Conceitos de Vcuo

Conceitos de Vcuo
Ioshiaki Doi FEEC/UNICAMP

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1. Conceitos de Vcuo
Sistema de vcuo simples: cmara com fluxo Q de entrada, bomba de vcuo e um tubo de condutncia C.

gs

P1

cmara

Tubo de condutncia C
bomba

P2

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Comportamento dos Gases na Cmara

As molculas do gs numa cmara se movimentam de forma aleatria sem nenhuma direo preferencial. A presso P, exercida pelo gs sobre as paredes da cmara causada pelas colises das molculas do gs com as respectivas paredes.

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Fluxo e Escoamento de Gases

Fluxo e Escoamento de Gases

Representao esquemtica das velocidades das molculas em um tubo estreito: (a) - fluxo viscoso e (b) - fluxo molecular. fluxo laminar camadas de fluxo paralelas. fluxo turbulento camadas de fluxo no paralelas.

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Velocidade de Bombeamento e Corrente Molecular do gs

Velocidade de bombeamento S: S = V/t (l/s)

A corrente molecular do gs: Q = P.S Ou seja, Q = P.V/t (torr.l/s) (torr.l/s)

Onde: P a presso numa seo transversal da tubulao e V o volume do gs que escoa por essa seco num intervalo de tempo t.

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Condutncia do Tubo

Q
PA PB

A condutncia do tubo limitado pelos dois planos A e B - anlogo ao fluxo de corrente eltrica num condutor e dado por:

CAB = Q/(PA - PB)

(l/s)

A diferena de presso P = PA - PB anloga a diferena de potencial eltrico.

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Associao em Srie de 2 Tubos

Condutncia total da associao :

1/C = 1/C1 + 1/C2

Associao em Paralelo de 2 Tubos
Condutncia da associao :

C = C1 + C2

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Unidades de Presso
1 pascal (Nm-2) = 7.5x10-3 torr

1 torr
1 bar 1 atm

= 133.3 Pa = 1.316x10-3 atm

= 1x105 Pa = 750 torr = 1.013x105 Pa = 760 torr = 760 torr

1.013x105 Pa

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Faixas de Presso
Ambiente de vcuo - vrias faixas de presso.
vcuo primrio : 0.1 a 760 torr ou 10 a 105 Pa vcuo mdio : 10-4 a 10-1 torr ou 10-2 a 10 Pa alto vcuo : 10-8 a 10-4 torr ou 10-7 a 10-2 Pa < 10-8 torr ou < 10-7 Pa ultra alto vcuo :

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Aplicaes de Vcuo em Microeletrnica

vcuo
alto

primrio e mdio : CVD, sputtering, plasma etching

vcuo : limpeza da cmara, evaporao, i/i alto vcuo : MBE

ultra

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2. Bombas de Vcuo
2.1. Bombas para a Presso Primria e Mdia
a) Bomba mecnica de pisto
Bomba de piston - comprime e expele o gs. Movimento do eixo fora de centro. Principio de funcionamento:
V2 V1

deslocamento positivo do gs atravs de movimento mecnico do piston. i). Suco (vlvula V1 aberta - o movimento do piston arrasta o gs para dentro do cilintro). ii). Compresso (vlvulas V1 e V2 fechadas). iii). Exausto (vlvula V2 aberta).

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b). Bomba Mecnica Rotativa

Bombas mais comuns utilizadas nas regies de baixo e mdio vcuo.

Bombas Rotativas de Palheta

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Principio de Funcionamento e Limitaes

Principio :
Mesmo

princpio da bomba de pisto

Com 1 estgio P 20 mTorr

Com 2 estgios P < 1 mTorr

usa leo para lubrificao, proteo e para selar.

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Curvas de velocidade de bombeamento vs. Presso das bombas rotativas de um e dois estgios

Obs.: - O uso do gs ballast limita a presso final da bomba.

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Problemas:
i). Condensao de vapor na compresso, quando Pparcial > Pvapor degrada o leo corroso da bomba (H2O, Cl2, clorosilanas)

Soluo: diluir o gs na entrada da bomba com gs inerte (N2) gs ballast.

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ii). Subida de vapor de leo para a Cmara (backstreaming )

suja a cmara, contamina o processo

Soluo: - usar gs ballast

- usar armadilha ( baixa temperatura ou qumica)

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Aumento da velocidade de bombeamento.

bomba de capacidade maior ou uma bomba Roots (Roots Blower) entre a cmara e a bomba rotativa. Em muitos casos, a segunda opo mais econmica.

Esquema e taxa de compresso vs. Presso de entrada de uma bomba Roots

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Principio de Funcionamento
Principio: - por transferncia. Dois rotores em forma de 8, paralelos, giram sincronamente em sentidos opostos dentro de um estator (espaamento < 0.1 mm, entre os rotores e em relao ao estator).
no h contato (selagem mecnica entre as superfcies), os rotores podem girar em altas velocidades (3000 3500 rpm) sem produo de calor devido ao atrito,

favorece a produo de rpidos deslocamentos de gs, ou seja, altas velocidades de bombeamento para bombas de dimenses relativamente compactas.

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2.2. Bombas para Alto Vcuo

Tipos de bombas:
por transferncia de momentum para as molculas gasosas a) - bomba difusora e b) - turbomolecular preferidos para bombeamento de gases corrosivos e/ou txicos e para elevados fluxos.

para fluxos pequenos de gases inertes por aprisionamento de molculas gasosas

para bombeamento da cmara para prprocessamento.

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a). Bomba Difusora

Princpio Vista de Corte

Princpio: evaporao de leo. O vapor de leo formado ejetado com alta velocidade atravs de aberturas apropriadas, choca com o gs e condensa nas paredes refrigeradas.

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Problemas:
se exposto ao ar reao do leo quente com o ar. subida de vapor de leo para a cmara contamina a cmara e o processo de fabricao.

Soluo: usar armadilha fria resfriada a baixa temperatura com nitrognio lquido (muito eficiente).

Armadilha de Nitrognio Lquido (trap).

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b). Bomba Turbomolecular

Principio: transferncia de momentum por impacto de molculas com as palhetas que giram em alta velocidade.

Vista de corte de uma bomba turbomolecular

Vrios sistemas de palhetas so presos a um mesmo eixo impulsionado por um motor de alta rotao (rotor). O sistema movimenta a uma velocidade extremamente alta (> 20 000 rpm). Um outro sistema de palhetas est preso carcaa da bomba (estator). O espaamento entre o estator (palhetas fixas) e o rotor (palhetas mveis) da ordem de 1 mm.

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Taxa de compresso e Velocidade de Bombeamento

Veloc.de Bombeamento Tx. Compresso

Tx.compresso:

109 para N2 e 103 para H2.

Comportamento da velocidade de bombeamento e da taxa de compresso de uma bomba turbomolecular tpica, em funo da presso de entrada, para vrios gases. A compresso podem chegar a 109.

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Caractersticas :
As bombas turbomoleculares sempre necessitam de uma bomba de apoio. geralmente uma bomba rotativa de palhetas, conectado no lado da alta presso, visto que a presso de sada deve ser mantida a baixa presso. Como a transferncia de momentum depende da massa da molcula gasosa, a taxa de compresso tambm depende do gs a ser bombeado.

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Medidores de Presso
a) Barocel - Membrana Capacitiva
Princpio: variao da capacitncia de uma placa sensora. Placa sensora, um capacitor plano, isolada por um membrana sensvel. A presso sobre a membrana sensibiliza a placa sensora. Mede desde P atmosfrica a 10-6 mbar, com a preciso de 0.05 - 3 %. Vantagens: robustez, vida til longa, maior sensibilidade, maior faixa de operao, e pode ser utilizado em temperaturas elevadas e em ambientes altamente corrosivos.

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b) Pirani
Princpio de funcionamento: condutividade trmica dos gases.

filamento aquecido dissipa calor por conduo T P R.

Ponte de Wheatstone mede R = f(P).

a) circuito para o medidor Pirani; b) cabea do medidor; (1) filamento; (2) suporte do filamento; (3) capa (envelope)

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De Ionizao

Para presses << 1mtorr e alto e UHV.

a) Penning: ionizao por descarga DC

I = f(P).
b) Catodo quente: uma vlvula com filamento ioniza o gs.

I = f(P).

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Tipos de Selagem:
Oring para vcuo mdio.

Flange conflat com anel de Cu ou CuAg para alto vcuo.

Acessrios diversos de vcuo.

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Vlvulas

Para isolao tipo fole

Tipo borboleta para controle

condutncia varivel

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Vlvula agulha para controle de gs na cmara