenea, utilizate pentru monitorizarea strii de sntate a mainilor s raporteze vibraii i schimbarea acestra n timp de mers in arbori, la rulmenti, echipamente rotative, cum ar fi turbine, pompe, role, compresoare, i turnuri de rcire, programele de monitorizarea vibratiei sunt dovedite pentru a avertiza conducatorul, economisi bani, reduce timpii mori, i mbuntirea siguranei n plante din toata lumea, prin detectarea condiiilor, cum ar fi uzura de rulmeni, nealinierea axului, dezechilibrul rotorului, insuficiene de viteze sau n cazul n care nu a participat la servisul anual, poate duce la reparatii costisitoare. Detalii de vibraiile accelerometrului permite utilizatorului s monitorizeze maina i sa detecteze defectiuni nainte ca acestea sa se strice.

In constructii pentru monitorizare structurala

Accelerometre sunt folosite pentru a msura micarile i vibraiile al unei structuri care este expus la solicitri dinamice, sarcinile dinamice provin dintr-o varietate de surse, inclusiv.: *Activitile umane - mersul, alergatul, dans *Maini de lucru - ntr-o cldire sau n zona nconjurtoare *Lucrri de construcii - grmezi de conducere, de demolare, de foraj i excavarea.

Sisteme de navigare

Articol principal: ineriale de sistem de navigare. Un sistem de navigaie ineriale (INS), este un ajutor de navigare care utilizeaz un calculator i senzori de micare (accelerometre) pentru a calcula n mod continuu pozitia prin intermediul dead-reckoning, orientare, i viteza (direcia i viteza de circulaie) a unui obiect n micare fr a fi nevoie de externtrimiteri.

12

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Transport

Accelerometre sunt folosite pentru a detecta apogeu n artificii profesionale i n amatori. Accelerometrele sunt, de asemenea, folosite n role de compactare inteligente. Accelerometrele sunt utilizate alturi de giroscoape n sistemele de ghidare ineriale. Una dintre cele mai comune utilizri pentru accelerometre MEMS este n sistemele de airbag-urilor pentru automobile moderne. n acest caz, accelerometrele sunt folosite pentru a detecta accelerarea rapid negativ al vehiculului pentru a determina cnd o coliziune a avut loc i cat de sever a fost coliziunea.

Vulcanologie

Accelerometrele moderne electronice sunt folosite n dispozitivele de teledetectie destinate pentru monitorizarea vulcanilor activi pentru a detecta micare de magma.

Electronice de consum

Accelerometre sunt din ce n ce a fi ncorporate n dispozitive electronice personale.Galaxy Nexus este un exemplu de un smartphone cu un accelerometru ncorporat. Unele smartphone-uri, playere audio digitale i asisteni personali digitali conin accelerometre pentru controlul interfeei, de multe ori accelerometru este folosit pentru a prezenta punctul de vedere, peisaj sau portret a ecranului dispozitivului, bazat pe modul n care aparatul este inut.

13

Studiul technologiei microsenzorilor de acceleratie

Dispozitiv de integritate

Multe laptopuri au un accelerometru care este folosit pentru a detecta picturi. Dac o pictur este detectat, efii de pe hard disk sunt parcate, pentru a evita pierderile de date, este posibil ca capul de citire-scriere sa deterioreze discul in urma unui soc.

Gravimetrie

Gravimetrul este un instrument folosit n gravimetrie pentru msurarea cmpului gravitaional local. Un gravimetru este ca un accelerometru, cu excepia faptului c accelerometre sunt sensibile la toate vibratiile, inclusiv zgomotul, care cauzeaza acceleraie oscilatorie. Acest lucru este contracarat cu izolare a vibraiilor integrant i de prelucrare a semnalului. Dei principiul esenial de proiectare este acelai ca n accelerometre, Gravimetre sunt de obicei proiectate pentru a fi mult mai sensibil dect accelerometrele, pentru a putea msura schimbrile foarte mici de 1 g.

Bibliografie:

http://en.wikipedia.org/wiki/Accelerometer

14