Anda di halaman 1dari 28

SEM + EDS

Maria Oktafiani 140310110018

Mengapa ada SEM dan EDX ?


Pada

dasarnya, banyak metode yang dapat digunakan untuk penggunaan observasi benda/material dalam skala nano, mulai dari kaca pembesar, mikroskop, sampai digunakanlah metode yang memanfaatkan sifat respon material terhadap cahaya

Mengapa ada SEM dan EDX ?


Ukuran

benda yang ingin diamati memiliki ukuran yang semakin kecil dan tidak kasat mata, misalnya dalam ukuran ratusan nano meter dimana disitu terdapat informasi penting yang harus didapat demi analisa kuantitatif dan kualitatif suatu bahan

SEM (Scanning Electron Microscope)


Prinsip: Scanning

Electron Microscopy with (SEM) adalah suatu jenis mikroskop elektron yang menciptakan berbagai gambaran dengan memusatkan suatu berkas cahaya energi elektron tinggi ke permukaan suatu sampel dan sinyal pendeteksian dari interaksi elektron dengan permukaan sampel. Jenis sinyal terkumpul dalam suatu SEM bervariasi dan dapat meliputi elektron sekunder, karakteristik sinar-rontgen, dan hamburan balik electron. Pada penggunaan mikroskop elektron merupakan berkas cahaya elektron yang dipusatkan untuk memperoleh perbesaran jauh lebih tinggi dibanding suatu mikroskop cahaya konvensional ( gambaran di atas hanya mempunyai 100x perbesaran.

SEM (Scanning Electron Microscope)


Spesifikasi

: a. Perbesaran hingga 100,000. b. Maksimum 30 K.V.. c. Kemampuan Resolusi 3.0 nm. d. Detektor BSE dan SEI. e. Topografi, Komposisi, Gambar Bayangan. f. Kawat pijar elektron Lap-6. g. Dihubungkan terkomputerisasi Dengan web. h. Windos ( Xp) Microsoft.

SEM (Scanning Electron Microscope)


Aplikasi(Analisa

sampel):

1. Sampel padat: Logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, Ceramic, fosil, butiran, karbon, Campuran partikel logam, Sampel Arkeologi. 2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan cacing. Jaringan binatang, manusia dan

Elektron; Jenis microscop Microscope Optics v.s SEM yang mengunakan berkas elektron untuk Untuk mengamati objek dengan mendapatkan image ukuran mikron dapat digunakan M-Optik sample
Untuk

Microscop

objek dengan skala sub micron (nm) dapat digunakan SEM-TEM

ScanningElectron

Microscopy, Microscope Electron yang memotret material berdasarkan interaksi elektron dg permukaan material

Interaksi Berkas elektron dg Sample Sinar pada SEM

Prinsip Peralatan SEM/TEM Electron

Komponen Basis Pada SEM

Gambar Teknis

Peralatan SEM

Kelebihan dan Kekurangan SEM


Kelebihan

- Preparasi sample cepat dan sederhana - Ukuran sample yang relatif besar - Rentang perbesaran yang luas: 3X -150,000X
Kekurangan

- Dibanding TEM resolusinya lebih rendah - Memerlukan kondisi vakum

SEM-EDX; SEM-Energy dispersive


SEM-EDX

adalah nama -dispersive Xray spektroskopi energi analisis yang dilakukan dengan menggunakan SEM . Dapat digunakan untuk analisa unsur Spot yang diamati

Introduction to Energy Dispersive Xray Spectrometry (EDS)


EDS

menggunakan prinsip penggunaan emisi spektrum oleh sinar X oleh suatu sampel yang ditembakkan elektron. Namun tidak semua unsur dalam tabel periodik yang dapat di deteksi , hanya untuk atom ber nomor atom 4 sampai 92. analisis kualitatif melibatkan identifikasi garis spektrum oleh sinar X. sedangkan analisa kuantitatifnya diukur dari intensitas garis di tiap unsur yang diamati

Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS)


Sample Excitation by X-Ray Tube

Benchtop Energy-Dispersive XRF (EDX)

X-ray Generation
Two

basic types of X-rays are produced on inelastic interaction of the electron beam with the specimen atoms in the SEM: Characteristic X-rays result when the beam electrons eject inner shell electrons of the specimen atoms. Continuum (Bremsstrahlung) X-rays result when the beam electrons interact with the nucleus of the specimen atoms.

Characteristic X-rays reveal themselves as peaks imposed upon a background of Continuum X-rays.

Characteristic X-ray production :


Lubang

di dalam kulit K terdalam pada atom ini terbentuk oleh energi elektron datang E0 yang kehilangan energi koresponding yang ditransfer untuk menolak elektron . Lubang di kulit K ini lama kelamaan akan terisi oleh elektron

Karakteristik X Ray

EDX

Daftar Pustaka
Bab_6_teknik_mikroskopi_SEM.pdf Bruker.com (AXS, EDX, Vs WDX)

Introduction to Energy Dispersive SEM_Short_corse.pdf EDS on SEM Primer.pdf

X-ray Spectrometry (EDS).pdf

TERIMAKASIH